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一種聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置及其降震方法
【專(zhuān)利摘要】一種聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置，包括：固定支架，所述固定支架環(huán)設(shè)于探針之外端的外圍；彈性元件，所述彈性元件之一端固定設(shè)置在所述固定支架上，所述彈性元件之另一端固定設(shè)置在所述探針上，且所述彈性元件之間呈120°角。本發(fā)明通過(guò)在探針之外端的外圍環(huán)設(shè)固定支架，并在所述固定支架內(nèi)設(shè)置彈性元件，所述彈性元件之一端固定設(shè)置在所述固定支架上，所述彈性元件之另一端固定設(shè)置在所述探針上，且所述彈性元件之間呈120°角，使得所述降震裝置可有效的抑制所述彈性元件向任一方向抖動(dòng)，極大的改善了外部環(huán)境對(duì)所述聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針帶來(lái)的震動(dòng)影響，降低樣品抖落的機(jī)會(huì)，改善了樣品制備的效率和工藝產(chǎn)品的循環(huán)時(shí)間。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置及其降震方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件之測(cè)試【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置及其降震方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著市場(chǎng)需求，晶圓的尺寸在逐漸變大，工藝尺寸越來(lái)越小，致命缺陷也已經(jīng)小到微米,納米級(jí)別，很多缺陷通過(guò)掃描電鏡(Scanning Electron Microscope, SEM)、聚焦離子束(Focused 1n Beam, FIB)等數(shù)據(jù)收集方法已經(jīng)不能完全分析出缺陷之源頭,透射電子顯微鏡(Transmission Electron Microscope, TEM)便成為缺陷源頭分析不可缺少的手段之一。但是，傳統(tǒng)的TEM要首先將待測(cè)試晶圓破片再去進(jìn)行樣品制備，已破片之晶圓不能重返生產(chǎn)線進(jìn)行后續(xù)的加工生產(chǎn)，進(jìn)而很大程度上造成資源浪費(fèi)。
[0003]另一方面，F(xiàn)IB機(jī)臺(tái)已用于生產(chǎn)線上對(duì)晶圓異常缺陷進(jìn)行全檢分析，該機(jī)臺(tái)不需要進(jìn)行破片，產(chǎn)品不需要報(bào)廢。但是，在進(jìn)行樣品制備時(shí)，使用者需利用FIB機(jī)臺(tái)之探針(Omniprobe)提取樣品，并黏附在樣品載具上，直接鑲嵌于FIB機(jī)臺(tái)里。在樣品制品過(guò)程中，所述探針將會(huì)有部分外露于FIB機(jī)臺(tái)。顯然地，外圍機(jī)臺(tái)的震動(dòng)和噪音的共鳴勢(shì)必引起所述探針之外露部分進(jìn)行抖動(dòng)。更嚴(yán)重地，將會(huì)造成所述提取之樣品脫落，大大降低了樣品制備的效率和工藝產(chǎn)品的循環(huán)時(shí)間。
[0004]故針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的問(wèn)題，本案設(shè)計(jì)人憑借從事此行業(yè)多年的經(jīng)驗(yàn)，積極研究改良，于是有了本發(fā)明一種聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置及其降震方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)的聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針易于受到外圍機(jī)臺(tái)的震動(dòng)和噪音的共鳴產(chǎn)生抖動(dòng)，更嚴(yán)重的將會(huì)造成所述提取之樣品脫落，大大降低了樣品制備的效率和工藝產(chǎn)品的循環(huán)時(shí)間等缺陷提供一種聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置。
[0006]本發(fā)明之又一目的是針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中，傳統(tǒng)的聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針易于受到外圍機(jī)臺(tái)的震動(dòng)和噪音的共鳴產(chǎn)生抖動(dòng)，更嚴(yán)重的將會(huì)造成所述提取之樣品脫落，大大降低了樣品制備的效率和工藝產(chǎn)品的循環(huán)時(shí)間等缺陷提供一種聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震方法。
