久久一区二区免费播放,国产在线欧美日韩一区二区,国产综合色在线视频,精品伊人久久久香线蕉,精品视频麻豆网站,玖玖国产,国内精品久久久久影,在线观看精品视频一区二区三区,午夜久久影院,国产精品一区久久

制造壓力傳感器的方法
【專利摘要】一種制造過熱或火警探測系統(tǒng)的方法，包括以下步驟：微機(jī)械加工壓力傳感器10，以及緊固傳感器管(20，圖2)使之與所述壓力傳感器10流體連通。所述傳感器管可包括含有在加熱時(shí)釋出氣體的材料的中空管(24，圖2)。所述微機(jī)械加工步驟可包括摻雜第一層12的至少一部分13、至少部分地在所述經(jīng)摻雜部分13內(nèi)形成空腔19，以及在所述空腔上形成可變形隔膜14。
【專利說明】制造壓力傳感器的方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本公開涉及一種用于過熱或火警系統(tǒng)中的壓力傳感器，且明確地說，涉及一種制造傳感器和此類系統(tǒng)的方法。這樣的過熱或火警系統(tǒng)可用以監(jiān)控包含飛行器的各個(gè)部分和其它航天應(yīng)用的數(shù)個(gè)不同環(huán)境。
發(fā)明背景
[0002]已知的過熱或火警系統(tǒng)包括與壓力傳感器流體連通的傳感器管，該壓力傳感器也稱為壓力開關(guān)模塊。該傳感器管通常包括含有金屬氫化物芯(通常為氫化鈦)和惰性氣體填充物(例如氦氣)的金屬傳感器管。此類系統(tǒng)顯不于US-3122728 (Lindberg)中。
[0003]傳感器管暴露于高溫會(huì)使得金屬氫化物芯釋出氫氣。傳感器管中相關(guān)的壓力升高使得壓力傳感器中正常情況下開啟的壓力開關(guān)關(guān)閉。此產(chǎn)生離散警報(bào)。壓力傳感器還經(jīng)配置以由于與惰性氣體填充物的熱膨脹相關(guān)聯(lián)的壓力升高而產(chǎn)生平均過熱警報(bào)。所述離散與平均警報(bào)狀態(tài)可使用單個(gè)壓力開關(guān)探測為單個(gè)警報(bào)狀態(tài)或使用至少兩個(gè)壓力開關(guān)而分開探測。
[0004]與氣動(dòng)式火災(zāi)/過熱探測器一起使用的單警報(bào)壓力傳感器的一個(gè)實(shí)例描述于US5136278A(Watson)中。此探測器使用兩個(gè)可變形金屬隔膜來形成氣動(dòng)式壓力傳感器開關(guān)。所述隔膜通常由TZM合金盤(alloy disc)形成，所述TZM合金盤已經(jīng)受壓力形成操作以實(shí)現(xiàn)傳感器的所需壓力設(shè)定點(diǎn)。在壓力形成之后，所得隔膜的直徑約為5到10_。
[0005]歷史上，隔膜的壓力形成是在最終裝配氣動(dòng)式壓力探測器之前進(jìn)行。對(duì)此制造工藝的改善描述于US2009/0236205 (Nalla)中。此文獻(xiàn)公開了一種在最終裝配開關(guān)模塊之后執(zhí)行壓力形成操作的方法。盡管存在此改善，但制造具有可一致地重復(fù)的壓力設(shè)定點(diǎn)的傳感器為相對(duì)耗時(shí)且可能成本較高的程序。
[0006]與已知設(shè)計(jì)相關(guān)聯(lián)的另一缺點(diǎn)為氣動(dòng)式壓力開關(guān)的相對(duì)較大的內(nèi)部自由容積。氣動(dòng)式壓力傳感器的自由容積內(nèi)的氣體將減小與惰性氣體的膨脹或傳感器管內(nèi)的氫氣釋出相關(guān)聯(lián)的壓力升高。此將對(duì)系統(tǒng)的熱探測能力具有不利影響。此外，在離散警報(bào)狀況期間釋出的氫氣可能進(jìn)入氣動(dòng)式壓力開關(guān)的自由容積。此氫氣因而不再與金屬氫化物芯物理接觸，且無法在冷卻時(shí)被重新吸收。此將對(duì)探測系統(tǒng)在離散警報(bào)事件之后成功重置的能力具有不利影響。這些影響對(duì)于短的傳感器管長度都更加顯著。
