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專利名稱：一種異物檢測(cè)裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于液晶平板顯示的制造技術(shù)的領(lǐng)域，尤其涉及一種異物檢測(cè)裝置，其可用于檢測(cè)玻璃基板上的異物。
背景技術(shù)：
液晶電視、液晶電腦等平板顯示器越來越受到大眾的歡迎。在平板顯示器的制造產(chǎn)業(yè)中，異物(例如塵埃等微粒)是影響生產(chǎn)之重要問題。例如，在薄膜晶體管的制程(TFTprocess)中，接近式曝光機(jī)因光罩(Mask)面積大，距離玻璃基板的表面距離非常近(例如200微米左右)，因此如果粘附在玻璃基板的表面上的異物碰到光罩，則可能致使光罩產(chǎn)生損傷甚至報(bào)廢。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供一種異物檢測(cè)裝置，其能夠檢測(cè)出玻璃基板上異物，可靠地防止光罩被刮傷。本發(fā)明通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn):一種異物檢測(cè)裝置，其中，所述異物檢測(cè)裝置包括臺(tái)架、保護(hù)柱、光發(fā)射器及光接收器，所述保護(hù)柱設(shè)置在所述臺(tái)架上，且所述保護(hù)柱與所述玻璃基板之間形成有具有預(yù)先設(shè)定的高度的縫隙，所述光發(fā)射器和所述光接收器分別位于所述玻璃基板的相對(duì)兩側(cè)，且所述光發(fā)射器用于朝所述縫隙內(nèi)照射光，所述光接收器用于接收經(jīng)過所述縫隙的光。作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述預(yù)先設(shè)定的高度為100微米至800微米。作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述光發(fā)射器為激光發(fā)射器。作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述光接收器為CXD圖像傳感器。作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述異物檢測(cè)裝置還包括驅(qū)動(dòng)部及控制器，所述驅(qū)動(dòng)部用于驅(qū)動(dòng)所述保護(hù)柱、所述光發(fā)射器及所述光接收器同步運(yùn)動(dòng)，所述控制器用于控制所述驅(qū)動(dòng)部、所述光發(fā)射器及所述光接收器。作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述異物檢測(cè)裝置還包括警報(bào)器，所述警報(bào)器與所述控制器連接以在所述光接收器檢測(cè)出異常時(shí)通過所述控制器控制所述警報(bào)器發(fā)出警報(bào)。作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述保護(hù)柱通過多個(gè)螺栓連接在所述臺(tái)架上，所述保護(hù)柱上設(shè)有多個(gè)沉頭通孔，所述多個(gè)螺栓的頭部位于所述多個(gè)沉頭通孔內(nèi)，且所述多個(gè)螺栓的螺紋部穿出所述多個(gè)沉頭通孔連接在所述臺(tái)架上。作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述多個(gè)螺栓上均套設(shè)有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的兩側(cè)分別抵壓在所述臺(tái)架的底面和所述保護(hù)柱的頂面上。作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述異物檢測(cè)裝置還包括多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件，所述多個(gè)振動(dòng)檢測(cè) 元件用于檢測(cè)保護(hù)柱的振動(dòng)。作為上述技術(shù)方案的進(jìn)一步改進(jìn)，所述多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件均為電子數(shù)顯千分計(jì)，所述電子數(shù)顯千分計(jì)用于測(cè)量所述保護(hù)柱的頂面在高度方向上的移動(dòng)，并將該移動(dòng)數(shù)據(jù)輸出給所述控制器。