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缺陷原因工序分析裝置和缺陷原因工序分析方法
【專利摘要】缺陷原因工序分析裝置(16)的關(guān)聯(lián)部(17)針對1個液晶顯示面板從信息管理數(shù)據(jù)庫(9)讀出點(diǎn)亮缺陷信息和TFT修正信息，進(jìn)行兩結(jié)果的聯(lián)系(所謂的關(guān)聯(lián))。分類部(18)按上述TFT修正信息對上述點(diǎn)亮缺陷信息進(jìn)行分類。重疊映射部(19)針對1批次或者數(shù)批次的上述液晶顯示面板，使上述被分類的點(diǎn)亮缺陷信息重疊、映射到同一坐標(biāo)上。映射顯示部(20)顯示如上所述得到的多個重疊映射中的、預(yù)先設(shè)定的或者由操作者指定的1個或者多個重疊映射。這樣來分析在最終檢查中檢測出的缺陷的原因是由工藝工序?qū)е?，還是由檢查工序?qū)е隆?br> 【專利說明】缺陷原因工序分析裝置和缺陷原因工序分析方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在液晶顯示面板等的制造工序中對成為缺陷的原因的制造工序的推測進(jìn)行支援的缺陷原因工序分析裝置和缺陷原因工序分析方法。

【背景技術(shù)】
[0002]作為將各制造工序各自的檢查結(jié)果和最終檢查結(jié)果進(jìn)行對照來推測缺陷原因工序的裝置，有在特開2009-264865號公報(專利文獻(xiàn)I)中公開的“平板顯示器的缺陷檢查盤晉”
目.ο
[0003]在上述平板顯示器的缺陷檢查裝置中，在TFT(薄膜晶體管:Thin FilmTransistor)工藝的各工序的緊后進(jìn)行缺陷檢查，將檢查結(jié)果保存于缺陷分析數(shù)據(jù)庫的缺陷檢查數(shù)據(jù)庫。同樣地，在彩色濾光片工藝的各工序的緊后進(jìn)行缺陷檢查，將檢查結(jié)果保存于上述缺陷檢查數(shù)據(jù)庫。然后，通過組裝，將在TFT工藝中完成的TFT基板和用彩色濾光片工藝完成的彩色濾光片基板貼合后以面板為單位進(jìn)行分割并注入液晶，在密封后進(jìn)行點(diǎn)亮檢查。將該點(diǎn)亮檢查的檢查結(jié)果保存于上述點(diǎn)亮檢查數(shù)據(jù)庫。
[0004]并且，將在上述組裝中的以面板為單位的點(diǎn)亮檢查結(jié)果合計后作為以基板為單位的點(diǎn)亮檢查結(jié)果，與在TFT工藝中的檢查結(jié)果和在彩色濾光片工藝中的檢查結(jié)果進(jìn)行對照，由此確定點(diǎn)亮檢查結(jié)果中的缺陷是在哪個工藝和工序中發(fā)生的。
[0005]但是，在上述平板顯示器的缺陷檢查裝置中存在以下問題。
[0006]S卩，存在如下問題:即使確定了上述點(diǎn)亮缺陷是在上述TFT工藝中的哪個工序中發(fā)生的，也無法區(qū)別產(chǎn)生上述點(diǎn)亮缺陷的原因是由發(fā)生工序中的工藝工序?qū)е?，還是由檢查工序?qū)е隆?br> _7] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0008]專利文獻(xiàn)
[0009]專利文獻(xiàn)1:特開2009-264865號公報


【發(fā)明內(nèi)容】

[0010]發(fā)明要解決的問題
[0011]因此，本發(fā)明的問題在于，提供缺陷原因工序分析裝置和缺陷原因工序分析方法，其能分析產(chǎn)生在最終檢查時檢測出的缺陷的原因是由工藝工序?qū)е?，還是由檢查工序?qū)е隆?br> [0012]用于解決問題的方案
[0013]為了解決上述問題，本發(fā)明的缺陷原因工序分析裝置的特征在于，具備:
