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電控自動化光電測試裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種電控自動化光電測試裝置，涉及光電芯片測試領(lǐng)域，通過電控系統(tǒng)，利用參數(shù)輸入單元將測試條件參數(shù)輸入給電控單元，電控單元控制轉(zhuǎn)輪組、升降臺和旋轉(zhuǎn)裝置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或移動，分別調(diào)整光源的光強(qiáng)、波長、待測器件到出光口的水平距離、以及待測器件接收到的入射光的角度，從而避免了現(xiàn)有的光電測試裝置在測試時繁瑣的調(diào)整過程，實現(xiàn)了測試條件的自動化控制，簡化了測試過程，縮短了測試時間；并且，一站式自動化控制，可以避免現(xiàn)有測試過程中頻繁設(shè)置導(dǎo)致的遺漏和錯誤現(xiàn)象的發(fā)生，提高了測試的準(zhǔn)確性。
【專利說明】 電控自動化光電測試裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件測試【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種電控自動化光電測試裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]近年來，CMOS圖像傳感器產(chǎn)品技術(shù)發(fā)展日新月異，各種不同規(guī)格的CMOS圖像傳感器應(yīng)用于相機(jī)、監(jiān)控、攝像機(jī)以及手機(jī)等移動終端。CMOS圖像傳感器在開發(fā)芯片時，需要對芯片的各個方面的性能進(jìn)行全面的評估，其中最重要的轉(zhuǎn)換增益、動態(tài)范圍、線性度、量子效率等特性。這些性能都要在特定的光照條件下測試，比如在不同的光波長、不同的光強(qiáng)度、不同的入射光角度等等，這些測試評估需要一套完整的光電測試裝置。
[0003]由于光電測試裝置在不同的測試項目評估時，需要調(diào)節(jié)光強(qiáng)度、光波長、入射角等測試條件，這都涉及到測試裝置的不同部分的設(shè)置；因此，采用目前的光電測試裝置的測試過程比較繁瑣、容易遺漏和產(chǎn)生錯誤，并且所經(jīng)歷的測試時間相當(dāng)長。
[0004]因此，需要對現(xiàn)有的光電測試裝置進(jìn)行改進(jìn)，以實現(xiàn)對測試條件的自動化控制，簡化測試過程、縮短測試時間、以及提高測試準(zhǔn)確性。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]為了克服以上問題，本發(fā)明旨在提供一種電控自動化光電測試裝置，以期在測試過程中，使得光電測試裝置對測試條件可以實現(xiàn)自動化控制。
[0006]本發(fā)明提供了一種電控自動化光電測試裝置，其包括:測試系統(tǒng)和電控系統(tǒng)；
[0007]所述測試系統(tǒng)包括:
[0008]積分球光源，其包括積分球、光源和出光口，積分球?qū)⒐庠淳鶆蚧?，通過出光口輸送給轉(zhuǎn)輪組；
[0009]轉(zhuǎn)輪組，與所述出光口相對，包含裝載有衰減片的光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪和裝載有濾波片的波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪，分別用于調(diào)整所述光源的光強(qiáng)和波長；
[0010]導(dǎo)軌，其上安裝有升降臺和旋轉(zhuǎn)裝置，所述升降臺用于裝載待測器件，所述待測器件接收來自所述轉(zhuǎn)輪組的入射光；通過控制所述升降臺沿所述導(dǎo)軌移動而控制所述待測器件到所述出光口的水平距離，通過控制旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)帶動所述待測器件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而控制所述待測器件所接收到的入射光的角度；
[0011]所述電控系統(tǒng)包括:
[0012]參數(shù)輸入單元,與電控單元相連,通過所述參數(shù)輸入單元將測試參數(shù)輸入到所述電控單元中；
[0013]電控單元，與所述轉(zhuǎn)輪組、所述升降臺和所述旋轉(zhuǎn)裝置相電連，根據(jù)所述輸入的參數(shù)控制所述轉(zhuǎn)輪組、所述升降臺和所述旋轉(zhuǎn)裝置作出相應(yīng)的動作；
[0014]數(shù)據(jù)采集單元，與所述待測器件相電連，對所檢測得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集和分析。
[0015]優(yōu)選地，所述電控單元包括轉(zhuǎn)輪組控制子單元、升降臺控制子單元和旋轉(zhuǎn)控制子單元；
[0016]所述轉(zhuǎn)輪組控制子單元，包括光強(qiáng)控制模塊，用于控制光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動來調(diào)整所述光源的光強(qiáng)；以及波長控制模塊，用于控制波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動來調(diào)整所述光源的波長;
