物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種物理量傳感器，其抑制因元件片與固定電極的抵接而產(chǎn)生的損壞。所述物理量傳感器的特征在于，具備：元件片，其包括可動錘、和從所述可動錘延伸設(shè)置的可動電極部；固定電極部，其以在所述元件片進(jìn)行位移的第一方向上與所述元件片隔開間隙（d1）的方式而設(shè)置；固定部，其以與所述元件片的端部對置的方式而設(shè)置，在所述可動錘的所述端部上，在與所述固定部對置的位置處設(shè)置有凹部，在所述固定部上，設(shè)置有朝向所述可動錘而延伸的第一止動部，所述第一止動部的頂端被插入至所述凹部內(nèi)，并且所述頂端與所述可動錘之間的間隙（d2）窄于所述間隙（d1）。
【專利說明】物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種物理量傳感器、電子設(shè)備以及移動體。
【背景技術(shù)】
[0002]一直以來，作為對加速度、角速度等的物理量進(jìn)行檢測的物理量傳感器，已知如下結(jié)構(gòu)的物理量傳感器，即，具有固定電極和可動電極，所述可動電極相對于固定電極隔開間隙而并排設(shè)置，并且被設(shè)置在能夠在固定方向上進(jìn)行位移的可動錘上。
[0003]在這種物理量傳感器中，隨著可動錘的位移，固定電極與被設(shè)置在可動錘上的可動電極之間的間隙發(fā)生變化，通過對由于該間隙的變化而在固定電極與可動電極之間產(chǎn)生的靜電電容的變化進(jìn)行檢測，從而對加速度、角速度等的物理量的變化進(jìn)行檢測。
[0004]例如，在專利文獻(xiàn)I中公開了一種如下結(jié)構(gòu)的物理量傳感器，即，在對可動錘進(jìn)行支承的、以構(gòu)成多邊形的方式而彎折的梁部的內(nèi)側(cè)，設(shè)置有對可動錘的位移進(jìn)行限制的止動部，從而防止可動電極與固定電極的附著或損壞。
[0005]但是，由于在以構(gòu)成多邊形的方式而彎折的梁部的內(nèi)側(cè)設(shè)置有止動部，因此存在由于梁部變大而將對物理量傳感器的小型化造成影響的擔(dān)心。
[0006]專利文獻(xiàn)1:日本特許第3660119號公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]本發(fā)明是為了解決上述的課題的至少一部分而完成的，其能夠作為以下的方式或者應(yīng)用例而實(shí)現(xiàn)。
[0008]應(yīng)用例I
[0009]本應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器的特征在于，具備:元件片，其包括可動錘、和從所述可動錘延伸設(shè)置的可動電極部；固定電極部，其以在所述元件片進(jìn)行位移的第一方向上與所述元件片隔開間隙(dl)的方式而設(shè)置；固定部，其以與所述元件片的端部對置的方式而設(shè)置，在所述可動錘的所述端部上，在與所述固定部對置的位置處設(shè)置有凹部，在所述固定部上，設(shè)置有朝向所述可動錘而延伸的第一止動部，所述第一止動部的頂端被插入至所述凹部內(nèi)，并且所述頂端與所述可動錘之間的間隙(d2 )窄于所述間隙(dl)。
[0010]根據(jù)這種物理量傳感器，設(shè)置有元件片、和與元件片隔開間隙dl而設(shè)置的固定電極部，并且第一止動部的頂端以隔開窄于間隙dl的間隙d2的方式而被插入(松插)至設(shè)置在可動錘上的凹部內(nèi)。由此，在可動錘進(jìn)行了位移的情況下，通過在固定電極部與元件片部抵接之前，第一止動部與設(shè)置在可動錘上的凹部抵接，從而能夠抑制固定電極部與可動電極部的抵接。此外，由于使第一止動部松插至設(shè)置在可動錘上的凹部內(nèi)，因此能夠在不必改變物理量傳感器的大小的情況下設(shè)置第一止動部。
[0011]因此，在元件片過度地進(jìn)行了位移時(shí)，能夠減少固定電極和元件片因抵接(碰撞)而損壞的情況，從而獲得能夠?qū)崿F(xiàn)小型化的物理量傳感器。
[0012]應(yīng)用例2[0013]優(yōu)選為，在上述應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，在凹部上，設(shè)置有在第二方向上延伸設(shè)置的第一突起。
[0014]根據(jù)這種物理量傳感器，在松插有第一止動部的凹部的內(nèi)表面上，設(shè)置有第一突起，所述第一突起以在與第一止動部的延伸方向交叉的第二方向上與第一止動部對置的方式而突出。由此，通過在可動錘在第二方向上進(jìn)行了位移的情況下第一止動部與第一突起抵接，從而能夠減少第一止動部與可動錘之間的接觸面積，進(jìn)而與第一止動部與凹部直接抵接的情況相比能夠緩和因抵接而產(chǎn)生的沖擊。
[0015]因此，即使在可動錘在第二方向上過度地進(jìn)行了位移時(shí)，也能夠防止固定電極部和可動電極部因抵接(碰撞)而損壞的情況。
[0016]應(yīng)用例3
[0017]優(yōu)選為，在上述應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器的第一止動部上，設(shè)置有在第二方向上延伸設(shè)置的第二止動部。
[0018]根據(jù)這種物理量傳感器，在被松插至凹部內(nèi)的第一止動部上，設(shè)置有在第二方向上延伸設(shè)置的第二止動部。
[0019]由此，通過在可動錘在第二方向上進(jìn)行了位移的情況下，設(shè)置在可動錘上的凹部與第二止動部抵接，從而能夠減少第一止動部以及第二止動部與可動錘之間的接觸面積，進(jìn)而與第一止動部與凹部直接抵接的情況相比，能夠緩和因抵接而產(chǎn)生的沖擊。
[0020]因此，即使在可動錘在第二方向上過度地進(jìn)行了位移時(shí)，也能夠抑制固定電極部和可動電極部因抵接(碰撞)而損壞的情況。
[0021]應(yīng)用例4
[0022]優(yōu)選為，在上述應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器的第二止動部上，設(shè)置有在第一方向上延伸設(shè)置的第二突起。
[0023]根據(jù)這種物理量傳感器，在與被松插至凹部內(nèi)的第一止動部交叉的第二止動部上，在第一方向上設(shè)置有第二突起。
[0024]由此，通過在可動錘在第一方向上進(jìn)行了位移的情況下，設(shè)置在第二止動部上的第二突起與可動錘抵接，從而能夠減少第一止動部以及第二止動部與可動錘之間的接觸面積。此外，在可動錘在第一方向上進(jìn)行了位移的情況下，與第二止動部與凹部直接抵接的情況相比，能夠緩和因抵接而產(chǎn)生的沖擊。
[0025]因此，在可動錘在第一方向上過度地進(jìn)行了位移時(shí)，能夠防止固定電極部和可動電極部因抵接(碰撞)而產(chǎn)生的損壞，并且防止第一止動部以及第二止動部的損壞。
[0026]應(yīng)用例5
[0027]在上述應(yīng)用例所涉及的物理量傳感器中，優(yōu)選為，在可動錘上，在與第二止動部對置的位置處設(shè)置有第三突起。
[0028]根據(jù)這種物理量傳感器，在可動錘上，在松插有第二止動部的凹部上，設(shè)置有以與第二止動部對置的方式而突出的第三突起。