[0014]關(guān)聯(lián)部，其在對構(gòu)件進(jìn)行加工處理后進(jìn)行中間檢查、修正檢測出的缺陷、之后進(jìn)行最終檢查的制造工序中，取得上述最終檢查中的缺陷信息及其位置和上述修正中的修正信息及其位置，將上述缺陷信息映射到對上述構(gòu)件設(shè)定的坐標(biāo)上，并且基于上述缺陷信息的位置和上述修正信息的位置進(jìn)行上述缺陷信息與上述修正信息的關(guān)聯(lián)；
[0015]分類部，其基于上述關(guān)聯(lián)部的上述關(guān)聯(lián)的結(jié)果，按上述修正信息對上述缺陷信息進(jìn)行分類；
[0016]重疊映射部，其基于上述分類部的上述分類的結(jié)果，將與預(yù)先設(shè)定的設(shè)定數(shù)量的構(gòu)件有關(guān)的上述缺陷信息按照上述修正信息的類別重疊、映射到對上述構(gòu)件設(shè)定的上述坐標(biāo)上；以及
[0017]映射顯示部，其顯示由上述重疊映射部生成的重疊映射。
[0018]在此，上述“上述缺陷信息與上述修正信息的關(guān)聯(lián)”是指“上述缺陷信息與上述修正息的聯(lián)系”。
[0019]根據(jù)上述構(gòu)成，能顯示將上述缺陷信息重疊、映射到對上述構(gòu)件設(shè)定的上述坐標(biāo)上而生成的重疊映射，上述缺陷信息與按照上述修正信息的類別分類的上述設(shè)定數(shù)量的構(gòu)件有關(guān)。因而，本缺陷原因工序分析裝置的操作者根據(jù)從上述修正信息類別的重疊映射而得到的關(guān)聯(lián)分類結(jié)果和上述缺陷信息的分布狀態(tài)，能從視覺上迅速地判斷在上述最終檢查中檢測出的缺陷是由上述中間檢查導(dǎo)致，還是由其之前的上述加工處理導(dǎo)致。
[0020]另外，在一種實(shí)施方式的缺陷原因工序分析裝置中，
[0021]具備數(shù)據(jù)庫，上述數(shù)據(jù)庫保存上述最終檢查中的缺陷信息及其位置和上述修正中的修正信息及其位置，
[0022]上述關(guān)聯(lián)部從上述數(shù)據(jù)庫取得上述缺陷信息及其位置和上述修正信息及其位置。
[0023]根據(jù)該實(shí)施方式，上述關(guān)聯(lián)部能容易地取得與多個上述構(gòu)件有關(guān)的上述缺陷信息及其位置和上述修正信息及其位置。
[0024]另外，在一種實(shí)施方式的缺陷原因工序分析裝置中，
[0025]上述制造工序是液晶顯不面板制造工序，其中，
[0026]將上述構(gòu)件設(shè)為玻璃基板，
[0027]將上述加工處理設(shè)為對上述玻璃基板進(jìn)行成膜、曝光、蝕刻、取向膜形成來制造TFT基板的加工處理，
[0028]將上述中間檢查設(shè)為針對上述TFT基板的檢查，
[0029]將上述最終檢查設(shè)為針對使用上述TFT基板制造的液晶顯示面板的點(diǎn)亮檢查。
[0030]根據(jù)該實(shí)施方式，在對玻璃基板進(jìn)行加工處理來制造TFT基板后、進(jìn)行上述TFT基板的檢查、修正檢測出的缺陷、進(jìn)行針對用上述TFT基板制造的液晶顯示面板的點(diǎn)亮檢查的液晶顯示面板制造工序中，能從視覺上迅速地判斷在上述點(diǎn)亮檢查中檢測出的點(diǎn)亮缺陷是由上述TFT基板的檢查導(dǎo)致，還是由其之前的制造上述TFT基板的加工處理導(dǎo)致。
[0031]另外，本發(fā)明的缺陷原因工序分析方法的特征在于，具備:
[0032]關(guān)聯(lián)工序，其在對構(gòu)件進(jìn)行加工處理后進(jìn)行中間檢查、修正檢測出的缺陷、之后進(jìn)行最終檢查的制造工序中，利用關(guān)聯(lián)部取得上述最終檢查中的缺陷信息及其位置和上述修正中的修正信息及其位置，將上述缺陷信息映射到對上述構(gòu)件設(shè)定的坐標(biāo)上，并且基于上述缺陷信息的位置和上述修正信息的位置進(jìn)行上述缺陷信息與上述修正信息的關(guān)聯(lián)；
