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玻璃基板搬送裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型的目的在于提供一種可通過使玻璃基板穩(wěn)定地懸浮著進行搬送而抑制玻璃基板產(chǎn)生缺陷的玻璃基板搬送裝置。本實用新型的玻璃基板搬送裝置(100)包括基板懸浮單元(20)與基板搬送單元(30)。基板懸浮單元(20)包含多個沿著搬送方向(D1)隔以間隔而配置的浮動面板(22)。浮動面板(22)包含氣體噴出機構(gòu)(22a)及基板對向面(22b)。氣體噴出機構(gòu)(22a)噴出對玻璃基板(10)的表面吹送的氣體?；鍖ο蛎?22b)是與被搬送的玻璃基板(10)的氣體所吹送的表面相對向的面。浮動面板(22)是以基板對向面(22b)的高度位置隨著朝向搬送方向(D1)逐漸下降的方式配置。
【專利說明】 玻璃基板搬送裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種玻璃基板搬送裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在液晶顯示裝置等平板顯示器(FPD，F(xiàn)lat Panel Display)的制造步驟中，在玻璃基板的表面形成包含TFT (Thin Film Transistor,薄膜晶體管)等半導(dǎo)體元件、及黑色矩陣(black matrix)樹脂等的圖案。如果在形成圖案的玻璃基板的表面存在傷痕、裂痕及異物等缺陷，那么將不會良好地形成圖案，而導(dǎo)致作為最終成品的FH)的不良。尤其是形成在玻璃基板的表面的微小傷痕及裂痕會導(dǎo)致玻璃基板的機械強度下降，而在FPD的制造步驟中玻璃基板發(fā)生破裂。因此，要求玻璃基板的表面不存在缺陷。
[0003]在玻璃基板的制造步驟中，將已成形的玻璃片材切斷成特定的大小，而獲得作為成品出廠的尺寸的玻璃基板。其后，玻璃基板經(jīng)過利用研削及研磨的端面加工步驟、清洗步驟及檢查步驟后被捆綁包裝而出廠。在檢查步驟中，例如，一邊搬送玻璃基板，一邊對存在于玻璃基板表面的傷痕、裂痕及異物等缺陷進行光學(xué)性探測。
[0004]在玻璃基板的檢查步驟中，以往是使用滾輪輸送機(roller conveyor)作為玻璃基板的搬送裝置。然而，如果玻璃的微小片等異物附著在滾輪輸送機的滾輪上，那么會因與旋轉(zhuǎn)的滾輪接觸而導(dǎo)致在搬送的玻璃基板表面形成異物所引起的傷痕。為了解決該問題，近年來，如專利文獻I (日本專利特開2006-188313號公報)所公開那樣，使用如下玻璃基板搬送裝置，即，對玻璃基板的表面吹送氣體而使玻璃基板懸浮，且吸附保持著玻璃基板的端部進行搬送。在使用該搬送裝置的方法中，玻璃基板不與搬送裝置接觸，而是以懸浮的狀態(tài)被搬送。因此，因玻璃基板與搬送裝置接觸而導(dǎo)致在玻璃基板的表面產(chǎn)生缺陷的情況被抑制。
[0005]然而，當(dāng)使玻璃基板懸浮著進行搬送時，存在因玻璃基板本身的翹曲而導(dǎo)致玻璃基板與搬送裝置接觸的情況。而且，根據(jù)以下三個理由，難以完全地測定玻璃基板的翹曲。作為第一個理由，針對大量生產(chǎn)的各片玻璃基板，在現(xiàn)實中難以測定其自由形狀。作為第二個理由，即便想要通過從大量生產(chǎn)的玻璃基板中抽出檢查用的玻璃基板來測定翹曲，從而預(yù)測特定生產(chǎn)批次中的翹曲的傾向，玻璃基板的自由形狀也會在某種程度范圍內(nèi)變化。作為第三個理由，從大型的母玻璃中采集的多個小型玻璃基板的自由形狀的測定特別困難。
[0006]為了解決該問題，專利文獻2(日本專利特開2012-96920號公報)中公開了一種玻璃基板搬送裝置，該玻璃基板搬送裝置是在對玻璃基板的表面吹送氣體而使玻璃基板懸浮的同時，抽吸氣體而對玻璃基板賦予向下的力。在使用該搬送裝置的搬送方法中，以懸浮狀態(tài)被搬送的玻璃基板的形狀在某種程度上被矯正，所以減輕了玻璃基板的翹曲的影響。
[0007][【背景技術(shù)】文獻]
[0008][專利文獻]
