專利名稱：一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
:本發(fā)明涉及鍵合工藝微缺陷檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法。
背景技術(shù)：
:在現(xiàn)代微電子工業(yè)中，在芯片的封裝階段有一個非常重要的工藝環(huán)節(jié)-鍵合絲工藝，該工藝的作用是將芯片上的導(dǎo)電觸點與基片相連，鍵合絲的直徑一般為25微米左右(一般人頭發(fā)的直徑為70微米)，在這個工藝環(huán)節(jié)中，鍵合絲的缺線、斷線、彎線、交叉絲等缺陷會造成器件的使用功能障礙，以致器件報廢。傳統(tǒng)的檢測方法是采用人工目測的方式，對鍵合絲的工藝缺陷進(jìn)行人工檢查，手工標(biāo)注；核心缺陷是:1、人眼的觀測疲勞時間較短，在長時間的觀測工作下，視覺疲勞易對檢測易造成極大影響，從而無法保證無遺漏檢測，且錯檢率高，效率低下。2、人工檢測的方法，無法為每一塊器件上的所有鍵合絲自動留下工藝判別存檔資料，對鍵合工藝過程中所發(fā)生的不良無法溯源，對品質(zhì)管理帶來巨大不便
發(fā)明內(nèi)容
:本發(fā)明的目的是提供一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法，它克服了傳統(tǒng)人工目檢方法下容易出現(xiàn)的漏檢、錯檢問題，極大的提升了鍵合工藝生產(chǎn)線的良率和效率。為了解決背景技術(shù)所存在的問題，本發(fā)明是采用以下技術(shù)方案:它包含一種圖形化軟件工藝編程的“四要素法”和一套對鍵合絲連接性進(jìn)行判別的圖形處理方法。所述的“四要素法”包括對器件的中心位置1、鍵合起始點及允許誤差2、鍵合終點及允許誤差3和鍵合路徑4。所述的對鍵合絲連接性進(jìn)行判別的圖形處理方法的步驟如下:a、根據(jù)“四要素法”編程計算對鍵合絲圖形進(jìn)行像素掃描分析的區(qū)域范圍；b、分析鍵合起點是否超出允差范圍；C、分析鍵合終點是否超出允差范圍；d、分析鍵合絲是否延鍵合路徑方向持續(xù)延伸；e、分析鍵合絲彎曲覆蓋范圍是否超出允差范圍；f、對鍵合絲是否合格進(jìn)行標(biāo)注。本發(fā)明的原理如下:通過一種圖形化軟件工藝編程的方法“四要素法”，直觀、有效的在標(biāo)準(zhǔn)鍵合絲圖片上預(yù)先圈定各工藝要素的位置和允差范圍，再通過一套對鍵合絲連續(xù)性進(jìn)行判別的圖形處理方法，對生產(chǎn)過程中得到的鍵合絲工藝圖片進(jìn)行自動像素分析、比對，得到與預(yù)先的工藝編程是否相符的判斷，從而快速判斷出該器件是否合格并進(jìn)行標(biāo)注，為后續(xù)工藝及品質(zhì)管理提供依據(jù)。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果:1、克服了傳統(tǒng)人工目檢方法下容易出現(xiàn)的漏檢、錯檢問題，極大的提升了鍵合工藝生產(chǎn)線的良率和效率。2、為每一塊器件留下工藝判別資料，保障了對所有不良的可溯源追蹤能力，提升對鍵合絲工藝段和責(zé)任人的品質(zhì)控制力。
:圖1為本發(fā)明中“四要素法”的圖形化編程效果圖；圖2為本發(fā)明中對鍵合絲連接性進(jìn)行判別的圖形處理方法的原理圖。
具體實施方式
:參照圖1和圖2，本具體實施方式
采用以下技術(shù)方案:它包含一種圖形化軟件工藝編程的“四要素法”和一套對鍵合絲連接性進(jìn)行判別的圖形處理方法。所述的“四要素法”包括對器件的中心位置1、鍵合起始點及允許誤差2、鍵合終點及允許誤差3和鍵合路徑4。所述的對鍵合絲連接性進(jìn)行判別的圖形處理方法的步驟如下:a、根據(jù)“四要素法”編程計算對鍵合絲圖形進(jìn)行像素掃描分析的區(qū)域范圍；b、分析鍵合起點是否超出允差范圍；C、分析鍵合終點是否超出允差范圍；d、分析鍵合絲是否延鍵合路徑方向持續(xù)延伸；e、分析鍵合絲彎曲覆蓋范圍是否超出允差范圍；f、對鍵合絲是否合格進(jìn)行標(biāo)注。本具體實施的原理如下:通過一種圖形化軟件工藝編程的方法“四要素法”，直觀、有效的在標(biāo)準(zhǔn)鍵合絲圖片上預(yù)先圈定各工藝要素的位置和允差范圍，再通過一套對鍵合絲連續(xù)性進(jìn)行判別的圖形處理方法，對生產(chǎn)過程中得到的鍵合絲工藝圖片進(jìn)行自動像素分析、比對，得到與預(yù)先的工藝編程是否相符的判斷，從而快速判斷出該器件是否合格并進(jìn)行標(biāo)注，為后續(xù)工藝及品質(zhì)管理提供依據(jù)。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本具體實施具有以下有益效果:3、克服了傳統(tǒng)人工目檢方法下容易出現(xiàn)的漏檢、錯檢問題，極大的提升了鍵合工藝生產(chǎn)線的良率和效率。4、為每一塊器件留下工藝判別資料，保障了對所有不良的可溯源追蹤能力，提升對鍵合絲工藝段和責(zé)任人的品質(zhì)控制力。
權(quán)利要求
1.一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法，其特征在于它包含一種圖形化軟件工藝編程的“四要素法”和一套對鍵合絲連接性進(jìn)行判別的圖形處理方法。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法，其特征在于所述的“四要素法”包括對器件的中心位置(I)、鍵合起始點及允許誤差(2)、鍵合終點及允許誤差(3)和鍵合路徑⑷。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法，其特征在于所述的對鍵合絲連接性進(jìn)行判別的圖形處理方法的步驟如下: (a)、根據(jù)“四要素法”編程計算對鍵合絲圖形進(jìn)行像素掃描分析的區(qū)域范圍； (b)、分析鍵合起點是否超出允差范圍； (C)、分析鍵合終點是否超出允差范圍； (d)、分析鍵合絲是否延鍵合路徑方向持續(xù)延伸； (e)、分析鍵合絲彎曲覆蓋范圍是否超出允差范圍； (f)、對鍵合絲是否合格進(jìn)行標(biāo)注。
全文摘要
一種用于鍵合工藝微缺陷檢測的方法，它涉及鍵合工藝微缺陷檢測技術(shù)領(lǐng)域，它包含一種圖形化軟件工藝編程的“四要素法”和一套對鍵合絲連接性進(jìn)行判別的圖形處理方法，所述的“四要素法”包括對器件的中心位置、鍵合起始點及允許誤差、鍵合終點及允許誤差和鍵合路徑。它克服了傳統(tǒng)人工目檢方法下容易出現(xiàn)的漏檢、錯檢問題，極大的提升了鍵合工藝生產(chǎn)線的良率和效率。
文檔編號G01N21/956GK103091339SQ201310063950
公開日2013年5月8日 申請日期2013年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月1日
發(fā)明者謝歷銘 申請人:蘇州愛特盟光電有限公司
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