久久一区二区免费播放,国产在线欧美日韩一区二区,国产综合色在线视频,精品伊人久久久香线蕉,精品视频麻豆网站,玖玖国产,国内精品久久久久影,在线观看精品视频一区二区三区,午夜久久影院,国产精品一区久久

一種熱偶固定裝置及溫度測(cè)量裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種熱偶固定裝置及溫度測(cè)量裝置，包括依次套于熱偶外罩的固定接頭、密封卡套、夾緊片及鎖緊螺母；所述固定接頭的內(nèi)側(cè)端固定在真空發(fā)生腔室側(cè)壁上，外側(cè)端抵靠所述密封卡套的一端，所述夾緊片的兩側(cè)分別抵靠所述密封卡套的另一端和所述鎖緊螺母的內(nèi)側(cè)端，所述鎖緊螺母的內(nèi)螺紋與所述固定接頭的外螺紋嚙合；所述夾緊片的內(nèi)側(cè)設(shè)有用于夾緊所述熱偶外罩的夾緊裝置，且所述夾緊片設(shè)有用于夾緊熱偶的通孔。本發(fā)明的一種熱偶固定裝置及溫度測(cè)量裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，可靠性高，利于保護(hù)熱偶外罩不受破壞情況下，將熱偶準(zhǔn)確的定位并固定在熱處理腔室內(nèi)，且整套裝置易于安裝和維護(hù)。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種熱偶固定裝置及溫度測(cè)量裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件及加工制造領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種熱偶固定裝置及溫度測(cè)量裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體熱處理設(shè)備是集成電路制造的重要工藝設(shè)備，要求具有優(yōu)異的控溫精度及良好的可靠性、穩(wěn)定性的自動(dòng)控制設(shè)備，半導(dǎo)體處理腔室用于在硅片等工件進(jìn)行熱處理，包含退火、薄膜生成等。
[0003]工藝過(guò)程中，各個(gè)步驟中溫度的控制對(duì)硅片熱處理工藝效果有著重要影響。在特定的溫度下，工藝氣體反應(yīng)生成合適的薄膜。如果反應(yīng)過(guò)程中熱處理腔室溫度變化劇烈，將造成硅片表面的沉積層不均勻等問(wèn)題，使硅片的利用率降低。因此，工藝過(guò)程中必需保證熱反應(yīng)腔室內(nèi)穩(wěn)定的溫度，并達(dá)到工藝要求的溫度。類(lèi)似的，其他工藝中，反應(yīng)腔室內(nèi)溫度不一致或者不穩(wěn)定也將導(dǎo)致工藝效果不良。溫度精確控制影響的工藝包括但并不限于氧化、氮化、摻雜劑擴(kuò)散、高溫退火、濺射沉積和等離子體處理等。
[0004]熱偶作為溫度測(cè)量裝置通常被安裝在一個(gè)熱偶外罩中，優(yōu)選為石英外罩，一端伸入反應(yīng)腔室內(nèi)，另一端在反應(yīng)腔室外通過(guò)支架固定或者簡(jiǎn)單固定。由于是一端固定容易發(fā)生長(zhǎng)度方向上的移動(dòng)，使熱偶測(cè)量位置偏離指定位置，離指定位置越遠(yuǎn)，測(cè)量溫度越不準(zhǔn)確，同時(shí)由于一般石英外罩都采用圓形，容易繞一端產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)，使溫度測(cè)量產(chǎn)生誤差，影響工藝效果。
[0005]本領(lǐng)域所公知的，當(dāng)熱偶被安裝到熱反應(yīng)腔室中時(shí)，沒(méi)有定位機(jī)構(gòu)來(lái)約束熱偶檢測(cè)位置，從而進(jìn)行準(zhǔn)確定位和固定。因此，需要有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使熱偶在反應(yīng)腔室內(nèi)準(zhǔn)確定位，并牢固固定的熱偶固定裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的在于提供一種熱偶固定裝置及溫度測(cè)量裝置，將熱偶準(zhǔn)確的定位并固定在熱處理腔室內(nèi)。
