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用于測量機、尤其是坐標測量機的傳感器部件的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種用于測量機的傳感器部件，該傳感器部件具有帶有用于表面光學(xué)測量的探測件(2)的探測部件；帶有板狀基體(8)的探測件容納部(3)；以及具有包括接觸該基體(8)的至少一個軸承的探測部件容納部(5)的傳感器殼體(1)，該軸承具有至少一個限定的接觸點，通過所述接觸點所述探測部件以能相對于探測部件容納部(5)移動的方式連接。傳感器殼體(1)在其殼體接合側(cè)具有用于與測量機連接的接合部(4)，并且至少部分包圍在基體(8)處的探測部件，其中該基體(8)承受指向探測件(2)的力。探測部件容納部(5)在傳感器殼體(1)內(nèi)與接合側(cè)相反設(shè)置并且具有至少一個軸承，該探測部件的基體(8)設(shè)置在接合側(cè)和探測部件容納部(5)之間。在接合側(cè)和該探測部件的基體(8)之間設(shè)有居中的柱形或軸形的壓縮彈簧(7)，壓縮彈簧將基體(8)壓靠到所述至少一個軸承上并且具有沿其縱軸延伸的光纖。
【專利說明】用于測量機、尤其是坐標測量機的傳感器部件
[0001]本發(fā)明涉及根據(jù)權(quán)利要求1的前序部分的用于測量機、尤其是坐標測量機的傳感器部件。
[0002]在許多應(yīng)用領(lǐng)域需要很精確地測量物體表面，并且由此也測量物體本身。這尤其適用于制造業(yè)，工件表面的測量和檢查對制造業(yè)來說是至關(guān)重要的。為此有許多做法，其范圍涉及從接觸方法到利用電磁輻射來測量的光學(xué)傳感器。
[0003]通常，專用于各自測量任務(wù)的傳感器部件此時通過連接部件被安裝在測量機上。這樣的傳感器部件一般具有包括探測件的探測部件，該探測件被引導(dǎo)經(jīng)過待測表面，并且在通過觸覺方式來執(zhí)行的情況下接觸該表面并在產(chǎn)生或保持接觸的情況下來測量該表面。在所謂的接觸方法中或接觸觸發(fā)式探測中，通過產(chǎn)生與該表面的機械接觸來觸發(fā)切換過程。這樣的解決方案例如由EP1617171所公開。
[0004]但作為替代或補充，也可執(zhí)行非接觸式表面光學(xué)測量，此時，探測件具有用于測量輻射的光路并且朝向表面發(fā)出該輻射并再次接收它。
[0005]對于這兩種測量方法，由于探測件的配置，不希望有的或者就碰撞意義上的與極大的力相關(guān)聯(lián)的接觸是不利的并且要加以避免。一方面這可通過在探測部件運動過程中的低速和低加速度來實現(xiàn)，盡管這因此造成較長的測量時間。因此在現(xiàn)有技術(shù)中已知通過其設(shè)計給傳感器部件配備防撞保護功能，這種防撞保護功能在意外方式的表面接觸情況下通過傾斜或釋放探測部件來避免或減輕傳感器部件或者待測工件的損傷。
[0006]為此在現(xiàn)有技術(shù)中采用最多的是以機械或電磁方式將探測部件吸引至探測部件連接機構(gòu)的軸承的傳感器部件，力方向遠離探測件并指向與測量機的連接機構(gòu)的方向，這也被稱為所謂的z方向或z軸。這種布置允許利用電磁體或永磁體和彈簧的簡單構(gòu)造。在橫向碰撞情況下，探測部件因此可相對于探測部件連接機構(gòu)發(fā)生傾斜，并且在啟動反向運動之后被釋放或是被再卡接回來。
[0007]例如EP2161536公開了一種用于測量機的具有防撞保護功能的光學(xué)傳感器,其包括傳感器側(cè)接合件，用于以機械和光學(xué)方式連接至測量機以及傳感器部件。該傳感器具有傳感器保護連接機構(gòu)作為防撞保護，包括在測量機側(cè)的接合部和在傳感器部件側(cè)的接合部，通過磁體吸力或拉動，即，預(yù)緊的拉伸彈簧來實現(xiàn)所述連接。在碰撞情況下，通過傾斜斷開所述連接機構(gòu)。光波導(dǎo)在傳感器保護連接器的連接件之間引導(dǎo)延伸，該波導(dǎo)被波導(dǎo)保護件包圍，該波導(dǎo)保護件的端部被固定在傳感器保護連接機構(gòu)的相關(guān)接合件上。