[0029]由此，通過在可動錘在第一方向上進(jìn)行了位移的情況下，設(shè)置在可動錘的上第三突起與第二止動部抵接，從而能夠減少第一止動部以及第二止動部與可動錘之間的接觸面積。此外，在可動錘在第一方向上進(jìn)行了位移的情況下，與第二止動部與凹部直接抵接的情況相比，能夠緩和因抵接而產(chǎn)生的沖擊。[0030]因此，在可動錘在第一方向上過度地進(jìn)行了位移時(shí)，能夠抑制固定電極部和可動電極部因抵接(碰撞)而產(chǎn)生的損壞，并且防止第一止動部以及第二止動部的損壞。
[0031]應(yīng)用例6
[0032]本應(yīng)用例所涉及的電子設(shè)備的特征在于，搭載有上述的任一個(gè)的物理量傳感器。
[0033]根據(jù)這種電子設(shè)備，由于通過搭載上述的任一個(gè)的物理量傳感器，從而即使在電子設(shè)備上施加有沖擊的情況下，也能夠抑制物理量傳感器的損壞，繼續(xù)對物理量進(jìn)行檢測，因此能夠獲得可靠性較高的電子設(shè)備。
[0034]應(yīng)用例7
[0035]本應(yīng)用例所涉及的移動體的特征在于，搭載有上述的任一個(gè)的物理量傳感器。
[0036]根據(jù)這種移動體，由于通過搭載有上述的任一個(gè)的物理量傳感器，從而能夠抑制因來自移動體的沖擊而產(chǎn)生的物理量傳感器的損壞，并繼續(xù)對物理量進(jìn)行檢測，因此能夠獲得可靠性較高的移動體。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0037]圖1為模式化地表示第一實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的立體圖。
[0038]圖2為模式化地表示第一實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0039]圖3為模式化地表示第一實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的剖視圖。
[0040]圖4為將第一實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的一部分放大表不的放大圖。
[0041]圖5為模式化地表示第二實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0042]圖6為將改變例所涉及的物理量傳感器的一部分放大表示的放大圖。
[0043]圖7為模式化地表示作為實(shí)施例所涉及的電子設(shè)備的個(gè)人計(jì)算機(jī)的圖。
[0044]圖8為模式化地表示作為實(shí)施例所涉及的電子設(shè)備的移動電話的圖。
[0045]圖9為模式化地表示作為實(shí)施例所涉及的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的圖。
[0046]圖10為模式化地表示作為實(shí)施例所涉及的移動體的汽車的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0047]以下，使用附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行說明。另外，由于在以下所示的各個(gè)附圖中，將各個(gè)構(gòu)成要素設(shè)定為在附圖上可識別的程度的大小，因此存在適當(dāng)?shù)厥垢鱾€(gè)構(gòu)成要素的尺寸或比例與實(shí)際的構(gòu)成要素不同而進(jìn)行記載的情況。
[0048]第一實(shí)施方式
[0049]使用圖1?圖4對第一實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器進(jìn)行說明。
[0050]圖1為，表示第一實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的概要的立體圖。圖2為，表示圖1所示的物理量傳感器的概要的俯視圖。圖3為，模式化地表示用圖2中的線段A-A'表示的部分的剖面的物理量傳感器的剖視圖。圖4為，在圖1以及圖2中所示的止動部的局部放大圖。為了便于說明，在圖2中省略了蓋體的圖示。此外，在圖1?圖4中，作為相互正交的三個(gè)軸，而圖示了 X軸、Y軸、Z軸，Z軸為，表示基板與蓋體重疊的厚度方向上的軸。
[0051]物理量傳感器的結(jié)構(gòu)
[0052]圖1所示的物理量傳感器Ia具有:基板2 ;元件片3，其與該基板2相連接(接合)并被支承；導(dǎo)體圖案4，其與元件片3電連接。以下，對構(gòu)成物理量傳感器Ia的各個(gè)部分依次進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0053]基板
[0054]基板2被設(shè)置用于對元件片3進(jìn)行支承。基板2呈板狀，且在成為其主面的第一面2a上設(shè)置有空穴部21。該空穴部21被設(shè)置為，在從第一面2a側(cè)對基板2進(jìn)行俯視觀察時(shí)，內(nèi)置有構(gòu)成后文敘述的元件片3的可動錘33、可動電極部36、37以及梁部34、35。此外，空穴部21具有內(nèi)底21a。這種空穴部21構(gòu)成抑制元件片3的可動錘33、可動電極部36、37以及梁部34、35與基板2相接觸的空間，換言之構(gòu)成避讓部。由此，能夠榮許元件片3的可動錘33的位移。
[0055]另外，可以代替空穴部21 (凹部)，而將該空間設(shè)置為在基板2的厚度方向(Z軸方向)上貫穿該基板2的開口部。此外，雖然在本實(shí)施方式中，從第一面2a側(cè)對空穴部21進(jìn)行俯視觀察時(shí)的形狀呈矩形，但并不限定于此。
[0056]此外，在基板2的第一面2a上，在前文所述的空穴部21的外側(cè)設(shè)置有配線槽部
22、23、24。在從第一面2a側(cè)俯視觀察時(shí)，該配線槽部22、23、24呈與導(dǎo)體圖案4相對應(yīng)的形狀。
[0057]作為構(gòu)成這種基板2的材料，優(yōu)選為，使用例如硅、玻璃等的材料。此外，在以硅材料作為主要材料而構(gòu)成元件片3的情況下，更優(yōu)選為，基板2使用硼硅酸鹽玻璃。
[0058]另外，優(yōu)選為，基板2的構(gòu)成材料與元件片3的構(gòu)成材料之間的線膨脹率的差值盡可能較小。例如，通過使基板2使用硼硅酸鹽玻璃,而使元件片3使用硅,從而能夠減小基板2與元件片3之間的線膨脹率的差值，進(jìn)而抑制因熱膨脹而產(chǎn)生的變形。
[0059]元件片
[0060]元件片3由固定部31、32、可動錘33、梁部34、35、可動電極部36、37、固定電極部38、39構(gòu)成。
[0061]在這種元件片3中，例如根據(jù)加速度、角速度等的物理量的變化，可動錘33以及可動電極部36、37在使梁部34、35發(fā)生彈性變形的同時(shí)，在圖2所示的箭頭標(biāo)記a的方向、SPX軸方向(+ X軸方向或者一 X軸方向)上進(jìn)行位移。隨著這種位移，可動電極部36與固定電極部38之間的間隙、以及可動電極部37與固定電極部39之間的間隙將分別發(fā)生變化。即，隨著這種位移，可動電極部36與固定電極部38之間的靜電電容、以及可動電極部37與固定電極部39之間的靜電電容的大小將分別發(fā)生變化。
[0062]因此，能夠根據(jù)這些靜電電容，而對加速度、角速度等的物理量進(jìn)行檢測。
