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基板檢查裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種準確地檢測在絕緣檢查時發(fā)生的布線圖案間的火花現(xiàn)象的基板檢查裝置。上述基板檢查裝置執(zhí)行在基板上形成的多個布線圖案間的絕緣檢查，其特征在于，具備：電源單元，為了對第一檢查部與第二檢查部之間設定規(guī)定的電位差，與第二檢查部連接并且對上述第二檢查部施加電壓；檢測單元，檢測第一檢查部與第二檢查部之間的電壓；以及判定單元，在檢測單元所檢測的電壓發(fā)生電壓降落的情況下，判定為第一檢查部與第二檢查部存在不良，選出單元具備使導通狀態(tài)為導通/切斷(ON/OFF)的切換部和與切換部串聯(lián)連接的電壓降落部，檢測單元的一端與第一檢查部和電壓降落部間導通連接。
【專利說明】基板檢查裝置

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及在基板上形成的多個布線圖案彼此的絕緣檢查，尤其涉及準確地檢測在絕緣檢查時發(fā)生的布線圖案間的火花(spark)現(xiàn)象的基板檢查裝置。

【背景技術】
[0002]在基板上形成的布線圖案用于針對載置于上述基板的1C、半導體部件或其他電子部件收發(fā)電信號。這種布線圖案可以依據(jù)上述的基板的用途而形成為各種各樣。因此，實施了可以確認布線圖案正確且以良好狀態(tài)形成的電性檢查。
[0003]對于這種布線圖案的檢查，通常實施導通檢查與絕緣檢查。導通檢查是確認布線圖案將規(guī)定的二點間電連接的檢查，絕緣檢查是確認布線圖案彼此呈未短路的狀態(tài)的檢查。
[0004]尤其在絕緣檢查中，為檢查布線圖案彼此的絕緣性，向布線圖案間施加規(guī)定的電壓，計算布線圖案間的電阻值，據(jù)此來檢查布線圖案間的絕緣性。
[0005]在這種絕緣檢查中，為了如上述那樣計算布線圖案間的電阻值，為使布線圖案間產(chǎn)生電位差而供給電力，但在布線圖案本身存在細、粗的差異、或存在銅粉等異物的情況下，有時在測量布線圖案間的電阻值前，會發(fā)生從一方的布線圖案向另一方的布線圖案的電荷放電(火花現(xiàn)象)的情況。這種火花現(xiàn)象已知為布線圖案間的不良。
[0006]為了檢測這種火花現(xiàn)象不良，已知有例如專利文獻I的技術。上述的專利文獻I所公開的技術如下:從開始施加電壓至實施檢查測量的規(guī)定的定時(timing)為止檢測布線圖案間的電壓，并且檢測有無發(fā)生起因于火花現(xiàn)象的電壓降落，據(jù)此來捕捉火花現(xiàn)象。
[0007]另一方面，近年來基板被制造得極小且復雜。因此，布線圖案本身也形成得復雜且微細，并且其間距也形成得窄。另外，由于布線圖案如此復雜且微細地形成，因此在布線圖案上設定的檢查點也會增加。因此，基板檢查裝置存在隨著檢查點的增加，將基板與基板檢查裝置電連接的基板檢查夾具等的寄生電容增大的問題。
[0008]如上所述，隨著基板的布線圖案的復雜化與微細化的進展，對上述的基板的絕緣檢查的精度的要求也隨之提高。在這種情況下，為了進行布線圖案間的絕緣檢查，布線圖案間的火花現(xiàn)象也成為問題。
[0009]然而，在專利文獻I公開的技術中，布線圖案間的電壓變?yōu)橐?guī)定的電壓為止的從開始施加電壓至達到檢查電壓為止的期間的火花檢查可以毫無問題地進行檢測，但是存在無法可靠且準確地捕捉從布線圖案間的電壓到達檢查電壓開始到成為規(guī)定的檢查定時為止的期間(電壓為穩(wěn)定狀態(tài)的情況)的布線圖案間的火花現(xiàn)象的問題。
