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一種在位表面形貌檢測工作臺的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種在位表面形貌檢測工作臺，包括機座和顯微鏡，機座包括下底板和上框體，上框體為其上端呈開口狀的中空框體，上框體以可下底板的前后方向平移滑動的方式架設在下底板的上表面上方，下底板的前側(cè)或后側(cè)設有控制上框體前后滑行的X軸平移驅(qū)動裝置，上框體的上端端面上架設有可沿上框體左右平移的放置平臺，且上框體內(nèi)設有控制放置平臺左右移動的Y軸平移驅(qū)動裝置，放置平臺上豎設有安裝立柱，安裝立柱上設有可上下移動的安裝塊，顯微鏡安裝在上述安裝塊上，安裝立柱上安裝有控制安裝塊上下移動的Z軸升降驅(qū)動裝置。本發(fā)明的有益效果：其可實現(xiàn)在位和線下測量，適用范圍廣，并具有整體結(jié)構(gòu)簡單、合理、緊湊的特點。
【專利說明】一種在位表面形貌檢測工作臺

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種檢測工作臺，特別涉及一種在位表面形貌檢測工作臺。

【背景技術(shù)】
[0002]精密的形貌檢測是現(xiàn)代科技中非常重要的一環(huán)，通過檢測待測物的結(jié)構(gòu)尺寸或表面形貌的精度以控制產(chǎn)品品質(zhì)?，F(xiàn)用于形貌檢測的檢測方式較為多樣，其中利用光學非接觸檢測方式的測量技術(shù)，能夠以非破壞方式取得待測物表面精確的形貌數(shù)據(jù)，已廣泛應用于各種產(chǎn)業(yè)中，特別是在位檢測待測物。
[0003]現(xiàn)有的在位形貌檢測系統(tǒng)最為重要的部位是位移工作臺，其可進行位移調(diào)節(jié)的具有操作面的用于直接或間接裝夾或放置待測物的廣義操作平臺。傳統(tǒng)的位移工作臺大多數(shù)是采用兩層疊加式結(jié)構(gòu)，即X軸軸向移動的部件和Y軸軸向移動的部件分布在上下兩層，此上下疊加式的雙層結(jié)構(gòu)使工作臺的整體體積較大，結(jié)構(gòu)復雜，從而使在位測量時因空間上的限制而造成位移工作臺無法做到實時在位測量，只能將被測物拆卸下來放置在位移工作臺上進行檢測，給檢測帶來麻煩。
[0004]鑒于上述理由，本發(fā)明人對檢測工作臺的上述缺陷做了深入研究，本案由此產(chǎn)生。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，體積小，適用范圍廣，并能運用于在位實時測量的在位表面形貌檢測工作臺。
[0006]本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣的:一種在位表面形貌檢測工作臺，包括機座和顯微鏡，上述機座包括下底板和上框體，上述上框體為其上端呈開口狀的中空框體，上述上框體可沿下底板的前后方向平移滑動的方式架設在上述下底板的上表面上方，上述下底板的前側(cè)或后側(cè)設有控制上框體前后滑行的X軸平移驅(qū)動裝置，上述上框體的上端端面上架設有可沿上框體左右平移的放置平臺，且上述上框體內(nèi)設有控制放置平臺左右移動的Y軸平移驅(qū)動裝置，上述放置平臺上豎設有安裝立柱，上述安裝立柱上設有可上下移動的安裝塊，上述顯微鏡安裝在上述安裝塊上，上述安裝立柱上安裝有控制安裝塊上下移動的Z軸升降驅(qū)動裝置。
[0007]上述下底板的上表面左右兩側(cè)分別凸設有沿下底板的前后方向延伸的X軸導軌，上述X軸導軌的上表面上凸設有沿X軸導軌的長度方向延伸的X軸滑軌，上述上框體的左右兩外側(cè)壁上設有其一臂與上述上框體固定，另一臂處于上述X軸滑軌上方的L型安裝塊，且上述L型安裝塊的另一臂上固設有架設在X軸滑軌上并沿X軸滑軌滑行的X軸導向滑塊。