[0009][專利文獻I]日本專利特開2006-188313號公報
[0010][專利文獻2]日本專利特開2012-96920號公報實用新型內(nèi)容
[0011][實用新型所要解決的問題]
[0012]然而，像專利文獻2所公開那樣，在玻璃基板的搬送裝置包含多個沿著玻璃基板的搬送方向空出特定的間隔而配置的浮動面板的情況下，會產(chǎn)生由玻璃基板的翹曲引起的其他問題。具體來說，在沿著玻璃基板的搬送方向相鄰的浮動面板間的區(qū)域內(nèi)，因玻璃基板未受到向下的力，所以玻璃基板的形狀不會被矯正。因此，在該區(qū)域內(nèi)，玻璃基板欲恢復(fù)為自身固有的形狀，因而玻璃基板有可能產(chǎn)生翹曲。因此，有如下之虞:當(dāng)玻璃基板通過浮動面板間的區(qū)域時，因翹曲而導(dǎo)致垂下的玻璃基板的端部會接觸于搬送裝置，而使玻璃基板破裂。
[0013]本實用新型的目的在于提供一種可通過使玻璃基板穩(wěn)定地懸浮著進行搬送而抑制玻璃基板產(chǎn)生缺陷的玻璃基板搬送裝置。
[0014][解決問題的技術(shù)手段]
[0015]本實用新型的玻璃基板搬送裝置包括基板懸浮單元與基板搬送單元。基板懸浮單元是對玻璃基板的表面吹送氣體而使玻璃基板懸浮的單元。基板搬送單元是沿著搬送方向搬送通過基板懸浮單元而懸浮的玻璃基板的單元?；鍣z查單元是檢查由基板搬送單元搬送的玻璃基板的單元?；鍛腋卧鄠€沿著搬送方向隔以間隔而配置的浮動面板。浮動面板包含氣體噴出機構(gòu)及基板對向面。氣體噴出機構(gòu)噴出對玻璃基板的表面吹送的氣體?；鍖ο蛎媸桥c被搬送的玻璃基板的氣體所吹送的表面相對向的面。浮動面板是以基板對向面的高度位置隨著朝向搬送方向而逐漸下降的方式配置。
[0016]本實用新型的玻璃基板搬送裝置是沿著特定的搬送方向搬送玻璃基板的裝置。使玻璃基板懸浮的基板懸浮單元具有如下構(gòu)成，即，沿著玻璃基板的搬送方向空出特定的間隔而配置著多個浮動面板。
[0017]該玻璃基板搬送裝置中，在基板懸浮單元的上方，懸浮著被搬送的玻璃基板的形狀在某種程度上被矯正。因此，在基板懸浮單元的上方，玻璃基板的翹曲減輕。另一方面，懸浮著被搬送的玻璃基板因在通過沿著搬送方向相鄰的浮動面板間的區(qū)域期間其形狀未被矯正，所以欲恢復(fù)為自身固有的形狀。因此，在浮動面板間的區(qū)域內(nèi)，玻璃基板有可能產(chǎn)生翹曲。然而，浮動面板是以使與被搬送的玻璃基板的下表面相對向的基板對向面的高度位置沿著玻璃基板的搬送方向逐漸下降的方式配置成階梯狀。因此，即便在正通過浮動面板間的區(qū)域的玻璃基板的端部因翹曲而垂下的情況下，也能抑制玻璃基板的端部接觸于浮動面板。
[0018]因此，該玻璃基板搬送裝置可通過使玻璃基板穩(wěn)定地懸浮著進行搬送而抑制玻璃基板產(chǎn)生缺陷。
[0019]另外，優(yōu)選為沿著搬送方向配置的浮動面板的基板對向面與水平面平行。
[0020]另外，優(yōu)選為基板懸浮單元使從浮動面板的氣體噴出機構(gòu)噴出的氣體的流量隨著朝向搬送方向而逐漸增加。
[0021]在從浮動面板的氣體噴出機構(gòu)噴出的氣體的流量沿著玻璃基板的搬送方向固定的情況下，被搬送的玻璃基板的高度位置會與浮動面板的基板對向面的高度位置一起逐漸降低。然而，通過使從氣體噴出機構(gòu)噴出的氣體的流量沿著玻璃基板的搬送方向逐漸增加，而能夠抑制被搬送的玻璃基板的高度位置的下降。由此，可抑制由基板搬送單元搬送的玻璃基板的變形。
[0022]另外，優(yōu)選為本實用新型的玻璃基板搬送裝置還包括基板檢查單元?；鍣z查單元是檢查由基板搬送單元搬送的玻璃基板的光學(xué)器件。浮動面板沿著與搬送方向正交的方向即玻璃基板的寬度方向延伸?；鍣z查單元配置在相鄰的浮動面板之間。
[0023]該玻璃基板搬送裝置可檢測形成在玻璃基板表面的缺陷。該裝置中，可在沿著玻璃基板的搬送方向相鄰的浮動面板間設(shè)置沿玻璃基板的寬度方向延伸的基板檢查單元。因此，可節(jié)約玻璃基板的搬送方向上的基板檢查單元的設(shè)置空間。