[0063]該固定部31、32、可動錘33、梁部34、35以及可動電極部36、37以一體形成的方式而設(shè)置。固定部31、32分別被連接于上述的基板2的第一面2a。具體而言，固定部31相對于基板2的第一面2a的空穴部21而被連接于一 X軸方向側(cè)的部分。此外，固定部32相對于基板2的第一面2a的空穴部21而被連接于+ X軸方向側(cè)的部分。此外，固定部31、32分別被設(shè)置為，在從第一面2a側(cè)俯視觀察時(shí)，跨越空穴部21的外周緣。
[0064]在本實(shí)施方式的物理量傳感器Ia上，設(shè)置有對可動錘33的位移進(jìn)行限制的止動部60。
[0065]在止動部60上設(shè)置有第一止動部62和凹部65，其中，所述第一止動部62朝向第一方向而延伸，所述第一方向?yàn)?，作為可動錘33的位移的方向的、用箭頭標(biāo)記a (參照圖2)而表不的X軸方向(+ X軸方向)，所述凹部65在可動錘33的一端具有與固定部31對置的開口的凹部65。此外，對于止動部60將在后文進(jìn)行敘述。
[0066]另外，固定部31、32的位置以及形狀等是根據(jù)梁部34、35及導(dǎo)體圖案4等的位置以及形狀等而決定的，并不限定于上述的情況。
[0067]可動錘
[0068]可動錘33被設(shè)置在兩個(gè)固定部31、32之間。在本實(shí)施方式中，可動錘33呈在X軸方向上延伸的長條形狀。另外，可動錘33的形狀是根據(jù)構(gòu)成元件片3的各個(gè)部分的形狀、大小等決定的，不限定于上述的情況。
[0069]這種可動錘33經(jīng)由梁部34而與固定部31相連結(jié)，并且經(jīng)由梁部35而與固定部32相連結(jié)。更具體而言，可動錘33的一 X軸方向側(cè)的端部經(jīng)由梁部34而與固定部31相連結(jié)，并且可動錘33的+ X軸方向上的端部經(jīng)由梁部35而與固定部32相連結(jié)。
[0070]該梁部34、35以可動錘33能夠可動的方式而與固定部31、32相連結(jié)。
[0071]梁部34由多個(gè)梁341、342構(gòu)成。梁341、342分別呈在Y軸方向上蜿蜒的同時(shí)在X軸方向上延伸的形狀。
[0072]同樣，梁部35由多個(gè)梁351、352構(gòu)成，所述梁351、352呈在Y軸方向上蜿蜒的同時(shí)在X軸方向上延伸的形狀。
[0073]在本實(shí)施方式中，梁部34、35被構(gòu)成為，主要能夠使可動錘33在圖2中用箭頭標(biāo)記a表示的+ X軸方向以及一 X軸方向上進(jìn)行位移(可動)。
[0074]可動電極部
[0075]在以能夠相對于基板2而在X軸方向上進(jìn)行位移的方式而被支承的可動錘33的寬度方向、即+ Y軸方向側(cè)設(shè)置有可動電極部36，而在成為相反的一側(cè)的一 Y軸方向側(cè)設(shè)置有可動電極部37?？蓜与姌O部36從可動錘33起向+ Y軸方向突出，并以呈梳齒狀的方式排列設(shè)置。同樣，可動電極部37從可動錘33起向一 Y軸方向突出，并以呈梳齒狀的方式排列設(shè)置。
[0076]如此，多個(gè)可動電極部36以及多個(gè)可動電極部37分別在可動錘33可動的X軸方向(在圖2中所示的箭頭標(biāo)記a的方向)上排列設(shè)置。換言之，多個(gè)可動電極部36、37以如下方式而設(shè)置，即，沿著成為可動錘33位移的方向的X軸方向上排列、并且向與位移的方向交叉的Y軸方向的兩側(cè)延伸。
[0077]由此，能夠根據(jù)可動錘33的位移，而使在后文敘述的固定電極部38與可動電極部36,37之間產(chǎn)生的靜電電容發(fā)生變化。
[0078]固定電極部
[0079]固定電極部38以呈相對于上述的可動電極部36隔開間隙dl而嚙合的梳齒狀的方式而設(shè)置。例如，固定電極381、382分別與可動電極部36隔開間隙dl而設(shè)置。
[0080]固定電極部39與上述的固定電極部38同樣地，以呈相對于可動電極部37隔開間隙dl而嚙合的梳齒狀的方式而設(shè)置。例如，固定電極391、392分別與可動電極部37隔開間隙dl而設(shè)置。
[0081]在這種固定電極部38中，與可動錘33相反的一側(cè)的端部相對于基板2的第一面2a的空穴部21而與+ Y軸方向側(cè)的部分相連接。在固定電極部38中，將其被固定的一側(cè)的一端設(shè)為固定端，其相反的一側(cè)的自由端朝向一 Y軸方向延伸設(shè)置。
[0082]在這種固定電極部39中，與可動錘33相反一側(cè)的端部相對于基板2的第一面2a的空穴部21而與一 Y軸方向側(cè)的部分相連接。在固定電極部39中，將其被固定一側(cè)的一端設(shè)為固定端，而其相反的一側(cè)的自由端朝朝十Y軸方向而延伸設(shè)置。
[0083]在此，對于止動部60進(jìn)行詳細(xì)敘述。
[0084]在本實(shí)施方式的物理量傳感器Ia上，設(shè)置有對可動錘33的位移進(jìn)行限制的止動部60。止動部60由第一止動部62和凹部65構(gòu)成。
[0085]在止動部60上設(shè)置有第一止動部62，所述第一止動部62在從固定部31起朝向可動錘33的第一方向(+ X軸方向)上延伸。此外，在止動部60上設(shè)置有凹部65，所述凹部65在可動錘33的一 X軸方向側(cè)的一端上具有與固定部31對置的開口。
[0086]止動部60的第一止動部62朝向第一方向(X軸方向)、且朝向被設(shè)置在可動錘33的凹部65延伸并插入(松插)至凹部65中。另外，第一止動部62以在頂端62a與可動錘33之間隔開間隙d2的方式而被松插至凹部65中。
[0087]止動部60被設(shè)置用于，在可動錘33過度地進(jìn)行了位移的情況下，抑制并排配置的可動電極部36和固定電極部38、以及可動電極部37和固定電極部39因相互接觸而產(chǎn)生的損壞。此外，止動部60被設(shè)置用于，抑制可動電極部36和固定電極部38、以及可動電極部37和固定電極部39因相互接觸而產(chǎn)生的粘合(粘附)、短接(短路)。
[0088]因此，需要在固定電極部38、39與可動電極部36、37接觸之前，使第一止動部62(頂端62a)與可動錘33抵接。
[0089]因此，第一止動部62以如下方式而設(shè)置，即，與頂端62a和可動錘33之間的間隙d2相比，可動電極部36、37和固定電極部38之間的間隙dl較窄。S卩，第一止動部62以間隙dl和間隙d2的幅度的關(guān)系成為間隙dl >間隙d2的方式而從固定部31起延伸設(shè)置。
[0090]由此，在物理量傳感器Ia中，在固定電極部38、39與可動電極部36、37接觸之前，第一止動部62與可動錘33抵接，從而能夠抑制可動錘33的過度的位移。
[0091]導(dǎo)體圖案
[0092]導(dǎo)體圖案4被設(shè)置在前文所述的基板2的第一面2a上。
[0093]導(dǎo)體圖案4由配線41、42、43和電極44、45、46構(gòu)成。
[0094]配線41被設(shè)置在前文所述的基板2的空穴部21的外側(cè)，且以沿著空穴部21的外周的方式而形成。而且，配線41的一端在基板2的第一面2a的外周緣(基板2的第一面2a上的蓋體5的外側(cè)的部分)上與電極44相連接。
[0095]這種配線41與多個(gè)固定電極部38、39中的、例如作為第一固定電極的固定電極381以及作為第三固定電極的固定電極391電連接。
[0096]配線42沿著前文所述的配線41的外側(cè)而設(shè)置。而且，配線42的一端在基板2的第一面2a的外周緣(基板2的第一面2a上的蓋體5的外側(cè)的部分)上與電極45相連接。
