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半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置、系統(tǒng)和方法
【專利摘要】公開了一種半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置、系統(tǒng)和方法，所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置包括：測(cè)試座，用于連接待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器，向處理器傳輸待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器測(cè)量獲得的待校準(zhǔn)測(cè)量值；參考傳感器，用于根據(jù)外部物理量獲取參考測(cè)量值；非易失性存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)預(yù)先測(cè)量的與每一參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值；處理器，分別與所述測(cè)試座、參考傳感器和非易失性存儲(chǔ)器連接，根據(jù)所述參考測(cè)量值查詢對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，并根據(jù)所述參考測(cè)量值和對(duì)應(yīng)修正補(bǔ)償值計(jì)算外部物理量的精確值，根據(jù)所述外部物理量的精確值和所述待校準(zhǔn)測(cè)量值進(jìn)行校準(zhǔn)。該方案可以不依賴精確外部物理量輸入并能精確標(biāo)定校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器，降低生產(chǎn)成本。
【專利說明】半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置、系統(tǒng)和方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體傳感器技術(shù)，具體涉及半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置、系統(tǒng)和方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在制造完成后，半導(dǎo)體傳感器的輸出存在誤差，在出廠之前需要進(jìn)行標(biāo)定校準(zhǔn)。
[0003]圖1是半導(dǎo)體傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示，半導(dǎo)體傳感器包括物理量轉(zhuǎn)換部件11、非易失性存儲(chǔ)器12、校準(zhǔn)寄存器13、數(shù)模轉(zhuǎn)換器14、運(yùn)算放大器15和模數(shù)轉(zhuǎn)換器16。物理量轉(zhuǎn)換部件11對(duì)外部物理量進(jìn)行測(cè)量，將其轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出到運(yùn)算放大器15，同時(shí)，校準(zhǔn)寄存器中13讀取存儲(chǔ)在非易失性存儲(chǔ)器12的校準(zhǔn)值，并通過數(shù)模轉(zhuǎn)換器13轉(zhuǎn)換為模擬電信號(hào)輸出到運(yùn)算放大器15的另一輸入端，運(yùn)算放大器利用校準(zhǔn)信號(hào)對(duì)物理量轉(zhuǎn)換部件11輸出的測(cè)量信號(hào)進(jìn)行修正并放大輸出。模數(shù)轉(zhuǎn)換器16將放大后的信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)輸出。非易失性存儲(chǔ)器12中存儲(chǔ)的校準(zhǔn)值用于對(duì)于半導(dǎo)體傳感器在整個(gè)量程內(nèi)進(jìn)行校準(zhǔn)。標(biāo)定校準(zhǔn)的過程實(shí)際上就是對(duì)每個(gè)半導(dǎo)體傳感器測(cè)量其校準(zhǔn)值并將校準(zhǔn)值寫入非易失性存儲(chǔ)器的過程。
[0004]在現(xiàn)有技術(shù)中，進(jìn)行標(biāo)定校準(zhǔn)時(shí)，通常對(duì)待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器施加一個(gè)精確的外部物理量輸入，然后通過改變半導(dǎo)體傳感器內(nèi)部的校準(zhǔn)寄存器13調(diào)整其輸出，使得其輸出等于外部物理量輸入，然后再將此時(shí)的校準(zhǔn)寄存器13的值固化到半導(dǎo)體傳感器內(nèi)部的非易失性存儲(chǔ)器12，完成校準(zhǔn)。由此可知，外部物理量輸入的精確程度極大影響被校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的標(biāo)定校準(zhǔn)精度，對(duì)于半導(dǎo)體傳感器生產(chǎn)商而言，其所有用于標(biāo)定校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的生產(chǎn)設(shè)備必須都能產(chǎn)生精確的外部物理量輸入。這類設(shè)備體積大，成本高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，提供一種半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置、系統(tǒng)和方法，可以不依賴精確外部物理量輸入仍然能精確標(biāo)定校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器，降低生產(chǎn)成本。
[0006]第一方面，提供一種半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置，包括:
[0007]測(cè)試座，用于連接待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器，向處理器傳輸待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器測(cè)量獲得的待校準(zhǔn)測(cè)量值；
[0008]參考傳感器，用于根據(jù)外部物理量獲取參考測(cè)量值；
[0009]非易失性存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)預(yù)先測(cè)量的與每一參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值；
[0010]處理器，分別與所述測(cè)試座、參考傳感器和非易失性存儲(chǔ)器連接，根據(jù)所述參考測(cè)量值查詢對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，并根據(jù)所述參考測(cè)量值和對(duì)應(yīng)修正補(bǔ)償值計(jì)算外部物理量的精確值，根據(jù)所述外部物理量的精確值和所述待校準(zhǔn)測(cè)量值進(jìn)行校準(zhǔn)。