[0033]分類工序，其利用分類部基于上述關(guān)聯(lián)工序中的上述關(guān)聯(lián)的結(jié)果按上述修正信息對上述缺陷信息進(jìn)行分類；
[0034]重疊映射工序，其利用重疊映射部基于上述分類工序中的上述分類的結(jié)果將與預(yù)先設(shè)定的設(shè)定數(shù)量的構(gòu)件有關(guān)的上述缺陷信息按照上述修正信息的類別重疊、映射到對上述構(gòu)件設(shè)定的上述坐標(biāo)上；以及
[0035]映射顯不工序，其利用上述映射顯不部顯不在上述重置映射工序中生成的重置映射。
[0036]根據(jù)上述構(gòu)成，能顯示將上述缺陷信息重疊、映射到對上述構(gòu)件設(shè)定的上述坐標(biāo)上而生成的重疊映射，上述缺陷信息與按照上述修正信息的類別分類的上述設(shè)定數(shù)量的構(gòu)件有關(guān)。因而，根據(jù)從上述修正信息類別的重疊映射而得到的關(guān)聯(lián)分類結(jié)果和上述缺陷信息的分布狀態(tài)，能從視覺上迅速地判斷在上述最終檢查中檢測出的缺陷是由上述中間檢查導(dǎo)致，還是由其之前的上述加工處理導(dǎo)致。
[0037]發(fā)明效果
[0038]從以上內(nèi)容可知，根據(jù)本發(fā)明，顯示將上述缺陷信息重疊、映射到對上述構(gòu)件設(shè)定的上述坐標(biāo)上而生成的重疊映射，上述缺陷信息與按照上述修正信息的類別分類的上述設(shè)定數(shù)量的構(gòu)件有關(guān)，因此根據(jù)從上述修正信息類別的重疊映射而得到的關(guān)聯(lián)分類結(jié)果和上述缺陷信息的分布狀態(tài)，能從視覺上迅速地判斷在上述最終檢查中檢測出的缺陷是由上述中間檢查導(dǎo)致，還是由其之前的上述加工處理導(dǎo)致。
[0039]因而，能迅速地進(jìn)行向上述加工處理和上述中間檢查的反饋，能防止制造工序中的一次良品率降低。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0040]圖1是示出本發(fā)明的缺陷原因工序分析裝置的概要的圖。
[0041]圖2是示出由圖1的映射顯示部顯示的重疊映射的一例的圖。
[0042]圖3是缺陷信息的映射和缺陷信息與修正信息的關(guān)聯(lián)的說明圖。
[0043]圖4是按修正信息對缺陷信息進(jìn)行分類的說明圖。
[0044]圖5是上述重疊映射的說明圖。

【具體實(shí)施方式】
[0045]以下，通過圖示的實(shí)施方式更詳細(xì)地說明本發(fā)明。圖1是示出本實(shí)施方式的缺陷原因工序分析裝置的概要的圖。此外，在本實(shí)施方式中，舉出作為上述缺陷原因工序分析裝置的一例的液晶顯示面板制造中的缺陷原因工序分析裝置進(jìn)行說明。
[0046]如圖1所示，缺陷原因工序分析裝置16基于利用液晶顯示面板制造工序中的檢查工序和修正工序得到的信息來分析缺陷原因工序。
[0047]以下，在說明上述缺陷原因工序分析裝置16之前說明液晶顯示面板的制造工序。
[0048]上述液晶顯示面板經(jīng)過TFT工序1、LCD (Liquid Crystal Display:液晶顯示器)工序2以及面板工序3制造，完成的液晶顯不面板在點(diǎn)売檢查工序4中進(jìn)行點(diǎn)売檢查后，如果有缺陷，則通過激光修理工序5進(jìn)行修正，無缺陷的液晶顯示面板和已修正的液晶顯示面板作為成品出廠。