[0008]但這種裝置的缺點是缺少在z方向即探測件縱軸方向上的防撞保護，或者只有輕微的防撞保護作用，因而在垂直運動分量較大的情況下出現(xiàn)損傷。如上所述，這樣的現(xiàn)有技術(shù)解決方案可能在回折時例如在光纖情況下導(dǎo)致零部件卡死，因此必須對光纖再次采取保護性預(yù)防措施。而且，現(xiàn)有的解決方案不允許有效阻尼分離過程或傾斜過程。
[0009]一個目的是提供一種改進的傳感器部件，該傳感器部件用于對表面進行光學(xué)測量或者用于對表面形貌進行檢測。
[0010]另一個目的是提供這樣一種傳感器部件，該傳感器部件在沿接觸表面的探測件的縱向上具有改善的防撞保護。
[0011]又一目的是提供在探測部件和探測部件容納部之間的改進的測量線保護。
[0012]最后，本發(fā)明的目的是實現(xiàn)對探測部件和探測部件容納部的相對運動的抑制。
[0013]通過權(quán)利要求1的或者從屬權(quán)利要求的主題來實現(xiàn)這些目的或者改進相應(yīng)的解決方案。
[0014]將傳感器部件構(gòu)造成，使得裝載有探測件的探測部件不再被吸引到對應(yīng)于測量機連接機構(gòu)的探測部件接合側(cè)，而相反經(jīng)歷遠離該側(cè)的力。為此該傳感器部件的殼體如此形成，它至少部分地包圍探測部件基體，其被用于可活動或可分離地連接至探測部件容納部，從而傳感器部件具有探測部件容納部，其與用于連接至測量機的接合側(cè)對置。在探測部件容納部和接合側(cè)之間設(shè)置該基體并通過在探測部件容納部的和進而探測部件的方向上的力受壓。此時，該基體由至少一個軸承容納，該軸承設(shè)置在探測部件容納部上，其為此可以以環(huán)形方式構(gòu)成。
[0015]根據(jù)本發(fā)明，在探測部件容納部的方向且進而在探測部件的方向上作用的力通過居中地布置的柱狀或心軸狀的壓縮彈簧來施加，該彈簧內(nèi)部具有光纖，光纖被用于將測量光引導(dǎo)到所述表面上，進而測量該表面。通過中心引導(dǎo)，附加地還保證了在所有方向上的相同類型的不受限制的活動性。另外，避免當(dāng)探測部件基體被卡接回來時發(fā)生纖維被夾住的危險，并且該纖維因為其中心引導(dǎo)而只需要具有小的縱向移動能力。根據(jù)本發(fā)明的這個解決方案因此可避免用于纖維的單獨保護件。壓縮彈簧也可等同地用環(huán)形布置的多個單獨彈簧來代替，只要它們同樣保證在內(nèi)部引導(dǎo)纖維。壓縮彈簧也同樣可被制成錐形或其它形狀，其基本圍繞纖維并產(chǎn)生導(dǎo)槽。通過這種引導(dǎo)，一方面可實現(xiàn)纖維在中心軸內(nèi)引導(dǎo)，從而能在所有方向上以相同方式發(fā)生傾斜運動。另一方面，利用合適的構(gòu)造，例如利用相對小的斜面，彈簧也可執(zhí)行對纖維的保護作用，因為它能防止纖維向外即在中心軸線外移位以及另一構(gòu)件進入壓縮彈簧所限定的中心導(dǎo)槽。
[0016]此時該結(jié)構(gòu)的作用是，用于固定或連接的力同時允許在z方向即探測件縱軸上且指向測量機連接機構(gòu)的運動并對此施加制動反作用。
[0017]通過在探測件方向上的力作用，在其縱軸上作用的碰撞還可被吸收而未出現(xiàn)損壞。在此情況下，基體可有利地包括安置在軸承中的柱體或滾子，其兩個接觸點由兩個彈簧加載的球或滾子限定。根據(jù)在基體或者其柱體和軸承的球之間的可允許的相對運動的設(shè)定，該布置結(jié)構(gòu)能以用于光學(xué)探測的單純的防撞保護機構(gòu)形式構(gòu)成，或者也還可以以開關(guān)測頭(即，接觸觸發(fā)測頭)的形式構(gòu)成。