本發(fā)明的有益效果是:根據(jù)本發(fā)明的異物檢測(cè)裝置，所述異物檢測(cè)裝置包括臺(tái)架、保護(hù)柱、光發(fā)射器及光接收器，所述保護(hù)柱與所述玻璃基板之間形成有具有預(yù)先設(shè)定的高度的縫隙，所述光發(fā)射器和所述光接收器分別位于所述玻璃基板的相對(duì)兩側(cè)，所述光接收器檢測(cè)由所述光發(fā)射器發(fā)出且經(jīng)過所述縫隙的光，當(dāng)玻璃基板上有異物時(shí)，則會(huì)引起光強(qiáng)度的變化，從而檢測(cè)出異物的存在。本發(fā)明的異物檢測(cè)裝置尤其可用于在薄膜晶體管的制程中檢測(cè)玻璃基板上的異物，有效防止光罩因微粒等異物產(chǎn)生損傷甚至報(bào)廢。


圖1是根據(jù)本發(fā)明的異物檢測(cè)裝置的正面示意圖。圖2是圖1的異物檢測(cè)裝置的側(cè)面示意圖。圖3是圖1的異物檢測(cè)裝置的示意性電氣控制框圖。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
進(jìn)行進(jìn)一步的說明。本發(fā)明的異物檢測(cè)裝置可用于在薄膜晶體管的制程(TFT process)中檢測(cè)玻璃基板100上的異物，防止光罩等被玻璃基板上的異物(例如微粒、粉塵、顆粒等)刮傷。如圖1和圖2所示,所述異物檢測(cè)裝置包括臺(tái)架(gantry) 202、保護(hù)柱(protectbar) 204、光發(fā)射器300及光接收器400。所述保護(hù)柱204設(shè)置在所述臺(tái)架202上。且所述保護(hù)柱204與所述玻璃基板100之間形成有具有預(yù)先設(shè)定的高度H的縫隙220。所述預(yù)先設(shè)定的高度H為100微米至800微米。預(yù)先設(shè)定的高度H與微粒的高度相當(dāng)。在本發(fā)明的一個(gè)具體應(yīng)用例中，預(yù)先設(shè)定·的高度H為約200微米。 如圖1所示，所述光發(fā)射器300和所述光接收器400分別位于所述玻璃基板100的相對(duì)兩側(cè)。所述光發(fā)射器300和所述光接收器400相對(duì)配置。且所述光發(fā)射器300用于朝所述縫隙220內(nèi)照射光。相應(yīng)地，所述光接收器400用于接收經(jīng)過所述縫隙220的光。由此，根據(jù)照射的光是否被遮蔽以及遮蔽的程度，判斷出異物的存在及大小。本例中，所述光發(fā)射器300為激光發(fā)射器300。而且，所述光接收器400為CCD圖像傳感器。本例中，如圖3所示，所述異物檢測(cè)裝置還包括驅(qū)動(dòng)部212及控制器10。所述驅(qū)動(dòng)部212用于驅(qū)動(dòng)所述保護(hù)柱204、所述光發(fā)射器300及所述光接收器400同步運(yùn)動(dòng)。在進(jìn)行異物檢測(cè)時(shí)，所述保護(hù)柱204、所述光發(fā)射器300及所述光接收器400進(jìn)行掃描方式的檢測(cè)運(yùn)動(dòng)，玻璃基板100可保持靜止。掃描方向可以為玻璃基板100的長(zhǎng)度方向X或?qū)挾确较験。所述控制器10用于控制所述驅(qū)動(dòng)部212、所述光發(fā)射器300及所述光接收器400。此外，所述異物檢測(cè)裝置還包括警報(bào)器500。所述警報(bào)器500與所述控制器10連接，以便在所述光接收器400檢測(cè)出異常時(shí)通過所述控制器10控制所述警報(bào)器500發(fā)出聲音警報(bào)、顏色警報(bào)等警報(bào)信號(hào)，通知操作人員進(jìn)行相應(yīng)處理。當(dāng)掃描的光束經(jīng)過異物時(shí)，異物會(huì)對(duì)縫隙220內(nèi)的光進(jìn)行遮蔽，光接收器400的接收的光的強(qiáng)度信號(hào)降低。而且，可利用光接收器400 (CCD圖像傳感器)的光的強(qiáng)度信號(hào)降低的程度來計(jì)算出異物的具體高度。而且，并可通過設(shè)定光接收器400的有效檢出寬度，檢出不同寬度的異物。具體而言，光接收器400 (CCD圖像傳感器)可在高度方向Z上將接收的光分為若干個(gè)區(qū)域。每個(gè)高度方向Z上的區(qū)域的光強(qiáng)均記錄為掃描信號(hào)。當(dāng)沒有異物存在時(shí)，掃描過程中光接收器400基本上完整地接收到光發(fā)射器300發(fā)出的經(jīng)過縫隙220的光，且掃描信號(hào)基本上始終保持穩(wěn)定。而當(dāng)掃描過程中縫隙220內(nèi)出現(xiàn)異物時(shí)，光接收器400會(huì)接收到瞬時(shí)的區(qū)域性的亮度降低。