[0049]在圖1中，上述TFT工序I是制造液晶顯示面板的TFT基板的工序。在該TFT工序I中，在經(jīng)過針對玻璃基板的成膜、曝光、蝕刻、取向膜形成等制造工藝6后，利用TFT檢查工序7對在上述玻璃基板中形成TFT層、配線層以及像素電極等的TFT基板進(jìn)行檢查(TFT檢查)，對發(fā)現(xiàn)的缺陷通過TFT修正工序8進(jìn)行修正(TFT修正)。并且，得到的TFT缺陷信息和TFT修正信息被保存于信息管理數(shù)據(jù)庫9。
[0050]在這種情況下，作為上述TFT缺陷信息的具體例，有缺陷種類、缺陷坐標(biāo)、缺陷強(qiáng)度、檢查條件等。另外，作為上述TFT修正信息的具體例，有修正成功、不修正(因為是無需修正的缺陷)、跳過修正(不在TFT檢查中檢測)、不能修正、缺陷位置不明等。
[0051]經(jīng)過上述TFT工序I的制造工藝6，在TFT檢查工序7中沒有發(fā)現(xiàn)缺陷的TFT基板和在TFT檢查工序7中發(fā)現(xiàn)缺陷而在TFT修正工序8中進(jìn)行了修正的TFT基板被輸送到LCD工序2。
[0052]上述IXD工序2是對來自TFT工序I的TFT基板進(jìn)行各種加工處理來制造IXD的工序。在該LCD工序2中，經(jīng)過彩色濾光片基板制造10、TFT基板與彩色濾光片基板的貼合
11、基板切斷12以及液晶注入/密封13等加工處理而形成IXD。這樣形成的上述IXD被輸送到面板工序3。
[0053]上述面板工序3是對來自IXD工序2的IXD進(jìn)行各種加工處理來制造液晶顯示面板的工序。在該面板工序3中，經(jīng)過背光源制造14和模塊組裝15等加工處理而形成液晶顯示面板。這樣形成的上述液晶顯示面板被輸送到點(diǎn)亮檢查工序4。
[0054]在上述點(diǎn)亮檢查工序4中，使來自面板工序3的液晶顯示面板中的各像素按順序點(diǎn)亮，檢查是否有點(diǎn)亮缺陷。并且，有點(diǎn)亮缺陷的液晶顯示面板通過激光修理工序5進(jìn)行使用激光的修理。在這種情況下，在點(diǎn)亮檢查工序4中得到的點(diǎn)亮缺陷信息和修理信息被保存于信息管理數(shù)據(jù)庫9。
[0055]在這種情況下，作為上述點(diǎn)亮缺陷信息的具體例，有缺陷種類、缺陷坐標(biāo)等。
[0056]在此，為了知道上述各液晶顯示面板是由哪一個TFT基板制造的，對TFT基板或液晶顯示面板賦予識別編號。例如，對TFT基板賦予“TFT批次編號”和“TFT基板編號”。另夕卜，對液晶顯示面板賦予“面板位置編號”以及原來的TFT基板的“TFT批次編號”和“TFT基板編號”。這樣基于對液晶顯示面板附加的“TFT批次編號”、“TFT基板編號”以及“面板位置編號”就知道是從哪一個TFT基板的哪一個位置切斷的液晶顯示面板。
[0057]并且，保存于上述信息管理數(shù)據(jù)庫9的TFT缺陷信息和TFT修正信息與作為TFT識別編號的“TFT批次編號”和“TFT基板編號”對應(yīng)起來保存。另外，點(diǎn)亮缺陷信息和修理信息與作為面板識別編號的“TFT批次編號”、“TFT基板編號”以及“面板位置編號”對應(yīng)起來保存。
[0058]此外，上述識別編號只要構(gòu)成為知道目標(biāo)液晶顯示面板是從哪一個TFT基板的哪一個位置切斷的液晶顯示面板即可，但不限于上述構(gòu)成。
[0059]而且，對保存于上述信息管理數(shù)據(jù)庫9的上述TFT缺陷信息、上述TFT修正信息、上述點(diǎn)亮缺陷信息以及上述修理信息賦予為了顯示檢查位置而預(yù)先在上述TFT基板中設(shè)定的坐標(biāo)空間上的位置(坐標(biāo))。
[0060]下面，說明上述缺陷原因工序分析裝置16。本缺陷原因工序分析裝置16基于由上述信息管理數(shù)據(jù)庫9存儲的上述TFT缺陷信息、上述TFT修正信息以及上述點(diǎn)亮缺陷信息分析成為上述點(diǎn)亮缺陷的原因的工序。該缺陷原因工序分析裝置16構(gòu)成為包括關(guān)聯(lián)部17、分類部18、重疊映射部19以及映射顯示部20。