[0007]本公開設(shè)法解決這些問題中的至少一些。
發(fā)明概要
[0008]本文公開了一種制造過熱或火警探測系統(tǒng)的方法，其包括以下步驟:微機(jī)械加工壓力傳感器；以及緊固傳感器管使之與所述壓力傳感器流體連通。
[0009]應(yīng)理解，術(shù)語‘壓力傳感器’意在是指可探測壓力變化的任何傳感器。所述壓力傳感器可包括一個(gè)或多個(gè)個(gè)別‘壓力開關(guān)’，其中的每一者將因壓力變化而啟動(dòng)。所述開關(guān)會(huì)在特定壓力閾值(‘壓力設(shè)定點(diǎn)’)下被啟動(dòng)以開啟或關(guān)閉電端子，因此提供數(shù)字輸出。數(shù)字壓力開關(guān)的一個(gè)實(shí)例為具有可變形隔膜的氣動(dòng)式壓力探測器?；蛘撸鲩_關(guān)可視壓力而變提供連續(xù)改變的輸出，因此提供模擬輸出。模擬壓力開關(guān)的一個(gè)實(shí)例為電子壓力傳感器，例如電容式或壓阻式傳感器。
[0010]術(shù)語‘微機(jī)械加工’(或‘微系統(tǒng)技術(shù)’ (MST))在此項(xiàng)技術(shù)中是眾所周知的，是指在微米尺度上制造三維結(jié)構(gòu)。通常，這些結(jié)構(gòu)使用半導(dǎo)體襯底，例如硅或基于硅的襯底(即，晶片)，但也可使用其它襯底?；局圃旒夹g(shù)涉及沉積極薄的層并且圖案化所述層以及蝕亥|J。使用微機(jī)械加工方法產(chǎn)生的系統(tǒng)通常稱為‘微機(jī)電系統(tǒng)’(MEMS)。
[0011]使用微機(jī)械加工技術(shù)能夠產(chǎn)生具有小得多且更準(zhǔn)確的尺寸的壓力傳感器。此允許更高效且可靠的制造工藝。以此方式制成的壓力傳感器可提供對(duì)壓力變化更準(zhǔn)確并且可靠的反應(yīng)。
[0012]根據(jù)本公開的壓力傳感器可具有ΙΟΟμπι或更小或介于30μπι與ΙΟΟμπι之間或大約30 μ m的最大總尺寸。每一開關(guān)可具有30 μ m或更小，或10 μ m或更小的最大總尺寸。所述最大總尺寸可以是傳感器/開關(guān)的占據(jù)區(qū)域的直徑或?qū)挾取?br> [0013]微機(jī)械加工技術(shù)還可提供具有高度復(fù)雜的幾何形狀的壓力傳感器，其壓力設(shè)定點(diǎn)可更準(zhǔn)確地加以設(shè)定。
[0014]使用微機(jī)械加工使壓力傳感器小型化還意味著可以在單個(gè)過程中在單個(gè)襯底上產(chǎn)生數(shù)個(gè)壓力開關(guān)。單個(gè)傳感器管可連接到所述襯底，與數(shù)個(gè)不同開關(guān)流體連通。用戶可接著選擇將電路系統(tǒng)連接到哪一或哪些開關(guān)以便監(jiān)控所需壓力設(shè)定點(diǎn)。可能需要使用具有不同設(shè)定點(diǎn)的數(shù)個(gè)不同開關(guān)，以使得可監(jiān)控各種溫度條件，例如，過熱、起火和完整性(以檢查傳感器管中的泄漏)。
[0015]所述傳感器管可包括含有在加熱時(shí)釋出氣體的材料的中空管。此類傳感器管是眾所周知的，如上文所論述。該管可由例如鉻鎳鐵合金等金屬制成。材料可以是金屬氫化物，例如氫化鈦。所述傳感器管可含有惰性氣體填充物，例如氦氣。所述傳感器管相對(duì)于其直徑(例如，小于5_)可具有極大長度(例如，介于I米與10米之間)。由此，使用小型化壓力傳感器可允許制造極小輪廓(即，小直徑)的過熱/火警探測系統(tǒng)。
[0016]微機(jī)械加工步驟可包括形成和/或提供一個(gè)或多個(gè)層。所述層可各自具有100 μ m或更小的厚度。