[0008]上述X軸平移驅(qū)動裝置包括X軸步進電機、X軸絲桿和X軸滑塊，上述下底板的前側(cè)壁上延伸設有安裝凸板，上述X軸步進電機固定安裝在上述安裝凸板上，且上述X軸步進電機的輸出軸朝后設置，上述X軸絲桿平放設置，并沿上述下底板的前后方向延伸，上述安裝凸板的上表面固定有絲桿座，上述X軸絲桿的前端活動穿過上述絲桿座的前、后兩端，且上述X軸絲桿的前端端部通過電機聯(lián)軸器與上述X軸步進電機的輸出軸連接，上述X軸絲桿的后端端部螺裝鎖固在上述上框體的前側(cè)面上，上述X軸滑塊套裝于上述X軸絲桿外，且上述X軸滑塊與上述X軸絲桿螺紋配合連接，上述X軸滑塊與上述上框體的前側(cè)壁固定連接。
[0009]上述X軸滑塊包括前側(cè)板、左側(cè)板和右側(cè)板，上述左側(cè)板的前端和上述右側(cè)板的前端分別與上述前側(cè)板的左、右兩側(cè)一體成型連接，上述左側(cè)板的后端和上述右側(cè)板的后端分別與上述上框體的前側(cè)壁固定連接。
[0010]上述Y軸平移驅(qū)動裝置包括Y軸步進電機、Y軸絲桿和Y軸滑塊，上述Y軸步進電機固定安裝在上述上框體的內(nèi)底面上，上述Y軸步進電機的輸出軸朝左或朝右設置，上述Y軸絲桿平放設置，并沿上述上框體的左右方向延伸，上述Y軸絲桿的第一端端部通過電機聯(lián)軸器與上述Y軸步進電機的輸出端連接，上述Y軸絲桿的第二端端部螺裝鎖固在上述上框體的左側(cè)壁或右側(cè)壁上，上述Y軸滑塊套裝于上述Y軸絲桿外，且上述Y軸滑塊與上述Y軸絲桿螺紋配合連接。
[0011]上述上框體前、后兩側(cè)的上表面上鎖固有沿上述上框體的左右方向延伸的Y軸滑軌，上述Y軸滑軌上套設有沿上述Y軸滑軌滑動的Y軸導向滑塊，兩上述Y軸導向滑塊和上述Y軸滑塊均與上述放置平臺鎖固連接。
[0012]上述安裝立柱鎖固在上述放置平臺上，上述Z軸升降驅(qū)動裝置包括Z軸步進電機和Z軸絲桿，上述Z軸絲桿豎立設置，并沿上述安裝立柱的上下方向延伸，且上述Z軸絲桿處于上述安裝立柱的左側(cè)壁或右側(cè)壁處，上述安裝塊上設有套設于上述Z軸絲桿外的Z軸滑塊，且上述Z軸滑塊與上述Z軸絲桿螺紋配合連接，上述Z軸步進電機安裝在上述安裝立柱上，并處于上述Z軸絲桿的下方，上述Z軸步進電機的輸出軸與上述Z軸絲桿的下端端部連接，上述Z軸絲桿的上端端部與上述安裝立柱活動連接。
[0013]上述安裝立柱的頂面上固設有繞線輪，上述安裝立柱的右側(cè)壁或左側(cè)壁上懸空有配重塊，上述配重塊的重量與上述安裝塊和安裝在安裝塊上顯微鏡的重量相匹配，上述配重塊的上方設有吊繩，上述吊繩的第一端與上述配重塊固定連接，上述吊繩的第二端端部繞過上述繞線輪并向下延伸至上述安裝塊處，并與上述Z軸滑塊固定連接。
[0014]上述安裝塊上安裝有光柵尺。
[0015]采用上述方案后，本發(fā)明的有益效果:其X軸平移驅(qū)動裝置處于上框體外側(cè)，Y軸平移驅(qū)動裝置處于上框體內(nèi)側(cè)，使放置平臺的X軸運動和Y軸運動屬于共平面運動，可大大縮短整體高度空間，體積較小，適宜安裝在待測物體的工作臺上進行在位測量，適用范圍較廣，并具有整體結(jié)構(gòu)簡單、合理、緊湊的特點，同時，顯微鏡安裝在安裝塊上，安裝塊在安裝立柱上進行上下移動，這樣，檢測時可調(diào)節(jié)顯微鏡與待測物之間的間距，使顯微鏡移動到待測物形貌最高清晰成像的位置，從而使顯微鏡采集的圖像較為清晰，進而使形貌檢測系統(tǒng)的檢測精確度較高。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017]圖2為本發(fā)明的另一結(jié)構(gòu)示意圖(省略顯微鏡)；
[0018]圖3為本發(fā)明的局部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]其中:
[0020]顯微鏡I鏡頭11
[0021]下底板2X軸導軌21
[0022]X軸滑軌 211安裝凸板22
[0023]絲桿座221上框體3
[0024]L型安裝塊31X軸導向滑塊 311
[0025]Y軸滑軌32Y軸導向滑塊 33
[0026]絲桿座34X軸步進電機41
[0027]X軸絲桿42X軸滑塊43
[0028]電機聯(lián)軸器44放置平臺5
[0029]Y軸步進電機61Y軸絲桿62
[0030]Y軸滑塊63電機聯(lián)軸器64
[0031]安裝立柱7安裝塊71
[0032]Z軸滑塊711安裝凸塊72
[0033]繞線輪73配重塊74
[0034]吊繩75Z軸步進電機81
[0035]Z軸絲桿82光柵計數(shù)器9

【具體實施方式】
[0036]本發(fā)明的一種在位表面形貌檢測工作臺，如圖1-3所示，包括機座和顯微鏡1，機座包括下底板2和上框體3,該下底板2為方形板塊,該上框體3為其上端呈開口狀的中空方形框體，上框體3可沿下底板2的前后方向平移滑動的方式架設在下底板2的上表面上方，即下底板2的上表面左右兩側(cè)分別凸設有沿下底板2的前后方向延伸的X軸導軌21，X軸導軌21的上表面上凸設有沿X軸導軌21的長度方向延伸的X軸滑軌211，上框體3的左右兩外側(cè)壁上設有其一臂與上框體3固定，另一臂處于X軸滑軌211上方的L型安裝塊31，且L型安裝塊31的另一臂上固設有架設在X軸滑軌211上并沿X軸滑軌211滑行的X軸導向滑塊311，通過X軸滑軌211與X軸導向滑塊311的配合可實現(xiàn)上框體3在下底板2上的滑動安裝。
[0037]該下底板2的前側(cè)設有控制上框體3前后滑行的X軸平移驅(qū)動裝置，X軸平移驅(qū)動裝置包括X軸步進電機41、X軸絲桿42和X軸滑塊43，下底板2的前側(cè)壁上延伸設有安裝凸板22，此安裝凸板22與下底板2可構(gòu)成凸字結(jié)構(gòu)，X軸步進電機41固定安裝在安裝凸板22上，且X軸步進電機41的輸出軸朝后設置，X軸絲桿42平放設置，并沿下底板2的前后方向延伸，安裝凸板22的上表面固定有絲桿座221，X軸絲桿42的前端活動穿過絲桿座221的前、后兩端，且X軸絲桿42的前端端部通過電機聯(lián)軸器44與X軸步進電機41的輸出軸連接，X軸絲桿42的后端端部活動伸入上框體3的前側(cè)壁內(nèi)，該絲桿座221可對X軸絲桿42起到可轉(zhuǎn)動的支撐作用，該X軸滑塊43套裝于X軸絲桿42外，且X軸滑塊43與X軸絲桿42螺紋配合連接，該X軸滑塊43包括前側(cè)板、左側(cè)板和右側(cè)板，左側(cè)板的前端和右側(cè)板的前端分別與前側(cè)板的左、右兩側(cè)一體成型連接，左側(cè)板的后端和右側(cè)板的后端分別與上框體3的前側(cè)壁固定連接，前側(cè)板上開設有供X軸絲桿42穿過的通孔，該通孔內(nèi)安裝有與X軸絲桿42的外螺紋相螺合的內(nèi)螺紋，通過內(nèi)外螺紋的配合可實現(xiàn)X軸滑塊43在X軸絲桿42上的螺裝。X軸平移驅(qū)動裝置工作時，啟動X軸步進電機41，X軸步進電機41帶動X軸絲桿42轉(zhuǎn)動，X軸絲桿42只轉(zhuǎn)動不可移動，X軸滑塊43螺裝在X軸絲桿42外，這樣，X軸絲桿42的轉(zhuǎn)動可使X軸滑塊43沿著X軸絲桿42作前后滑動，X軸滑塊43的前后滑動可帶動上框體3前后滑動。