[0010]這會產(chǎn)生下列問題，即伴隨著基板的布線圖案復雜化且微細化，發(fā)生火花現(xiàn)象的電壓降落小的情況，在如此小的電壓降落下，無法準確地判定是因火花現(xiàn)象導致的電壓降落，還是因其他要因?qū)е碌碾妷航德洹?br> [0011](現(xiàn)有技術文獻)
[0012](專利文獻)
[0013]專利文獻1:日本特開2003-172757號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0014](發(fā)明要解決的問題)
[0015]本發(fā)明鑒于上述情況而提出，其目的在于提供一種基板檢查裝置，即使在實施經(jīng)微細化及復雜化的基板的布線圖案的絕緣檢查的情況下，也可以準確地檢測布線圖案間的火花現(xiàn)象。
[0016](解決問題的措施)
[0017]第一方面的發(fā)明提供一種執(zhí)行形成在基板上的多個布線圖案間的絕緣檢查的基板檢查裝置，其特征在于，上述基板檢查裝置具備:選出單元，從上述多個布線圖案中選出作為檢查對象的一個布線圖案作為第一檢查部，并且選出上述第一檢查部以外的作為檢查對象的所有布線圖案作為第二檢查部；電源單元，為了對上述第一檢查部與上述第二檢查部之間設定規(guī)定的電位差，與上述第二檢查部連接并且對上述第二檢查部施加電壓；檢測單元，檢測上述第一檢查部與上述第二檢查部之間的電壓；以及判定單元，在上述檢測單元所檢測的電壓發(fā)生電壓降落的情況下，判定為上述第一檢查部與上述第二檢查部存在不良，上述選出單元具備使導通狀態(tài)為導通/切斷(0N/0FF)的切換部和與上述切換部串聯(lián)連接的電壓降落部，上述檢測單元的一端與上述第一檢查部和上述電壓降落部間導通連接。
[0018](發(fā)明的效果)
[0019]根據(jù)第一方面的發(fā)明，對第一檢查部與第二檢查部之間(檢查對象間)設定規(guī)定的電位差，并且設置對第一檢查部與第二檢查部之間的電壓進行檢測的檢測單元，據(jù)此，在發(fā)生了檢測單元所檢測出的電壓降落的情況下，可以檢測出在檢查對象間發(fā)生了火花現(xiàn)象。特別是，上述檢測單元的一端與第一檢查部和電壓降落部間導通連接，因此在發(fā)生了火花現(xiàn)象時流過的電流會經(jīng)由上述電壓降落部而在檢查對象間流動。也就是說，在上述電壓降落部的兩端會發(fā)生電壓降落，并且檢測單元可以可靠地檢測出上述的電壓降落。因此，不需要延長檢查時間就可以可靠地捕捉到火花現(xiàn)象。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1是本發(fā)明的基板檢查裝置的示意結構圖，顯示與基板的關系。
[0021]圖2是示出本發(fā)明的基板檢查裝置的動作的示意圖。
[0022]圖3是以時間序列示出本發(fā)明的基板檢查裝置所檢測出的電壓的變化的圖。
[0023](附圖標記的說明)
[0024]1...基板檢查裝置
[0025]2...電力供給單元
[0026]3...電壓檢測單元
[0027]5 (Rl?R4)...電壓降落部(電阻部)
[0028]6...控制單元
[0029]7...切換單元
[0030]81,82...電流供給端子
[0031]91,92...電壓檢測端子
[0032]10...顯示單元
[0033]61...選出單元
[0034]62...判定單元
[0035]63...存儲單元
[0036]CB...單位基板
[0037]CP...接觸探針
[0038]Pl?P4...布線圖案
[0039]Sffl?SW4...開關元件

【具體實施方式】
[0040]對用以實施本發(fā)明的優(yōu)選方式進行說明。
