久久一区二区免费播放,国产在线欧美日韩一区二区,国产综合色在线视频,精品伊人久久久香线蕉,精品视频麻豆网站,玖玖国产,国内精品久久久久影,在线观看精品视频一区二区三区,午夜久久影院,国产精品一区久久

旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備及測試方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及磁控濺射陰極磁場均勻性測量設(shè)備及其測試方法，特別是測量陰極磁棒在軸向方向上同一區(qū)域的磁場強(qiáng)度變化。測量設(shè)備包括設(shè)有導(dǎo)軌的機(jī)臺構(gòu)架部分，所述機(jī)臺構(gòu)架部分的導(dǎo)軌上滑動(dòng)連接移動(dòng)小車，還包括第一手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)及儀器夾部分，其中，所述第一手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于控制小車前后運(yùn)動(dòng)，所述第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)測量磁場強(qiáng)度儀器的上下高度，所述儀器夾部分用于固定測量磁場強(qiáng)度儀器。本發(fā)明旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，利用該發(fā)明設(shè)備進(jìn)行測試后可滿足磁棒的磁場在同一水平同一高度的位置準(zhǔn)確測量磁棒磁場強(qiáng)度變化，操作方便簡單，設(shè)備科重復(fù)使用。
【專利說明】旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備及測試方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及磁控濺射陰極磁場均勻性測量設(shè)備，特別是測量陰極磁棒在軸向方向上同一區(qū)域的磁場強(qiáng)度變化。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著節(jié)能玻璃的大規(guī)模使用，用于生產(chǎn)低輻射鍍膜玻璃的磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線被廣泛安裝并投入生產(chǎn)，許多生產(chǎn)線的濺射陰極磁棒被冷卻水不斷腐蝕以及循環(huán)水溫度的變化造成磁場在軸向方向上很不均勻，因而生產(chǎn)的產(chǎn)品性能下降甚至是不合格產(chǎn)品，因此需要定期對用于濺射的陰極磁場做均勻性檢測以備及時(shí)將不合格磁棒更換，目前行業(yè)主要靠手持高斯儀對陰極磁場做磁場測量，但是所有的磁場在空間不同的位置強(qiáng)度是不一樣的，因而靠人工用手在磁場空間同一水平同一高度測量磁棒均勻性誤差很大，無法做出準(zhǔn)確判斷磁棒的均勻性是否合格。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的克服了以上的不足，提供一種簡單易操作的設(shè)備準(zhǔn)確測量出磁棒的磁場在軸向分布以及磁場強(qiáng)度的強(qiáng)弱變化。
[0004]旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備，旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備，包括設(shè)有導(dǎo)軌的機(jī)臺構(gòu)架部分，所述機(jī)臺構(gòu)架部分的導(dǎo)軌上滑動(dòng)連接移動(dòng)小車，還包括第一手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)及儀器夾部分，其中，所述第一手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于控制小車前后運(yùn)動(dòng)，所述第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)測量磁場強(qiáng)度儀器的上下高度，所述儀器夾部分用于固定測量磁場強(qiáng)度儀器。
[0005]所述機(jī)臺構(gòu)架部分包括機(jī)臺底座、水平調(diào)節(jié)器及兩根導(dǎo)軌，所述機(jī)臺底座上部設(shè)置有四個(gè)用于調(diào)節(jié)所述機(jī)臺水平的水平調(diào)節(jié)器，所述水平調(diào)節(jié)器的上部固定設(shè)置有所述兩根導(dǎo)軌。
[0006]所述移動(dòng)小車車體上固定連接所述儀器夾，所述儀器夾上固定連接所述測量磁場強(qiáng)度儀器。
[0007]所述的測量磁場強(qiáng)度儀器為高斯儀。