[0097]這種配線42與多個(gè)固定電極部38、39中的、例如作為第二固定電極的固定電極382以及作為第四固定電極的固定電極392電連接。
[0098]配線43從基板2上的固定部31起向基板2的第一面2a上的外周緣(基板2上的蓋體5的外側(cè)的部分)延伸設(shè)置。而且，與固定部31相反一側(cè)的配線43的一端在基板2的第一面2a (基板2上的蓋體5的外側(cè)的部分)上與電極46相連接。
[0099]此外，配線41被設(shè)置在設(shè)置于基板2的第一面2a上的配線槽部22 (凹部)內(nèi)。此夕卜，配線42被設(shè)置在設(shè)置于基板2的第一面2a上的配線槽部23 (凹部)內(nèi)。此外，配線43被設(shè)置在設(shè)置于基板2的第一面2a上的配線槽部24 (凹部)內(nèi)。
[0100]作為構(gòu)成這種配線41?43的材料，只要具有導(dǎo)電性即可，并不被特別限定。例如，可以列舉出 ITO (Indium Tin Oxide:氧化銦錫)、IZ0 (Indium Zinc Oxide:氧化銦鋒)、金(Au)、鉬(Pt)、銀(Ag)、銅(Cu)、鋁(Al)或者含有上述材料的合金等，可以使用上述材料中的一種、或者將多種材料組合而使用。
[0101]此外，作為構(gòu)成電極44?46的材料，與前文所述的配線41?43同樣，只要具有導(dǎo)電性即可，并不被特別限定。
[0102]通過這種配線41及電極44、和配線43及電極46，從而能夠經(jīng)由配線41而對第一固定電極(固定電極381)與可動電極部36之間的靜電電容、以及第三固定電極(固定電極391)與可動電極部37之間的靜電電容進(jìn)行測定。
[0103]此外，通過這種配線42及電極45、和配線43及電極46，能夠經(jīng)由配線42而對第二固定電極(固定電極382)與可動電極部36之間的靜電電容、以及第四固定電極(固定電極392)與可動電極部37之間的靜電電容進(jìn)行測定。
[0104]蓋體
[0105]蓋體5被設(shè)置用于對前文所述的元件片3進(jìn)行保護(hù)。
[0106]蓋體5呈板狀，且在其一個(gè)表面(下表面)上設(shè)置有空腔51。該空腔51以容許元件片3的可動錘33以及可動電極部36、37等的位移的方式而形成。
[0107]而且，蓋體5的下表面的與空腔51相比靠外側(cè)的部分與前文所述的基板2的第一面2a相連接。
[0108]作為蓋體5與基板2的連接方法，并不被特別限定，例如，可以采用使用了粘合劑的連接方法、陽極接合(連接)法等。
[0109]此外，作為構(gòu)成蓋體5的材料，只要為適用于連接方法的材料即可，并不被特別限定，例如，在通過粘合材料進(jìn)行連接的情況下可以使用硅材料，在通過陽極接合法進(jìn)行連接的情況下可以使用玻璃材料等。
[0110]根據(jù)上述的第一實(shí)施方式，能夠獲得以下的效果。
[0111]根據(jù)這種物理量傳感器la，第一止動部62的頂端62a以隔開間隙d2的方式而被松插到設(shè)置在可動錘33上的凹部65內(nèi)，所述間隙d2為，窄于固定電極部38、39和可動電極部36、37并排設(shè)置而形成的間隙dl的間隙。
[0112]由此，在可動錘33在第一方向(+ X軸方向)上進(jìn)行了位移的情況下，通過在固定電極部38、39與可動電極部36、37抵接之前，頂端62a與凹部65抵接，從而能夠抑制固定電極部38、39與可動電極部36、37的抵接。此外，由于在設(shè)置于可動錘33上的凹部65內(nèi)松插有第一止動部62，因此能夠在不改變物理量傳感器Ia的大小的情況下抑制固定電極部38、39與可動電極部36、37的抵接。
[0113]因此，能夠在可動錘33過度地進(jìn)行了位移時(shí)，抑制固定電極部38、39和可動電極部36、37由于抵接(碰撞)而損壞的情況，從而獲得能夠?qū)崿F(xiàn)小型化的物理量傳感器la。
[0114]第二實(shí)施方式
[0115]圖5為，模式化地表示第二實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的俯視圖。
[0116]在圖5中，省略了蓋體5的圖示。此外，在圖5中，作為相互正交的三個(gè)軸，而圖示了 X軸、Y軸、Z軸，Z軸為，表示基板和蓋體重疊的厚度方向上的軸。[0117]第二實(shí)施方式的物理量傳感器Ib在設(shè)置有多個(gè)止動部60這一點(diǎn)上，與在第一實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器Ia不同。由于其他的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式相同，因此對不同點(diǎn)進(jìn)行說明，而對于相同的部分標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記并省略說明。
[0118]本實(shí)施方式的物理量傳感器Ib與在第一實(shí)施方式中說明的物理量傳感器Ia相同，具有:基板2 ;元件片3，其與該基板2連接(接合)并被支承；導(dǎo)體圖案4，其與元件片3電連接。此外，元件片3由固定部31、32、可動錘33、梁部34、35、可動電極部36、37、以及固定電極部38、39構(gòu)成。
[0119]在這種物理量傳感器Ib中，例如根據(jù)加速度或角速度等的物理量的變化，可動錘33以及可動電極部36、37在使梁部34、35發(fā)生彈性變形的同時(shí)，在圖5所示的箭頭標(biāo)記a的方向、即X軸方向(+ X軸方向、或者一 X軸方向)上進(jìn)行位移。
[0120]在本實(shí)施方式的物理量傳感器Ib上，設(shè)置有對可動錘33的位移進(jìn)行限制的多個(gè)止動部60。
[0121 ] 止動部60在可動錘33的位移方向上的一 X軸方向側(cè)的一端上設(shè)置有止動部60L，而在可動錘33的位移方向上的+ X軸方向側(cè)的一端上設(shè)置有止動部60R。
[0122]止動部60L由第一止動部62L和凹部65L構(gòu)成。
[0123]在止動部60L上設(shè)置有第一止動部62L，所述第一止動部62L在從固定部31朝向可動錘33的第一方向(+X軸方向)上延伸。此外，在止動部60L上設(shè)置有凹部65L,所述凹部65L在可動錘33的一 X軸方向側(cè)的一端上具有與固定部31對置的開口。
[0124]在止動部60L中，第一止動部62L在第一方向(+ X軸方向)上朝向被設(shè)置在可動錘33上的凹部65L延伸并被松插至凹部65L內(nèi)。另外,第一止動部62L以在頂端62a與可動錘33之間隔開間隙d2的方式而被松插至凹部65L內(nèi)。
[0125]止動部60R由第一止動部62R和凹部65R構(gòu)成。
[0126]在止動部60R上設(shè)置有第一止動部62R，所述第一止動部62R在從固定部32朝向可動錘33的第一方向(一 X軸方向)上延伸。此外，在止動部60R上設(shè)置有凹部65R,所述凹部65R在可動錘33的+ X軸方向側(cè)的一端上具有與固定部32對置的開口。
[0127]在止動部60R中，第一止動部62R在第一方向(一 X軸方向)上朝向被設(shè)置在可動錘33上的凹部65R而延伸并被松插至凹部65R內(nèi)。另外，第一止動部62R以在頂端62a與可動錘33之間隔開間隙d2的方式而被松插至凹部65R內(nèi)。