[0061]在上述構(gòu)成中，上述關(guān)聯(lián)部17針對I個上述液晶顯示面板讀出保存于信息管理數(shù)據(jù)庫9的多個上述點(diǎn)亮缺陷信息和多個上述TFT修正信息，基于TFT缺陷坐標(biāo)和點(diǎn)亮缺陷坐標(biāo)進(jìn)行兩信息的聯(lián)系(所謂的關(guān)聯(lián))。然后，分類部18基于上述關(guān)聯(lián)結(jié)果用上述TFT修正信息對上述點(diǎn)亮缺陷信息進(jìn)行分類。由此分類為:TFT修正工序8中的修正已成功的點(diǎn)亮缺陷組、在TFT檢查工序7中檢測出的TFT缺陷的位置不明的點(diǎn)亮缺陷組、在TFT檢查工序7中沒有檢測出缺陷的點(diǎn)亮缺陷組等。
[0062]上述重疊映射部19針對I批次或者數(shù)批次的上述液晶顯示面板，將利用關(guān)聯(lián)部17和分類部18按上述TFT修正信息分類的上述點(diǎn)亮缺陷信息重疊、映射到按照每一上述TFT基板設(shè)定的同一坐標(biāo)上。
[0063]上述映射顯示部20將比上述利用重疊映射部19得到的上述TFT修正信息的種類數(shù)多I個的重疊映射中的、預(yù)先設(shè)定的I個或者多個重疊映射，或者由操作者指定的I個或者多個重疊映射顯示為缺陷原因工序的分析結(jié)果。
[0064]因而，如圖2所示，上述操作者能基于由上述映射顯示部20顯示的重疊映射來推測點(diǎn)亮缺陷的原因工序。
[0065]即，在按圖2(a)例示的上述TFT修正信息“修正成功”分類的重疊映射中，特別是在TFT基板21中的帶虛線圓(甲)的特定的部位發(fā)生多個TFT缺陷，并且沒有通過TFT修正被修正而產(chǎn)生的點(diǎn)亮缺陷也較多。在這種情況下，能判斷為“由TFT工序I的制造工藝的裝置造成”。
[0066]另外，在按圖2(b)例示的TFT修正信息“缺陷位置不明”分類的重疊映射中，通過TFT修正工序8判定為“缺陷位置不明”的TFT缺陷在TFT基板21上的坐標(biāo)與在點(diǎn)亮檢查工序4中檢測出的點(diǎn)亮缺陷在TFT基板21上的坐標(biāo)接近。在這種情況下，能判斷為在由TFT檢查工序7的檢查裝置檢測出的位置處存在錯誤，有可能上述檢查裝置的位置錯位。
[0067]另外，在按圖2 (C)例示的TFT修正信息“跳過修正(不在TFT檢查中檢測)”分類的重疊映射中，在TFT檢查工序7中沒有檢測出的點(diǎn)亮缺陷較多。在這種情況下，能判斷為“TFT檢查工序7的檢查裝置的檢測率低”。
[0068]另外，在按上述TFT修正信息“不修正(無需修正)”分類的重疊映射中，在TFT檢查工序7檢測出而在TFT修正工序8中沒有修正的TFT缺陷在TFT基板上的坐標(biāo)與在點(diǎn)亮檢查工序4檢中測出的點(diǎn)亮缺陷在TFT基板上的坐標(biāo)接近的情況下，能判斷為“TFT檢查工序7中的過檢測較多，因此壓制TFT修正工序8的修正，使TFT缺陷流出”。S卩，能判斷為“由TFT檢查工序7中的檢查裝置造成”。
[0069]另外，在按上述TFT修正信息“不能修正”分類的重疊映射中，在TFT修正工序8中判定為“不能修正”的TFT缺陷在TFT基板上的坐標(biāo)與在點(diǎn)亮檢查工序4中檢測出的點(diǎn)亮缺陷在TFT基板上的坐標(biāo)接近的情況下，能判斷為“ ‘產(chǎn)生涉及多個TFT的規(guī)模性缺陷’、‘由于灰塵等局部地產(chǎn)生大量缺陷’等在TFT工序I的制造工藝的裝置中發(fā)生問題”。
[0070]此外，在上述實(shí)施方式中，作為制造品舉出平板狀的液晶顯示面板的例子。但是，未必一定是平板狀，也可以是立體的。另外，作為在TFT檢查工序7和點(diǎn)亮檢查工序4中進(jìn)行的檢查，舉出對二維平面進(jìn)行檢查的例子。但是，未必一定是平面，也可以是得到3維映射的透射型檢查、得到表面的二維映射的外觀檢查?？傊?，只要是得到能重疊、映射到對制造品設(shè)定的坐標(biāo)上的檢查結(jié)果的檢查方法，且是具有能用該檢查方法檢查的形狀的制造品即可。