[0017]第一層可以是在上面沉積其它層的襯底層。該第一層可被認(rèn)為是下部或基底層，因?yàn)檫@可能是其在制造期間的定向。然而，應(yīng)理解，壓力傳感器可以任何定向來制造(并且隨后被使用)。該第一層可包括半導(dǎo)體材料，例如硅。
[0018]所述微機(jī)械加工步驟可包括摻雜第一層的至少一部分。所述摻雜可以任何已知的適當(dāng)方式來執(zhí)行。經(jīng)摻雜部分可延伸遍及第一層的整個(gè)厚度，以使得可從第一層的下側(cè)接近經(jīng)摻雜部分。第一層可包括一個(gè)或多個(gè)未經(jīng)摻雜的部分。
[0019]第一層可具有ΙΟΟμπι或更小的厚度。
[0020]可提供多個(gè)單獨(dú)的經(jīng)摻雜部分。
[0021]每一經(jīng)摻雜部分可形成電端子。關(guān)閉所述電端子可開啟或關(guān)閉電路并且觸發(fā)警報(bào)。所述經(jīng)摻雜部分可連接到任何適當(dāng)電路系統(tǒng)以提供警報(bào)電路。適當(dāng)電路系統(tǒng)顯示于US-5136278 (Watson)和US-5691702 (Hay)中，并且對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說將是顯而易見的。
[0022]所述微機(jī)械加工步驟可包括至少部分地在所述經(jīng)摻雜部分內(nèi)形成空腔?？涨豢稍谝研纬伤鼋?jīng)摻雜部分之前或之后形成于所述第一層中。所述空腔至少部分地在所述經(jīng)摻雜部分內(nèi)。由此，所述經(jīng)摻雜部分的至少部分形成基底和/或所述空腔的一個(gè)或多個(gè)壁的部分。
[0023]可形成多個(gè)空腔，其中每一空腔部分地在經(jīng)摻雜部分內(nèi)。
[0024]所述空腔可具有小于I μ m或0.5 μ m或更小的深度。
[0025]可使用任何已知方法形成所述空腔。舉例來說，可蝕刻出所述空腔。已知蝕刻技術(shù)包含濕式蝕刻和干式蝕刻。
[0026]所述空腔可用以為具有隔膜的氣動(dòng)式壓力傳感器提供充氣部(plenum)。使用微機(jī)械加工技術(shù)提供具有準(zhǔn)確尺寸、具有極小的內(nèi)部自由容積的極小空腔。
[0027]形成一個(gè)或多個(gè)層的步驟可包括在所述空腔上形成可變形隔膜。所述隔膜可直接或間接地緊固到所述第一層?？赏ㄟ^在所述第一層上沉積材料層而形成所述可變形隔膜。
[0028]所述隔膜可具有小于5μηι或?yàn)棣│苔笑苫蚋〉暮穸取?br> [0029]應(yīng)理解，盡管所述隔膜覆蓋所述空腔，但其可能不與所述第一層直接接觸。換句話說，可能在所述隔膜與所述第一層之間存在一個(gè)或多個(gè)介入層。所述隔膜的占據(jù)區(qū)域覆蓋所述第一層中的空腔。所述隔膜可經(jīng)由所述介入層間接地緊固到所述第一層。
[0030]在使用中，所述隔膜的覆蓋所述空腔的部分在經(jīng)受作用于其上的流體壓力時(shí)可能移動(dòng)到所述空腔中。所述隔膜的所述部分進(jìn)入到所述空腔中的移動(dòng)會(huì)關(guān)閉電端子且觸發(fā)警報(bào)。由此，所述隔膜和空腔一起形成壓力開關(guān)。
[0031]所述微機(jī)械加工步驟可包括在所述隔膜的第二表面中形成凹部。所述隔膜的第二表面背對(duì)所述第一層。在制造期間，所述第二層可定位在所述第一層上，但應(yīng)理解，完工后的壓力傳感器可經(jīng)制造，(且隨后)以任何定向使用。
[0032]所述凹部至少部分地與所述空腔對(duì)準(zhǔn)。由此，所述隔膜的與所述凹部對(duì)準(zhǔn)的部分覆蓋所述空腔的至少一部分。
[0033]可使用任何已知方法形成所述凹部。舉例來說，可蝕刻出所述凹部。