[0128]在第一實(shí)施方式中，如上所述，止動部60被設(shè)置用于，在可動錘33過度地進(jìn)行了位移的情況下，抑制以一端成為自由端的方式而并排配設(shè)的可動電極部36與固定電極部38、以及可動電極部37與固定電極部39相互接觸而損壞的情況。
[0129]因此，需要在固定電極部38、39與可動電極部36、37接觸之前，使第一止動部62R、62L與可動錘33抵接。
[0130]因此，第一止動部62R、62L以如下方式而設(shè)置，即，與可動電極部36、37和固定電極部38、39之間的間隙dl相比，頂端62a和可動錘33之間的間隙d2較窄。即，第一止動部62R、62L以間隙dl和間隙d2的幅度的關(guān)系成為間隙dl >間隙d2的方式而從固定部31、32起延伸配置。
[0131]由于在本實(shí)施方式的物理量傳感器Ib中，設(shè)置有多個(gè)止動部60，因此即使在可動錘33于圖5所示的箭頭標(biāo)記a (X軸方向)的任一個(gè)方向上進(jìn)行了位移時(shí)，都能夠?qū)υ摽蓜渝N33的位移進(jìn)行限制。
[0132]例如，在可動錘33在+ X軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，可動錘33與止動部60R將會抵接。換言之，在可動錘33在+ X軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，第一止動部62R的頂端62a與凹部65R將會抵接，從而能夠抑制可動錘33的過度位移。
[0133]此外，例如在可動錘33在一 X軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，可動錘33與止動部60L將會抵接。換言之，在可動錘33在一 X軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，第一止動部62L的頂端62a與凹部65L將會抵接，從而能夠抑制可動錘33的過度位移。
[0134]由此，在物理量傳感器Ib中，在固定電極部38、39與可動電極部36、37接觸之前，可動錘33與第一止動部62R、62L將會抵接，從而能夠抑制可動錘33的過度位移。
[0135]此外，由于在凹部65R、65L中松插有第一止動部62R、62L，因此即使在可動錘33在與X軸方向交叉的Y軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，第一止動部62R、62L也將與凹部65R、65L抵接，從而能夠抑制可動錘33的過度位移。
[0136]由于其他方面與第一實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器Ia相同，因此省略說明。
[0137]根據(jù)上述的第二實(shí)施方式，能夠獲得以下的效果。
[0138]根據(jù)這種物理量傳感器lb，由于在可動錘33的X軸方向上的兩端分別設(shè)置有止動部60，因此即便在可動錘33在+X軸方向及一 X軸方向中的任一個(gè)方向上進(jìn)行了位移的情況下，都能夠抑制固定電極部38、39與可動電極部36、37的抵接。此外，由于在被設(shè)置于可動錘33上的凹部65R、65L內(nèi)松插有第一止動部62R、62L，因此能夠在不改變物理量傳感器Ib的大小的情況下，抑制固定電極部38、39與可動電極部36、37的抵接。
[0139]因此，在可動錘33過度地進(jìn)行了位移時(shí)，能夠抑制固定電極部38、39和可動電極部36、37因抵接(碰撞)而損壞的情況，從而獲得能夠?qū)崿F(xiàn)小型化的物理量傳感器lb。
[0140]此外，本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式，能夠?qū)ι鲜龅膶?shí)施方式施加各種變更或改進(jìn)等。以下對改變例進(jìn)行敘述。在此，對于與上述的實(shí)施方式相同的結(jié)構(gòu)部位標(biāo)注相同的附圖標(biāo)記，并省略重復(fù)說明。
[0141]改變例I
[0142]圖6 Ca)為，將改變例I所涉及的物理量傳感器的止動部局部放大了的放大圖。
[0143]在改變例I所涉及的物理量傳感器Ic中，與在各個(gè)實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器la、Ib同樣,設(shè)置有固定電極部38、39、和相對于固定電極部38、39隔開間隙dl而設(shè)置在可動錘33上的可動電極部36、37。此外，在改變例I所涉及的物理量傳感器Ic上設(shè)置有止動部160。
[0144]在改變例I所涉及的物理量傳感器Ic中，止動部160的結(jié)構(gòu)與上述的物理量傳感器la、Ib不同。
[0145]在對改變例I所涉及的物理量傳感器Ic的說明中，對止動部160的部分進(jìn)行說明，對于其他的結(jié)構(gòu)部位等省略說明及圖示。
[0146]在止動部160中設(shè)置有:第一止動部162，其從固定部31起在第一方向(+ X軸方向)上延伸；凹部165，其在可動錘33的一端上具有與固定部31對置的開口。第一止動部162與在第一實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器Ia的止動部60同樣，以在頂端162a和可動錘33之間隔開間隙d2的方式而被松插至凹部165內(nèi)。
[0147]在止動部160中，在松插有第一止動部162的凹部165的內(nèi)表面上，設(shè)置有作為第一突起的突起170，所述突起170在與第一止動部162進(jìn)行延伸的第一方向交叉的第二方向上關(guān)出。
[0148]由此，在可動錘33在Y軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，在止動部160中，由于被松插至凹部165內(nèi)的第一止動部162與設(shè)置在凹部165上的突起170抵接，因此縮小了接觸面積，從而能夠抑制因接觸而產(chǎn)生的沖擊導(dǎo)致可動錘33和該止動部160的損壞。
[0149]此外，在可動錘33在X軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，與在各個(gè)實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器la、lb同樣，由于凹部165與被松插至凹部165內(nèi)的第一止動部162 (頂端162a)抵接，因此能夠抑制固定電極部38、39與可動電極部36、37的接觸以及損壞。
[0150]另外，雖然在本改變例I中，突起170以朝向凹部165的內(nèi)表面對置的方式而設(shè)置，但并不限定于此，也可以以朝向凹部165的內(nèi)表面相互錯(cuò)開的方式而設(shè)置。此外，設(shè)置突起170的個(gè)數(shù)也并不被特別限定。此外，突起170的長度(Y軸方向)及寬度(X軸方向)也并不被特別限定，只要在與第一止動部162之間隔開間隙而設(shè)置即可。
[0151]由于其他的止動部160的結(jié)構(gòu)與在各個(gè)實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器la、lb相同，因此省略說明。
[0152]改變例2
[0153]圖6 (b)為，將改變例2所涉及的物理量傳感器的止動部局部放大了的放大圖。