此時(shí)，可通過控制器10控制所述警報(bào)器500發(fā)出警報(bào)，通知操作人員進(jìn)行相應(yīng)處理。如圖1和圖2所示，所述保護(hù)柱204通過多個(gè)螺栓206懸置在所述臺(tái)架202上。其中，所述保護(hù)柱204上設(shè)有多個(gè)沉頭通孔212。所述多個(gè)螺栓206的頭部位于所述多個(gè)沉頭通孔212內(nèi)。而且，所述多個(gè)螺栓206的螺紋部穿出所述多個(gè)沉頭通孔212連接在所述臺(tái)架202上。圖中，螺栓206的數(shù)量和沉頭通孔212的數(shù)量均為4個(gè)。然而，本發(fā)明不限于此，螺栓206的數(shù)量和沉頭通孔212的數(shù)量可以為更多或更少。此外，所述多個(gè)螺栓206上均套設(shè)有壓縮彈簧210。所述壓縮彈簧210的兩側(cè)分別抵壓在所述臺(tái)架202的底面和所述保護(hù)柱204的頂面上。本發(fā)明的異物檢測(cè)裝置中，所述異物檢測(cè)裝置還包括多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件208，所述多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件208用于檢測(cè)保護(hù)柱204的振動(dòng)。所述多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件208固定在所述臺(tái)架102上。本例中，所述多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件208均為電子數(shù)顯千分計(jì)。所述電子數(shù)顯千分計(jì)用于測(cè)量所述保護(hù)柱204的頂面在高度方向Z上的移動(dòng)。并將該移動(dòng)數(shù)據(jù)經(jīng)電纜輸出給所述控制器10?？刂破?0可以通過振動(dòng)檢測(cè)軟件，計(jì)算出保護(hù)柱204在規(guī)定時(shí)間內(nèi)的高度變化量或變化率，進(jìn)而判斷保護(hù)柱204是否被異物阻擋，進(jìn)而判斷出高于或等于預(yù)先設(shè)定的高度H的異物的存在。本發(fā)明 的異物檢測(cè)裝置，利用保護(hù)柱204與玻璃基板100之間形成與目標(biāo)異物高度相當(dāng)?shù)目p隙220 (預(yù)先設(shè)定的高度H可根據(jù)需要設(shè)定調(diào)整)。由此，可利用穿過縫隙220的激光束，形成高度與預(yù)先設(shè)定的高度H相等的數(shù)百微米的光束。當(dāng)玻璃基板100上有異物時(shí)，則會(huì)引起光接收器400的光接收強(qiáng)度的變化，從而檢測(cè)出異物的存在。另外，光接收器400可具有寬度與異物相當(dāng)?shù)挠行Ы邮諏挾龋纱嗽谠搶挾确秶鷥?nèi)檢測(cè)光強(qiáng)的變化。根據(jù)本發(fā)明的異物檢測(cè)裝置，當(dāng)透明度較高且堅(jiān)硬異物未被檢出(漏檢)時(shí)，該較高的異物不會(huì)進(jìn)入縫隙220。且該較高的異物與保護(hù)柱204碰撞產(chǎn)生振動(dòng)。此時(shí)，通過多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件208檢測(cè)保護(hù)柱204的振動(dòng)，檢測(cè)出該類異物的存在，達(dá)到雙重保險(xiǎn)的作用，進(jìn)一步可靠地防止異物的漏檢。根據(jù)本發(fā)明的異物檢測(cè)裝置，利用縫隙220可以達(dá)到更精確的控制設(shè)定異物高度檢出。此外，振動(dòng)的監(jiān)控能通過物理偵測(cè)對(duì)具有規(guī)定高度的異物進(jìn)行直接偵測(cè)，補(bǔ)償光學(xué)檢出的盲點(diǎn)或漏檢，且可有效防止光罩被大顆粒堅(jiān)硬異物刮傷石英層而徹底無法修復(fù)的風(fēng)險(xiǎn)。以上具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說明，但這些并非構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。