[0034]在所述隔膜的與所述空腔對(duì)準(zhǔn)的部分中形成凹部可減小此部分的硬度。通過改變所述凹部的深度，可設(shè)定壓力開關(guān)的壓力設(shè)定點(diǎn)。這是因?yàn)槿嵝暂^大的部分將在較低壓力下變形。較深的凹部可因此用以探測較低壓力且因此探測較低溫度閾值。
[0035]可形成多個(gè)單獨(dú)的凹部。
[0036]所述凹部和空腔可為圓形的(當(dāng)從上部觀看時(shí))，但其它形狀也是可能的。
[0037]形成多個(gè)空腔和凹部有效地在單個(gè)襯底上提供數(shù)個(gè)不同開關(guān)。如上文所論述，數(shù)個(gè)不同開關(guān)可連接到單個(gè)傳感器管?？梢圆煌瑝毫﹂撝抵聞?dòng)每一開關(guān)。
[0038]實(shí)現(xiàn)此的一種方式是通過使至少兩個(gè)凹部具有不同深度來實(shí)現(xiàn)。為提供不同深度，一個(gè)凹部可經(jīng)受比其它凹部更高水平(或不同類型)的蝕刻。
[0039]或者，可改變所述第一層中的所述空腔的深度。所述空腔越深，使所述隔膜充分變形以關(guān)閉所述空腔內(nèi)的電端子并且觸發(fā)警報(bào)所需的壓力將越大。再次，不同空腔可經(jīng)受不同水平(或類型)的蝕刻。
[0040]所述隔膜上可具有兩個(gè)、三個(gè)或三個(gè)以上凹部，其中每一凹部至少部分地與所述第一層上的空腔對(duì)準(zhǔn)。每一凹部可具有不同深度。
[0041]所述隔膜可由任何適當(dāng)材料形成。所述隔膜可由提供針對(duì)氫氣(其可從所連接的傳感器管釋出)的有效障壁的材料(例如氮化硅(Si3N4))形成。所述隔膜可由可容易并且準(zhǔn)確地被蝕刻的材料(例如陶瓷(例如，Si3N4))形成。
[0042]所述隔膜可由電絕緣材料形成。為了在所述隔膜的一部分移動(dòng)到所述空腔中時(shí)完成電路，所述方法可包括在所述隔膜與所述第一層之間形成柔性導(dǎo)電層。單個(gè)導(dǎo)電層可延伸于所述第一層上的所有空腔(如果存在)之上。
[0043]或者，所述隔膜可由導(dǎo)電材料形成，以使得在所述隔膜的一部分接觸所述第一層的在空腔內(nèi)的經(jīng)摻雜部分時(shí)完成電路。
[0044]所述隔膜和經(jīng)摻雜部分可提供電路的端子。關(guān)閉或開啟這些端子可觸發(fā)警報(bào)以指示已探測到特定壓力閾值(且因此探測到傳感器管的溫度)。適當(dāng)電路系統(tǒng)對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說將是顯而易見的。
[0045]本公開擴(kuò)展到一種氣動(dòng)式壓力傳感器，其包括第一層以及可變形隔膜。所述第一層在第一表面中具有多個(gè)空腔。所述隔膜具有面向且覆蓋所述空腔的第一表面以及背對(duì)所述第一層的第二表面。所述第二表面具有多個(gè)凹部，其中的每一者至少部分地與所述空腔中的一者對(duì)準(zhǔn)。至少一第一凹部具有大于第二凹部的深度。
[0046]如上文所論述，盡管所述隔膜覆蓋所述空腔，但其可能并不直接接觸所述第一層。實(shí)際上，一個(gè)或多個(gè)介入層可位于所述隔膜與所述第一層之間。
[0047]所述第一層和隔膜可具有上文相對(duì)于制造過熱或火警探測系統(tǒng)的方法所描述的特征中的任一者。。
[0048]每一空腔和凹部可提供個(gè)別壓力開關(guān)。
[0049]所述氣動(dòng)式壓力傳感器可使用微機(jī)械加工而形成。
[0050]所述第一層可具有ΙΟΟμπι或更小的厚度。所述隔膜可具有小于5μηι或?yàn)棣│苔笑?br> 或更小的厚度。
[0051]所述第一層可包括具有多個(gè)經(jīng)摻雜部分的半導(dǎo)體晶片。每一空腔可至少部分地處于所述經(jīng)摻雜部分中的一者內(nèi)。