[0071]如上所示，在上述實(shí)施方式中，如
[0072]“加工處理I” 一 “檢查I” 一 “修正”一(“加工處理2”)一 “檢查2”
[0073]那樣，在
[0074]針對進(jìn)行了 “加工處理I”的制造物，進(jìn)行作為上述中間檢查的“檢查1”，在發(fā)現(xiàn)了缺陷部位的情況下，基于缺陷位置的信息或缺陷狀態(tài)的信息來“修正”缺陷。之后，對沒有發(fā)現(xiàn)缺陷部位的制造物和已修正的制造物進(jìn)行“加工處理2”，進(jìn)行作為上述最終檢查的“檢查2”來得到缺陷的信息
[0075]的制造工序中，將上述“修正”工序中的修正信息及其位置和上述“檢查2”工序中的缺陷信息及其位置保存于信息管理數(shù)據(jù)庫9。
[0076]在此，上述“加工處理I”相當(dāng)于上述實(shí)施方式中的TFT工序I的制造工藝6，上述“檢查I”相當(dāng)于TFT檢查工序7，上述“修正”相當(dāng)于TFT修正工序8。另外，上述“加工處理2”相當(dāng)于上述實(shí)施方式中的IXD工序2和面板工序3，上述“檢查2”相當(dāng)于點(diǎn)亮檢查工序4。因而，上述“修正”工序中的修正信息相當(dāng)于上述實(shí)施方式中的TFT修正信息，上述“檢查2”工序中的缺陷信息相當(dāng)于點(diǎn)亮缺陷信息。
[0077]但是，上述“加工處理2”是不會造成“檢查2”中檢測的缺陷的加工處理。此外，在本發(fā)明中，也可以沒有上述“加工處理2 ”。
[0078]并且，通過上述缺陷原因工序分析裝置16，使用作為上述數(shù)據(jù)庫的一例的上述信息管理數(shù)據(jù)庫9所保存的規(guī)定數(shù)(例如I批次量)的上述修正信息和上述最終檢查的缺陷信息，進(jìn)行如下缺陷原因工序的分析。
[0079]S卩，利用上述缺陷原因工序分析裝置16的關(guān)聯(lián)部17針對I個制造物讀出保存于信息管理數(shù)據(jù)庫9的上述缺陷信息及其位置和上述修正信息及其位置，如圖3(a)所示，將上述缺陷信息映射到對該制造物設(shè)定的坐標(biāo)上。然后，基于上述缺陷信息的位置和上述修正信息的位置，如圖3(b)所示，針對上述缺陷信息建立通過上述“修正”得到哪種修正結(jié)果的關(guān)聯(lián)，即進(jìn)行上述缺陷信息與上述修正信息的關(guān)聯(lián)。此外，在圖3(b)中，上述修正信息設(shè)為“A”和“B”兩個。上述修正信息“C”表示是在“修正”工序中沒有進(jìn)行修正的(即在“檢查I”工序中沒有被檢測出的)缺陷。
[0080]然后，利用上述分類部18，基于上述關(guān)聯(lián)結(jié)果，如圖4所示，按照上述修正信息的類別對上述缺陷信息進(jìn)行分類。此外，圖4(a)是在上述修正信息為“A”的情況下的上述缺陷信息組。另外，圖4(b)是在上述修正信息為“B”的情況下的上述缺陷信息組。另外，圖4(c)是在上述修正信息為“C”的情況下的上述缺陷信息組。
[0081]接著，利用上述重疊映射部19，針對I批次或者數(shù)批次的制造物，如圖5所示，按照上述修正信息的類別將I批次或者數(shù)批次量的上述缺陷信息重疊、映射到同一坐標(biāo)上。此夕卜，圖5(a)是上述修正信息為“A”的情況下的重疊映射。另外，圖5(b)是上述修正信息為“B”的情況下的重疊映射。另外，圖5(c)是上述修正信息為“C”的情況下的重疊映射。另夕卜，圖5(a)和圖5(b)中的?標(biāo)記均表示在使I批次或者數(shù)批次量的上述缺陷信息重疊的過程中已經(jīng)被重疊的上述缺陷信息。另外，〇標(biāo)記表示與接下來重疊的I個制造物有關(guān)的上述缺陷信息。但是，在圖5(c)中，上述修正信息“C”是在“修正”工序中沒有進(jìn)行修正的(即在“檢查I”工序中沒有被檢測出的)缺陷，因此僅〇標(biāo)記的缺陷被映射。