[0041]本發(fā)明涉及一種對執(zhí)行在基板上形成的多個布線圖案的絕緣檢查時發(fā)生的火花現(xiàn)象進行檢測的基板檢查裝置及其方法。圖1是本發(fā)明的基板檢查裝置的一個實施方式的示意結構圖。本發(fā)明的實施方式的基板檢查裝置I包含電力供給單元2、電壓檢測單元3、電流檢測單元4、控制單元6、切換單元7、電流供給端子、電壓檢測端子、以及顯示單元10。在圖1所示的一個實施方式中，示出本發(fā)明的基板檢查裝置1、作為檢查對象的基板CB、以及與基板檢查裝置I和基板CB電連接的接觸探針CP。
[0042]在本發(fā)明的基板檢查裝置I中，通過使用后述的電流電阻部Rl?R4，電壓檢測單元3所檢測出的電壓信息不受基板檢查裝置I的內(nèi)部寄生電容、內(nèi)部部件等的影響，可以可靠地捕捉到檢查對象間的電壓變化。
[0043]圖1所示的基板CB具有四個布線圖案Pl?P4。上述基板CB所具有的布線圖案可以與設計的基板CB相對應地適當設定其數(shù)量及形狀。圖1的基板CB中，示出一字狀的布線圖案PU T字狀的布線圖案P2、及十字狀的布線圖案P3與P4。
[0044]在圖1中，示出與各布線圖案Pl?P4電接觸的四根接觸探針CP。上述接觸探針CP以可以電導通的方式將基板檢查裝置I與基板CB電連接。另外，上述的接觸探針CP的配置位置、配置根數(shù)對應于形成在基板CB上的布線圖案而適當設定。另外，在圖1的實施方式中，利用一根接觸探針CP，使后述的上游側及下游側電流供給端子與上游側及下游側電壓檢測端子以可導通的方式與設在布線圖案上的規(guī)定檢查位置接觸，但也可以分別利用兩根接觸探針CP分別使電流供給端子與電壓檢測端子以可導通的方式與規(guī)定檢查位置接觸。
[0045]電力供給單元2向作為檢查對象的布線圖案與其他布線圖案之間(以下稱為檢查對象間)施加用于進行絕緣檢查的規(guī)定的電壓。
[0046]上述電力供給單元2可使用直流電源或交流電源，但并無特別限定，只要能夠向檢查對象間施加規(guī)定的電壓都可以使用。另外，電力供給單元2也可以使用例如電流控制器(Current Controller) 0在使用電流控制器的情況下，利用電流控制器向規(guī)定的布線圖案供給電流而向檢查對象間施加規(guī)定的電壓。上述的電力供給單元2所施加的電壓如上述說明那樣設定為200?250V。
[0047]電壓檢測單元3對檢查對象間的電壓進行檢測。上述的電壓檢測單元3可以使用例如電壓計，但并無特別限定，只要可以檢測檢查對象間的電壓即可。上述的電壓檢測單元3可以在從開始施加電力，以便利用電力供給單元2使檢查對象間產(chǎn)生規(guī)定的電位差，到檢查對象間達到規(guī)定電位差后的經(jīng)過規(guī)定的時間后(規(guī)定的正時)為止的期間，對檢查對象間的電位進行檢測。利用上述的電壓檢測單元3所捕捉到的電壓的變化量，可以判定檢查對象間有無火花現(xiàn)象。
[0048]電流檢測單元4對檢查對象間的電流進行檢測。上述電流檢測單元4可以使用例如電流計，但無特別限定，只要可以檢測流過檢查對象間的電流值即可。利用上述電流檢測單元4的電流值與檢查對象間的電壓值，可以計算檢查對象間的電阻值。另外，利用上述電阻值，可以判定檢查對象間的絕緣狀態(tài)是否良好。
[0049]電流供給端子為了供給檢查對象間的電流而經(jīng)由接觸探針CP與各布線圖案連接。上述電流供給端子具有連接電力供給單元2的上游側(正極側)與布線圖案的上游側電流供給端子81、以及連接電力供給單元2的下游側(負極側)或電流檢測單元4與布線圖案的下游側電流供給端子82。