[0008]采用所述旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備進(jìn)行測試的測試方法:包括以下幾個(gè)步驟:
第一步、將旋轉(zhuǎn)陰極導(dǎo)入陰極翻轉(zhuǎn)臺，并將四角用壓板鎖緊；
第二步、要轉(zhuǎn)翻轉(zhuǎn)臺小車搖輪將陰極翻轉(zhuǎn)180°至水平并插于鎖桿將位置固定；
第三步、將陰極磁場測試臺按照陰極靶材方向吊放在陰極蓋板上；
第四步、調(diào)整測試臺四個(gè)水平調(diào)節(jié)器高度，將整個(gè)機(jī)臺調(diào)至水平狀態(tài)；
第五步、旋轉(zhuǎn)第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)在上下方向?qū)x器架調(diào)整至最高位置；
第六步、將高斯儀安裝在儀器夾上并固定鎖死；
第七步、旋轉(zhuǎn)第一手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)在前后方向?qū)⒏咚箖x移至磁鋼一與磁鋼二中心位置； 第八步、旋轉(zhuǎn)第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)在上下方向?qū)⒏咚箖x移至兩個(gè)磁缸中心位置表面一定高度位置；
第九步、打開高斯儀；
第十步、手動(dòng)推動(dòng)機(jī)架小車從左向右移動(dòng)，每隔一定距離記錄磁鋼強(qiáng)度并記錄，所記錄數(shù)值通過EXCEL繪成曲線并計(jì)算磁場強(qiáng)度公差判定磁棒是否合格或者重新充磁以保證均勻性；
進(jìn)一步的，沿磁缸軸向每50mm測試磁場強(qiáng)度后移動(dòng)第一螺桿機(jī)構(gòu)手輪將高斯儀移至磁缸表面1_高度，依次從左向右推動(dòng)小車每50_測試磁場強(qiáng)度并記錄。
[0009]有益效果:本發(fā)明旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備結(jié)構(gòu)簡單，利用該發(fā)明設(shè)備進(jìn)行測試后可滿足磁棒的磁場在同一水平同一高度的位置準(zhǔn)確測量磁棒磁場強(qiáng)度變化，操作方便簡單，設(shè)備科重復(fù)使用。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明設(shè)備的主視圖；
圖2為圖1的左視圖；
其中，1、機(jī)臺底座；2、導(dǎo)軌；3、水平調(diào)節(jié)器；4、移動(dòng)小車；5、第一手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)；6、第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)；7、儀器夾；8、高斯儀；9、磁缸一 ；10、磁缸二。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0012]本發(fā)明旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備包括如下部件:
包括兩根導(dǎo)軌的長3900-4500mm、寬820-900mm、高200_300mm的機(jī)臺構(gòu)架；
一可搭載磁場強(qiáng)度檢測儀器并在導(dǎo)軌上滑行的小車；
一用于小車前后運(yùn)動(dòng)的螺桿機(jī)構(gòu)以及手輪；
一用于調(diào)節(jié)測量磁場強(qiáng)度儀器上下高度的螺桿機(jī)構(gòu)以及手輪；
一用于固定測量磁場強(qiáng)度儀器的儀器夾；
四個(gè)用于調(diào)節(jié)機(jī)臺構(gòu)架水平的調(diào)節(jié)器；
用于方便起吊設(shè)備的龍骨耳朵；
利用上述測量陰極磁場均勻性的設(shè)備測試均勻性的方法，包括以下步驟:
第一步、將旋轉(zhuǎn)陰極導(dǎo)入陰極翻轉(zhuǎn)臺，并將四角用壓板鎖緊；
第二步、要轉(zhuǎn)翻轉(zhuǎn)臺小車搖輪將陰極翻轉(zhuǎn)180°至水平并插于鎖桿將位置固定；
第三步、將陰極磁場測試臺按照陰極靶材方向吊放在陰極蓋板上；
第四步、調(diào)整測試臺四個(gè)水平調(diào)節(jié)器高度，將整個(gè)機(jī)臺調(diào)至水平狀態(tài)；
第五步、旋轉(zhuǎn)第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)在上下方向?qū)x器架調(diào)整至最高位置；
第六步、將高斯儀安裝在儀器夾上并固定鎖死；
第七步、旋轉(zhuǎn)第一手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)在前后方向?qū)⒏咚箖x移至磁鋼一與磁鋼二中心位置；第八步、旋轉(zhuǎn)第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)在上下方向?qū)⒏咚箖x移至兩個(gè)磁缸中心位置表面一定高度位置；