[0017]所述升降臺控制子單元，用于控制所述升降臺沿所述導(dǎo)軌移動一定的距離；
[0018]所述旋轉(zhuǎn)控制子單元，用于控制所述旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)一定的角度并帶動所述待測器件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
[0019]優(yōu)選地，所述參數(shù)輸入單元連接有參數(shù)輸入裝置，所述參數(shù)輸入裝置具有波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面，光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面，距離輸入界面，以及旋轉(zhuǎn)角度輸入界面。
[0020]優(yōu)選地，還包括避光裝置，安裝有升降臺和旋轉(zhuǎn)裝置的所述導(dǎo)軌設(shè)置于所述避光裝置中。
[0021]優(yōu)選地，所述電控單元還包括:光源啟閉控制子單元，用于控制積分球光源的啟閉。
[0022]優(yōu)選地,所述電控單元還包括:用于對轉(zhuǎn)輪組控制子單元、升降臺控制子單元、旋轉(zhuǎn)控制子單元和光源啟閉控制子單元所設(shè)置的參數(shù)進(jìn)行確認(rèn)的確認(rèn)模塊和進(jìn)行取消的取消模塊，以及進(jìn)行保存的保存模塊；
[0023]則所述參數(shù)輸入單元連接有參數(shù)輸入裝置，所述參數(shù)輸入裝置具有波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面、光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面、距離輸入界面、旋轉(zhuǎn)角度輸入界面、確認(rèn)指令界面、取消指令界面和保存指令界面和光源啟閉控制界面。
[0024]優(yōu)選地,所述電控單元還包括:用于對轉(zhuǎn)輪組控制子單元、升降臺控制子單元、旋轉(zhuǎn)控制子單元所設(shè)置的參數(shù)進(jìn)行確認(rèn)的確認(rèn)模塊和進(jìn)行取消的取消模塊，以及進(jìn)行保存的保存模塊；
[0025]則所述參數(shù)輸入單元連接有參數(shù)輸入裝置，所述參數(shù)輸入裝置具有波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面、光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面、距離輸入界面、旋轉(zhuǎn)角度輸入界面、確認(rèn)指令界面、取消指令界面和保存指令界面。
[0026]優(yōu)選地，所述轉(zhuǎn)輪組中的每個轉(zhuǎn)輪中具有通光孔，所述通光孔與所述出光口相對，且所述通光孔的直徑與所述出光口的直徑相匹配；所述光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪中的通光孔中安裝衰減片，所述波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪中的通光孔中安裝濾波片。
[0027]優(yōu)選地，所述衰減片或所述濾波片與對應(yīng)的所述通光孔呈螺紋連接。
[0028]優(yōu)選地，所述積分球光源中，所述光源位于所述積分球內(nèi)。
[0029]本發(fā)明的電控自動化光電測試裝置，通過電控系統(tǒng)，利用參數(shù)輸入單元將測試條件參數(shù)輸入給電控單元，電控單元控制轉(zhuǎn)輪組、升降臺和旋轉(zhuǎn)裝置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或移動，分別調(diào)整光源的光強(qiáng)、波長、待測器件到出光口的水平距離、以及待測器件接收到的入射光的角度，從而避免了現(xiàn)有的光電測試裝置在測試時繁瑣的調(diào)整過程，實現(xiàn)了測試條件的自動化控制，簡化了測試過程，縮短了測試時間；并且，一站式自動化控制，可以避免現(xiàn)有測試過程中頻繁設(shè)置導(dǎo)致的遺漏和錯誤現(xiàn)象的發(fā)生，提高了測試的準(zhǔn)確性。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0030]圖1為本發(fā)明的一個較佳實施例的電控自動化光電測試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖
[0031]圖2為本發(fā)明的一個較佳實施例的電控系統(tǒng)的方塊圖
[0032]圖3為本發(fā)明的一個較佳實施例的參數(shù)輸入裝置的結(jié)構(gòu)示意圖

【具體實施方式】
[0033]為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說明書附圖，對本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步說明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0034]本發(fā)明的電控自動化光電測試裝置，包括:測試系統(tǒng)和電控系統(tǒng)；