[0050]如圖1所示，上述電流供給端子的上游側電流供給端子81及下游側電流供給端子82針對各個布線圖案而設置。上述上游側電流供給端子81與下游側電流供給端子82分別具有切換單元7的開關元件，利用上述切換單元7的開關元件的導通/切斷(0N/0FF)動作，來設定連接狀態(tài)/未連接狀態(tài)。
[0051]上述電流供給端子具有與開關元件串聯(lián)連接的電阻部Rl或電阻部R4。尤其是，由于上游側電流供給端子81具有電阻部R1，因此產(chǎn)生火花現(xiàn)象時的過電流一定經(jīng)由上述電阻部Rl而流過檢查對象間，電壓檢測單元3可以可靠地檢測此時產(chǎn)生的電壓降落。上述電阻部Rl可采用例如具有10?100 Ω左右的電阻值的電阻。
[0052]電壓檢測端子為了對檢查對象間的電壓進行檢測，經(jīng)由接觸探針CP與各布線圖案連接。上述電壓檢測端子具有連接電壓檢測單元3的上游側(正極側)與布線圖案的上游側電壓檢測端子91、以及連接電壓檢測單元3的下游側(負極側)與布線圖案的下游側電壓檢測端子92。如圖1所示，上述電壓檢測端子的上游側電壓檢測端子91及下游側電壓檢測端子92與各個布線圖案相對應地設置。上述上游側電壓檢測端子91與下游側電壓檢測端子92與電流供給端子同樣地，分別具有切換單元7的開關元件，可以利用上述切換單元7的開關元件的導通/切斷(0N/0FF)動作，來設定連接狀態(tài)/未連接狀態(tài)。優(yōu)選地，電壓檢測端子具有與開關元件串聯(lián)連接的電阻部R2或電阻部R3。上述電阻部R2或電阻部R3可以采用與上述電阻部Rl或電阻部R4相同的結構。
[0053]電流供給端子與電壓檢測端子如圖1所示，針對與布線圖案導通接觸的一根接觸探針CP配置四個端子，并且具備進行各端子的導通/切斷(0N/0FF)控制的四個開關元件。
[0054]另外，在圖1中，將控制上游側電流供給端子81的動作的開關元件示為附圖標記SWl，將控制上游側電壓檢測端子91的動作的開關元件示為附圖標記SW2，將控制下游側電流供給端子92的動作的開關元件示為附圖標記SW3，將控制下游側電壓檢測端子82的動作的開關元件示為附圖標記SW4。
[0055]切換單元7由與上述的各接觸探針CP導通連接的多個開關元件構成。上述切換單元7利用來自后述的控制單元6的動作信號來控制導通/切斷(0N/0FF)的動作。
[0056]電壓檢測單元3與電流檢測單元4所檢測出的電壓值、電流值作為時間經(jīng)過信息(作為時間序列的信息)被賦予并發(fā)送給后述的控制單元6。
[0057]控制單元6選出作為檢查對象的布線圖案、或者以來自電壓檢測單元3的電壓值為基礎來檢測火花現(xiàn)象,或者發(fā)送切換單元7的動作的指示信號。優(yōu)選地,上述控制單元6如圖1所示具備選出單元61、判定單元62、以及存儲單元63。
[0058]存儲單元63存儲有關基板CB的布線圖案的信息、有關上述布線圖案的檢查點的信息、以及檢測出的檢測值的信息。上述存儲單元63保存絕緣檢查所需的信息，通過使用這些信息來進行絕緣檢查，并且保存檢測出的各檢測值。
[0059]選出單元61從基板CB的多個布線圖案選出作為檢查對象的布線圖案，而確定檢查對象的布線圖案。上述選出單元61通過確定檢查對象的布線圖案，來依序選出要執(zhí)行絕緣檢查的布線圖案。關于上述選出單元61進行的檢查對象的布線圖案的選出方法，可以例示預先在存儲單元63中設定作為檢查對象的布線圖案的順序，依上述順序來選出檢查對象的布線圖案的方法。關于上述選出方法，可以采用如上的方法，但只要是可以順序良好地選出作為檢查對象的布線圖案的方法就無特別限定。