[0052]每一經(jīng)摻雜部分可提供可通過將所述隔膜的一部分移動(dòng)到空腔中而關(guān)閉的電端子。
[0053]本公開還擴(kuò)展到一種制造如上所述的氣動(dòng)式壓力傳感器的方法。所述方法包括以下步驟:在第一表面中微機(jī)械加工具有多個(gè)空腔的第一層，以及微機(jī)械加工可變形隔膜，所述可變形隔膜覆蓋所述空腔并且在背對(duì)所述第一層的第二表面中具有深度不同的多個(gè)凹部。
[0054]本公開還擴(kuò)展到一種過熱或火警探測系統(tǒng)，其包括如上所述的氣動(dòng)式壓力傳感器以及連接到該傳感器且與多個(gè)凹部流體連通的傳感器管。
[0055]所述過熱或火警探測系統(tǒng)可如上所述而制造。
[0056]本公開還擴(kuò)展到一種制造過熱或火警探測系統(tǒng)的方法，其包括制造如上所述的氣動(dòng)式壓力傳感器，以及連接傳感器管使之與多個(gè)凹部流體連通。
[0057]附圖簡述
[0058]現(xiàn)將僅以舉例方式并且參考圖1到2描述本公開的一些示范性實(shí)施方案，其中:
[0059]圖1a到Ic是根據(jù)本公開的示范性實(shí)施方案的壓力傳感器的各種視圖；以及
[0060]圖2示出了根據(jù)本公開的示范性實(shí)施方案的過熱或火警系統(tǒng)的示意性橫截面圖。
[0061]諸圖未按比例繪制。

【具體實(shí)施方式】
[0062]圖1a示出了示范性經(jīng)過微機(jī)械加工的壓力傳感器10的透視圖。傳感器10包括襯底12 ( ‘第一層’)和可變形隔膜14。
[0063]隔膜14可由陶瓷材料(例如氮化硅(Si3N4))形成。襯底12是由半導(dǎo)體(例如硅)形成。
[0064]隔膜14在上部(‘第二’)表面14b中包括三個(gè)凹部16a、16b、16c。凹部16a、16b、16c為圓形且按相等間距隔開。
[0065]介入導(dǎo)電性柔性金屬層18位于隔膜14與襯底12之間。金屬層18接觸襯底12的上部(‘第一’)表面12a和隔膜14的下部(‘第一’)表面14a。隔膜14、襯底12和介入金屬層18都是圓形的，且實(shí)質(zhì)上具有相同大小。
[0066]隔膜14和介入金屬層18可經(jīng)由沉積而形成。所述層的特征(例如凹部16a、16b、16c以及空腔19)可通過蝕刻相應(yīng)層而形成。
[0067]圖1b示出了壓力傳感器10的俯視平面圖。凹部具有10微米的直徑D2，并且隔膜14具有30微米的直徑Dl。隔膜14的直徑表示傳感器10的最大總尺寸。其它尺寸將是適當(dāng)?shù)摹?br> [0068]圖1c示出了沿圖1b中的線A-A截取的傳感器10的橫截面圖。如上文所論述，傳感器10包括三層結(jié)構(gòu)，即襯底12、金屬層18和隔膜14。襯底12包括經(jīng)摻雜部分13和未經(jīng)摻雜部分?？梢钥吹絾蝹€(gè)凹部16a。形成于經(jīng)摻雜部分13中的空腔19在凹部16a下方?？涨?9界定于經(jīng)摻雜部分13的上部表面13a、未經(jīng)摻雜部分12的壁12c與隔膜的下部表面14a之間。空腔19與凹部16a實(shí)質(zhì)上對(duì)準(zhǔn)。類似的經(jīng)摻雜部分和空腔形成于兩個(gè)其它凹部16b、16c下方。
[0069]隔膜的厚度T1為1.0 μ m，且空腔19在經(jīng)摻雜部分中的深度T2為0.5 μ m，但其它尺寸也將是適當(dāng)?shù)摹?br> [0070]隔膜的在凹部16a下方的部分14c、經(jīng)摻雜部分13、空腔19和介入金屬層18形成氣動(dòng)式壓力開關(guān)。當(dāng)在其上部表面14b上經(jīng)受足夠壓力時(shí)，部分14c將變形到空腔19中(隨其攜帶金屬層18的部分)。當(dāng)金屬層18接觸經(jīng)摻雜部分13時(shí)，完成電路(圖中未示)。此觸發(fā)警報(bào)以指示已探測到特定溫度閾值。所示傳感器10因此具有三個(gè)相異的開關(guān)。