[0035]測試系統(tǒng)包括:包括積分球、光源和出光口的積分球光源，與出光口相對的轉(zhuǎn)輪組，以及其上安裝有升降臺和旋轉(zhuǎn)裝置的導(dǎo)軌；積分球光源中積分球?qū)⒐庠淳鶆蚧?，通過出光口輸送給轉(zhuǎn)輪組；轉(zhuǎn)輪組包含裝載有衰減片的光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪和裝載有濾波片的波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪，分別用于調(diào)整所述光源的光強(qiáng)和波長；升降臺用于裝載待測器件，待測器件接收來自轉(zhuǎn)輪組的入射光；通過控制升降臺沿所述導(dǎo)軌移動而控制待測器件到出光口的水平距離，通過控制旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)帶動待測器件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而控制待測器件所接收到的入射光的角度；
[0036]電控系統(tǒng)包括:與電控單元相電連的參數(shù)輸入單元，以及與轉(zhuǎn)輪組、升降臺和旋轉(zhuǎn)裝置相電連的電控單元，以及與被測器件相電連的數(shù)據(jù)采集單元；通過參數(shù)輸入單元將測試參數(shù)輸入到電控單元中；電控單元，根據(jù)輸入的參數(shù)控制轉(zhuǎn)輪組、升降臺和旋轉(zhuǎn)裝置作出相應(yīng)的動作；數(shù)據(jù)采集單元，對所檢測得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集和分析。
[0037]以下將結(jié)合附圖1-3和具體實施例對本發(fā)明的電控自動化光電測試裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說明。其中，圖1為本發(fā)明的一個較佳實施例的電控自動化光電測試裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，圖2為本發(fā)明的一個較佳實施例的電控系統(tǒng)的方塊圖，圖3為本發(fā)明的一個較佳實施例的參數(shù)輸入裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式、使用非精準(zhǔn)的比例，且僅用以方便、清晰地達(dá)到輔助說明本實施例的目的。
[0038]請參閱圖1，本實施例中的光電自動化電控測試裝置包括:測試系統(tǒng)C和電控系統(tǒng)K；
[0039]測試系統(tǒng)包括:
[0040]積分球光源I，其包括積分球101、光源102和出光口 103，積分球101將光源102均勻化后，通過出光口 103輸送給轉(zhuǎn)輪組2 ;這里，積分球101的尺寸、光源102的種類可以根據(jù)實際需要來設(shè)定；積分球101的直徑隨著出光口 103的變化而變化，積分球101的直徑可以為出光口 103尺寸的4-6倍；出光口 103的尺寸隨著待測器件尺寸的變化而變化，出光口 103的尺寸可以為4-7cm;光源102可以由鹵鎢燈或LED等，為了輸出不同色溫的光源，還可以在積分球101中配置多個不同的燈泡，分別控制每個燈泡的開關(guān)，從而實現(xiàn)不同色溫光源。積分球光源可以提供一定色溫下均勻性達(dá)到97%左右的穩(wěn)定光源。關(guān)于積分球光源的測試原理是本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以知曉的，本發(fā)明對此不再贅述。
[0041]轉(zhuǎn)輪組2，與出光口 103相對，包含裝載有衰減片的光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪和裝載有濾波片的波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪，分別用于調(diào)整光源的光強(qiáng)和波長；轉(zhuǎn)輪組2可以按需要配置多個轉(zhuǎn)輪，例如，光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪有兩個，波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪有兩個；每個轉(zhuǎn)輪中具有多個通光孔，例如，有十個通光孔，通光孔與出光口 103相對，且通光孔的直徑與出光口 103的直徑相匹配，這樣可以保證從出光口 103出來的光源進(jìn)入到通光孔中；光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪中的通光孔中安裝衰減片，波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪中的通光孔中安裝濾波片；衰減片或濾波片與對應(yīng)的通光孔呈螺紋連接，例如，通過螺紋口固定在通光孔中。在測試過程中，由于要求積分球光源的出光口、轉(zhuǎn)輪組的通光孔、以及待測器件在同一個光路上，則通過相應(yīng)的轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)輪就可以使不同的濾波片或衰減片出現(xiàn)在光路上，將不同的波長和不同的光強(qiáng)的入射光照射到待測器件表面。