[0018]由此，傳感器部件因此具有探頭或探測件的在三個方向即所謂的X、y和z方向上的彈簧輔助軸承。不同于現(xiàn)有技術(shù)的傳感器部件，本發(fā)明可實現(xiàn)的在z方向上的運動空隙大到足以允許也在此方向上的真正的防撞保護。另外，作用力的彈性特性造成作用的碰撞力的制動和動態(tài)容納。在光學(xué)系統(tǒng)情況下并且當(dāng)使觸感系統(tǒng)移動到其初始位置時，可以實現(xiàn)較高速度，因為也可應(yīng)對因豎向移動引起的碰撞。
[0019]還有利的是給裝有探測部件基體及其軸承的傳感器殼體部分填充油或具有阻尼效果的其它流體介質(zhì)，因為由此可以保證高回復(fù)精度。因此，填充油也減少了校準需求。
[0020]根據(jù)前序部分類型的傳感器部件相應(yīng)填充油或其它流體介質(zhì)還是一個獨立的發(fā)明，其可以獨立于居中布置的柱形或心軸形的壓縮彈簧來實施。尤其是所述基體和如前序部分所限定的類型的傳感器部件的至少一個軸承設(shè)置在該傳感器殼體的油填充部段的特征可以與不一定與居中布置的柱形或心軸形的壓縮彈簧相關(guān)的權(quán)利要求特征相組合。
[0021]以下將借助如圖示意所示或作為附圖示出的實施方式來單純舉例詳細描述或解釋根據(jù)本發(fā)明的傳感器部件，具體說:
[0022]圖1示出了本發(fā)明傳感器部件的第一示例性實施方式的視圖；
[0023]圖2不出了本發(fā)明傳感器部件的第一不例性實施方式的傳感器殼體和設(shè)于該傳感器殼體中的部件的視圖；
[0024]圖3a至圖3b示出了本發(fā)明傳感器部件的第一示例性實施方式的設(shè)于傳感器殼體中的部件的不意圖；
[0025]圖4a至圖4c示出了探測部件相對于在本發(fā)明傳感器部件中設(shè)于探測部件容納部上的軸承的相對運動的示意圖；
[0026]圖5a至圖5e示出了探測部件和軸承的本發(fā)明實施方式的示意圖；和
[0027]圖6a至圖6c示出了用于光學(xué)接觸測量的探測件的根據(jù)本發(fā)明實施方式的示意圖。
[0028]圖1示出了根據(jù)本發(fā)明的傳感器部件的第一示例性實施方式的視圖。傳感器殼體包括光學(xué)和/或觸感探測部件，該探測部件又由探測件2和容納探測件的探測件容納部3構(gòu)成并且被用于表面測量，其中探測件被移動成與所述表面成接近關(guān)系，即，被引導(dǎo)至用于光學(xué)測量的最佳測量距離。在附加的或補充的切換實施方式情況下，此時也可實施為表面的直接接觸。在這里，該探測件能以下端或者下部區(qū)域?qū)υ摫砻骈_始探測，或者在此區(qū)域內(nèi)可以發(fā)出并再次接收測量光。
[0029]在傳感器殼體I中布置有探測部件容納部，該探測部件容納部具有接觸該探測件容納部3的至少一部分的軸承，該探測部件并且進而探測件2借助于該軸承相對于探測部件容納部或傳感器殼體I以可移動的方式連接。在與探測件2對置的接合側(cè)，傳感器殼體I具有用于尤其以可分離的方式連接至測量機的接合部4。在此情況下，傳感器部件一般安裝在鉸接臂的一構(gòu)件上或可沿多個軸移動的套筒上，在這里，該傳感器部件的更換及其安裝或接合通常以自動化方式進行。
[0030]為了實現(xiàn)活動性，可在傳感器殼體I的上部內(nèi)設(shè)置長達幾厘米的卷繞光纖，這在制造和維護過程中允許更高的靈活性。與測量機的光學(xué)連接可通過插接來產(chǎn)生，從而使得評估電路能保留在傳感器部件之外。這種作為光學(xué)傳感器部件的配置形式的一個例子可以在EP2194357中找到。
[0031]圖2和圖3a至圖3b分別給出本發(fā)明傳感器部件的第一示例性實施方式的傳感器殼體I和布置在該傳感器殼體中的零部件的細節(jié)示意圖。傳感器殼體I的內(nèi)部設(shè)有探測件容納部3的基體8，該基體被傳感器殼體I或探測部件容納部5包圍。探測部件容納部5以與接合側(cè)對置的方式布置在傳感器殼體I內(nèi)并裝載有至少一個軸承?？稍谔綔y部件容納部5上構(gòu)成朝向接合側(cè)的接觸面，尤其是環(huán)形接觸面，用于容納所述至少一個軸承。該軸承分別由兩個球10形成，這些球之間具有間距并通過彈簧11保持就位。