[0071]凹部16a、16b、16c可各自具有不同深度。此提供不同壓力設(shè)定點(diǎn)，因?yàn)椴糠?4c在凹部下方的厚度將與使所述部分變形到空腔19中所需的壓力量成反比。壓力設(shè)定點(diǎn)也將取決于空腔19的深度，因?yàn)椴糠?4c將會(huì)進(jìn)一步變形直到其與經(jīng)摻雜部分13接觸(經(jīng)由金屬層18)。
[0072]在使用中，所有三個(gè)開關(guān)可用以監(jiān)控不同溫度條件，例如過熱、起火和完整性。或者，用戶可僅連接到具有所需壓力設(shè)定點(diǎn)的開關(guān)。
[0073]圖2示出了包括緊固到傳感器管20的傳感器10 (圖1a到Ic)的示范性過熱或火警系統(tǒng)30的橫截面圖。傳感器10僅出于說明目的而被放大顯示。例如由陶瓷制成的熱絕緣塊26附接在傳感器10周圍。套筒28纏繞在塊26和傳感器管20的一部分周圍以確保傳感器10與管20之間的氣密密封。
[0074]傳感器管20包括內(nèi)部空間21和實(shí)心芯22。內(nèi)部空間21填充有惰性氣體，例如氦氣。實(shí)心芯22由在加熱時(shí)釋出氣體(例如氫氣)的材料形成。所述材料可以是氫化鈦。管20包括例如由鉻鎳鐵合金制成的金屬殼24。淺間隙或充氣部23形成于傳感器10 (并且具體來說，隔膜14的上部表面14b)與傳感器管20的第一末端20a之間。凹部16a、16b、16c與傳感器管20的內(nèi)部21流體連通。
[0075]傳感器管20具有1.6mm的外徑D3和0.9mm的內(nèi)徑D4。實(shí)心芯22具有0.66mm的直徑D5。其它尺寸將是適當(dāng)?shù)摹?br> [0076]加熱傳感器管20首先引起氦氣膨脹。此施加壓力于凹部16a、16b、16c上。取決于每一開關(guān)的壓力設(shè)定點(diǎn)，可啟動(dòng)一個(gè)或多個(gè)開關(guān)。進(jìn)一步加熱傳感器管20使得芯22釋出氫氣。此使得一個(gè)或多個(gè)開關(guān)啟動(dòng)。
[0077]壓力開關(guān)中的一者可在壓力下降到特定閾值之下的情況下提供完整性警報(bào)。閾值可設(shè)定為氦氣填充物的正常操作壓力。如果壓力下降到此閾值之下，那么其可指示傳感器管中(或管20與傳感器10之間)的泄漏。完整性開關(guān)可為常斷式的，并且僅當(dāng)壓力下降到閾值之下時(shí)才開啟。在正常情況下關(guān)閉的開關(guān)開啟(即，金屬層18與經(jīng)摻雜部分之間的電路的開啟)可觸發(fā)警報(bào)。
[0078]示范性過熱或火警系統(tǒng)30可因此用以提供指示不同溫度或條件的數(shù)個(gè)不同警報(bào)信號(hào)。
[0079]以上描述僅例示本發(fā)明的原理。鑒于以上教示，許多修改和變化是可能的。因此，應(yīng)理解，在所附權(quán)利要求書的范圍內(nèi)，可以與使用已經(jīng)具體描述了的示例性實(shí)施方案不同的方式來實(shí)踐本發(fā)明。出于所述原因，應(yīng)研究所附權(quán)利要求書以確定本發(fā)明的真實(shí)范圍和內(nèi)容。
【權(quán)利要求】
1.一種制造過熱或火警探測系統(tǒng)的方法，其包括以下步驟: 微機(jī)械加工壓力傳感器；以及 緊固傳感器管使之與所述壓力傳感器流體連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中所述傳感器管包括含有在加熱時(shí)釋出氣體的材料的中空管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其中所述微機(jī)械加工步驟包括形成一個(gè)或多個(gè)層。