[0042]導(dǎo)軌3，其上安裝有升降臺4和旋轉(zhuǎn)裝置5，升降臺4用于裝載待測器件，待測器件接收來自轉(zhuǎn)輪組2的入射光；通過控制升降臺4沿導(dǎo)軌3移動而控制待測器件到出光口103的水平距離，通過控制旋轉(zhuǎn)裝置5的旋轉(zhuǎn)帶動待測器件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而控制待測器件所接收到的入射光的角度；這里，旋轉(zhuǎn)裝置5可以為轉(zhuǎn)盤，可以設(shè)置于升降臺4下方，使升降臺4發(fā)生旋轉(zhuǎn)從而帶動待測器件發(fā)生旋轉(zhuǎn)；也可以設(shè)置于升降臺4上，與待測器件接觸，通過旋轉(zhuǎn)裝置5的轉(zhuǎn)動而直接帶動待測器件發(fā)生旋轉(zhuǎn)。
[0043]本實施例中，測試系統(tǒng)C還包括避光裝置6，安裝有升降臺4和旋轉(zhuǎn)裝置5的導(dǎo)軌3設(shè)置于避光裝置6中。例如可以為避光箱。采用避光裝置6，可以防止雜光入射到待測物體上。
[0044]請參閱圖2，本實施例的電控系統(tǒng)K包括:
[0045]電控單元A，與轉(zhuǎn)輪組2、升降臺4和旋轉(zhuǎn)裝置5相電連，根據(jù)輸入的參數(shù)控制轉(zhuǎn)輪組2、升降臺4和旋轉(zhuǎn)裝置5作出相應(yīng)的動作；本實施例中，電控單元A包括轉(zhuǎn)輪組控制子單元Al、升降臺控制子單元A2和旋轉(zhuǎn)控制子單元A3 ;轉(zhuǎn)輪組控制子單元Al，包括光強(qiáng)控制模塊A101，用于控制光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動來調(diào)整光源的光強(qiáng)；以及波長控制模塊A102，用于控制波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動來調(diào)整光源的波長；升降臺控制子單元A2，用于控制升降臺4沿導(dǎo)軌3的移動一定的距離，從而控制待測器件與出光口 103的距離；旋轉(zhuǎn)控制子單元A3，用于控制旋轉(zhuǎn)裝置5的旋轉(zhuǎn)一定的角度并帶動待測器件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而控制待測器件所接收到的入射光的角度。
[0046]本實施例中，電控單元A還可以包括:光源啟閉控制子單元A4，用于控制積分球光源I的啟閉。在其它實施例中，積分球光源I的啟閉也可以通過其它方式來控制。
[0047]本實施例中，電控單元A還可以包括對轉(zhuǎn)輪組控制子單元Al、升降臺控制子單元A2、旋轉(zhuǎn)控制子單元A3和光源啟閉控制子單元A4中所設(shè)置的參數(shù)進(jìn)行確認(rèn)的確認(rèn)模塊A5和進(jìn)行取消的取消模塊A6，以及進(jìn)行保存的保存模塊A7。本發(fā)明中的其它實施例中，電控單元還可以包括:用于對轉(zhuǎn)輪組控制子單元、升降臺控制子單元、旋轉(zhuǎn)控制子單元所設(shè)置的參數(shù)進(jìn)行確認(rèn)的確認(rèn)模塊和進(jìn)行取消的取消模塊，以及進(jìn)行保存的保存模塊。由于積分球光源I的啟閉也可以通過其它方式來控制，則光源啟閉控制子單元的操作也可以不設(shè)置確認(rèn)、取消和保存模塊。
[0048]參數(shù)輸入單元B,與電控單元A相連,通過參數(shù)輸入單元B將測試參數(shù)輸入到電控單元A中；本實施例中，參數(shù)輸入單元B可以連接有參數(shù)輸入裝置D，參數(shù)輸入裝置D具有波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面D1，光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面D2，距離輸入界面D3，以及旋轉(zhuǎn)角度輸入界面D4，確認(rèn)指令界面D5，取消指令界面D6和保存指令界面D7，和光源啟閉控制界面D8。在測試之前，對測試條件進(jìn)行調(diào)整，可以在參數(shù)輸入裝置D中，輸入波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號和光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號則可以實現(xiàn)對光源的波長和光強(qiáng)的設(shè)置，在距離輸入界面D3輸入待測物體沿導(dǎo)軌3移動的距離可以實現(xiàn)對待測器件與出光口 103的相對位置的設(shè)置，在旋轉(zhuǎn)角度輸入界面D4輸入旋轉(zhuǎn)角度可以使旋轉(zhuǎn)裝置5以該角度進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而帶動待測器件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)對待測器件所接收到的入射光角度的設(shè)定；當(dāng)待測器件表面與出光口103平行相對時，旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)角度即為入射光角度；在光源啟閉控制界面D8對積分球光源I進(jìn)行開啟或關(guān)閉操作。