[0007]本發(fā)明為解決上述技術(shù)問(wèn)題而采用的技術(shù)方案是提供一種熱偶固定裝置，包括依次套于熱偶外罩的固定接頭、密封卡套、夾緊片及鎖緊螺母；所述固定接頭的內(nèi)側(cè)端固定在真空發(fā)生腔室側(cè)壁上，外側(cè)端抵靠所述密封卡套的一端，所述夾緊片的兩側(cè)分別抵靠所述密封卡套的另一端和所述鎖緊螺母的內(nèi)側(cè)端，所述鎖緊螺母的內(nèi)螺紋與所述固定接頭的外螺紋嚙合；所述夾緊片的內(nèi)側(cè)設(shè)有用于夾緊所述熱偶外罩的夾緊裝置，且所述夾緊片設(shè)有用于夾緊熱偶的通孔。
[0008]上述所述的熱偶固定裝置，所述密封卡套的內(nèi)側(cè)端設(shè)有定位凸臺(tái)，所述定位凸臺(tái)與所述固定接頭的外側(cè)端扣合。
[0009]上述所述的熱偶固定裝置，所述固定接頭的外側(cè)端的內(nèi)圈設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)，所述錐形結(jié)構(gòu)與所述定位凸臺(tái)之間設(shè)有密封圈。[0010]上述所述的熱偶固定裝置，所述密封圈為柔性件。
[0011]上述所述的熱偶固定裝置，所述夾緊裝置為設(shè)于所述夾緊片內(nèi)側(cè)的具有預(yù)設(shè)間距的楔形凸臺(tái)，所述預(yù)設(shè)間距與所述熱偶外罩的外徑尺寸相適應(yīng)。
[0012]上述所述的熱偶固定裝置，所述固定接頭的內(nèi)側(cè)端與所述真空發(fā)生腔室側(cè)壁焊接固定。
[0013]上述所述的熱偶固定裝置，所述熱偶外罩的固定端的端部外側(cè)壁設(shè)有用于前后定位熱偶的定位凹槽，所述夾緊片的通孔內(nèi)側(cè)設(shè)有與定位凹槽配合的開(kāi)口。
[0014]上述所述的熱偶固定裝置，所述固定接頭的外側(cè)沿圓周方向上均勻分布有兩個(gè)凹槽。
[0015]上述所述的熱偶固定裝置，所述夾緊片為柔性件。
[0016]上述所述的熱偶固定裝置，所述熱偶外罩的固定端的外形輪廓是多邊形。
[0017]上述所述的熱偶固定裝置，所述熱偶外罩的固定端的外形輪廓是四邊形。
[0018]上述所述的熱偶固定裝置，所述熱偶外罩為石英外罩。
[0019]一種溫度測(cè)量裝置，包括反應(yīng)腔室、真空發(fā)生腔室，連接有熱偶的熱偶外罩，所述熱偶外罩的固定端通過(guò)上述所述的熱偶固定裝置固定。
[0020]本發(fā)明的一種熱偶固定裝置及溫度測(cè)量裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，可靠性高，利于保護(hù)熱偶外罩不受破壞情況下，將熱偶準(zhǔn)確的定位并固定在熱處理腔室內(nèi)，且整套裝置易于安裝和維護(hù)。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0021]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0022]圖1為本發(fā)明熱偶固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為本發(fā)明固定接頭的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖3為本發(fā)明密封卡套的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖4為本發(fā)明夾緊片的主視圖；
[0026]圖5為本發(fā)明夾緊片的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖6為本發(fā)明鎖緊螺母的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖7為本發(fā)明熱偶外罩的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖8為本發(fā)明熱偶外罩固定端的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0030]圖9為本發(fā)明熱偶固定裝置與熱偶外罩裝配示意圖；
[0031]圖10為本發(fā)明溫度測(cè)量裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0032]圖中標(biāo)號(hào)說(shuō)明如下:
[0033]1、固定接頭，11、錐形結(jié)構(gòu)，12、固定接頭凹槽，2、密封卡套，21、定位凸臺(tái)，3、夾緊片，31、楔形凸臺(tái)，32、夾緊片開(kāi)口，4、鎖緊螺母,5、密封圈,6、熱偶外罩,61、熱偶定位凹槽，62、熱偶外罩固定端，7、反應(yīng)腔室，8、真空發(fā)生腔室?！揪唧w實(shí)施方式】
[0034]下面結(jié)合圖1至圖10對(duì)本發(fā)明中的一種熱偶固定裝置及溫度測(cè)量裝置作進(jìn)一步的說(shuō)明:
[0035]如圖1至圖6所示，一種熱偶固定裝置，包括依次套于熱偶外罩的固定接頭1、密封卡套2、夾緊片3及鎖緊螺母4 ;所述固定接頭I的內(nèi)側(cè)端固定在真空發(fā)生腔室8側(cè)壁上，夕卜側(cè)端抵靠所述密封卡套2的一端，所述夾緊片3的兩側(cè)分別抵靠所述密封卡套2的另一端和所述鎖緊螺母4的內(nèi)側(cè)端，所述鎖緊螺母4的內(nèi)螺紋與所述固定接頭I的外螺紋嚙合；所述夾緊片3的內(nèi)側(cè)設(shè)有用于夾緊所述熱偶外罩6的夾緊裝置，且所述夾緊片3設(shè)有用于夾緊熱偶的通孔。
[0036]為了進(jìn)一步提高本發(fā)明，其中，所述密封卡套2的內(nèi)側(cè)端設(shè)有定位凸臺(tái)21，所述定位凸臺(tái)21與所述固定接頭I的外側(cè)端扣合；定位凸臺(tái)21與固定接頭I的外側(cè)端相互配合，用于密封卡套定位，受力均勻，利于減小定位誤差，內(nèi)部為多邊形空腔可使熱偶外罩通過(guò)。
[0037]如圖4和圖5所示，夾緊裝置為設(shè)于所述夾緊片3內(nèi)側(cè)的具有預(yù)設(shè)間距的楔形凸臺(tái)31，所述預(yù)設(shè)間距與所述熱偶外罩6的外徑尺寸相適應(yīng)。夾緊片3內(nèi)側(cè)的楔形凸臺(tái)31插入密封卡套2之中，用來(lái)夾緊熱偶外罩6，同時(shí)內(nèi)部與熱偶固定端62的多邊形形狀相對(duì)應(yīng)，起到定位和固定作用，并且多變形一側(cè)開(kāi)口，便于安裝，其中所述夾緊片為柔性件。
[0038]上述所述的熱偶固定裝置，所述固定接頭I的外側(cè)端的內(nèi)圈設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)11，內(nèi)圈有錐形結(jié)構(gòu)11比平面結(jié)構(gòu)更利于用于密封圈的密封。所述錐形結(jié)構(gòu)11與所述密封卡套2的定位凸臺(tái)21之間設(shè)有密封圈5，所述密封圈5為柔性件，具備一定變形量；所述固定接頭I的內(nèi)側(cè)端與所述真空發(fā)生腔室8側(cè)壁焊接固定；此外，所述固定接頭I的外側(cè)沿圓周方向上均勻分布有兩個(gè)凹槽12。
[0039]如圖7至圖9所示，熱偶外罩固定端62的端部外側(cè)壁設(shè)有用于前后定位熱偶的定位凹槽61,所述夾緊片3的通孔內(nèi)側(cè)設(shè)有與定位凹槽61配合的開(kāi)口。所述熱偶外罩固定端62的外形輪廓是多邊形，優(yōu)選為四邊形，用來(lái)固定在熱偶固定組件上；所述熱偶外罩6優(yōu)選為石英外罩。如圖7所示，熱偶外罩固定端62的中間段直徑變粗，大于熱偶插頭外形尺寸，不僅有利于熱偶插頭穿過(guò)熱偶固定組件，還有利于熱偶外罩的固定。
[0040]如圖10所示，本發(fā)明還提供一種溫度測(cè)量裝置，包括反應(yīng)腔室7、真空發(fā)生腔室8，連接有熱偶的熱偶外罩6，所述熱偶外罩固定端62通過(guò)上述所述的熱偶固定裝置固定。本發(fā)明提供的熱偶外罩6安裝在反應(yīng)腔室7的內(nèi)部，反應(yīng)腔室7安裝在真空發(fā)生腔室8的上面，在真空發(fā)生腔室8外為上述所述的熱偶固定裝置。
[0041]本發(fā)明的一種熱偶固定裝置及溫度測(cè)量裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，可靠性高，利于保護(hù)熱偶外罩不受破壞情況下，將熱偶準(zhǔn)確的定位并固定在熱處理腔室內(nèi)，且整套裝置易于安裝和維護(hù)，其機(jī)構(gòu)簡(jiǎn)單，方便安裝，高可靠性和占據(jù)空間小。