[0082]此外，如圖5所示，上述重疊、映射的結(jié)果是，生成對上述修正信息的種類數(shù)(在本例中為“A”和“B”兩個)加上“I”的數(shù)量的映射。映射數(shù)比上述修正信息的種類數(shù)僅增加“ I”的原因是，在“檢查2”工序中檢測出的缺陷有時在“檢查I”工序中沒有檢測出。
[0083]然后，利用上述映射顯示部20，將如上所述得到的多個重疊映射中的、預(yù)先指定的I個或者多個上述修正信息類別的重疊映射，或者由操作者指定的I個或者多個上述修正信息類別的重疊映射顯示為缺陷原因工序的分析結(jié)果。
[0084]因而，操作者根據(jù)從I個或者多個上述修正信息類別的重疊映射得到的上述關(guān)聯(lián)分類結(jié)果和上述缺陷信息的分布狀態(tài)，能從視覺上迅速地判斷在上述最終檢查中檢測出的缺陷是由“檢查I”工序?qū)е?，還是由其之前的“加工處理I”工序?qū)е隆?br> [0085]例如，在按上述“修正”工序中的修正信息“修正成功”分類的重疊映射中，在特定的部位在“檢查I”工序和“檢查2”工序中檢測出的缺陷多的情況下，能判斷為“由加工處理I的工藝裝置導(dǎo)致”。
[0086]另外，在按上述“修正”工序中的修正信息“缺陷位置不明”分類的重疊映射中，在判斷為上述“缺陷位置不明”的“修正”工序中的修正坐標(biāo)與“檢查2”工序中的缺陷坐標(biāo)接近的情況下，能判斷為在“檢查I”工序的檢查裝置的檢測位置存在錯誤，有可能上述檢查裝置的位置錯位。
[0087]另外，在按上述“修正”工序中的修正信息“跳過修正(不在TFT檢查中檢測)”分類的重疊映射中,在“檢查2”工序中的缺陷坐標(biāo)的附近沒有“修正”工序中的修正坐標(biāo)的情況下，能判斷為“‘檢查I’工序中的檢查裝置的檢測率低”。
[0088]另外，在按上述“修正”工序中的修正信息“不修正(無需修正)”分類的重疊映射中，在上述修正信息的坐標(biāo)與“檢查2”工序中的缺陷坐標(biāo)接近的情況下，能判斷為“ ‘檢查I’工序中的過檢測較多，因此壓制‘壓制修正’工序中的修正，使‘加工處理I’工序中的缺陷流出”，能判斷為“由檢查I工序中的檢查裝置導(dǎo)致”。
[0089]另外，在按上述“修正”工序中的修正信息“不能修正”分類的重疊映射中，在判斷為上述“不能修正”的修正坐標(biāo)與“檢查2”工序中的缺陷坐標(biāo)接近的情況下，能判斷為“在‘加工處理I’的工藝裝置中發(fā)生重大問題”。
[0090]因而，根據(jù)上述實(shí)施方式，能提供缺陷原因工序分析裝置和缺陷原因工序分析方法，其能分析產(chǎn)生在最終檢查中檢測出的缺陷的原因是由工藝工序?qū)е?，還是由檢查工序?qū)е隆?br> [0091]其結(jié)果是，能迅速地進(jìn)行向上述工藝工序和上述檢查工序的反饋，能防止制造工序中的一次良品率降低。
[0092]附圖標(biāo)記說明
[0093]1...TFT 工序
[0094]2...LCD 工序
[0095]3…面板工序
[0096]4…點(diǎn)亮檢查工序
[0097]5…激光修理工序
[0098]6…制造工藝
[0099]7...TFT 檢查工序
[0100]8...TFT 修正工序
[0101]9…信息管理數(shù)據(jù)庫
[0102]10…彩色濾光片基板制造
[0103]11…貼合
[0104]12…基板切斷
[0105]13…液晶注入/密封
[0106]14…背光源制造
[0107]15…模塊組裝
[0108]16…缺陷原因工序分析裝置
[0109]17…關(guān)聯(lián)部