本發(fā)明的保護(hù)范圍并不以上述實(shí)施方式為限，但凡本領(lǐng)域普通技術(shù)人員根據(jù)本發(fā)明所揭示內(nèi)容所作的等效修飾或變化，皆應(yīng)納入權(quán)利要求書中記載的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述異物檢測(cè)裝置包括臺(tái)架、保護(hù)柱、光發(fā)射器及光接收器，所述保護(hù)柱設(shè)置在所述臺(tái)架上，且所述保護(hù)柱與所述玻璃基板之間形成有具有預(yù)先設(shè)定的高度的縫隙，所述光發(fā)射器和所述光接收器分別位于所述玻璃基板的相對(duì)兩偵牝且所述光發(fā)射器用于朝所述縫隙內(nèi)照射光，所述光接收器用于接收經(jīng)過所述縫隙的光。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述預(yù)先設(shè)定的高度為100微米至800微米。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述光發(fā)射器為激光發(fā)射器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述光接收器為CCD圖像傳感器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述異物檢測(cè)裝置還包括驅(qū)動(dòng)部及控制器，所述驅(qū)動(dòng)部用于驅(qū)動(dòng)所述保護(hù)柱、所述光發(fā)射器及所述光接收器同步運(yùn)動(dòng)，所述控制器用于控制所述驅(qū)動(dòng)部、所述光發(fā)射器及所述光接收器。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述異物檢測(cè)裝置還包括警報(bào)器，所述警報(bào)器與所述控制器連接以在所述光接收器檢測(cè)出異常時(shí)通過所述控制器控制所述警報(bào)器發(fā)出警報(bào)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述保護(hù)柱通過多個(gè)螺栓連接在所述臺(tái)架上，所述保護(hù)柱上設(shè)有多個(gè)沉頭通孔，所述多個(gè)螺栓的頭部位于所述多個(gè)沉頭通孔內(nèi)，且所述多個(gè)螺栓的螺紋部穿出所述多個(gè)沉頭通孔連接在所述臺(tái)架上。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述多個(gè)螺栓上均套設(shè)有壓縮彈簧，所述壓縮彈簧的兩側(cè)分別抵壓在所述臺(tái)架的底面和所述保護(hù)柱的頂面上。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述異物檢測(cè)裝置還包括多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件，所述多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件用于檢測(cè)保護(hù)柱的振動(dòng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的異物檢測(cè)裝置，其特征在于，所述多個(gè)振動(dòng)檢測(cè)元件均為電子數(shù)顯千分計(jì)，所述電子數(shù)顯千分計(jì)用于測(cè)量所述保護(hù)柱的頂面在高度方向上的移動(dòng)，并將該移動(dòng)的數(shù)據(jù)輸出給所述控制器。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種異物檢測(cè)裝置，所述異物檢測(cè)裝置包括臺(tái)架、保護(hù)柱、光發(fā)射器及光接收器，所述保護(hù)柱設(shè)置在所述臺(tái)架上，且所述保護(hù)柱與所述玻璃基板之間形成有具有預(yù)先設(shè)定的高度的縫隙，所述光發(fā)射器和所述光接收器分別位于所述玻璃基板的相對(duì)兩側(cè)，且所述光發(fā)射器用于朝所述縫隙內(nèi)照射光，所述光接收器用于接收經(jīng)過所述縫隙的光，當(dāng)玻璃基板上有異物時(shí)，則會(huì)引起光的強(qiáng)度的變化，從而檢測(cè)出異物的存在。本發(fā)明的異物檢測(cè)裝置尤其可用于在薄膜晶體管的制程中檢測(cè)玻璃基板上的異物，有效防止光罩因微粒等異物產(chǎn)生損傷甚至報(bào)廢。
文檔編號(hào)G01N21/958GK103245678SQ20131015068
公開日2013年8月14日 申請(qǐng)日期2013年4月26日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月26日
發(fā)明者陳暉 申請(qǐng)人:深圳市華星光電技術(shù)有限公司