[0049]舉例來說，請參閱圖3，參數(shù)輸入裝置中，分四個部分，左上部分為光源開關(guān)POWER，設(shè)置有開啟按鈕ON和關(guān)閉按鈕OFF ;右上部分為波長和光強(qiáng)參數(shù)輸入界面WAVELENGTH INTENSITY，在該界面中，左邊一排為波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入?yún)^(qū)，右邊一排為光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入?yún)^(qū)，在對各個轉(zhuǎn)輪編號后，將相應(yīng)的編號輸入，則可以得到需要的波長和光強(qiáng)，例如圖3中所顯不的,波長為550nm,光強(qiáng)為8001x ;左下部分為入射光角度輸入?yún)^(qū)ANGLE，例如圖3中所顯示的，設(shè)置入射光角度為30度；右下部分為距離輸入?yún)^(qū)DISTANCE，可以設(shè)置待測物體與出光口所需要的距離，例如圖3所顯示的，待測物體與出光口的距離為50mm ;在最下面一排，依次為保存按鈕S、確認(rèn)按鈕Y和取消按鈕C，將上述四個區(qū)域的設(shè)置好之后，可以點擊保存按鈕，將上述參數(shù)保存起來，便于以后再次使用；點擊確認(rèn)按鈕，即設(shè)定好測試條件，可以開始進(jìn)行測試；點擊取消按鈕，上述所設(shè)置的參數(shù)取消掉，可以重新進(jìn)行設(shè)定。
[0050]本發(fā)明的其它實施例中，參數(shù)輸入單元可以連接有參數(shù)輸入裝置，參數(shù)輸入裝置可以具有波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面，光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面，距離輸入界面，以及旋轉(zhuǎn)角度輸入界面，確認(rèn)指令界面，取消指令界面和保存指令界面。由于積分球光源I的啟閉也可以通過其它方式來控制，則光源啟閉控制界面也可以不設(shè)置與參數(shù)輸入裝置中。
[0051]本實施例的電控系統(tǒng)還包括數(shù)據(jù)采集單元C，與待測器件相電連，對所檢測得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集和分析。
[0052]本發(fā)明的電控自動化光電測試裝置，通過電控系統(tǒng)，利用參數(shù)輸入單元將測試條件參數(shù)輸入給電控單元，電控單元控制轉(zhuǎn)輪組、升降臺和旋轉(zhuǎn)裝置進(jìn)行旋轉(zhuǎn)或移動，分別調(diào)整光源的光強(qiáng)、波長、待測器件到出光口的水平距離、以及待測器件接收到的入射光的角度，從而避免了現(xiàn)有的光電測試裝置在測試時繁瑣的調(diào)整過程，實現(xiàn)了測試條件的自動化控制，簡化了測試過程，縮短了測試時間；并且，一站式自動化控制，可以避免現(xiàn)有測試過程中頻繁設(shè)置導(dǎo)致的遺漏和錯誤現(xiàn)象的發(fā)生，提高了測試的準(zhǔn)確性。
[0053]雖然本發(fā)明已以較佳實施例揭示如上，然所述實施例僅為了便于說明而舉例而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作若干的更動與潤飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書所述為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種電控自動化光電測試裝置，其特征在于，包括:測試系統(tǒng)和電控系統(tǒng)； 所述測試系統(tǒng)包括: 積分球光源，其包括積分球、光源和出光口，積分球?qū)⒐庠淳鶆蚧?，通過出光口輸送給轉(zhuǎn)輪組； 轉(zhuǎn)輪組，與所述出光口相對，包含裝載有衰減片的光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪和裝載有濾波片的波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪，分別用于調(diào)整所述光源的光強(qiáng)和波長； 導(dǎo)軌，其上安裝有升降臺和旋轉(zhuǎn)裝置，所述升降臺用于裝載待測器件，所述待測器件接收來自所述轉(zhuǎn)輪組的入射光；通過控制所述升降臺沿所述導(dǎo)軌移動而控制所述待測器件到所述出光口的水平距離，通過控制旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)帶動所述待測器件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，進(jìn)而控制所述待測器件所接收到的入射光的角度； 所述電控系統(tǒng)包括: 參數(shù)輸入單元，與電控單元相連，通過所述參數(shù)輸入單元將測試參數(shù)輸入到所述電控單元中； 電控單元，與所述轉(zhuǎn)輪組、所述升降臺和所述旋轉(zhuǎn)裝置相電連，根據(jù)所述輸入的參數(shù)控制所述轉(zhuǎn)輪組、所述升降臺和所述旋轉(zhuǎn)裝置作出相應(yīng)的動作； 數(shù)據(jù)采集單元，與所述待測器件相電連，對所檢測得到的數(shù)據(jù)進(jìn)行采集和分析。