[0024]本實用新型的玻璃基板的制造方法包括基板懸浮步驟、基板搬送步驟及基板處理步驟?；鍛腋〔襟E是對玻璃基板的表面吹送氣體而使玻璃基板懸浮的步驟。基板搬送步驟是沿著搬送方向搬送通過基板懸浮步驟而懸浮的玻璃基板的步驟。基板處理步驟是對在基板搬送步驟中被搬送的玻璃基板進行加工或檢查的步驟。在基板懸浮步驟中，利用沿著搬送方向隔以間隔而配置的多個浮動面板使玻璃基板懸浮。浮動面板具有氣體噴出機構(gòu)及基板對向面。氣體噴出機構(gòu)噴出對玻璃基板的表面吹送的氣體?；鍖ο蛎媸桥c被搬送的玻璃基板的氣體所吹送的表面相對向的面。浮動面板是以基板對向面的高度位置隨著朝向搬送方向而逐漸下降的方式配置。
[0025]另外，優(yōu)選為沿著搬送方向配置的浮動面板的基板對向面與水平面平行。
[0026]另外，在本實用新型的玻璃基板的制造方法中，優(yōu)選為基板處理步驟是對在基板搬送步驟中被搬送的玻璃基板進行檢查的基板檢查步驟。在基板檢查步驟中，利用配置在相鄰的浮動面板之間的光學(xué)器件檢查玻璃基板。
[0027][實用新型的效果]
[0028]本實用新型的玻璃基板搬送裝置可通過使玻璃基板穩(wěn)定地懸浮著進行搬送而抑制玻璃基板產(chǎn)生缺陷。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0029]圖1是實施方式的玻璃基板的制造步驟的流程圖。
[0030]圖2是玻璃基板搬送裝置的外觀圖。
[0031]圖3是基板懸浮單元的俯視圖。
[0032]圖4是基板懸浮單元的側(cè)視圖。
[0033]圖5是圖4的局部放大圖。
[0034]圖6是表示作為參考例的浮動面板的配置的基板懸浮單元的俯視圖。
[0035][符號的說明]
[0036]10 玻璃基板
20 基板懸浮單元
22 浮動爾板
22a 氣侔嗔出Λ_
22b 某板對向面
30 基板搬送單元
40 基板檢査單元
100 玻璃基板搬送裝置
[0037]
Dl 搬送方向
【具體實施方式】
[0038](I)使用玻璃基板搬送裝置的玻璃基板的制造步驟的概略情況 [0039]一邊參照附圖一邊對本實用新型的玻璃基板搬送裝置的實施方式進行說明。首先，對使用本實施方式中所使用的玻璃基板搬送裝置100的玻璃基板10的制造步驟進行說明。玻璃基板10用來制造液晶顯示器、等離子顯示器(plasma display)及有機EL(Electroluminescence,電致發(fā)光)顯示器等平板顯示器(FPD)。玻璃基板10例如具有
0.2mm~0.8mm的厚度，且具有縱680mm~2200mm及橫880mm~2500mm的尺寸。
[0040]作為玻璃基板10的一例，可列舉具有以下組成的玻璃。
[0041](a) SiO2:50 質(zhì)量％~70 質(zhì)量％、
[0042](b) Al2O3: 10 質(zhì)量 ％ ~25 質(zhì)量 ％、
[0043](C)B2O3:5 質(zhì)量％~18 質(zhì)量％、
[0044](d)MgO:0 質(zhì)量％~10 質(zhì)量％、
[0045](e)CaO:0 質(zhì)量％~20 質(zhì)量％、
[0046](f)SrO:0 質(zhì)量％~20 質(zhì)量％、
[0047](g)BaO:0 質(zhì)量％~10 質(zhì)量％、
[0048](h)R0:5質(zhì)量％~20質(zhì)量％ (R是選自Mg、Ca、Sr及Ba中之至少I種)、
[0049](i)R' 20:0質(zhì)量％~2.0質(zhì)量％叱是選自1^、似及1(中之至少1種)、
[0050](j)選自Sn02、Fe2O3及CeO2中之至少I種金屬氧化物。
[0051]此外，具有所述組成的玻璃被容許在小于0.1質(zhì)量％的范圍內(nèi)存在其他微量成分。
[0052]圖1是表示玻璃基板10的制造步驟的流程圖的一例。玻璃基板10的制造步驟主要包括成形步驟(步驟SI)、采板步驟(步驟S2)、切斷步驟(步驟S3)、粗面化步驟(步驟S4)、端面加工步驟(步驟S5)、清洗步驟(步驟S6)、檢查步驟(步驟S7)、及捆綁包裝步驟(步驟S8)。
[0053]在成形步驟SI中，利用下拉(down draw)法或浮式(float)法由對玻璃原料進行加熱而獲得的熔融玻璃連續(xù)地成形玻璃片材。已成形的玻璃片材是一邊進行溫度控制一邊冷卻至玻璃徐冷點以下，以便不產(chǎn)生變形及翹曲。