[0032]基體8具有用作軸頸6的多個突出部或延伸部，它們例如呈柱狀或滾子狀。這些軸頸接觸該軸承的兩個球10，從而限定出兩個限定的接觸點。這些球10之間的距離此時匹配于軸頸6的直徑。軸頸6在軸承內(nèi)即在球10之間的位置中的運動受到止擋5a的限制。止擋5a確定了軸頸6進入球10的侵入深度和進而作用力以及該軸承的動力學(xué)和觸發(fā)特性。
[0033]在球10和在靜止?fàn)顟B(tài)下處于這些球之間的軸頸6之間，在接觸點處實現(xiàn)導(dǎo)電連接，這種導(dǎo)電連接可通過彈簧11進一步延伸，從而可以通過電路的斷開來檢測軸頸6偏離軸承的情況。通過這種方式，電路結(jié)構(gòu)既能在接觸配置形式中記錄下探測件2接觸表面時的觸發(fā)，也能識別碰撞事故。
[0034]有利地，基體8呈板狀，即，相對于探測件容納部3的其余區(qū)域具有增大的橫截面的部分區(qū)域，并且具有以120°間距布置的三個軸頸6，每個軸頸對應(yīng)一個軸承。這些軸承或者相關(guān)的軸頸6可以處于板狀基體8的平面內(nèi)或者與之平行的平面內(nèi)。同樣，也可避免板狀設(shè)計，但無論如何可以實現(xiàn)相同類型的軸承，此時軸頸6可選地以較大長度來形成。但是，可以通過板狀設(shè)計獲得力學(xué)有利的穩(wěn)定布置結(jié)構(gòu)。
[0035]在此布置結(jié)構(gòu)中，靜態(tài)確定探測部件的軸承。但也可以采用與之不同的數(shù)量的軸承或者軸頸6。當(dāng)測量機具有優(yōu)先測量方向時或者當(dāng)在測量方向或者碰撞過程方面有其它限制條件時，例如也可使用回轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)或者鉸鏈來代替軸承和軸頸6的三種組合方式中的一種方式。
[0036]探測部件的基體8因此位于接合側(cè)和探測部件容納部5之間并且承受沿探測件2取向的力，該力由作為力產(chǎn)生元件的壓縮彈簧7產(chǎn)生。因此，所述力作用在朝向該探測件端部的方向上，該端部在工作狀態(tài)中整個朝向該表面或者朝向工件，即該力壓靠探測件脫離與引導(dǎo)傳感器部件的測量機載體部件的連接，從而導(dǎo)致在朝向表面的方向上作用的力，該力在接觸時反作用于通過該表面所施加的力。由于該彈性配置形式，在此方向上產(chǎn)生該布置形式，在這里，由此產(chǎn)生的運動通過壓縮彈簧7的反作用力被制動。
[0037]但代替壓縮彈簧，也可以使用其它的力產(chǎn)生件，例如排斥布置的電磁體或永磁體或者氣壓件或液壓件，其中這些應(yīng)該優(yōu)選被設(shè)計成具有探測部件或其基體8的彈性作用偏移特征。螺旋彈簧被用作居中地布置的柱形或心軸形的壓縮彈簧帶來以下的本發(fā)明優(yōu)點，即，光纖或還有其它測量線可在其內(nèi)即尤其在其縱軸內(nèi)被引導(dǎo)。
[0038]為保證對運動的抑制和高重復(fù)精度，傳感器殼體I的裝有探測部件機構(gòu)的那一部分填充有油或其它運動阻尼液。為了相對外部密封填充油的區(qū)域，傳感器殼體I在底部用膜12封閉。此外，測量線可在尤其在壓縮彈簧7內(nèi)的居中的波紋管9中被引導(dǎo)。