4.根據(jù)權(quán)利要求1到3中任一權(quán)利要求所述的方法，其中所述微機(jī)械加工步驟包括摻雜第一層的至少一部分且至少部分地在所述經(jīng)摻雜部分內(nèi)形成空腔。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中所述微機(jī)械加工步驟包括在所述空腔上形成可變形隔膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其中所述微機(jī)械加工步驟包括在所述隔膜的上部表面中形成凹部，所述上部表面背對(duì)所述第一層并且至少部分地與所述空腔對(duì)準(zhǔn)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的方法，其中所述微機(jī)械加工步驟包括: 形成多個(gè)經(jīng)摻雜部分； 部分地在每一經(jīng)摻雜部分內(nèi)形成空腔；以及 在所述第一層中形成多個(gè)凹部，每一凹部至少部分地與空腔對(duì)準(zhǔn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其中所述微機(jī)械加工步驟包括形成具有不同深度的至少兩個(gè)凹部。
9.根據(jù)權(quán)利要求5到8中任一權(quán)利要求所述的方法，其中所述形成一個(gè)或多個(gè)層的步驟包括在所述可變形隔膜與所述第一層之間形成柔性導(dǎo)電層。
10.一種氣動(dòng)式壓力傳感器，其包括: 第一層，其在第一表面中具有多個(gè)空腔；以及 可變形隔膜，其具有: 第一表面，其面向且覆蓋所述空腔；以及 第二表面，其背對(duì)所述第一層且具有多個(gè)凹部，其中每一凹部至少部分地與所述空腔中的一者對(duì)準(zhǔn)且至少一第一凹部具有大于第二凹部的深度。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的氣動(dòng)式壓力傳感器，其中所述第一層和所述隔膜各自具有100 μ m或更小的厚度。
12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的氣動(dòng)式壓力傳感器，其中所述第一層包括具有多個(gè)經(jīng)摻雜部分的半導(dǎo)體晶片，且所述空腔中的每一者至少部分地在所述經(jīng)摻雜部分中的一者內(nèi)。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的氣動(dòng)式壓力傳感器，其中每一經(jīng)摻雜部分提供可通過將所述隔膜的一部分移動(dòng)到空腔中而關(guān)閉的電端子。
14.一種制造根據(jù)權(quán)利要求10到13中任一權(quán)利要求所述的氣動(dòng)式壓力傳感器的方法，其包括以下步驟: 微機(jī)械加工在第一表面中具有多個(gè)空腔的第一層；以及 微機(jī)械加工可變形隔膜，所述可變形隔膜覆蓋所述空腔且在所述隔膜的背對(duì)所述第一層的第二表面中具有深度不同的多個(gè)凹部。
15.一種制造過熱或火警探測系統(tǒng)的方法，其包括根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法制造氣動(dòng)式壓力傳感器以及連接傳感器管使之與所述多個(gè)凹部流體連通。
【文檔編號(hào)】G01L7/08GK104129751SQ201410181643
【公開日】2014年11月5日 申請(qǐng)日期:2014年4月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月30日
【發(fā)明者】P.D.史密斯, P.倫尼 申請(qǐng)人:基德科技公司