[0054]在采板步驟S2中，將在成形步驟SI中成形的玻璃片材切斷，而獲得具有特定尺寸的素板玻璃。
[0055]在切斷步驟S3中，將采板步驟S2中所獲得的素板玻璃切斷，而獲得成品尺寸的玻璃基板10。一般來說，使用切割刀具或激光將素板玻璃切斷。
[0056]在粗面化步驟S4中，進行使切斷步驟S3中所獲得的玻璃基板10的表面粗糙度增加的粗面化處理。玻璃基板10的粗面化處理例如是使用含有氟化氫的蝕刻劑的濕式蝕刻(Wet etching)。
[0057]在端面加工步驟S5中，進行在粗面化步驟S4中被進行粗面化處理后的玻璃基板10的端面加工。端面加工例如為玻璃基板10的端面的研磨及研削、玻璃基板10的切角(corner cut)。
[0058]在清洗步驟S6中，對在端面加工步驟S5中進行過端面加工處理的玻璃基板10進行清洗。在玻璃基板10上附著有因素板玻璃的切斷、及玻璃基板10的端面加工而導(dǎo)致產(chǎn)生的微小的玻璃片、或存在于環(huán)境中的有機物等異物。通過對玻璃基板10進行清洗而去除這些異物。
[0059]在檢查步驟S7中，對在清洗步驟S6中被清洗過的玻璃基板10進行檢查。具體來說，一邊搬送玻璃基板10，一邊對存在于玻璃基板10的表面的傷痕及裂痕、附著在玻璃基板10的表面上的異物、及存在于玻璃基板10內(nèi)部的微小的泡等缺陷進行光學(xué)性檢測。
[0060]在捆綁包裝步驟S8中，將檢查步驟S7中的檢查合格的玻璃基板10與用來保護玻璃基板10的間隔紙交替地層疊在托板上，并進行捆綁包裝。經(jīng)捆綁包裝的玻璃基板10被供貨給FPD的制造商等。
[0061](2)玻璃基板搬送裝置的詳細情況
[0062]接著，對本實施方式的玻璃基板搬送裝置100進行說明。圖2是玻璃基板搬送裝置100的外觀圖。玻璃基板搬送裝置100用來在檢查步驟S7中一邊搬送玻璃基板10 —邊檢查存在于表面的缺陷。玻璃基板搬送裝置100—邊沿特定方向搬送以水平狀態(tài)被支撐著的玻璃基板10，一邊對存在于玻璃基板10的表面的缺陷進行光學(xué)性檢查。玻璃基板搬送裝置100主要包括基板懸浮單元20、基板搬送單元30、及基板檢查單元40。玻璃基板搬送裝置100包括包含基板懸浮單元20及基板搬送單元30的玻璃基板的搬送裝置。以下，如圖2所示，將搬送水平狀態(tài)的玻璃基板10的方向稱作“搬送方向D1”，將與玻璃基板10的搬送方向正交的水平面內(nèi)的方向稱作“寬度方向D2”。另外，將玻璃基板10的端部且與搬送方向Dl平行的端部稱作“側(cè)端部”，將玻璃基板10的端部且與寬度方向D2平行的端部稱作“前后端部”。玻璃基板10在圖2中沿以符號Dl表示的箭頭的方向被搬送。
[0063](2-1)基板懸浮單元
[0064]基板懸浮單元20是對水平狀態(tài)的玻璃基板10的下表面IOa吹送氣體而使玻璃基板10懸浮的單元?；鍛腋卧?0主要包含多個浮動面板22。圖3是基板懸浮單元20的俯視圖。在圖3中，浮動面板22是以標(biāo)有影線的區(qū)域表示。圖4是基板懸浮單元20的側(cè)視圖。圖5是圖4的局部放大圖。在圖4及圖5中，夸張表示了鉛垂方向的尺寸。多個浮動面板22沿著寬度方向D2并未隔以間隔地配置，由此形成浮動面板陣列24。多個浮動面板陣列24沿著搬送方向Dl空出特定的間隔而配置。以下，將沿著搬送方向Dl相鄰的2個浮動面板陣列24間的空間稱作“狹縫26”。如圖3所示，狹縫26是沿寬度方向D2延伸的空間。
[0065]如圖5所示，浮動面板22包含氣體噴出機構(gòu)22a、基板對向面22b、及氣體抽吸機構(gòu)22c。基板對向面22b是浮動面板22的上端面且如圖4所示般與被搬送的玻璃基板10的下表面IOa相對向的面。沿著搬送方向Dl而配置的浮動面板22的基板對向面22b互相平行。在本實施方式中，基板對向面22b與水平面平行，但基板對向面22b也可以沿著搬送方向Dl略微傾斜。浮動面板22是以其基板對向面22b與水平面平行的方式設(shè)置。構(gòu)成各浮動面板陣列24的所有浮動面板22的基板對向面22b具有相同的高度位置。也就是說，在圖3中，在寬度方向D2上相鄰設(shè)置的多個浮動面板22的基板對向面22b具有相同的高度位置。