[0011]優(yōu)選地，還包括通信接口，用于與上位機(jī)通信；
[0012]所述處理器與所述通信接口連接，在預(yù)先測(cè)量參考傳感器的修正補(bǔ)償值時(shí)，通過所述通信接口向所述上位機(jī)傳輸所述參考傳感器的參考測(cè)量值，并接收上位機(jī)計(jì)算的修正補(bǔ)償值，將所述修正補(bǔ)償值存儲(chǔ)至所述非易失性存儲(chǔ)器。[0013]優(yōu)選地，所述處理器在待校準(zhǔn)測(cè)量值和精確值的差值超出待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)范圍時(shí)判定所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器為不合格產(chǎn)品。
[0014]優(yōu)選地，所述參考傳感器的量程大于所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的量程，且所述參考傳感器的精度高于所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的精度。
[0015]第二方面，提供一種半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)，包括第一外部物理量生成裝置、半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置和待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器；
[0016]所述第一外部物理量生成裝置用于生成具有第一誤差的外部物理量；
[0017]所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置包括測(cè)試座、參考傳感器、非易失性存儲(chǔ)器和處理器；
[0018]其中，所述測(cè)試座用于連接所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器，向處理器傳輸待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器測(cè)量獲得的待校準(zhǔn)測(cè)量值；
[0019]參考傳感器用于根據(jù)外部物理量獲取參考測(cè)量值；
[0020]非易失性存儲(chǔ)器用于存儲(chǔ)預(yù)先測(cè)量的與每一參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值；
[0021]處理器分別與所述測(cè)試座、參考傳感器和非易失性存儲(chǔ)器連接，根據(jù)所述參考測(cè)量值查詢對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，并根據(jù)所述參考測(cè)量值和對(duì)應(yīng)修正補(bǔ)償值計(jì)算外部物理量的精確值，根據(jù)所述外部物理量的精確值和所述待校準(zhǔn)測(cè)量值進(jìn)行校準(zhǔn)。
[0022]優(yōu)選地，所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)還包括上位機(jī)和第二外部物理量生成裝置；
[0023]所述第二外部物理量生成裝置用于按照參考傳感器的精度和量程逐一生成具有第二誤差的外部物理量，所述第二誤差小于所述第一誤差；
[0024]所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置還包括通信接口，用于與上位機(jī)通信；
[0025]所述處理器與所述通信接口連接，在預(yù)先測(cè)量參考傳感器修正補(bǔ)償值時(shí)，通過所述通信接口向上位機(jī)傳輸所述參考傳感器測(cè)量每個(gè)所述具有第二誤差的外部物理量獲得的參考測(cè)量值，并接收上位機(jī)計(jì)算獲得的對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，將所述修正補(bǔ)償值存儲(chǔ)至所述非易失性存儲(chǔ)器；
[0026]所述上位機(jī)用于從所述第二外部物理量生成裝置獲取每個(gè)所述具有第二誤差的外部物理量的理論值，根據(jù)所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置上傳的參考測(cè)量值和所述理論值計(jì)算所述修正補(bǔ)償值。
[0027]優(yōu)選地，所述處理器在待校準(zhǔn)測(cè)量值和精確值的差值超出待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)范圍時(shí)判定所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器為不合格產(chǎn)品。
[0028]優(yōu)選地，所述參考傳感器的量程大于所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的量程，且所述參考傳感器的精度高于所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的精度。
[0029]第三方面，提供一種半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)方法，包括:
[0030]獲取待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的待校準(zhǔn)測(cè)量值和參考傳感器測(cè)量獲得的參考測(cè)量值，所述待校準(zhǔn)測(cè)量值和所述參考測(cè)量值為將具有第一誤差的外部物理量同時(shí)施加于待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器和參考傳感器測(cè)量獲得；
[0031]根據(jù)所述參考測(cè)量值查找對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值；
[0032]根據(jù)所述參考測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值計(jì)算所述具有第一誤差的外部物理量的精確值；
[0033]根據(jù)所述待校準(zhǔn)測(cè)量值和所述精確值對(duì)待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)。[0034]優(yōu)選地，所述方法還包括:
[0035]預(yù)先測(cè)量每一參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值。
[0036]優(yōu)選地，所述預(yù)先測(cè)量每一參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值包括:
[0037]根據(jù)所述參考傳感器的精度和量程逐一生成具有第二誤差的外部物理量施加于所述參考傳感器，所述第二誤差小于所述第一誤差；
[0038]獲取參考傳感器測(cè)量獲得的參考測(cè)量值和所述具有第二誤差的外部物理量的理論值；
[0039]根據(jù)所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置上傳的參考測(cè)量值和所述理論值計(jì)算所述參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的所述修正補(bǔ)償值。