[0039]除了作為光學(xué)觸點4a的光纖插接連接部件，接合部4還可包括三個電觸點4b，用于碰撞檢測、用于連接至位于傳感器殼體內(nèi)的可讀取的且優(yōu)選可編程或重新編程的存儲介質(zhì)如EEPROM和用于接地。用于每個傳感器部件的單獨的數(shù)據(jù)或參數(shù)被存儲在該存儲介質(zhì)或EEPROM中，例如序列號、光學(xué)探測功能的焦點位置、工作范圍和探測件2的長度，從而使得作為所謂的智能探頭的傳感器部件在接合過程范圍內(nèi)完成其通訊連接之后提供其專用數(shù)據(jù)。在此情況下，存儲介質(zhì)同樣可以通過電觸點4b被外部讀取或編程。而且，其它傳感器部件或傳感器，如溫度傳感器或慣性傳感器也可設(shè)置在傳感器殼體I內(nèi)，或者可以通過相應(yīng)的電路結(jié)構(gòu)來整合接觸式或者檢測碰撞式測量功能。
[0040]圖4a至圖4c在示意圖中解釋了探頭部件相對于安置在本發(fā)明傳感器部件內(nèi)的探測部件容納部上的軸承的豎向相對運動。在圖4a中示出用于防撞保護的狀態(tài)，此時軸頸6完全接合到軸承中?，F(xiàn)在，軸頸6的中點位于球10的中點的下方，所述球分別通過相關(guān)的彈簧11被固定在其位置上。但根據(jù)本發(fā)明，其它軸承部件也可被用來替代球10，例如兩個滾子。軸頸6的穩(wěn)定位置由呈凹窩狀的止擋5a限定，從而利用球的兩個接觸點以及止擋產(chǎn)生滑動軸承。根據(jù)止擋深度和球10的半徑以及軸頸6的半徑的選擇，軸承的觸發(fā)特性可從堅固的防撞保護被調(diào)整到接觸探頭的不穩(wěn)定平衡，所述防撞保護需要最小力使軸頸6分開并脫離軸承，而在不穩(wěn)定平衡中，輕微接觸的最小力作用已經(jīng)導(dǎo)致軸頸6和兩個球10中的至少一個球之間的電連接的分離，進而導(dǎo)致切換過程。
[0041]在與物體碰撞的情況下，這使得探測件2和進而探測部件在朝向接合部的方向上(即，在此豎向示出的z軸上)移位，探測件容納部3的和因而軸頸6的運動也發(fā)生在相同方向上，它使后者相對于容納部的球10抬起。圖4b示出這種運動。在此狀態(tài)中，雖然已經(jīng)解除軸頸的機械固定，但電接觸和因而電路還是因為軸頸6保持不變地與球10接觸而保持閉合。允許軸頸6在保持點接觸情況下實現(xiàn)運動的間隙例如允許物體略微掠過，其中通過探測件2的可允許偏移來避免損傷，但沒有同時探測碰撞。因此有一定的允許接觸范圍。但如果運動超過由球和軸頸半徑和止擋深度預(yù)設(shè)的容許程度，如圖4c所示，則導(dǎo)電接觸被斷開，從而檢測到碰撞現(xiàn)象，并且驅(qū)動裝置被關(guān)閉或其運動方向被反轉(zhuǎn)。因為有用于進一步向內(nèi)彈動的剩余間隙，故可避免損傷。為了控制這樣的運動過程，所述傳感器部件或測量機可包括如此形成的轉(zhuǎn)換機構(gòu)，即，該電路因探測件2接觸該表面的斷開作為接觸轉(zhuǎn)換過程被記錄下來。
[0042]為實現(xiàn)使得傳感器部件沿三個軸進行運動的穩(wěn)定的和靜止的軸承，如此構(gòu)造該探測部件容納部，即它具有接觸基體或其軸頸6的三個軸承，所述軸承以彼此間有120°角間距的方式布置在平行于基體的一個平面內(nèi)。
[0043]包括軸頸6和軸承的探測部件的本發(fā)明各實施方式將如圖5a至圖e示意所示。
[0044]圖5a示出了圖4a至圖4c所使用的軸承布置形式，此時止擋5a包括用于軸頸6的槽，使得中點，即軸頸6的縱軸線位于球10的中點以下。為了克服在軸承中的固定，必須使軸頸6向上移動一段距離，此時軸頸保持與球10的電接觸。在此情況下，球10必須在軸頸運動過程中執(zhí)行輕微側(cè)向運動，因此必須提供用于此的相應(yīng)間隙。
[0045]圖5b示出這樣的布置形式，其中，軸頸6的中心點因為止擋5b的平坦表面而位于球10的中心點以上，從而只通過作用于探測部件基體的基座上的力來實現(xiàn)在軸承中的固定。即便小的偏移也導(dǎo)致電路斷開，從而可以識別探測件在待測表面上的輕微接觸，并且可產(chǎn)生相應(yīng)的信號。與此同時，通過此布置形式獲得如上所述的防撞保護。在此情況下，可以例如通過考慮附加信息來區(qū)分既定接觸和偶然碰撞。如果例如當(dāng)接近待測工件時，在位于工件空間體積之外的空間范圍中探測到接觸，則這被評定為碰撞。由此，在力學(xué)相同設(shè)計情況下，這樣的布置可根據(jù)工作狀態(tài)或其它信息被用于接觸測量功能和碰撞檢測。