[0066]氣體噴出機構(gòu)22a是用來從基板對向面22b朝向上方噴出空氣等氣體的機構(gòu)。氣體噴出機構(gòu)22a例如為形成在基板對向面22b的多個微小孔。從氣體噴出機構(gòu)22a朝向上方噴出的氣體碰撞在被搬送的玻璃基板10的下表面IOa上。由此，被搬送的玻璃基板10受到向上的力。該向上的力從浮動面板22的基板對向面22b使玻璃基板10懸浮。
[0067]氣體抽吸機構(gòu)22c是用來從基板對向面22b的上方的空間朝向基板對向面22b抽吸氣體的機構(gòu)。氣體抽吸機構(gòu)22c例如為形成在基板對向面22b的孔。通過利用氣體抽吸機構(gòu)22c抽吸氣體，而在被搬送的玻璃基板10的下表面IOa與基板對向面22b之間，氣體抽吸機構(gòu)22c附近的空間變?yōu)樨?fù)壓狀態(tài)。由此，被搬送的玻璃基板10受到向下的力。該向下的力在某種程度上矯正被搬送的玻璃基板10的形狀。
[0068]浮動面板陣列24的寬度方向D2的尺寸比玻璃基板10的寬度方向D2的尺寸長。浮動面板22的搬送方向Dl的尺寸LI例如為IOOmm?150mm。狹縫26的搬送方向Dl的尺寸L2例如為25mm?30mm。懸浮著的玻璃基板10的下表面IOa與浮動面板22的基板對向面22b之間的距離L3例如為25 μ m?35 μ m。
[0069]如圖4所示，浮動面板陣列24是以浮動面板22的基板對向面22b的高度位置隨著朝向搬送方向Dl而逐漸下降的方式配置。具體來說，隨著向搬送玻璃基板10的方向前進，基板對向面22b的高度位置以ΙΟμπι?20μπι為單位下降。也就是說，如圖5所示，關(guān)于在搬送方向Dl上相鄰的2個浮動面板陣列24，浮動面板22的基板對向面22b的高度位置的差L4為10 μ m?20 μ m。
[0070]另外，在基板懸浮單元20中，從浮動面板22的氣體噴出機構(gòu)22a噴出的氣體的流量隨著朝向搬送方向Dl而逐漸增加。也就是說，浮動面板22的基板對向面22b的高度位置越低，從浮動面板22的氣體噴出機構(gòu)22a噴出的氣體的流量越大。
[0071](2-2)基板搬送單元
[0072]基板搬送單元30是沿著搬送方向Dl搬送通過基板懸浮單元20而懸浮的玻璃基板10的單元?；灏崴蛦卧?0主要包括基板保持部32與基板搬送部34。
[0073]基板保持部32保持玻璃基板10的側(cè)端部的一方?；灞３植?2例如具備用來保持玻璃基板10的吸附機構(gòu)?；灏崴筒?4具備使基板保持部32沿著搬送方向Dl移動的線性驅(qū)動機構(gòu)。
[0074]玻璃基板10在由基板搬送單元30沿著搬送方向Dl搬送時，交替地通過浮動面板陣列24的上方的空間及狹縫26的上方的空間。[0075](2-3)基板檢查單元
[0076]基板檢查單元40是檢查由基板搬送單元30搬送的玻璃基板10的單元?；鍣z查單元40是具有對存在于玻璃基板10的表面的傷痕及裂痕、附著在玻璃基板10的表面上的異物及存在于玻璃基板10內(nèi)部的微小的泡等缺陷進行光學(xué)性檢測功能的光學(xué)器件。
[0077]在本實施方式中，如圖4所示，基板檢查單元40包含多個設(shè)置在一個狹縫26中的相機40a。相機40a拍攝通過上方的玻璃基板10的表面。基板檢查單元40還包含設(shè)置在供相機40a設(shè)置的狹縫26的上方空間的光源40b。光源40b朝向通過下方的玻璃基板10的表面照射高亮度的光?；鍣z查單元40也可以具有如下構(gòu)成:將光源40b設(shè)置在狹縫26中，且將相機40a設(shè)置在狹縫26的上方的空間。此外，搬送方向Dl上的浮動面板22的基板對向面22b的高度位置的變化量被設(shè)定在不脫離相機40a的景深的范圍內(nèi)。
[0078]基板檢查單元40的多個相機40a是在一個狹縫26中沿著寬度方向D2設(shè)置，以便能夠檢查玻璃基板10的寬度方向D2的整個區(qū)域。也就是說，設(shè)置在一個狹縫26的相機40a可拍攝通過上方的玻璃基板10的寬度方向D2的整個區(qū)域。