[0040]優(yōu)選地，所述方法還包括:
[0041]在待校準(zhǔn)測(cè)量值和精確值的差值超出待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)范圍時(shí)判定所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器為不合格產(chǎn)品。
[0042]優(yōu)選地，所述參考傳感器的量程大于所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的量程，且所述參考傳感器的精度高于所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的精度。
[0043]本發(fā)明設(shè)置參考傳感器與待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器同時(shí)測(cè)量外部物理量，并預(yù)先存儲(chǔ)參考傳感器的參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的精確修正補(bǔ)償值，可以根據(jù)參考傳感器的測(cè)量值和修正補(bǔ)償值獲得精確的當(dāng)前外部物理量取值，并進(jìn)而對(duì)待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)，由此可以在不依賴精確外部物理量輸入的前提下，仍然能精確標(biāo)定校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器，降低了生產(chǎn)成本。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0044]通過以下參照附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的描述，本發(fā)明的上述以及其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將更為清楚，在附圖中:
[0045]圖1為半導(dǎo)體傳感器的示意圖；
[0046]圖2為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)的示意圖；
[0047]圖3為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置的示意圖；
[0048]圖4為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)的示意圖；
[0049]圖5為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置的示意圖；
[0050]圖6為根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)方法的流程圖；
[0051]圖7為根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例一個(gè)優(yōu)選方案的流程圖；
[0052]圖8為根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例一個(gè)優(yōu)選方案的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0053]以下將參照附圖更詳細(xì)地描述本發(fā)明的各種實(shí)施例。在各個(gè)附圖中，相同的元件采用相同或類似的附圖標(biāo)記來表示。為了清楚起見，附圖中的各個(gè)部分沒有按比例繪制。
[0054]圖2為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)的示意圖。圖3為根據(jù)本發(fā)明第一實(shí)施例的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置的示意圖。半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)包括第一外部物理量生成裝置21、半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22和待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器23。
[0055]第一外部物理量生成裝置21用于生成具有第一誤差的外部物理量。在本實(shí)施例中，校準(zhǔn)精度不必依賴于第一外部物理量生成裝置21輸出精確的外部物理量，因此，第一外部物理量生成裝置21的物理量設(shè)定輸出值和輸出的物理量的精確值之間的第一誤差可以為較大的誤差。其中，外部物理量是與待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器23和參考傳感器222類型匹配的物理量，其可以為速度、加速度、角速度、位移、形變、壓力、溫度、氣體、濕度等。
[0056]半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22如圖3所示，其包括測(cè)試座221、參考傳感器222、非易失性存儲(chǔ)器223和處理器224。
[0057]其中，測(cè)試座221用于連接待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器23，向處理器223傳輸待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器23測(cè)量獲得的待校準(zhǔn)測(cè)量值。優(yōu)選地，測(cè)試座221可以形成為具有固定底座的接口，由此可使得待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器23與半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22固定連接，兩者可以方便地置于外部物理量的施加空間中。
[0058]參考傳感器222用于根據(jù)外部物理量獲取參考測(cè)量值。
[0059]非易失性存儲(chǔ)器223用于存儲(chǔ)預(yù)先測(cè)量的與每一參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值。所述修正補(bǔ)償值可以用于修正參考傳感器222輸出的參考測(cè)量值獲得高精度的外部物理量的精確值，外部物理量的精確值是指具有高測(cè)量精度的外部物理量測(cè)量值。
[0060]處理器224分別連接測(cè)試座221、參考傳感器222和非易失性存儲(chǔ)器223，根據(jù)從參考傳感器222獲得的參考測(cè)量值查詢對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，并根據(jù)參考測(cè)量值和對(duì)應(yīng)修正補(bǔ)償值計(jì)算外部物理量的精確值，根據(jù)外部物理量的精確值和從測(cè)試座221獲得的待校準(zhǔn)測(cè)量值進(jìn)行校準(zhǔn)。
