一種新型的激光功率計的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種新型的激光功率計,包括熱電堆型光功率探頭、光電二極管型激光功率探頭;所述熱電堆型光功率探頭與光電二極管型激光功率探頭通過導(dǎo)線相連接;所述熱電堆型光功率探頭直接探測入射光的平均功率;所述光電二極管型激光功率探頭探測入射光照射到熱電堆型探測器上的散射光;所述光電二極管型激光功率探頭正前方放置連續(xù)型衰減片。本實(shí)用新型設(shè)計合理,顯著改善了熱堆型激光功率計的瞬時響應(yīng)特性。
【專利說明】一種新型的激光功率計
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于光學(xué)儀器領(lǐng)域,具體地說是一種能夠快速響應(yīng)瞬時變化的高功率激光功率計,適用于高功率激光測量時,需要檢測激光功率的瞬時突然變化的情況。
【背景技術(shù)】
[0002]激光功率計是用來測試連續(xù)激光的功率或者脈沖激光在某一段時間的平均功率的儀器。激光功率計一般由探頭和顯示設(shè)備組成,激光功率計探頭按照不同的原理和材料分為熱電堆型、光電二極管型。熱電堆型激光功率計通過熱電堆結(jié)構(gòu)將光能轉(zhuǎn)換成熱量,再轉(zhuǎn)換為電信號輸出,通過校準(zhǔn)來精確測量激光功率的大小。而光電二極管型探頭通過光電二極管,直接將光能轉(zhuǎn)換為電流或者電壓信號,再通過校準(zhǔn)來精確測量激光功率的大小。
[0003]熱電堆型激光功率探頭和光電二極管型各自有明顯的優(yōu)缺點(diǎn):常用于高功率連續(xù)激光的功率測試的探頭為表面吸收結(jié)構(gòu)激光熱電堆型激光功率計。激光熱電堆型激光功率計表面吸收材料種類較多,對應(yīng)不同的吸收光譜和不同的功率密度損傷閾值。從紫外到遠(yuǎn)紅外波段均可使用,測量范圍也可以從mW量級到數(shù)kW量級,但這種類型的探頭測量連續(xù)激光輻照時響應(yīng)時間很慢,通常需要幾分鐘才能達(dá)到熱平衡。
[0004]光電二極管型激光功率計探頭,通常對使用波長有一定限制,比如Si光電二極管通常只能測量I微米以內(nèi)的光,更適合測量功率較小的激光,通常能夠直接探測IpW到數(shù)百mW的,加了特定波段的綠光片,通??梢詼y量3W以內(nèi)的激光。但光電二極管型探頭的響應(yīng)時間非???,響應(yīng)頻率非常高,如硅光電二極管幾百M(fèi)Hz?上千MHz,即響應(yīng)時間ns量級;PIN光電二極管_10GHz,雪崩光電二極管IOOGHz,即響應(yīng)時間為ps量級。為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提出一種能夠快速響應(yīng)瞬時變化的高功率激光功率計。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]針對上述問題,本實(shí)用新型旨在提供一種新型的激光功率計。
[0006]為實(shí)現(xiàn)該技術(shù)目的,本實(shí)用新型的方案是:一種新型的激光功率計,包括熱電堆型光功率探頭、光電二極管型激光功率探頭;所述熱電堆型光功率探頭與光電二極管型激光功率探頭通過導(dǎo)線相連接;所述熱電堆型光功率探頭直接探測入射光的平均功率;所述光電二極管型激光功率探頭探測入射光照射到熱電堆型探測器上的散射光;所述光電二極管型激光功率探頭正前方放置連續(xù)型衰減片。
[0007]作為優(yōu)選,所述熱電堆型光功率探頭容許探測的連續(xù)激光的功率大于3W,響應(yīng)時間為分鐘左右。
[0008]作為優(yōu)選,所述光電二極管型激光功率探頭容許探測的散射光功率為幾百mW以內(nèi),準(zhǔn)確響應(yīng)時間約為ns量級、甚至ps量級。
[0009]作為優(yōu)選,所述連續(xù)型衰減片用來控制照射到光電二極管探頭上強(qiáng)度,讓光電二極管探頭出于線性響應(yīng)區(qū)。
[0010]作為優(yōu)選,所述熱電堆型光功率探頭輸出的信號米用數(shù)值型表頭輸出,而光電二極管型激光功率探頭采用指針型、模擬指針型表頭或者歷史軌跡型表頭輸出。
[0011]有益效果
[0012]本實(shí)用新型設(shè)計合理,顯著改善了熱堆型激光功率計的瞬時響應(yīng)特性。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0013]圖1為ー種新型激光功率計的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0014]圖2為線性衰減片保證光電ニ極管處于線性響應(yīng)區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0015]圖3為旋轉(zhuǎn)衰減片保證光電ニ極管處于線性響應(yīng)區(qū)的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0016]圖中:熱電堆型光功率探頭1、光電ニ極管型激光功率探頭2、線性衰減片3、旋轉(zhuǎn)衰減片4。
【具體實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對本實(shí)用新型做進(jìn)ー步詳細(xì)說明。
[0018]如圖1所示,本實(shí)用新型實(shí)施例的ー種新型的激光功率計,包括熱電堆型光功率探頭1、光電ニ極管型激光功率探頭2 ;所述熱電堆型光功率探頭I與光電ニ極管型激光功率探頭2通過導(dǎo)線相連接;所述熱電堆型光功率探頭I直接探測入射光的平均功率;所述光電ニ極管型激光功率探頭2探測入射光照射到熱電堆型探測器上的散射光;所述光電ニ極管型激光功率探頭2正前方放置連續(xù)型衰減片。
[0019]作為優(yōu)選,所述熱電堆型光功率探頭I容許探測的連續(xù)激光的功率大于3W,響應(yīng)時間為I分鐘左右。
[0020]作為優(yōu)選,所述光電ニ極管型激光功率探頭2容許探測的散射光功率為幾百mW以內(nèi),準(zhǔn)確響應(yīng)時間約為ns量級、甚至ps量級。
[0021]作為優(yōu)選,所述連續(xù)型衰減片用來控制照射到光電ニ極管探頭2上強(qiáng)度,讓光電ニ極管探頭2出于線性響應(yīng)區(qū)。
[0022]作為優(yōu)選,所述熱電堆型光功率探頭I輸出的信號米用數(shù)值型表頭輸出,而光電ニ極管型激光功率探頭2采用指針型、模擬指針型表頭或者歷史軌跡型表頭輸出。
[0023]以上所述,僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例,并不用以限制本實(shí)用新型,凡是依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何細(xì)微修改、等同替換和改進(jìn),均應(yīng)包含在本實(shí)用新型技術(shù)方案的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種新型的激光功率計,包括熱電堆型光功率探頭、光電二極管型激光功率探頭;其特征在于:所述熱電堆型光功率探頭與光電二極管型激光功率探頭通過導(dǎo)線相連接;所述光電二極管型激光功率探頭正前方放置連續(xù)型衰減片。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型的激光功率計,其特征在于:所述熱堆型探測器型號采用數(shù)值型表頭輸出。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型的激光功率計,其特征在于:所述光電二極管型探測器表頭采用指針型、模擬指針型表頭或歷史軌跡型表頭輸出。
【文檔編號】G01J1/42GK203443667SQ201320587733
【公開日】2014年2月19日 申請日期:2013年9月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月22日
【發(fā)明者】汪曉波, 楊冰, 李翔, 張榕光 申請人:蘇州紅藍(lán)光電科技有限公司