[0038]該上框體3的上端端面上架設有可沿上框體3左右平移的放置平臺5，此放置平臺5蓋設于上框體3的上端端口上，該上框體3前、后兩側(cè)的上表面上鎖固有沿上框體3的左右方向延伸的Y軸滑軌32，Y軸滑軌32上套設有沿Y軸滑軌32滑動的Y軸導向滑塊33，兩偵_ Y軸導向滑塊33與放置平臺5鎖固連接，通過Y軸滑軌32和Y軸導向滑塊33可實現(xiàn)放置平臺5在上框體3上的滑動安裝，該上框體3內(nèi)設有控制放置平臺5左右移動的Y軸平移驅(qū)動裝置，該Y軸平移驅(qū)動裝置包括Y軸步進電機61、Y軸絲桿62和Y軸滑塊63，Y軸步進電機61固定安裝在上框體3的內(nèi)底面上，且Y軸步進電機61的輸出軸朝右設置，Y軸絲桿62平放設置，并沿上框體3的左右方向延伸，上框體3的內(nèi)底面上固設有絲桿座34，Y軸絲桿62的第一端端部活動穿過絲桿座34至Y軸步進電機的輸出端處，并通過電機聯(lián)軸器64與Y軸步進電機61的輸出端連接，Y軸絲桿62的第二端端部活動伸入上框體3的右側(cè)壁內(nèi)容置，Y軸滑塊63套裝于Y軸絲桿62外，該放置平臺5與Y軸滑塊63鎖固連接，且Y軸滑塊63上開設有供Y軸絲桿62穿過的安裝通孔，此安裝通孔的孔壁上車設有與Y軸絲桿62相螺合的內(nèi)螺紋，通過此內(nèi)外螺紋的配合可實現(xiàn)Y軸滑塊63與Y軸絲桿62螺紋配合連接。Y軸平移驅(qū)動裝置工作時，啟動Y軸步進電機61，Y軸步進電機61帶動Y軸絲桿62轉(zhuǎn)動，Y軸絲桿62的轉(zhuǎn)動可使Y軸滑塊63沿Y軸絲桿62的軸向方向滑動，Y軸滑塊63的滑動可使放置平臺5作左右平移。
[0039]該放置平臺5上豎設有安裝立柱7，安裝立柱7鎖固在放置平臺5上，安裝立柱7上設有可上下移動的安裝塊71，顯微鏡I安裝在安裝塊71上，安裝立柱7上安裝有控制安裝塊71上下移動的Z軸升降驅(qū)動裝置，Z軸升降驅(qū)動裝置包括Z軸步進電機81和Z軸絲桿82，Z軸絲桿82豎立設置，并沿安裝立柱7的上下方向延伸，且Z軸絲桿82處于安裝立柱7的右側(cè)壁處，安裝塊71上設有套設于Z軸絲桿82外的Z軸滑塊711，且Z軸滑塊711與Z軸絲桿82螺紋配合連接，Z軸滑塊711上開設有供Z軸絲桿82穿過的安裝通孔，此安裝通孔的孔壁上車設有與Z軸絲桿82的外螺紋相螺合的內(nèi)螺紋，該Z軸步進電機81安裝在安裝立柱7上，并處于Z軸絲桿82的下方，Z軸步進電機81的輸出軸與Z軸絲桿82的下端端部連接，Z軸絲桿82的上端端部與安裝立柱7活動連接，即安裝立柱7的右側(cè)壁上端凸設有安裝凸塊72，Z軸絲桿82的上端端部緊配合地卡入安裝凸塊72內(nèi)。Z軸升降驅(qū)動裝置工作時，啟動Z軸步進電機81，Z軸步進電機81帶動Z軸絲桿82轉(zhuǎn)動，Z軸絲桿82的轉(zhuǎn)動使Z軸滑塊711沿著Z軸絲桿82上下滑動，Z軸滑塊711的滑動使顯微鏡I可作上下升降運動。
[0040]本發(fā)明中，該安裝塊71處于顯微鏡I的后側(cè)安裝有光柵計數(shù)器9。
[0041]本發(fā)明的一種在位表面形貌檢測工作臺，在位檢測使用時，將其放置于相應的機床工作臺上，并固定住即可。例如在磨床砂輪進行在位檢測，具體操作是:先將下底板2固定在磨床工作臺面上，并使顯微鏡I和光柵計數(shù)器與PC機相應的連接，接線完成后啟動X軸平移驅(qū)動裝置，上框體3平移，安裝立柱7上的顯微鏡I 一同平移，待顯微鏡I處于砂輪正下方時關(guān)閉X軸平移驅(qū)動裝置，并使顯微鏡I的鏡頭11朝上設置，然后，啟動Z軸升降驅(qū)動裝置，安裝塊71升降調(diào)節(jié)，安裝塊71的升降可相應調(diào)節(jié)顯微鏡I與砂輪之間的間距，使顯微鏡I進行自動對焦，待檢測者在PC機上觀察到的監(jiān)測畫面達到一定清晰圖像后，關(guān)閉Z軸升降驅(qū)動裝置，最后，對砂輪的軸向做在位檢測，并在PC機控制界面輸入相應的指令，使上框體3作Y軸方向移動，從而使顯微鏡I完成砂輪軸向直線的數(shù)據(jù)采集及圖像采集，并重復此動作，同時采集到的序列圖像f(x，y，η)，其中η表示圖像序列號，發(fā)送到PC機中，PC機采用聚焦疊合算法(SML算子)求出各點的聚焦測度，求出的各點聚焦測度出現(xiàn)最大值對應的η值即為此高度位置時清晰成像，求出該位置η后，將η值乘于顯微鏡相鄰兩次圖像采集時上框體的實際行程，從而獲取圖像中不同位置的深度，這樣，即可完成砂輪的在位檢測，此種基于聚集合成的砂輪表面三維重構(gòu)方式是公知的，在此不再具體累述；檢測完成后將下底板2從磨床工作臺面上拆卸下來即可。若無需在位檢測時，可將檢測工作臺與其他微動二維平臺相配合，即將微動二信平臺放置于放置平臺5上，顯微鏡I的鏡頭11朝下設置，即可實現(xiàn)線下檢測。