第九步、打開高斯儀； 第十步、手動(dòng)推動(dòng)機(jī)架小車從左向右移動(dòng)，每隔一定距離記錄磁鋼強(qiáng)度并記錄，所記錄數(shù)值通過EXCEL繪成曲線并計(jì)算磁場強(qiáng)度公差判定磁棒是否合格或者重新充磁以保證均勻性。
[0013]所述第十步中，沿磁缸軸向每50mm測試磁場強(qiáng)度后移動(dòng)第一螺桿機(jī)構(gòu)手輪將高斯儀移至磁缸表面1_高度，依次從左向右推動(dòng)小車每50_測試磁場強(qiáng)度并記錄。
【權(quán)利要求】
1.旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備，其特征在于，包括設(shè)有導(dǎo)軌的機(jī)臺構(gòu)架部分，所述機(jī)臺構(gòu)架部分的導(dǎo)軌上滑動(dòng)連接移動(dòng)小車，還包括第一手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)、第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)及儀器夾部分，其中，所述第一手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于控制小車前后運(yùn)動(dòng)，所述第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)測量磁場強(qiáng)度儀器的上下高度，所述儀器夾部分用于固定測量磁場強(qiáng)度儀器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備，其特征在于，所述機(jī)臺構(gòu)架部分包括機(jī)臺底座、水平調(diào)節(jié)器及兩根導(dǎo)軌，所述機(jī)臺底座上部設(shè)置有四個(gè)用于調(diào)節(jié)所述機(jī)臺水平的水平調(diào)節(jié)器，所述水平調(diào)節(jié)器的上部固定設(shè)置有所述兩根導(dǎo)軌。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備，其特征在于，所述移動(dòng)小車車體上固定連接所述儀器夾，所述儀器夾上固定連接所述測量磁場強(qiáng)度儀器。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備，其特征在于，所述的測量磁場強(qiáng)度儀器為高斯儀。
5.采用權(quán)利要求1所述旋轉(zhuǎn)陰極磁場均勻性測試設(shè)備進(jìn)行測試的測試方法:包括以下幾個(gè)步驟: 第一步、將旋轉(zhuǎn)陰極導(dǎo)入陰極翻轉(zhuǎn)臺，并將四角用壓板鎖緊； 第二步、要轉(zhuǎn)翻轉(zhuǎn)臺小車搖輪將陰極翻轉(zhuǎn)180°至水平并插于鎖桿將位置固定； 第三步、將陰極磁場測試臺按照陰極靶材方向吊放在陰極蓋板上； 第四步、調(diào)整測試臺四個(gè)水平調(diào)節(jié)器高度，將整個(gè)機(jī)臺調(diào)至水平狀態(tài)； 第五步、旋轉(zhuǎn)第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)在上下方向?qū)x器架調(diào)整至最高位置； 第六步、將高斯儀安裝在儀器夾上并固定鎖死； 第七步、旋轉(zhuǎn)第一手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)在前后方向?qū)⒏咚箖x移至磁鋼一與磁鋼二中心位置； 第八步、旋轉(zhuǎn)第二手輪移動(dòng)機(jī)構(gòu)在上下方向?qū)⒏咚箖x移至磁缸表面一定高度位置； 第九步、打開高斯儀； 第十步、手動(dòng)推動(dòng)機(jī)架小車從左向右移動(dòng)，每隔一定距離記錄磁缸強(qiáng)度并記錄，所記錄數(shù)值通過EXCEL繪成曲線并計(jì)算磁場強(qiáng)度公差判定磁棒是否合格或者重新充磁以保證均勻性； 根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述第十步中，沿磁缸軸向每50mm測試磁場強(qiáng)度后移動(dòng)第一螺桿機(jī)構(gòu)手輪將高斯儀移至磁缸表面Imm高度，依次從左向右推動(dòng)小車每50mm測試磁場強(qiáng)度并記錄。
【文檔編號】G01R33/10GK103777158SQ201410031748
【公開日】2014年5月7日 申請日期:2014年1月23日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月23日
【發(fā)明者】黃林沖, 顧海波, 曹承 申請人:江蘇奧藍(lán)工程玻璃有限公司