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電控自動化光電測試裝置，其特征在于，所述電控單元包括轉(zhuǎn)輪組控制子單元、升降臺控制子單元和旋轉(zhuǎn)控制子單元； 所述轉(zhuǎn)輪組控制子單元，包括光強(qiáng)控制模塊，用于控制光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動來調(diào)整所述光源的光強(qiáng)；以及波長控制模塊，用于控制波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)動來調(diào)整所述光源的波長; 所述升降臺控制子單元，用于控制所述升降臺沿所述導(dǎo)軌移動一定的距離； 所述旋轉(zhuǎn)控制子單元，用于控制所述旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)一定的角度并帶動所述待測器件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電控自動化光電測試裝置，其特征在于，所述參數(shù)輸入單元連接有參數(shù)輸入裝置，所述參數(shù)輸入裝置具有波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面，光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面，距離輸入界面，以及旋轉(zhuǎn)角度輸入界面。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電控自動化光電測試裝置，其特征在于，還包括避光裝置，安裝有升降臺和旋轉(zhuǎn)裝置的所述導(dǎo)軌設(shè)置于所述避光裝置中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電控自動化光電測試裝置，其特征在于，所述電控單元還包括:光源啟閉控制子單元，用于控制積分球光源的啟閉。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的電控自動化光電測試裝置，其特征在于，所述電控單元還包括:用于對轉(zhuǎn)輪組控制子單元、升降臺控制子單元、旋轉(zhuǎn)控制子單元和光源啟閉控制子單元所設(shè)置的參數(shù)進(jìn)行確認(rèn)的確認(rèn)模塊和進(jìn)行取消的取消模塊，以及進(jìn)行保存的保存模塊； 所述參數(shù)輸入單元連接有參數(shù)輸入裝置，所述參數(shù)輸入裝置具有波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面、光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面、距離輸入界面、旋轉(zhuǎn)角度輸入界面、確認(rèn)指令界面、取消指令界面、保存指令界面和光源啟閉控制界面。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電控自動化光電測試裝置，其特征在于，所述電控單元還包括:用于對轉(zhuǎn)輪組控制子單元、升降臺控制子單元和旋轉(zhuǎn)控制子單元所設(shè)置的參數(shù)進(jìn)行確認(rèn)的確認(rèn)模塊和進(jìn)行取消的取消模塊，以及進(jìn)行保存的保存模塊； 所述參數(shù)輸入單元連接有參數(shù)輸入裝置，所述參數(shù)輸入裝置具有波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面、光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪編號輸入界面、距離輸入界面、旋轉(zhuǎn)角度輸入界面、確認(rèn)指令界面、取消指令界面和保存指令界面。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電控自動化光電測試裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)輪組中的每個轉(zhuǎn)輪中具有通光孔，所述通光孔與所述出光口相對，且所述通光孔的直徑與所述出光口的直徑相匹配；所述光強(qiáng)調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪中的通光孔中安裝衰減片，所述波長調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)輪中的通光孔中安裝濾波片。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的電控自動化光電測試裝置，其特征在于，所述衰減片或所述濾波片與對應(yīng)的所述通光孔呈螺紋連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電控自動化光電測試裝置，其特征在于，所述積分球光源中，所述光源位于所述積分球內(nèi)。
【文檔編號】G01M11/02GK104296970SQ201410554537
【公開日】2015年1月21日 申請日期:2014年10月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月17日
【發(fā)明者】葉紅波, 王勇, 張悅強(qiáng), 張衍益 申請人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司, 成都微光集電科技有限公司