[0061]待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器23與半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22的測(cè)試座221連接，用于接收具有第一誤差的外部物理量，并生成待校準(zhǔn)測(cè)量值。
[0062]在本實(shí)施例中，第一外部物理量生成裝置21生成具有第一誤差的外部物理量(也即，精度較低的外部物理量)，并將該外部物理量施加于連接有待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器23的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22，使得待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器23和半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22的參考傳感器222處于相同的外部物理量作用下，兩者分別產(chǎn)生待校準(zhǔn)測(cè)量值和參考測(cè)量值。
[0063]為了實(shí)現(xiàn)精確校準(zhǔn)，在半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22的非易失性存儲(chǔ)器223中預(yù)先存儲(chǔ)與每個(gè)可能的參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值。假設(shè)參考傳感器222測(cè)量外部物理量的量程為L(zhǎng)，其ADC分辨率為N位，則參考傳感器的精度為L(zhǎng)/2n，則每個(gè)可能的參考測(cè)量值等于
n*L/2N, η = 1,2,......2Ν ;由于精度的限制，即使經(jīng)過校準(zhǔn)，參考傳感器222與其所測(cè)量的
外部物理量之間必然存在一定的誤差，而且，在較高精度要求下，每個(gè)參考傳感值與外部物理量的精確值之間的誤差均不相同，因此，為了高精度地獲得最接近外部物理量精確值的取值，需要為每個(gè)參考測(cè)量值配置對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值。上述的修正補(bǔ)償值可以在前在其它的平臺(tái)上對(duì)參考傳感器測(cè)量獲得，然后寫入到非易失性存儲(chǔ)器223。由于參考測(cè)量值與修正補(bǔ)償值之間存在對(duì)應(yīng)關(guān)系，根據(jù)參考測(cè)量值既可以查詢獲得對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，并進(jìn)而根據(jù)參考測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值計(jì)算當(dāng)前施加于參考傳感器的外部物理量的精確值。在本發(fā)明中，修正補(bǔ)償值可以看作將精準(zhǔn)的物理量產(chǎn)生設(shè)備的精確度被復(fù)制下來，并保存在半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22的非易失性存儲(chǔ)器223中，使得對(duì)于半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)過程不必依賴與精確的外部物理量輸入。
[0064]而且，非易失性存儲(chǔ)器223存儲(chǔ)的修正補(bǔ)償值可以定期修改，在半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22使用時(shí)間較長(zhǎng)后，由于參考傳感器222的溫度漂移現(xiàn)象，可能導(dǎo)致其的測(cè)量精度較上一次修正時(shí)出現(xiàn)偏差，此時(shí)，可以通過重新修改修改補(bǔ)償值，針對(duì)當(dāng)前的參考傳感器222的測(cè)量精度進(jìn)行修正，保持半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)精確性。
[0065]在希望校準(zhǔn)精度盡量高的情況下，可以對(duì)每個(gè)可能的參考測(cè)量值均單獨(dú)存儲(chǔ)修正補(bǔ)償值。在存儲(chǔ)空間受限的情況，可以對(duì)連續(xù)的多個(gè)可能的參考測(cè)量值設(shè)置一個(gè)對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值。
[0066]在根據(jù)參考傳感器測(cè)量獲得的參考測(cè)量值和預(yù)先存儲(chǔ)的修正補(bǔ)償值獲得外部物理量的精確值后，處理器即可根據(jù)外部物理量的精確值和待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器測(cè)量獲得的待校準(zhǔn)測(cè)量值進(jìn)行校準(zhǔn)。
[0067]優(yōu)選地，通過調(diào)整校準(zhǔn)寄存器值來進(jìn)行校準(zhǔn)。也即，按照最小步長(zhǎng)調(diào)整待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)寄存器的校準(zhǔn)值(例如，每次對(duì)校準(zhǔn)寄存器值加一)，然后比較經(jīng)校準(zhǔn)輸出的待校準(zhǔn)測(cè)量值和精確值是否相同，如果不相同，則繼續(xù)調(diào)整校準(zhǔn)寄存器的校準(zhǔn)值，如果相同，則將該校準(zhǔn)值寫入待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的非易失性存儲(chǔ)器保存，完成校準(zhǔn)。
[0068]優(yōu)選地，如果校準(zhǔn)寄存器所有可能的校準(zhǔn)值均進(jìn)行測(cè)試，沒有一次待校準(zhǔn)測(cè)量值與精確值相同，則認(rèn)定該待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器為不合格產(chǎn)品。
[0069]當(dāng)然，也可以直接計(jì)算外部物理量的精確值和待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器測(cè)量獲得的待校準(zhǔn)測(cè)量值的差值進(jìn)行校準(zhǔn)。
[0070]優(yōu)選地，如果該差值超出了待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)范圍，也即誤差過大，則認(rèn)定該待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器為不合格產(chǎn)品。
[0071]本實(shí)施例通過設(shè)置參考傳感器與待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器同時(shí)測(cè)量外部物理量，并預(yù)先存儲(chǔ)參考傳感器的參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的精確修正補(bǔ)償值，可以根據(jù)參考傳感器的測(cè)量值和修正補(bǔ)償值獲得精確的當(dāng)前外部物理量取值，并進(jìn)而對(duì)待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)，可以在不依賴精確外部物理量輸入的前提下，仍然能精確標(biāo)定校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器，降低了生產(chǎn)成本。