[0060]上述選出單元61所進行的具體布線圖案的選出可以通過使用切換單元7來實施。例如，通過進行切換單元7的各開關元件的導通/切斷(0N/0FF)控制，可以選出作為檢查對象的布線圖案。在上述實施方式的基板檢查裝置I中，將開關元件設為導通(ON)，以便作為檢查對象的布線圖案與用于與電力供給單元2連接的上游側電流供給端子81連接。另夕卜，與此同時，將開關元件設為導通(ON)，以便將上述布線圖案與上游側電壓檢測端子91連接。
[0061]例如，在圖1所示的實施方式中，在將布線圖案Pl作為檢查對象的情況下，選出單元61選出與布線圖案Pl連接的上游側電流供給端子81和上游側電壓檢測端子91，并發(fā)送促使(要求)將上述端子81、91的開關元件SWl與開關元件SW2設為導通(ON)的信號。切換單元7接收上述信號，據(jù)此，開關元件SWl與開關元件SW2會動作。另外，該情況下，發(fā)送促使(要求)將與檢查對象的布線圖案以外的布線圖案(剩余的布線圖案)對應的開關元件SW3與開關元件SW4設為導通(ON)的信號。
[0062]如上所述，可以利用選出單元61從基板CB的多個布線圖案中選擇作為檢查對象的布線圖案。上述第一實施方式所示的基板檢查裝置I的選出單元61所選出的布線圖案是從形成在基板CB上的多個布線圖案中選出的一個布線圖案。也就是說，在由選出單元61選出的一個布線圖案與剩余的所有布線圖案之間實施絕緣檢查。這樣，可以通過選出布線圖案，來效率良好地處理絕緣檢查。
[0063]判定單元62以來自電壓檢測單元3的電壓值為基礎，判定火花現(xiàn)象的發(fā)生。上述判定單元62所進行的判定被設定成，在捕捉到按時間序列存儲的電壓值發(fā)生了電壓降落(電壓值相對于時間序列的負的變化)的情況下，判定為發(fā)生了火花現(xiàn)象。即，上述判定單元62被設定成，在電壓值的隨時間的變化量為負的情況下，識別為發(fā)生了火花現(xiàn)象。另外，當檢測到火花現(xiàn)象時，將這種情況通知后述的顯示單元10。
[0064]本發(fā)明的電壓檢測單元3的一端在與電阻部Rl相比更靠近布線圖案的位置導通連接。與以往的絕緣檢查中檢測出火花現(xiàn)象的情況相比，在電阻部Rl的兩端會出現(xiàn)起因于火花現(xiàn)象的電壓降落。因此，從檢查對象間的電位差到達規(guī)定電位差后開始到為了實際的絕緣檢查而檢測電流值的規(guī)定的定時為止，可以可靠地檢測電壓的變化。
[0065]顯示單元10顯示絕緣檢查的狀態(tài)。上述顯示單元10會顯示發(fā)現(xiàn)了火花現(xiàn)象。
[0066]以上是對本發(fā)明的第一實施方式的基板檢查裝置I的結構的說明。
[0067]對上述的第一實施方式的基板檢查裝置I的動作進行說明。
[0068]首先，作為檢查對象的基板CB的布線圖案的信息等保存于存儲單元63。另外，基板CB配置在規(guī)定的檢查位置，接觸探針CP配置在形成于基板CB的布線圖案上的檢查點上。
[0069]若準備好基板CB，則開始絕緣檢查。首先，選出單元61選出作為檢查對象的布線圖案。若選出單元61選出作為檢查對象的布線圖案，則上述選出單元61利用切換單元7特別指定所為上述檢查對象的布線圖案而選出的上游側電流供給端子81與上游側電壓檢測端子91。另外，從選出單元61向切換單元7發(fā)送動作信號，以便使用于將上述特別指定的上游側電流供給端子81與上游側電壓檢測端子91設為連接狀態(tài)的開關元件SW1、SW2為導通(ON)。
[0070]切換單元7若接收到來自選出單元61的有關開關元件的導通/切斷(0N/0FF)動作的信號，則根據(jù)上述信號來進行開關元件的導通/切斷(0N/0FF)控制。
[0071 ] 例如，在布線圖案PI成為檢查對象的布線圖案的情況下，與布線圖案PI對應的與上游側電流供給端子81和上游側電壓檢測端子91連接的開關元件SW1、SW2為導通(ON)。另外，與此同時，將各個下游側電流供給端子82的開關元件SW4分別控制成導通(ON)，以便使與上述布線圖案Pl以外的布線圖案P2至布線圖案P4接觸的探針CP分別成為與下游側電流供給端子82連接的狀態(tài)。