[0154]在改變例2所涉及的物理量傳感器Id中，與在各個(gè)實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器la、Ib同樣,設(shè)置有固定電極部38、39、和以相對于固定電極部38、39隔開間隙dl的方式而被設(shè)置在可動錘33上的活動電極部36、37。此外，在改變例2所涉及的物理量傳感器Id上設(shè)置有止動部260。
[0155]在改變例2所涉及的物理量傳感器Id中，止動部260的結(jié)構(gòu)與上述的物理量傳感器la、Ib不同。
[0156]在對改變例2所涉及物理量傳感器Id的說明中，對止動部260的部分進(jìn)行說明，對于其他的結(jié)構(gòu)部位等省略說明及圖示。
[0157]在止動部260中設(shè)置有:第一止動部262，其從固定部31起在第一方向(+ X軸方向)上延伸；第二止動部263，其在與第一止動部262交叉的第二方向上延伸，并以與可動錘33隔開間隙d3的方式而設(shè)置。此外，在止動部260上設(shè)置有凹部265，所述凹部265在可動錘33的一端上具有與固定部31對置的開口。
[0158]另外，第一止動部262與在第一實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器Ia的止動部60同樣，以在頂端262a與可動錘33之間隔開間隙d2的方式而被松插至凹部265內(nèi)。
[0159]由此，在可動錘33在Y軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，凹部265和被松插至凹部265內(nèi)的第二止動部263的頂端263a將會抵接。由此，能夠縮小凹部265與第一止動部262之間的接觸面積，從而能夠抑制因接觸而產(chǎn)生的沖擊導(dǎo)致可動錘33和止動部260的損壞。
[0160]此外，在可動錘33在X軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，與在各個(gè)實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器la、lb同樣，由于凹部265與被松插至凹部265內(nèi)的第一止動部262 (頂端262a)抵接，因此能夠抑制固定電極部38、39與可動電極部36、37的接觸及損壞。
[0161]另外，在本改變例2中，第二止動部263從第一止動部262的頂端262a起在第二方向上延伸設(shè)置。第二止動部263并不限定于此，只要在從該第二止動部263的頂端263a延伸的假想線上設(shè)置有凹部265，則可以從第一止動部262的任意的部位起在第二方向上延伸設(shè)置。
[0162]由此,在可動錘33在Y軸方向上進(jìn)行了位移時(shí)，能夠使止動部260 (第二止動部263)與凹部265抵接。
[0163]由于其他的止動部260的結(jié)構(gòu)與在各個(gè)實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器la、lb相同，因此省略說明。
[0164]改變例3
[0165]圖6 (c)為，將改變例3所涉及的物理量傳感器的止動部局部放大了的放大圖。
[0166]在改變例3所涉及的物理量傳感器Ie中，與在各個(gè)實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器la、Ib同樣,設(shè)置有固定電極部38、39、和以相對于固定電極部38、39隔開間隙dl的方式而被設(shè)置在可動錘33上的可動電極部36、37。此外，在改變例3所涉及的物理量傳感器Ie中設(shè)置有止動部360。
[0167]在改變例3所涉及的物理量傳感器Ie中，止動部360的結(jié)構(gòu)與上述的物理量傳感器la、Ib不同。
[0168]在對改變例3所涉及的物理量傳感器Ie的說明中，對止動部360的部分進(jìn)行說明，對于其他的結(jié)構(gòu)部位等省略說明及圖示。
[0169]在止動部360中設(shè)置有:第一止動部362，其從固定部31起在第一方向(+ X軸方向)上延伸；第二止動部363，其在與第一止動部362交叉的第二方向上延伸，并以與可動錘33隔開間隙d3的方式而設(shè)置。
[0170]在第二止動部363上，以在第一方向(+ X軸方向)上與可動錘33對置的方式突出設(shè)置有作為第二突起的突起371。此外，在止動部360上設(shè)置有凹部365，所述凹部365在可動錘33的一端上具有與固定部31對置的開口。
[0171]另外，止動部360以在突起371與可動錘33之間隔開間隙d302的方式而被松插至凹部365內(nèi)。
[0172]此外，突起371與可動錘33之間的間隙d302被設(shè)置為，窄于省略圖示的固定電極部38、39與可動電極部36、37之間的間隙dl。
[0173]由此，在可動錘33在X軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，通過凹部365與設(shè)置在第二止動部363上的突起371抵接，從而能夠縮小第二止動部363與凹部365之間的接觸面積，進(jìn)而能夠抑制因接觸而產(chǎn)生的沖擊導(dǎo)致可動錘33和止動部360的損壞。
[0174]此外，在可動錘33在Y軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，凹部365與第二止動部363(頂端363a)將會抵接，從而能夠抑制可動錘33過度地進(jìn)行位移的情況。
[0175]另外，雖然在本改變例3中，在第二止動部363上設(shè)置有一個(gè)突起371，但并不限定于此，也可以設(shè)置多個(gè)突起371。此外，突起371只要朝向可動錘33突出即可，設(shè)置的位置并不被特別限定。
[0176]由于其他的止動部360的結(jié)構(gòu)與在各個(gè)實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器la、lb相同，因此省略說明。
[0177]改變例4
[0178]圖6 Cd)為，將改變例4所涉及的物理量傳感器的止動部局部放大了的放大圖。
[0179]在改變例4所涉及的物理量傳感器If中，與在上述的各個(gè)實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器la、lb同樣,設(shè)置有固定電極部38、39、和以相對于固定電極部38、39隔開間隙dl的方式而被設(shè)置在可動錘33上的可動電極部36、37。此外，在改變例4所涉及的物理量傳感器If上設(shè)置有止動部460。
[0180]在改變例4所涉及的物理量傳感器If中，止動部460的結(jié)構(gòu)與上述的物理量傳感器la、lb不同。在對改變例4所涉及的物理量傳感器If的說明中，對止動部460的部分進(jìn)行說明，對于其他的結(jié)構(gòu)部位等省略說明及圖示。
[0181]在止動部460中設(shè)置有:第一止動部462，其從固定部31起在第一方向(+X軸方向)上延伸；第二止動部463，其在與第一止動部462交叉的第二方向上延伸，并以與可動錘33之間隔開間隙d3的方式而設(shè)置。此外，在止動部460上設(shè)置有凹部465，所述凹部465在可動錘33的一端上具有與固定部31對置的開口。另外，第一止動部462以與可動錘33之間隔開間隙d3、并且與設(shè)置在可動錘33上的突起472之間隔開間隙d402的方式而被松插至凹部465內(nèi)。