[0072]圖4為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)的示意圖。圖5為根據(jù)本發(fā)明第二實(shí)施例的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置的示意圖。圖4和圖5中，相同的部件使用相同的附圖標(biāo)記標(biāo)識(shí)。本實(shí)施例與第一實(shí)施例的不同在于，本實(shí)施例的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)和裝置相互配合可以實(shí)現(xiàn)對(duì)于修正補(bǔ)償值的測(cè)量和獲取。
[0073]在本實(shí)施例中，除與第一實(shí)施例相同的裝置外，半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)還包括上位機(jī)41和第二外部物理量生成裝置42。上位機(jī)41與第二外部物理量生成裝置42連接，用于與半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置配合，測(cè)量和存儲(chǔ)參考傳感器的修正補(bǔ)償值，修正補(bǔ)償值用于。
[0074]同時(shí)，半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22 ’如圖5所示，其包括測(cè)試座221、參考傳感器222、非易失性存儲(chǔ)器223、處理器224和通信接口 225。
[0075]其中，第二外部物理量生成裝置42用于按照參考傳感器的精度和量程逐一生成具有第二誤差的外部物理量(也即，高精度的外部物理量)。為了精確地測(cè)量修正補(bǔ)償值，第二外部物理量生成裝置42為高精度生成裝置，其生成的外部物理的第二誤差遠(yuǎn)小于進(jìn)行校準(zhǔn)是所使用的第一外部物理量生成裝置21的第一誤差。
[0076]為了進(jìn)行修正補(bǔ)償值測(cè)量和存儲(chǔ)，半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22’還包括通信接口225，其用于與上位機(jī)41通信。
[0077]同時(shí)，處理器224與通信接口 224連接，在預(yù)先測(cè)量參考傳感器修正補(bǔ)償值時(shí)，通過通信接口 225向上位機(jī)41傳輸參考傳感器222測(cè)量的每個(gè)具有第二誤差的外部物理量獲得的參考測(cè)量值，并接收上位機(jī)計(jì)算獲得的對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，將修正補(bǔ)償值存儲(chǔ)至非易失性存儲(chǔ)器223。
[0078]上位機(jī)41用于從第二外部物理量生成裝置42獲取每個(gè)具有第二誤差的外部物理量的理論值，根據(jù)半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22’上傳的參考測(cè)量值和理論值計(jì)算該參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，并將修正補(bǔ)償值通過通信接口 224傳輸給處理器224。
[0079]在進(jìn)行修正補(bǔ)償值測(cè)量時(shí)，半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22’不必連接待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器，第二外部物理量生成裝置42生成高精度的外部物理量施加到半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22’，為了獲得每個(gè)可能的參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，需要進(jìn)行多次測(cè)量。每次根據(jù)參考傳感器的精度和量程逐一生成具有第二誤差的外部物理量，可以遞增生成，也可以遞減生成或以其它方式生成，然后，上位機(jī)41讀取外部物理量生成裝置42當(dāng)前施加給導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22’的外部物理量的取值(稱該取值為理論值)。根據(jù)該理論值和導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22’上傳的參考傳感器222測(cè)量獲得的參考測(cè)量值，上位機(jī)41可以計(jì)算獲得對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值。
[0080]例如，假設(shè)參考傳感器222測(cè)量外部物理量的量程為L(zhǎng)，其ADC分辨率為N位，則參
考傳感器的精度為L(zhǎng)/2n,則每個(gè)可能的參考測(cè)量值等于n*L/2N，η = 1,2,......2Ν ;由于精
度的限制，即使經(jīng)過校準(zhǔn)，參考傳感器222與其所測(cè)量的外部物理量之間必然存在一定的誤差，而且，在較高精度要求下，每個(gè)參考傳感值與外部物理量的精確值之間的誤差均不相同，因此，為了高精度地獲得最接近外部物理量精確值的取值，需要為每個(gè)參考測(cè)量值配置對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值。
[0081]在對(duì)精度要求較高時(shí)，可以進(jìn)行2Ν次測(cè)量，為每一個(gè)可能的參考測(cè)量值計(jì)算對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值。
[0082]在對(duì)精度要求相對(duì)低時(shí)，可以將參考傳感器的量程范圍劃分為多個(gè)區(qū)域，對(duì)每個(gè)區(qū)域進(jìn)行一次測(cè)量，計(jì)算對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，該區(qū)域內(nèi)的多個(gè)可能的參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)于一個(gè)修正補(bǔ)償值，由此可以減少非易失性存儲(chǔ)器223的空間要求，同時(shí)加快修正補(bǔ)償值的獲取。
[0083]在本發(fā)明中，修正補(bǔ)償值可以看作將精準(zhǔn)的物理量產(chǎn)生設(shè)備的精確度被復(fù)制下來，并保存在半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22的非易失性存儲(chǔ)器223中，使得對(duì)于半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)過程不必依賴與精確的外部物理量輸入。