[0007]為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置，所述聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置包括:固定支架，所述固定支架環(huán)設(shè)于探針之外端的外圍；彈性元件，所述彈性元件之一端固定設(shè)置在所述固定支架上，所述彈性元件之另一端固定設(shè)置在所述探針上，且所述彈性元件之間呈120°角。
[0008]可選地，所述彈性元件為彈簧。
[0009]為實(shí)現(xiàn)本發(fā)明之又一目的，本發(fā)明提供一種聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震方法，所述降震方法包括:在所述探針之外端的外圍環(huán)設(shè)固定支架，并在所述固定支架內(nèi)設(shè)置彈性元件，所述彈性元件之一端固定設(shè)置在所述固定支架上，所述彈性元件之另一端固定設(shè)置在所述探針上，且所述彈性元件之間呈120°角。
[0010]可選地，所述彈性元件為彈簧。
[0011]綜上所述，本發(fā)明通過(guò)在探針之外端的外圍環(huán)設(shè)固定支架，并在所述固定支架內(nèi)設(shè)置彈性元件，所述彈性元件之一端固定設(shè)置在所述固定支架上，所述彈性元件之另一端固定設(shè)置在所述探針上，且所述彈性元件之間呈120°角，使得所述降震裝置可有效的抑制所述彈性元件向任一方向抖動(dòng)，極大的改善了外部環(huán)境對(duì)所述聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針帶來(lái)的震動(dòng)影響，降低樣品抖落的機(jī)會(huì)，改善了樣品制備的效率和工藝產(chǎn)品的循環(huán)時(shí)間。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0012]圖1所示為本發(fā)明聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2所示為本發(fā)明聚焦離子束之探針受震動(dòng)原理圖；
[0014]圖3所示為未設(shè)置本發(fā)明之降震裝置的測(cè)試結(jié)果圖；
[0015]圖4所示為具有本發(fā)明之降震裝置的測(cè)試結(jié)果圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]為詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明創(chuàng)造的技術(shù)內(nèi)容、構(gòu)造特征、所達(dá)成目的及功效，下面將結(jié)合實(shí)施例并配合附圖予以詳細(xì)說(shuō)明。
[0017]請(qǐng)參閱圖1，并結(jié)合參閱圖2，圖1所示為本發(fā)明聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置結(jié)構(gòu)示意圖。圖2所示為本發(fā)明聚焦離子束之探針受震動(dòng)原理圖。在聚焦離子束機(jī)臺(tái)2中，所述聚焦離子束機(jī)臺(tái)2之探針20傾斜穿設(shè)在所述聚焦離子束機(jī)臺(tái)2之腔體21內(nèi)，且所述探針20之外端201露于外部環(huán)境。當(dāng)所述外部環(huán)境之其它機(jī)臺(tái)震動(dòng)和噪音共鳴時(shí)，則勢(shì)必引起所述探針20之外端201震動(dòng)，對(duì)半導(dǎo)體器件測(cè)試造成不利影響，甚至抖落待測(cè)試樣品O
[0018]為了有效的避免外界機(jī)臺(tái)震動(dòng)和噪音共鳴，導(dǎo)致探針20之外端201震動(dòng),進(jìn)而使得對(duì)半導(dǎo)體器件測(cè)試造成不利影響，本發(fā)明所述聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置1，包括固定支架11，所述固定支架環(huán)設(shè)于所述探針20之外端201的外圍；彈性元件12，所述彈性元件12之一端固定設(shè)置在所述固定支架11上，所述彈性元件12之另一端固定設(shè)置在所述探針20上，且所述彈性元件12之間呈120°角。
[0019]作為本領(lǐng)域技術(shù)人員，容易理解地，所述聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置I通過(guò)各彈性元件12施力在所述探針20上，且所述彈性元件12之間呈120°角，故所述降震裝置I可有效的抑制所述彈性元件12向任一方向抖動(dòng)，極大的改善了外部環(huán)境對(duì)所述聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針20帶來(lái)的震動(dòng)影響，降低樣品抖落的機(jī)會(huì)，改善了樣品制備的效率和工藝產(chǎn)品的循環(huán)時(shí)間。