[0042]以上所述的僅為本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，所述實(shí)施例并非用以限制本發(fā)明的專(zhuān)利保護(hù)范圍，因此凡是運(yùn)用本發(fā)明的說(shuō)明書(shū)及附圖內(nèi)容所作的等同結(jié)構(gòu)變化，同理均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種熱偶固定裝置，其特征在于，包括依次套于熱偶外罩的固定接頭、密封卡套、夾緊片及鎖緊螺母；所述固定接頭的內(nèi)側(cè)端固定在真空發(fā)生腔室側(cè)壁上，外側(cè)端抵靠所述密封卡套的一端，所述夾緊片的兩側(cè)分別抵靠所述密封卡套的另一端和所述鎖緊螺母的內(nèi)側(cè)端，所述鎖緊螺母的內(nèi)螺紋與所述固定接頭的外螺紋嚙合；所述夾緊片的內(nèi)側(cè)設(shè)有用于夾緊所述熱偶外罩的夾緊裝置，且所述夾緊片設(shè)有用于夾緊熱偶的通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述密封卡套的內(nèi)側(cè)端設(shè)有定位凸臺(tái)，所述定位凸臺(tái)與所述固定接頭的外側(cè)端扣合。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述固定接頭的外側(cè)端的內(nèi)圈設(shè)有錐形結(jié)構(gòu)，所述錐形結(jié)構(gòu)與所述定位凸臺(tái)之間設(shè)有密封圈。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述密封圈為柔性件。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述夾緊裝置為設(shè)于所述夾緊片內(nèi)側(cè)的具有預(yù)設(shè)間距的楔形凸臺(tái)，所述預(yù)設(shè)間距與所述熱偶外罩的外徑尺寸相適應(yīng)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述固定接頭的內(nèi)側(cè)端與所述真空發(fā)生腔室側(cè)壁焊接固定。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述熱偶外罩的固定端的端部外側(cè)壁設(shè)有用于前后定位熱偶的定位凹槽，所述夾緊片的通孔內(nèi)側(cè)設(shè)有與定位凹槽配合的開(kāi)口。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述固定接頭的外側(cè)沿圓周方向上均勻分布有兩個(gè)凹槽。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述夾緊片為柔性件。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述熱偶外罩的固定端的外形輪廓是多邊形。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述熱偶外罩的固定端的外形輪廓是四邊形。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的熱偶固定裝置，其特征在于，所述熱偶外罩為石英外罩。
13.一種溫度測(cè)量裝置，包括反應(yīng)腔室、真空發(fā)生腔室，連接有熱偶的熱偶外罩，其特征在于，所述熱偶外罩的固定端通過(guò)權(quán)利要求1-12任一項(xiàng)所述的熱偶固定裝置固定。
【文檔編號(hào)】G01K1/14GK103698029SQ201310631252
【公開(kāi)日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2013年11月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月29日
【發(fā)明者】楊帥, 董金衛(wèi), 盧言曉 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司