[0046]原則上，也可為軸頸6和球10選擇相同的直徑，或者軸頸6可形成有橢圓形橫截面，如圖5c所示。如果中點和接觸點位于與在探測件2方向上作用的力的矢量垂直的平面內(nèi)，則在不考慮該力的情況下，實現(xiàn)不穩(wěn)定平衡，該不穩(wěn)定平衡的特點在于接觸點處的摩擦。
[0047]如圖5d所示，代替兩個球或滾子，所述兩個接觸點中的一個接觸點也可以由被用作止擋5c的成型部10’的曲面來形成。
[0048]同樣，彈動軸承不僅可利用帶有在探測件方向上取向的彈簧的球10來實現(xiàn)，也可通過垂直取向的或以不同角度取向的彈簧11’來實現(xiàn)，如將在圖5e中解釋的那樣。
[0049]圖6a至圖6c示出了用于光學(xué)和接觸測量的探測件的示例性實施方式的示意圖，其中，探測件的這種配置也可與本發(fā)明傳感器部件無關(guān)地實現(xiàn)。在此情況下，具有用于光學(xué)測量的光束引導(dǎo)功能的探測件2也裝載有用于表面接觸測量的球13、13’或13”。球13、13’或13”具有用于光束引導(dǎo)機構(gòu)的孔，該孔如圖6a所示被構(gòu)造成在球13內(nèi)的開口，所述球作為用于光束引導(dǎo)機構(gòu)的光學(xué)零部件，如光纖的端部來構(gòu)成，從而使得測量輻射不必被以光學(xué)方式引導(dǎo)穿過球材料。
[0050]但同樣，用于光束引導(dǎo)機構(gòu)的零部件的端部也可被偏移地布置到球13’的內(nèi)部，如圖6b所示，從而使得至少一部分光路移動到球內(nèi)部，但此時光束引導(dǎo)部關(guān)于球13’的材料以自由輻射光學(xué)件形式實現(xiàn)，即它沒有照透所述球。
[0051]最后，輻射也可被引導(dǎo)穿過球13”的材料，從而實現(xiàn)向外連續(xù)的封閉。但這要求球13”或者其材料能透過光學(xué)測量所用的波長。在此情況下，球13”的曲率也可以被用于形成測量輻射的光束。
【權(quán)利要求】
1.一種用于測量機、尤其是坐標測量機的傳感器部件，該傳感器部件至少具有: -探測部件，該探測部件具有用于對表面進行光學(xué)測量的探測件(2)和尤其帶有板狀基體(8)的探測件容納部(3)， -傳感器殼體(I)，該傳感器殼體具有包括至少一個軸承的探測部件容納部(5)，所述軸承接觸所述基體(8)并具有至少一個限定的接觸點，且尤其是兩個限定的接觸點，借助于所述接觸點，所述探測部件被連接成能相對于所述探測部件容納部(5)移動， 其中， -所述傳感器殼體(I)具有接合側(cè)，該接合側(cè)帶有接合部(4)，用于連接尤其是以可分離的方式連接至測量機，并且所述接合側(cè)尤其還帶有光學(xué)觸點(4a)和/或電觸點(4b)，-所述傳感器殼體(I)至少部分地包圍所述基體(8)上的所述探測部件，并且沿所述探測件(2)取向的力被施加給所述基體(8)， -所述探測部件容納部(5)以與所述接合側(cè)對置的方式位于所述傳感器殼體(I)內(nèi)并且裝載所述至少一個軸承；并且 -所述探測部件的所述基體(8)被布置在所述接合側(cè)和所述探測部件容納部(5)之間，其特征在于，在所述接合側(cè)和所述探測部件的所述基體(8)之間居中地設(shè)置有柱形或心軸形的壓縮彈簧(7)，該壓縮彈簧將所述基體(8)壓靠在所述至少一個軸承上，并且所述壓縮彈簧包括沿該壓縮彈簧的縱軸引導(dǎo)的光纖。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器部件，其特征在于，所述探測部件還被構(gòu)造成用于對表面進行觸覺測量，尤其是被構(gòu)造成呈開關(guān)測頭的形式。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的傳感器部件，其特征在于，所述探測部件容納部(5)具有面向所述接合側(cè)以用于容納所述至少一個軸承的接觸面，尤其是環(huán)形接觸面。