[0020]為更直觀的揭露本發(fā)明之技術(shù)方案，凸顯本發(fā)明之有益效果，現(xiàn)以具體實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行佐證。作為具體的實(shí)施方式，所述彈性元件20為彈簧。所述聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震方法，包括:在所述探針20之外端201的外圍環(huán)設(shè)固定支架11，并在所述固定支架11內(nèi)設(shè)置彈性元件12。其中，所述彈性元件12之一端固定設(shè)置在所述固定支架11上，所述彈性元件12之另一端固定設(shè)置在所述探針20上，且所述彈性元件12之間呈120°角。
[0021]請(qǐng)參閱圖3、圖4，并結(jié)合參閱圖1和圖2，圖3所示為未設(shè)置本發(fā)明之降震裝置的測(cè)試結(jié)果圖。圖4所示為具有本發(fā)明之降震裝置的測(cè)試結(jié)果圖。從圖3和圖4明顯可知，具有本發(fā)明之降震裝置的聚焦離子束機(jī)臺(tái)在測(cè)試樣品3，并將所述樣品3黏附在樣品載具4的過(guò)程中較不具有本發(fā)明之降震裝置的聚焦離子束機(jī)臺(tái)在測(cè)試過(guò)程中具有更優(yōu)異的穩(wěn)定性，所述探針20未發(fā)生抖動(dòng)。反之，不具有本發(fā)明之降震裝置的聚焦離子束機(jī)臺(tái)在測(cè)試過(guò)程中嚴(yán)重抖動(dòng)，導(dǎo)致觀測(cè)模糊。
[0022]綜上所述，本發(fā)明通過(guò)在探針之外端的外圍環(huán)設(shè)固定支架，并在所述固定支架內(nèi)設(shè)置彈性元件，所述彈性元件之一端固定設(shè)置在所述固定支架上，所述彈性元件之另一端固定設(shè)置在所述探針上，且所述彈性元件之間呈120°角，使得所述降震裝置可有效的抑制所述彈性元件向任一方向抖動(dòng)，極大的改善了外部環(huán)境對(duì)所述聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針帶來(lái)的震動(dòng)影響，降低樣品抖落的機(jī)會(huì)，改善了樣品制備的效率和工藝產(chǎn)品的循環(huán)時(shí)間。
[0023]本領(lǐng)域技術(shù)人員均應(yīng)了解，在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種修改和變型。因而，如果任何修改或變型落入所附權(quán)利要求書(shū)及等同物的保護(hù)范圍內(nèi)時(shí)，認(rèn)為本發(fā)明涵蓋這些修改和變型。
【權(quán)利要求】
1.一種聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置，其特征在于，所述聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置包括: 固定支架，所述固定支架環(huán)設(shè)于探針之外端的外圍； 彈性元件，所述彈性元件之一端固定設(shè)置在所述固定支架上，所述彈性元件之另一端固定設(shè)置在所述探針上，且所述彈性元件之間呈120°角。
2.如權(quán)利要求1所述的聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震裝置，其特征在于，所述彈性元件為彈黃。
3.—種如權(quán)利要求1所述的聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震方法，其特征在于，所述降震方法包括:在所述探針之外端的外圍環(huán)設(shè)固定支架，并在所述固定支架內(nèi)設(shè)置彈性元件，所述彈性元件之一端固定設(shè)置在所述固定支架上，所述彈性元件之另一端固定設(shè)置在所述探針上，且所述彈性元件之間呈120°角。
4.如權(quán)利要求3所述的聚焦離子束機(jī)臺(tái)之探針的降震方法，其特征在于，所述彈性元件為彈簧。
【文檔編號(hào)】G01N1/36GK103969105SQ201410217867
【公開(kāi)日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2014年5月21日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月21日
【發(fā)明者】劉永波, 顧曉芳, 倪棋梁, 龍吟, 陳宏璘 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司