[0042]本發(fā)明的有益效果如下:
[0043]一、X軸平移驅(qū)動裝置處于上框體3外側(cè)，Y軸平移驅(qū)動裝置處于上框3體內(nèi)側(cè)，使放置平臺5的X軸運動和Y軸運動屬于共平面運動，可大大縮短整體高度空間，體積較小，適宜安裝在待測物體的工作臺上進行在位測量，適用范圍較廣。
[0044]二、可實現(xiàn)在位檢測和線下檢測，隨動性強，使用靈活性大，并具有整體結(jié)構(gòu)簡單、合理、緊湊的特點。
[0045]三、采用絲桿與電機的配合方式來實現(xiàn)X、Y、Z軸的運動，運動較為平穩(wěn)，同時，X、Y、Z軸的運動通過光柵計數(shù)器進行記數(shù)，能夠得到高效穩(wěn)定高精度的定位。
[0046]四、檢測時可調(diào)節(jié)顯微鏡與待測物之間的間距，使顯微鏡移動到待測物形貌最高清晰成像的位置，從而使顯微鏡采集的圖像較為清晰，進而使形貌檢測系統(tǒng)的檢測精確度較聞。
[0047]本發(fā)明中，該安裝立柱7的頂面上固設有繞線輪73，安裝立柱7的左側(cè)壁上懸空有配重塊74，配重塊74的重量與安裝塊71和安裝在安裝塊71上顯微鏡I的重量相匹配，配重塊74的上方設有吊繩75，吊繩75的第一端與配重塊74固定連接，吊繩75的第二端端部繞過繞線輪73并向下延伸至Z軸滑塊711處，并與Z軸滑塊711固定連接；這樣，通過此配重塊74起到安裝塊71上的承載平衡，極大程序上避免了檢測工作臺運動時因力矩不平衡產(chǎn)生的微動或上下滑動而影響顯微鏡I的測量準確性，保證了顯微鏡I的測量精度。
[0048]上述實施例和圖式并非限定本發(fā)明的產(chǎn)品形態(tài)和式樣，任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員對其所做的適當變化或修飾，皆應視為不脫離本發(fā)明的專利范疇。
【權(quán)利要求】
1.一種在位表面形貌檢測工作臺，包括機座和顯微鏡，其特征在于:上述機座包括下底板和上框體，上述上框體為其上端呈開口狀的中空框體，上述上框體以可沿下底板的前后方向平移滑動的方式架設在上述下底板的上表面上方，上述下底板的前側(cè)或后側(cè)設有控制上框體前后滑行的X軸平移驅(qū)動裝置，上述上框體的上端端面上架設有可沿上框體左右平移的放置平臺，且上述上框體內(nèi)設有控制放置平臺左右移動的Y軸平移驅(qū)動裝置，上述放置平臺上豎設有安裝立柱，上述安裝立柱上設有可上下移動的安裝塊，上述顯微鏡安裝在上述安裝塊上，上述安裝立柱上安裝有控制安裝塊上下移動的Z軸升降驅(qū)動裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在位表面形貌檢測工作臺，其特征在于:上述下底板的上表面左右兩側(cè)分別凸設有沿下底板的前后方向延伸的X軸導軌，上述X軸導軌的上表面上凸設有沿X軸導軌的長度方向延伸的X軸滑軌，上述上框體的左右兩外側(cè)壁上設有其一臂與上述上框體固定，另一臂處于上述X軸滑軌上方的L型安裝塊，且上述L型安裝塊的另一臂上固設有架設在X軸滑軌上并沿X軸滑軌滑行的X軸導向滑塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在位表面形貌檢測工作臺，其特征在于:上述X軸平移驅(qū)動裝置包括X軸步進電機、X軸絲桿和X軸滑塊，上述下底板的前側(cè)壁上延伸設有安裝凸板，