[0110]18…分類部
[0111]19…重疊映射部
[0112]20…映射顯示部
[0113]21...TFT 基板
【權(quán)利要求】
1.一種缺陷原因工序分析裝置，其特征在于，具備: 關(guān)聯(lián)部(17)，其在對構(gòu)件進(jìn)行加工處理后進(jìn)行中間檢查、修正檢測出的缺陷、之后進(jìn)行最終檢查的制造工序中，取得上述最終檢查中的缺陷信息及其位置和上述修正中的修正信息及其位置，將上述缺陷信息映射到對上述構(gòu)件設(shè)定的坐標(biāo)上，并且基于上述缺陷信息的位置和上述修正信息的位置進(jìn)行上述缺陷信息與上述修正信息的關(guān)聯(lián)； 分類部(18)，其基于上述關(guān)聯(lián)部(17)的上述關(guān)聯(lián)的結(jié)果，按上述修正信息對上述缺陷信息進(jìn)行分類； 重疊映射部(19)，其基于上述分類部(18)的上述分類的結(jié)果，將與預(yù)先設(shè)定的設(shè)定數(shù)量的構(gòu)件有關(guān)的上述缺陷信息按照上述修正信息的類別重疊、映射到對上述構(gòu)件設(shè)定的上述坐標(biāo)上；以及 映射顯示部(20)，其顯示由上述重疊映射部(19)生成的重疊映射。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的缺陷原因工序分析裝置，其特征在于， 具備數(shù)據(jù)庫(9)，上述數(shù)據(jù)庫(9)保存上述最終檢查中的缺陷信息及其位置和上述修正中的修正信息及其位置， 上述關(guān)聯(lián)部(17)從上述數(shù)據(jù)庫(9)取得上述缺陷信息及其位置和上述修正信息及其位置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的缺陷原因工序分析裝置，其特征在于， 上述制造工序是液晶顯不面板制造工序，其中， 將上述構(gòu)件設(shè)為玻璃基板， 將上述加工處理設(shè)為對上述玻璃基板進(jìn)行成膜、曝光、蝕刻、取向膜形成來制造薄膜晶體管基板的加工處理， 將上述中間檢查設(shè)為針對上述薄膜晶體管基板的檢查， 將上述最終檢查設(shè)為針對使用上述薄膜晶體管基板制造的液晶顯示面板的點(diǎn)亮檢查。
4.一種缺陷原因工序分析方法，其特征在于，具備: 關(guān)聯(lián)工序，其在對構(gòu)件進(jìn)行加工處理后進(jìn)行中間檢查、修正檢測出的缺陷、之后進(jìn)行最終檢查的制造工序中，利用關(guān)聯(lián)部(17)取得上述最終檢查中的缺陷信息及其位置和上述修正中的修正信息及其位置，將上述缺陷信息映射到對上述構(gòu)件設(shè)定的坐標(biāo)上，并且基于上述缺陷信息的位置和上述修正信息的位置進(jìn)行上述缺陷信息與上述修正信息的關(guān)聯(lián)；分類工序，其利用分類部(18)基于上述關(guān)聯(lián)工序中的上述關(guān)聯(lián)的結(jié)果按上述修正信息對上述缺陷信息進(jìn)行分類； 重疊映射工序，其利用重疊映射部(19)基于上述分類工序中的上述分類的結(jié)果將與預(yù)先設(shè)定的設(shè)定數(shù)量的構(gòu)件有關(guān)的上述缺陷信息按照上述修正信息的類別重疊、映射到對上述構(gòu)件設(shè)定的上述坐標(biāo)上；以及 映射顯示工序，其利用上述映射顯示部(20)顯示在上述重疊映射工序中生成的重疊映射。
【文檔編號】G01M11/00GK104335029SQ201380027369
【公開日】2015年2月4日 申請日期:2013年6月12日 優(yōu)先權(quán)日:2012年6月12日
【發(fā)明者】戶屋正雄, 今井克樹 申請人:夏普株式會社