[0182]在凹部465上，以在第一方向(一 X軸方向)上、且與第二止動部463對置的方式突出設(shè)置有作為第三突起的突起472。此外，突起472與第二止動部463之間的間隙d402被設(shè)置為，窄于省略圖示的可動電極部36、37與固定電極部38、39之間的間隙dl。
[0183]由此，在可動錘33在Y軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，通過凹部465與被松插至凹部465內(nèi)的第二止動部463的頂端463a抵接，從而能夠縮小止動部460與凹部465之間的接觸面積。
[0184]此外，在可動錘33在X軸方向上進(jìn)行了位移的情況下，通過第二止動部463與突起472抵接，從而能夠縮小止動部460與凹部465之間的接觸面積。因此，能夠抑制因接觸而產(chǎn)生的沖擊導(dǎo)致可動錘33和止動部460的損壞。
[0185]另外，雖然在本改變例4中，在凹部465上設(shè)置有一個(gè)突起472，但并不限定于此，也可以設(shè)置多個(gè)突起472。此外，突起472只要朝向第二止動部463突出即可，設(shè)置的位置并不被特別限定。
[0186]由于其他的止動部460的結(jié)構(gòu)與在各個(gè)實(shí)施方式中所說明的物理量傳感器la、lb相同，因此省略說明。
[0187]另外，雖然在上述的各個(gè)改變例中，示出了在可動錘33的一 X軸方向側(cè)的一端、即固定部31側(cè)設(shè)置有止動部的一個(gè)示例，但并不限定于此，也可以在可動錘33的+ X軸方向側(cè)的一端、即固定部32側(cè)設(shè)置各個(gè)止動部(160、260、360、460 )。此外，還可以如在第二實(shí)施方式中所示出的物理量傳感器Ib那樣，在可動錘33的X軸方向上的兩端側(cè)分別設(shè)置各個(gè)止動部(160、260、360、460)。
[0188]此外，也可以將上述的改變例1、改變例2乃至4組合而構(gòu)成止動部。
[0189]例如，可以在改變例I中示出的止動部160上，在改變例2所示的第一止動部262的頂端262a上設(shè)置第二止動部263。
[0190]例如，可以在改變例3所示的第二止動部363上設(shè)置突起371。此外，可以在第二止動部363上以與突起170對置的方式設(shè)置突起371。由此，能夠?qū)? X軸方向和一 X軸方向這兩個(gè)方向上的可動錘33的位移進(jìn)行限制。
[0191]例如，可以如改變例4所示在凹部465設(shè)置突起472。
[0192]此外，在上述的實(shí)施方式以及改變例中，各個(gè)止動部的頂端以及各個(gè)突起可以設(shè)定為繪制出圓弧的形狀或錐形形狀。各個(gè)止動部以及各個(gè)突起通過使頂端成為繪制出圓弧的形狀或錐形形狀，從而能夠縮小與可動錘33之間的接觸面積，進(jìn)而能夠緩和與可動錘33抵接時(shí)的沖擊，從而抑制損壞。
[0193]此外，可以采用如下方式，S卩，在上述的實(shí)施方式以及改變例中，從固定部31或固定部32延伸的第一止動部62以從固定部31、32起朝向頂端62a而寬度變窄。通過第一止動部62以朝向頂端62a而寬度變窄的方式而設(shè)置，從而能夠縮小與可動錘33之間的接觸面積，進(jìn)而能夠緩和與可動錘33抵接時(shí)的沖擊，從而抑制損壞。此外，由于在第一止動部62中，與頂端62a相比從固定部31、32延伸的基部的部分的寬度較寬，因此能夠增強(qiáng)第一止動部62的強(qiáng)度。因此，能夠抑制第一止動部62與可動錘33抵接時(shí)的損壞。
[0194]此外，對于從第一止動部62延伸的第二止動部63而言，也可以以朝向頂端63a而寬度變窄的方式而設(shè)置。通過第二止動部63以朝向頂端63a而寬度變窄的方式而設(shè)置，從而能夠縮小與可動錘33之間的接觸面積，進(jìn)而能夠緩和與可動錘33抵接時(shí)的沖擊，從而抑制損壞。此外，由于在第二止動部63中，與頂端63a與相比從固定部31、32延伸的基部的部分的寬度較寬，因此能夠增強(qiáng)第二止動部63的強(qiáng)度。因此，能夠抑制第二止動部63與可動錘33抵接時(shí)的損壞。
[0195]實(shí)施例
[0196]接下來，參照圖7?圖10對應(yīng)用了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式或改變例所涉及的物理量傳感器Ia?If (以下，統(tǒng)稱為物理量傳感器I)中的任意一個(gè)的實(shí)施例進(jìn)行說明。
[0197]電子設(shè)備
[0198]首先，參照圖7?圖9對于應(yīng)用了本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器I的電子設(shè)備進(jìn)行說明。
[0199]圖7為，表示作為具有本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的電子設(shè)備的筆記本式(或者移動式)的個(gè)人計(jì)算機(jī)的結(jié)構(gòu)的概要的立體圖。在該圖中，筆記本式個(gè)人計(jì)算機(jī)1100由具備鍵盤1102的主體部1104、和具備顯示部1008的顯示單元1106構(gòu)成，顯示單元1106以能夠經(jīng)由鉸接結(jié)構(gòu)部而相對于主體部1104進(jìn)行轉(zhuǎn)動的方式被支承。在這種筆記本式個(gè)人計(jì)算機(jī)1100中內(nèi)置有物理量傳感器1，所述物理量傳感器I作為用于對施加在該筆記本式個(gè)人計(jì)算機(jī)1100上的加速度等進(jìn)行檢測并在顯示單元1106上對加速度等進(jìn)行顯示的加速度傳感器等而發(fā)揮功能。
[0200]圖8為，表示作為具備本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器的電子設(shè)備的移動電話(也包括PHS(Personal Handy-phone System:個(gè)人移動電話系統(tǒng)))的結(jié)構(gòu)的概要的立體圖。在該圖中，移動電話1200具備多個(gè)操作按鈕1202、聽筒1204以及話筒1206，并且在操作按鈕1202與聽筒1204之間配置有顯示部1208。在這種移動電話1200中內(nèi)置有物理量傳感器I，所述物理量傳感器I作為用于對施加在移動電話1200上的加速度等進(jìn)行檢測并輔助該移動電話1200的操作的加速度傳感器等而發(fā)揮功能。
[0201]圖9為，表示作為具備本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器I的電子設(shè)備的數(shù)碼照相機(jī)的結(jié)構(gòu)的概要的立體圖。另外，在該圖中，還簡單地圖示了與外部設(shè)備之間的連接。在此，通常的照相機(jī)通過被攝物體的光圖像而對銀銀鹽感光膠片進(jìn)行感光，與此相對，數(shù)碼照相機(jī)1300通過CCD (Charge Coupled Device:電荷稱合裝置)等的攝像元件而對被攝物體的光圖像進(jìn)行光電變換，從而生成攝像信號(圖像信號)。