[0079]基板檢查單元40還包含控制部(未圖示)?？刂撇渴蔷哂袑Υ嬖谟诒话崴偷牟ＡЩ?0的表面的缺陷進行檢測的功能的計算機。例如，控制部對由相機40a拍攝到的玻璃基板10的表面的圖像進行解析，從而檢測出存在于玻璃基板10的表面的傷痕及裂痕或附著在玻璃基板10的表面上的異物等。
[0080]基板檢查單元40的控制部連接于在捆綁包裝步驟S8中對玻璃基板10進行捆綁包裝的玻璃基板捆綁包裝裝置(未圖示)?？刂撇烤哂袑z測出具有表面缺陷的玻璃基板10的情況通知給基板捆綁包裝裝置的功能。由此，在捆綁包裝步驟S8中，玻璃基板捆綁包裝裝置可防止具有表面缺陷的玻璃基板10的捆綁包裝。
[0081]⑶特征
[0082](3-1)
[0083]本實施方式的玻璃基板搬送裝置100 —邊沿著搬送方向Dl搬送玻璃基板10，一邊檢測形成在玻璃基板10的表面的缺陷。使玻璃基板10懸浮的基板懸浮單元20具有沿著搬送方向Dl空出特定的間隔L2而設(shè)置著多個浮動面板22的構(gòu)成。
[0084]通過從氣體噴出機構(gòu)22a噴出的氣體，而對通過浮動面板22的上方的玻璃基板10作用向上的力。另外，通過被氣體抽吸機構(gòu)22c抽吸的氣體，而對通過浮動面板22的上方的玻璃基板10作用向下的力。向上的力是使玻璃基板10懸浮的力，向下的力是在某種程度上矯正玻璃基板10的形狀的力。玻璃基板10具有固有的形狀，例如，在玻璃基板10的表面形成著凹部及凸部。通過矯正上述玻璃基板10的形狀的力，而使玻璃基板10的表面變成未形成凹部及凸部的狀態(tài)。
[0085]然而，在搬送方向Dl上相鄰的浮動面板陣列24之間存在設(shè)置著基板檢查單元40的相機40a的狹縫26。因此，由基板搬送單元30沿著搬送方向Dl搬送的玻璃基板10具有通過狹縫26的上方的區(qū)域。在該區(qū)域未作用利用氣體噴出機構(gòu)22a的向上的力、及利用氣體抽吸機構(gòu)22c的向下的力。因此，通過狹縫26的上方的玻璃基板10的區(qū)域欲恢復(fù)為固有的形狀。
[0086]尤其是在玻璃基板10的前后端部通過狹縫26的上方期間，存在因玻璃基板10固有的翹曲而導(dǎo)致玻璃基板10的前后端部垂下的情況。然而，在本實施方式中，構(gòu)成浮動面板陣列24的浮動面板22是以基板對向面22b的高度位置沿著搬送方向Dl逐漸下降的方式配置成階梯狀。因此，即便在通過狹縫26的上方的玻璃基板10的前后端部因翹曲而垂下的情況下，也能充分地確保玻璃基板10的前后端部與浮動面板22的基板對向面22b的間隔。
[0087]此外，在玻璃基板10的厚度為0.5mm、玻璃基板10的比重為2.19g/cm3、玻璃基板10的楊氏模數(shù)(Young' S modulus)為70000N/mm2的情況下，當(dāng)將玻璃基板10的前后端部在搬送方向Dl上的尺寸設(shè)為30mm時，玻璃基板10的前后端部向下方的彎曲量的理論值為1.49 μ m。在本實施方式中，因為狹縫26在搬送方向Dl上的尺寸L2為30mm，所以預(yù)測玻璃基板10因自重所引起的彎曲量小于2 μ m。另外，在搬送方向Dl上相鄰的浮動面板22的基板對向面22b的高度位置的差L4為10 μ m?20 μ m。因此，即便在通過狹縫26的上方的玻璃基板10的前后端部因自重而導(dǎo)致向下方翹曲的情況下，玻璃基板10的前后端部接觸于位于搬送方向Dl的前方的浮動面板22的基板對向面22b的情況也會被抑制。
[0088]根據(jù)以上所述，本實施方式的基板懸浮單元20可抑制通過狹縫26的上方的玻璃基板10的前后端部接觸于浮動面板22。如果玻璃基板10的前后端部接觸于浮動面板22，那么玻璃基板10有可能會破損。因此，玻璃基板搬送裝置100可抑制玻璃基板10產(chǎn)生缺陷。
[0089](3-2)
[0090]近年來，市售的浮動面板22具備具有高平面度的基板對向面22b。另外，與浮動面板22及基板懸浮單元20整體的水平級別相關(guān)的不確定因素可通過構(gòu)成基板懸浮單元20的各零件的加工精度管理、及基板懸浮單元20的位置的精密測量及調(diào)整而大致消除。然而，與玻璃基板10固有的形狀相關(guān)的不確定因素難以完全消除。尤其是難以完全地測定連續(xù)被搬送的玻璃基板10的翹曲。