4.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的傳感器部件，其特征在于， ?所述基體(8)包括至少一個帶有曲面的軸頸￠)，尤其是徑向向外取向的柱體，用于支撐在所述軸承的所述至少一個接觸點上，并且 ?所述至少一個軸承包括至少一個彈簧加載的球(10)或滾子，用于限定所述至少一個接觸點。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的傳感器部件，其特征在于，所述至少一個軸承包括至少兩個彈簧加載的球(10)。
6.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的傳感器部件，其特征在于，所述至少一個軸承以滑動軸承的形式構(gòu)成。
7.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的傳感器部件，其特征在于，所述探測部件容納部(5)具有接觸所述基體(8)的三個軸承，所述三個軸承以彼此間隔開120°的角間距的方式布置在平行于所述基體(8)的平面內(nèi)。
8.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的傳感器部件，其特征在于，由所述基體(8)與所述至少一個接觸點的接觸來限定閉合電路。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的傳感器部件，其特征在于，所述閉合電路經(jīng)由所述電觸點(4b)穿過所述接合側(cè)被向外輸出以便進行評估。
10.根據(jù)權(quán)利要求8或9所述的傳感器部件，其特征在于，設(shè)有電路結(jié)構(gòu)，該電路結(jié)構(gòu)被構(gòu)造成使得由于所述探測件(2)接觸所述表面而造成的電路斷開能作為接觸轉(zhuǎn)換過程和/或碰撞被記錄下來。
11.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的傳感器部件，其特征在于，在所述傳感器殼體(I)內(nèi)布置有用于提供所述傳感器部件的參數(shù)的可讀取的、且尤其是可編程的電子存儲介質(zhì)，尤其是能通過所述接合側(cè)的所述電觸點(4b)被讀取并可選地被編程的電子存儲介質(zhì)。
12.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的傳感器部件，其特征在于，所述基體(8)和所述至少一個軸承被布置在所述傳感器殼體(I)的被油填充的部分中。
13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的傳感器部件，其特征在于，設(shè)有中央的油密波紋管(9)，用于軸向引導(dǎo)所述光纖，尤其還軸向引導(dǎo)附加線纜。
14.根據(jù)前述權(quán)利要求之一所述的傳感器部件，其特征在于，所述探測件(2)包括用于對所述表面進行光學(xué)測量的光束引導(dǎo)機構(gòu)和用于對所述表面進行觸覺測量的球(13，13，，13”)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的傳感器部件，其特征在于，所述球(13，13’，13”)具有用于所述光束引導(dǎo)機構(gòu)的孔，并且所述球尤其能讓用于所述光學(xué)測量使用的波長透過。
【文檔編號】G01B5/016GK104246422SQ201380021757
【公開日】2014年12月24日 申請日期:2013年4月15日 優(yōu)先權(quán)日:2012年4月24日
【發(fā)明者】托馬斯·延森, 弗蘭克·索普, 本杰明·烏里奧德 申請人:赫克斯岡技術(shù)中心