[0202]在數(shù)碼照相機(jī)1300的殼體(主體)1302的背面上設(shè)置有顯示部1308，并且成為根據(jù)由CXD產(chǎn)生的攝像信號來進(jìn)行顯示的結(jié)構(gòu)，顯示部1308作為將被攝物體顯示為電子圖像的取景器而發(fā)揮功能。此外，在殼體1302的正面?zhèn)?圖中背面?zhèn)?設(shè)置有包括光學(xué)鏡片(攝像光學(xué)系統(tǒng))及C⑶等在內(nèi)的受光單元1304。
[0203]當(dāng)攝影者對被顯示在顯示部1308上的被攝物體圖像進(jìn)行確認(rèn)，并按下快門按鈕1306時(shí)，該時(shí)間點(diǎn)的CXD的攝像信號將被傳送并存儲于存儲器1310中。此外，在該數(shù)碼照相機(jī)1300中，在殼體1302的側(cè)面上設(shè)置有視頻信號輸出端子1312和數(shù)據(jù)通信用的輸入輸出端子1314。而且，如圖所示，根據(jù)需要而在視頻信號輸出端子1312上連接有液晶顯示器1430，在數(shù)據(jù)通信用輸入輸出端子1314上連接有個(gè)人計(jì)算機(jī)1440。并且，成為如下的結(jié)構(gòu)，即，通過預(yù)定的操作，從而使被存儲于存儲器1310中的攝像信號向液晶顯示器1430或個(gè)人計(jì)算機(jī)1440輸出。在這種數(shù)碼照相機(jī)1300中內(nèi)置有物理量傳感器1，所述物理量傳感器I作為為了發(fā)揮在該數(shù)碼照相機(jī)1300掉落時(shí)對數(shù)碼照相機(jī)1300進(jìn)行保護(hù)的功能，而對在由掉落而產(chǎn)生的加速度進(jìn)行檢測的加速度傳感器而發(fā)揮功能。
[0204]另外，本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施方式所涉及的物理量傳感器I除了能夠應(yīng)用于圖7的個(gè)人計(jì)算機(jī)(便攜式個(gè)人計(jì)算機(jī))、圖8的移動電話、圖9的數(shù)碼照相機(jī)之外，還能夠應(yīng)用于如下電子設(shè)備中，例如，噴墨式噴出裝置(例如噴墨式打印機(jī))、電視機(jī)、攝像機(jī)、錄像機(jī)、導(dǎo)航裝置、尋呼機(jī)、電子記事本(也包括附帶通信功能的產(chǎn)品)、電子詞典、臺式電子計(jì)算機(jī)、電子游戲設(shè)備、文字處理器、工作站、可視電話、防盜用影像監(jiān)視器、電子雙筒望遠(yuǎn)鏡、POS (pointof sale:銷售點(diǎn))終端、醫(yī)療設(shè)備(例如，電子體溫計(jì)、血壓計(jì)、血糖儀、心電圖計(jì)測裝置、超聲波診斷裝置、電子內(nèi)窺鏡)、魚群探測器、各種測量設(shè)備、計(jì)量儀器類(例如，車輛、飛機(jī)、火箭、船舶的計(jì)量儀器類)、飛行模擬器等。
[0205]移動體
[0206]圖10為，模式化 地表示作為移動體的一個(gè)示例的汽車的立體圖。汽車1500具備本發(fā)明所涉及的物理量傳感器I。例如，如該圖所示，在作為移動體的汽車1500中，內(nèi)置對該汽車1500的加速度進(jìn)行檢測的物理量傳感器I并對發(fā)動機(jī)的輸出進(jìn)行控制的電子控制單元(EQJ:electronic Control Unit)1508被搭載于車身1507上。此外,物理量傳感器I還能夠廣泛應(yīng)用于車身姿態(tài)控制單元、防抱死制動系統(tǒng)(ABS)、安全氣囊、輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)中。
[0207]符號說明
[0208]la、lb…物理量傳感器；2…基板；2a...第一面；3…兀件片；4…導(dǎo)體圖案；5…蓋體;21…空穴部;21a...內(nèi)底；22、23、24…配線槽部;31、32…固定部；33…可動錘；34、35…梁部；36、37…可動電極部；38、39…固定電極部；41、42、43…配線；44、45、46…電極；51 …空腔;60、160、260、360、460…止動部;62、162、262、362、462…第一止動部；62a、162a、262a、362a、462a…頂端；263、363、463…第二止動部；65、165、265、365、465…凹部；341、342…梁；dl、d2、d3、d302、d402…間隙;1100…個(gè)人計(jì)算機(jī);1200…移動電話;1300…數(shù)碼照相機(jī)；150(l...汽車。
【權(quán)利要求】
1.一種物理量傳感器，其特征在于，具備: 元件片，其包括可動錘、和從所述可動錘延伸設(shè)置的可動電極部； 固定電極部，其以在所述元件片進(jìn)行位移的第一方向上與所述元件片隔開間隙(dl)的方式而設(shè)置； 固定部，其以與所述元件片的端部對置的方式而設(shè)置， 在所述可動錘的所述端部上，在與所述固定部對置的位置處設(shè)置有凹部， 在所述固定部上，設(shè)置有朝向所述可動錘而延伸的第一止動部， 所述第一止動部的頂端被插入至所述凹部內(nèi)，并且所述頂端與所述可動錘之間的間隙(d2)窄于所述間隙(dl)。
2.如權(quán)利要求1所述的物理量傳感器，其特征在于， 所述第一止動部朝向所述第一方向而延伸。
3.如權(quán)利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于， 所述可動電極部在與所述第一方向交叉的第二方向上延伸設(shè)置，所述間隙(dl)為，所述可動電極部與所述固定電極部之間的間隙。
4.如權(quán)利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于， 在所述凹部上，設(shè)置有在與所述第一方向交叉的第二方向上延伸設(shè)置的第一突起。
5.如權(quán)利要求3所述的物理量傳感器，其特征在于， 在所述凹部上，設(shè)置有在與所述第一方向交叉的第二方向上延伸設(shè)置的第一突起。
6.如權(quán)利要求2所述的物理量傳感器，其特征在于， 在所述第一止動部上，設(shè)置有在所述第二方向上延伸設(shè)置的第二止動部。
7.如權(quán)利要求3所述的物理量傳感器，其特征在于， 在所述第一止動部上，設(shè)置有在所述第二方向上延伸設(shè)置的第二止動部。
8.如權(quán)利要求6所述的物理量傳感器，其特征在于， 在所述第二止動部上，設(shè)置有在所述第一方向上延伸設(shè)置的第二突起。
9.如權(quán)利要求7所述的物理量傳感器，其特征在于， 在所述第二止動部上，設(shè)置有在所述第一方向上延伸設(shè)置的第二突起。
10.如權(quán)利要求6所述的物理量傳感器，其特征在于， 在所述可動錘上，在與所述第二止動部對置的位置處設(shè)置有第三突起。
11.如權(quán)利要求7所述的物理量傳感器，其特征在于， 在所述可動錘上，在與所述第二止動部對置的位置處設(shè)置有第三突起。
12.—種電子設(shè)備,其特征在于， 搭載有權(quán)利要求1所述的物理量傳感器。
13.—種移動體，其特征在于， 搭載有權(quán)利要求1所述的物理量傳感器。
【文檔編號】G01D5/241GK103925936SQ201410014610
【公開日】2014年7月16日 申請日期:2014年1月13日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月11日
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