[0091]即便在無法完全地測定玻璃基板10的翹曲的情況下，本實施方式的基板懸浮單元20也能抑制玻璃基板10的前后端部接觸于浮動面板22。因此，玻璃基板搬送裝置100可抑制玻璃基板10產(chǎn)生缺陷。
[0092](3-3)
[0093]在本實施方式的玻璃基板搬送裝置100中，從浮動面板22的氣體噴出機構(gòu)22a噴出的氣體的流量隨著朝向搬送方向Dl而逐漸增加。
[0094]在從浮動面板22的氣體噴出機構(gòu)22a噴出的氣體的流量沿著玻璃基板10的搬送方向Dl固定的情況下，被搬送的玻璃基板10的高度位置會與浮動面板22的基板對向面22b的高度位置一起逐漸降低。然而，通過使從氣體噴出機構(gòu)22b噴出的氣體的流量沿著玻璃基板10的搬送方向Dl逐漸增加，而可抑制被搬送的玻璃基板10的高度位置的下降。也就是說，被搬送的玻璃基板10的高度位置的變化量比搬送方向Dl上的基板對向面22b的高度位置的變化量小。由此，抑制由基板對向面22b的高度位置的變化引起的被搬送的玻璃基板10的變形。
[0095]因此，本實施方式的玻璃基板搬送裝置100可抑制由基板搬送單元30搬送的玻璃基板10的變形。
[0096](3-4)
[0097]在本實施方式的玻璃基板搬送裝置100中，包含多個浮動面板22的浮動面板陣列24沿著寬度方向D2延伸。另外，基板檢查單元40的相機40a設(shè)置于在搬送方向Dl上相鄰的浮動面板陣列24間的狹縫26中。
[0098]作為參考例，如圖6所示，為了抑制由玻璃基板10的翹曲引起的玻璃基板10與浮動面板22的接觸，而考慮將浮動面板22配置成格子狀的基板懸浮單元120。圖6是基板懸浮單元的俯視圖。在圖6中，浮動面板22是以標(biāo)有影線的區(qū)域表示。在該基板懸浮單元120中，為了檢查玻璃基板10的寬度方向D2的整個區(qū)域，必須沿著搬送方向Dl呈多排配置基板檢查單元40的相機40a。因此，存在如下問題:基板檢查單元40的構(gòu)成變得復(fù)雜，且玻璃基板搬送裝置200整體大型化。
[0099]在本實施方式的玻璃基板搬送裝置100中，如圖3所示，通過將基板檢查單元40的相機40a沿著寬度方向D2設(shè)置在一個狹縫26中，而能夠檢查玻璃基板10的寬度方向D2的整個區(qū)域。因此，玻璃基板搬送裝置100由于能夠抑制基板檢查單元40的設(shè)置空間，所以可抑制玻璃基板搬送裝置100整體的大型化。
[0100](4)變化例
[0101]以上，對本實用新型的玻璃基板的制造方法進行了說明，但本實用新型并不限定于所述實施方式，也可以在不脫離本實用新型的主旨的范圍內(nèi)實施各種改良及變更。另外，在本實施方式中，對玻璃基板的檢查步驟的例子進行了說明，但本實用新型的玻璃基板搬送裝置也可以用于其他玻璃基板的處理步驟中。
[0102](4-1)變化例 A
[0103]在本實施方式中，基板懸浮單元20包含對被搬送的玻璃基板10產(chǎn)生向下的力的氣體抽吸機構(gòu)22c。然而，也可以在基板懸浮單元20的上方設(shè)置朝向下方噴出氣體的其他氣體噴出機構(gòu)來代替氣體抽吸機構(gòu)22c。從該氣體噴出機構(gòu)噴出的氣體碰撞在被搬送的玻璃基板10的上表面上，由此對被搬送的玻璃基板10賦予向下的力。因此，即便在該情況下，也會對由基板搬送單元30搬送的玻璃基板10賦予在某種程度上矯正玻璃基板10的形狀的力。
[0104](4-2)變化例 B
[0105]在本實施方式中，如圖4所示，基板檢查單元40的相機40a被設(shè)置在一個狹縫26中，但也可以設(shè)置在多個狹縫26中。通過將基板檢查單元40的相機40a設(shè)置在多個狹縫26中，例如，可針對每個狹縫26進行測定范圍不同的光學(xué)檢查。在該情況下，基板檢查單元40可進行如下光學(xué)檢查:例如，在一個狹縫26中檢測形成在玻璃基板10的表面的傷痕及裂痕，在其他狹縫26中檢測存在于玻璃基板10內(nèi)部的微小的泡。