[0072]圖2是表示本發(fā)明的基板檢查裝置的動作狀態(tài)的一個實施方式。在上述圖2所示的動作狀態(tài)中，如上述的說明那樣，布線圖案Pi被選出為檢查對象。因此，對于布線圖案Pi而言，開關元件SWl與開關元件SW2為導通(ON)，與上游側電流供給端子81和上游側電壓檢測端子91連接。此時，對于檢查對象以外的布線圖案P2至布線圖案P4而言，開關元件SM為導通(ON)，分別連接下游側電流供給端子82。另外，開關元件SW3保持切斷(OFF)狀態(tài)不變。
[0073]若如上所述那樣對開關元件進行導通或切斷(0N或OFF)控制，則向檢查對象的布線圖案Pl施加電流，以便使檢查對象間的電位差成為規(guī)定的電位差。
[0074]此時，電壓檢測單元3在從電力供給單元2接受電力供給的期間，向控制單元6發(fā)送要檢測的電壓值。若控制單元6接受電壓值，則在判定單元62中判定是否發(fā)生了電壓降落。此時，若電壓值以時間序列減少，則判定單元62判定發(fā)生了火花現(xiàn)象，并將這種情況發(fā)送給顯示單元10而顯示。
[0075]圖3中示出發(fā)生了火花現(xiàn)象的情況的例子，在產(chǎn)生了電壓降落的位置A處發(fā)生了火花現(xiàn)象。在圖3中，在時刻t0，本發(fā)明的基板檢查裝置I的電力供給單元2執(zhí)行用于對檢查對象間施加規(guī)定的電位差的電力的供給。更具體而言，例如電力供給單元2可以供給電流，據(jù)此增大檢查對象間的電位差。另外，在圖3中，電壓檢測單元3要檢測的電壓值以附圖標記Vp表示，為便于參考，電力供給單元2所供給的電壓值記載為附圖標記Vs。
[0076]此時，從電壓開始施加時刻t0開始至時刻tl為止是檢查對象間的電壓到達規(guī)定的電壓為止的期間，在時刻t3實施絕緣檢查。從此時刻tl至時刻t3為止被設定成從檢查對象間的電壓到達規(guī)定的電壓開始經(jīng)過規(guī)定時間后，實施絕緣檢查。在此期間中，本發(fā)明可以準確地檢測火花現(xiàn)象。這是由于，在此期間，例如利用限流電路來限制電流值的情況下，即便由于上述電路的存在而產(chǎn)生了以往無法檢測出的小的過電流的火花現(xiàn)象的情況下，由于小的過電流通過電壓降落部5而可以可靠地進行檢測。
【權利要求】
1.一種執(zhí)行在基板上形成的多個布線圖案間的絕緣檢查的基板檢查裝置，其特征在于， 上述基板檢查裝置具備: 選出單元，從上述多個布線圖案中選出作為檢查對象的一個布線圖案作為第一檢查部，并且選出上述第一檢查部以外的作為檢查對象的所有布線圖案作為第二檢查部； 電源單元，為了對上述第一檢查部與上述第二檢查部之間設定規(guī)定的電位差，與上述第二檢查部連接并且對上述第二檢查部施加電壓； 檢測單元，檢測上述第一檢查部與上述第二檢查部之間的電壓；以及判定單元，在上述檢測單元所檢測的電壓發(fā)生電壓降落的情況下，判定為上述第一檢查部與上述第二檢查部存在不良， 上述選出單元具備使導通狀態(tài)為導通/切斷的切換部和與上述切換部串聯(lián)連接的電壓降落部， 上述檢測單元的一端與上述第一檢查部和上述電壓降落部間導通連接。
【文檔編號】G01R31/00GK104237669SQ201410261002
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2014年6月12日 優(yōu)先權日:2013年6月17日
【發(fā)明者】山下宗寛 申請人:日本電產(chǎn)理德株式會社