[0084]而且，本實(shí)施例的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置可以方便對(duì)非易失性存儲(chǔ)器223存儲(chǔ)的修正補(bǔ)償值進(jìn)行修改，在半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置22使用時(shí)間較長(zhǎng)后，由于參考傳感器222的溫度漂移現(xiàn)象，可能導(dǎo)致其的測(cè)量精度較上一次修正時(shí)出現(xiàn)偏差，此時(shí)，可以通過重新修改修改補(bǔ)償值，針對(duì)當(dāng)前的參考傳感器222的測(cè)量精度進(jìn)行修正，保持半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)精確性。
[0085]本實(shí)施例通過設(shè)置上位機(jī)和高精度的第二外部物理量生成裝置，可以使得半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置直接測(cè)量獲取修正補(bǔ)償值，可以通過少量的高精度的第二外部物理量生成裝置來制造大量具備高精度校準(zhǔn)能力的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置。而且，由于半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置制造完成后獲取修正補(bǔ)償值，電路穩(wěn)定性強(qiáng)，相對(duì)于單獨(dú)對(duì)參考傳感器測(cè)量修正補(bǔ)償值后再將其安裝到半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置的方式，操作簡(jiǎn)單，自動(dòng)化程度高。[0086]圖6為根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)方法的流程圖。所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)方法包括:
[0087]步驟610、獲取待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的待校準(zhǔn)測(cè)量值和參考傳感器測(cè)量獲得的參考測(cè)量值。待校準(zhǔn)測(cè)量值和參考測(cè)量值為將具有第一誤差的外部物理量同時(shí)施加于待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器和參考傳感器測(cè)量獲得。
[0088]也即，通過將具有第一誤差的外部物理量同時(shí)施加于待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器和參考傳感器分別從上述兩個(gè)傳感器獲取待校準(zhǔn)測(cè)量值和參考測(cè)量值。
[0089]在本實(shí)施例中，校準(zhǔn)精度不必依賴于該具有第一誤差的外部物理量，因此，第一誤差可以為較大的誤差。其中，外部物理量是與待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器和參考傳感器類型匹配的物理量，其可以為速度、加速度、角速度、位移、形變、壓力、溫度、氣體、濕度等。
[0090]步驟620、根據(jù)參考測(cè)量值查找對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值。
[0091]具體地，修正補(bǔ)償值為預(yù)先測(cè)量和存儲(chǔ)的值，且與參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)設(shè)置。其可以通過預(yù)先對(duì)參考傳感器的量程內(nèi)的所有或部分可能值進(jìn)行測(cè)量獲得。每個(gè)修正補(bǔ)償值與至少一個(gè)可能的參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)。
[0092]在希望校準(zhǔn)精度盡量高的情況下，可以對(duì)每個(gè)可能的參考測(cè)量值均單獨(dú)存儲(chǔ)修正補(bǔ)償值。在存儲(chǔ)空間受限的情況，可以對(duì)連續(xù)的多個(gè)可能的參考測(cè)量值設(shè)置一個(gè)對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值。
[0093]步驟630、根據(jù)參考測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值計(jì)算具有第一誤差的外部物理量的精確值。
[0094]步驟640、根據(jù)待校準(zhǔn)測(cè)量值和精確值對(duì)待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)，也即，計(jì)算校準(zhǔn)值并將其寫入待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器內(nèi)部的非易失性存儲(chǔ)器中。
[0095]優(yōu)選地，可以按照最小步長(zhǎng)調(diào)整待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)寄存器的校準(zhǔn)值，然后比較校準(zhǔn)寄存器輸出的待校準(zhǔn)測(cè)量值和精確值是否相同，如果不相同，則繼續(xù)調(diào)整校準(zhǔn)寄存器的校準(zhǔn)值，如果相同，則將該校準(zhǔn)值寫入待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的非易失性存儲(chǔ)器保存，完成校準(zhǔn)。
[0096]當(dāng)然，也可以直接計(jì)算差值作為校準(zhǔn)值進(jìn)行校準(zhǔn)。
[0097]圖7為根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例一個(gè)優(yōu)選方案的流程圖。在該優(yōu)選方案中，所述方法還包括步驟650，也即:
[0098]步驟650、如果待校準(zhǔn)測(cè)量值和精確值的差值超出待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)范圍，則判定待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器為不合格產(chǎn)品。
[0099]具體地，在通過遍歷方式搜索校準(zhǔn)值的方案中，如果遍歷完所有可能的校準(zhǔn)值后，待校準(zhǔn)測(cè)量值均與精確值不相等，則可以判定待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器為不合格產(chǎn)品。
[0100]也即，如果差值超出待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)范圍，則可判定待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器為不合格產(chǎn)品。
[0101]圖8為根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例一個(gè)優(yōu)選方案的流程圖。在該優(yōu)選方案中，在進(jìn)行校準(zhǔn)前，所述方法還包括步驟600，也即:
[0102]步驟600、預(yù)先測(cè)量每一參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值。
[0103]所述修正補(bǔ)償值可以用于修正參考傳感器輸出的參考測(cè)量值以獲得高精度的外部物理量的精確值，外部物理量的精確值是指具有高測(cè)量精度的外部物理量測(cè)量值。[0104]具體地，步驟600可以包括如下子步驟:
[0105]步驟601、根據(jù)參考傳感器的精度和量程逐一生成具有第二誤差的外部物理量施加于所述參考傳感器，所述第二誤差小于所述第一誤差。
[0106]在進(jìn)行修正補(bǔ)償值測(cè)量時(shí)，需要生成高精度的外部物理量施加到半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置，為了獲得每個(gè)可能的參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，需要進(jìn)行多次測(cè)量。每次根據(jù)參考傳感器的精度和量程逐一生成具有第二誤差的外部物理量，可以遞增生成，也可以遞減生成或以其它方式生成。
[0107]步驟602、獲取參考傳感器測(cè)量獲得的參考測(cè)量值和所述具有第二誤差的外部物
理量的理論值。
[0108]步驟603、根據(jù)所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置上傳的參考測(cè)量值和所述理論值計(jì)算所述參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的所述修正補(bǔ)償值。
[0109]本優(yōu)選方案可以通過少量的高精度的第二外部物理量生成裝置來制造大量具備高精度校準(zhǔn)能力的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置。
[0110]在本發(fā)明中，修正補(bǔ)償值可以看作將精準(zhǔn)的物理量產(chǎn)生設(shè)備的精確度被復(fù)制下來，并保存在半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置中，使得對(duì)于半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)過程不必依賴與精確的外部物理量輸入。
[0111]而且，非易失性存儲(chǔ)器存儲(chǔ)的修正補(bǔ)償值可以定期修改，在半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置使用時(shí)間較長(zhǎng)后，由于參考傳感器溫度漂移現(xiàn)象，可能導(dǎo)致其的測(cè)量精度較上一次修正時(shí)出現(xiàn)偏差，此時(shí)，可以通過重新修改修改補(bǔ)償值，針對(duì)當(dāng)前的參考傳感器的測(cè)量精度進(jìn)行修正，保持半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置的校準(zhǔn)精確性。
[0112]本實(shí)施例通過設(shè)置參考傳感器與待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器同時(shí)測(cè)量外部物理量，并預(yù)先存儲(chǔ)參考傳感器的參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的精確修正補(bǔ)償值，可以根據(jù)參考傳感器的測(cè)量值和修正補(bǔ)償值獲得精確的當(dāng)前外部物理量取值，并進(jìn)而對(duì)待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)，可以不依賴精確外部物理量輸入并能精確標(biāo)定校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器，降低了生產(chǎn)成本。
[0113]依照本發(fā)明的實(shí)施例如上文所述，這些實(shí)施例并沒有詳盡敘述所有的細(xì)節(jié)，也不限制該發(fā)明僅為所述的具體實(shí)施例。顯然，根據(jù)以上描述，可作很多的修改和變化。本說明書選取并具體描述這些實(shí)施例，是為了更好地解釋本發(fā)明的原理和實(shí)際應(yīng)用，從而使所屬【技術(shù)領(lǐng)域】技術(shù)人員能很好地利用本發(fā)明以及在本發(fā)明基礎(chǔ)上的修改使用。本發(fā)明的保護(hù)范圍應(yīng)當(dāng)以本發(fā)明權(quán)利要求所界定的范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，包括: 測(cè)試座，用于連接待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器，向處理器傳輸待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器測(cè)量獲得的待校準(zhǔn)測(cè)量值； 參考傳感器，用于根據(jù)外部物理量獲取參考測(cè)量值； 非易失性存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)預(yù)先測(cè)量的與每一參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值； 處理器，分別與所述測(cè)試座、參考傳感器和非易失性存儲(chǔ)器連接，根據(jù)所述參考測(cè)量值查詢對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，并根據(jù)所述參考測(cè)量值和對(duì)應(yīng)修正補(bǔ)償值計(jì)算外部物理量的精確值，根據(jù)所述外部物理量的精確值和所述待校準(zhǔn)測(cè)量值進(jìn)行校準(zhǔn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，還包括通信接口，用于與上位機(jī)通信； 所述處理器與所述通信接口連接，在預(yù)先測(cè)量參考傳感器的修正補(bǔ)償值時(shí)，通過所述通信接口向所述上位機(jī)傳輸所述參考傳感器的參考測(cè)量值，并接收上位機(jī)計(jì)算的修正補(bǔ)償值，將所述修正補(bǔ)償值存儲(chǔ)至所述非易失性存儲(chǔ)器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述處理器在待校準(zhǔn)測(cè)量值和精確值的差值超出待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)范圍時(shí)判定所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器為不合格產(chǎn)品。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置，其特征在于，所述參考傳感器的量程大于所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的量程，且所述參考傳感器的精度高于所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的精度。