[0106]另外，在檢查具有經(jīng)蝕刻處理過的表面的玻璃基板的情況下，基板檢查單元40例如可在一個狹縫26中進行通常的光學(xué)檢查，在其他狹縫26中進行使照度及靈敏度降低的光學(xué)檢查。
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃基板搬送裝置，其包括: 基板懸浮單元，對玻璃基板的表面吹送氣體而使所述玻璃基板懸?。患盎灏崴蛦卧刂崴头较虬崴屯ㄟ^所述基板懸浮單元而懸浮的所述玻璃基板；所述玻璃基板搬送裝置的特征在于: 所述基板懸浮單元包含多個沿著所述搬送方向隔以間隔而配置的浮動面板； 所述浮動面板包含噴出所述氣體的氣體噴出機構(gòu)、及與被搬送的所述玻璃基板的所述表面相對向的基板對向面，且以所述基板對向面的高度位置隨著朝向所述搬送方向逐漸下降的方式配置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于: 沿著所述搬送方向而配置的所述浮動面板的所述基板對向面與水平面平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于: 所述基板懸浮單元使從所述浮動面板的所述氣體噴出機構(gòu)噴出的所述氣體的流量隨著朝向所述搬送方向而逐漸增加。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于: 所述浮動面板包含用來從所述基板對向面的上方的空間朝向所述基板對向面抽吸氣體的氣體抽吸機構(gòu)； 通過利用所述氣體抽吸機構(gòu)抽吸氣體，而使被搬送的玻璃基板的下表面與所述基板對向面之間的空間變?yōu)樨?fù)壓狀態(tài)，從而可矯正被搬送的玻璃基板的翹曲。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于: 所述基板搬送單元包括基板保持部與基板搬送部； 所述基板保持部包括保持玻璃基板的側(cè)端部的一方的吸附機構(gòu)； 所述基板搬送部包括使所述基板保持部沿著搬送方向移動的線性驅(qū)動機構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于: 所述基板搬送單元包括基板保持部與基板搬送部； 所述基板保持部包括保持玻璃基板的側(cè)端部的一方的吸附機構(gòu)； 所述基板搬送部包括使所述基板保持部沿著搬送方向移動的線性驅(qū)動機構(gòu)。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于: 所述基板搬送單元包括基板保持部與基板搬送部； 所述基板保持部包括保持玻璃基板的側(cè)端部的一方的吸附機構(gòu)； 所述基板搬送部包括使所述基板保持部沿著搬送方向移動的線性驅(qū)動機構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于: 還包括檢查由所述基板搬送單元搬送的所述玻璃基板的光學(xué)器件即基板檢查單元； 所述浮動面板沿著與所述搬送方向正交的方向即所述玻璃基板的寬度方向延伸； 所述基板檢查單元配置在相鄰的所述浮動面板之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于: 還包括檢查由所述基板搬送單元搬送的所述玻璃基板的光學(xué)器件即基板檢查單元； 所述浮動面板沿著與所述搬送方向正交的方向即所述玻璃基板的寬度方向延伸； 所述基板檢查單元配置在相鄰的所述浮動面板之間。
10.根據(jù)權(quán)利要求5所述的玻璃基板搬送裝置，其特征在于:還包括檢查由所述基板搬送單元搬送的所述玻璃基板的光學(xué)器件即基板檢查單元；所述浮動面板沿著與所述搬送方向正交的方向即所述玻璃基板的寬度方向延伸；所述基板檢查單 元配置在相鄰的所述浮動面板之間。
【文檔編號】G01N21/896GK203568482SQ201320599361
【公開日】2014年4月30日 申請日期:2013年9月26日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月28日
【發(fā)明者】伊勢廣教 申請人:安瀚視特控股株式會社