上述X軸步進電機固定安裝在上述安裝凸板上，且上述X軸步進電機的輸出軸朝后設置，上述X軸絲桿平放設置，并沿上述下底板的前后方向延伸，上述安裝凸板的上表面固定有絲桿座，上述X軸絲桿的前端活動穿過上述絲桿座的前、后兩端，且上述X軸絲桿的前端端部通過電機聯(lián)軸器與上述X軸步進電機的輸出軸連接，上述X軸絲桿的后端端部螺裝鎖固在上述上框體的前側(cè)面上，上述X軸滑塊套裝于上述X軸絲桿外，且上述X軸滑塊與上述X軸絲桿螺紋配合連接，上述X軸滑塊與上述上框體的前側(cè)壁固定連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種在位表面形貌檢測工作臺，其特征在于:上述X軸滑塊包括前側(cè)板、左側(cè)板和右側(cè)板，上述左側(cè)板的前端和上述右側(cè)板的前端分別與上述前側(cè)板的左、右兩側(cè)一體成型連接，上述左側(cè)板的后端和上述右側(cè)板的后端分別與上述上框體的前側(cè)壁固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在位表面形貌檢測工作臺，其特征在于:上述Y軸平移驅(qū)動裝置包括Y軸步進電機、Y軸絲桿和Y軸滑塊，上述Y軸步進電機固定安裝在上述上框體的內(nèi)底面上，上述Y軸步進電機的輸出軸朝左或朝右設置，上述Y軸絲桿平放設置，并沿上述上框體的左右方向延伸，上述Y軸絲桿的第一端端部通過電機聯(lián)軸器與上述Y軸步進電機的輸出端連接，上述Y軸絲桿的第二端端部螺裝鎖固在上述上框體的左側(cè)壁或右側(cè)壁上，上述Y軸滑塊套裝于上述Y軸絲桿外，且上述Y軸滑塊與上述Y軸絲桿螺紋配合連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種在位表面形貌檢測工作臺，其特征在于:上述上框體前、后兩側(cè)的上表面上鎖固有沿上述上框體的左右方向延伸的Y軸滑軌，上述Y軸滑軌上套設有沿上述Y軸滑軌滑動的Y軸導向滑塊，兩上述Y軸導向滑塊和上述Y軸滑塊均與上述放置平臺鎖固連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在位表面形貌檢測工作臺，其特征在于:上述安裝立柱鎖固在上述放置平臺上，上述Z軸升降驅(qū)動裝置包括Z軸步進電機和Z軸絲桿，上述Z軸絲桿豎立設置，并沿上述安裝立柱的上下方向延伸，且上述Z軸絲桿處于上述安裝立柱的左側(cè)壁或右側(cè)壁處，上述安裝塊上設有套設于上述Z軸絲桿外的Z軸滑塊，且上述Z軸滑塊與上述Z軸絲桿螺紋配合連接，上述Z軸步進電機安裝在上述安裝立柱上，并處于上述Z軸絲桿的下方，上述Z軸步進電機的輸出軸與上述Z軸絲桿的下端端部連接，上述Z軸絲桿的上端端部與上述安裝立柱活動連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種在位表面形貌檢測工作臺，其特征在于:上述安裝立柱的頂面上固設有繞線輪，上述安裝立柱的右側(cè)壁或左側(cè)壁上懸空有配重塊，上述配重塊的重量與上述安裝塊和安裝在安裝塊上顯微鏡的重量相匹配，上述配重塊的上方設有吊繩，上述吊繩的第一端與上述配重塊固定連接，上述吊繩的第二端端部繞過上述繞線輪并向下延伸至上述安裝塊處，并與上述Z軸滑塊固定連接。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種在位表面形貌檢測工作臺，其特征在于:上述安裝塊上安裝有光柵尺。
【文檔編號】G01B11/24GK104197856SQ201410421514
【公開日】2014年12月10日 申請日期:2014年8月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月25日
【發(fā)明者】崔長彩, 陳俊英, 陳偉鵬, 李兵, 余卿 申請人:華僑大學