5.一種半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，包括第一外部物理量生成裝置、半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置和待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器； 所述第一外部物理量生成裝置用于生成具有第一誤差的外部物理量； 所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置包括測(cè)試座、參考傳感器、非易失性存儲(chǔ)器和處理器； 其中，所述測(cè)試座用于連接所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器，向處理器傳輸待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器測(cè)量獲得的待校準(zhǔn)測(cè)量值； 參考傳感器用于根據(jù)外部物理量獲取參考測(cè)量值； 非易失性存儲(chǔ)器用于存儲(chǔ)預(yù)先測(cè)量的與每一參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值； 處理器分別與所述測(cè)試座、參考傳感器和非易失性存儲(chǔ)器連接，根據(jù)所述參考測(cè)量值查詢對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，并根據(jù)所述參考測(cè)量值和對(duì)應(yīng)修正補(bǔ)償值計(jì)算外部物理量的精確值，根據(jù)所述外部物理量的精確值和所述待校準(zhǔn)測(cè)量值進(jìn)行校準(zhǔn)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)還包括上位機(jī)和第二外部物理量生成裝置； 所述第二外部物理量生成裝置用于按照參考傳感器的精度和量程逐一生成具有第二誤差的外部物理量，所述第二誤差小于所述第一誤差； 所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置還包括通信接口，用于與上位機(jī)通信； 所述處理器與所述通信接口連接，在預(yù)先測(cè)量參考傳感器修正補(bǔ)償值時(shí)，通過所述通信接口向上位機(jī)傳輸所述參考傳感器測(cè)量每個(gè)所述具有第二誤差的外部物理量獲得的參考測(cè)量值，并接收上位機(jī)計(jì)算獲得的對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值，將所述修正補(bǔ)償值存儲(chǔ)至所述非易失性存儲(chǔ)器；所述上位機(jī)用于從所述第二外部物理量生成裝置獲取每個(gè)所述具有第二誤差的外部物理量的理論值，根據(jù)所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置上傳的參考測(cè)量值和所述理論值計(jì)算所述修正補(bǔ)償值。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述處理器在待校準(zhǔn)測(cè)量值和精確值的差值超出待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)范圍時(shí)判定所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器為不合格產(chǎn)品。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)系統(tǒng)，其特征在于，所述參考傳感器的量程大于所述待校 準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的量程，且所述參考傳感器的精度高于所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的精度。
9.一種半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，包括: 獲取待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的待校準(zhǔn)測(cè)量值和參考傳感器測(cè)量獲得的參考測(cè)量值，所述待校準(zhǔn)測(cè)量值和所述參考測(cè)量值為將具有第一誤差的外部物理量同時(shí)施加于待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器和參考傳感器測(cè)量獲得； 根據(jù)所述參考測(cè)量值查找對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值； 根據(jù)所述參考測(cè)量值和對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值計(jì)算所述具有第一誤差的外部物理量的精確值； 根據(jù)所述待校準(zhǔn)測(cè)量值和所述精確值對(duì)待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，還包括: 預(yù)先測(cè)量每一參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述預(yù)先測(cè)量每一參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的修正補(bǔ)償值包括: 根據(jù)所述參考傳感器的精度和量程逐一生成具有第二誤差的外部物理量施加于所述參考傳感器，所述第二誤差小于所述第一誤差； 獲取參考傳感器測(cè)量獲得的參考測(cè)量值和所述具有第二誤差的外部物理量的理論值； 根據(jù)所述半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)裝置上傳的參考測(cè)量值和所述理論值計(jì)算所述參考測(cè)量值對(duì)應(yīng)的所述修正補(bǔ)償值。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述方法還包括: 在待校準(zhǔn)測(cè)量值和精確值的差值超出待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的校準(zhǔn)范圍時(shí)判定所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器為不合格產(chǎn)品。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體傳感器校準(zhǔn)方法，其特征在于，所述參考傳感器的量程大于所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的量程，且所述參考傳感器的精度高于所述待校準(zhǔn)半導(dǎo)體傳感器的精度。
【文檔編號(hào)】G01D18/00GK103968876SQ201410175473
【公開日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2014年4月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月29日
【發(fā)明者】張波, 蔣登峰, 魏建中 申請(qǐng)人:杭州士蘭微電子股份有限公司