差分電容式微加速度計(jì)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種差分電容式微加速度計(jì)，它包括上移動(dòng)板、下移動(dòng)板和固定在上移動(dòng)板和下移動(dòng)板上的彈性梁，所述的上移動(dòng)板和下移動(dòng)板的兩個(gè)相對(duì)面上分別固定有上活動(dòng)極板和下活動(dòng)極板，所述的上移動(dòng)板和下移動(dòng)板之間還設(shè)置有固定極板，所述的固定極板為菱形。其優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作工序簡(jiǎn)單，且電容差值變化沿一定的規(guī)律變化，可簡(jiǎn)化后續(xù)的信號(hào)處理電路。
【專利說明】差分電容式微加速度計(jì)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及微電子領(lǐng)域，更具體的說是涉及一種差分電容式微加速度計(jì)。
【背景技術(shù)】
[0002]加速度計(jì)是測(cè)量載體慣性加速度的儀器，其運(yùn)用在很多方面。譬如航天航空領(lǐng)域。慣性導(dǎo)航和制導(dǎo)都是以加速度計(jì)敏感測(cè)量載體運(yùn)動(dòng)加速度為基礎(chǔ)，因此加速度計(jì)的性能直接影響到整個(gè)系統(tǒng)的測(cè)量精度穩(wěn)定性以及最終的導(dǎo)航精度?，F(xiàn)有的加速度計(jì)其包括支撐體、上極板、下極板、導(dǎo)向槽、附加質(zhì)量塊、基座等，其結(jié)構(gòu)復(fù)雜，使得加速度計(jì)在加工生產(chǎn)時(shí)其工序繁瑣，使得加工成本和生產(chǎn)成本較高。采用現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)方式，使得在對(duì)電容差值變化的電路檢測(cè)中，信號(hào)處理電路的結(jié)構(gòu)相對(duì)復(fù)雜。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型提供一種差分電容式微加速度計(jì)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制作工序簡(jiǎn)單，且電容差值變化沿一定的規(guī)律變化，可簡(jiǎn)化后續(xù)的信號(hào)處理電路。
[0004]為解決上述的技術(shù)問題，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
[0005]差分電容式微加速度計(jì)，它包括上移動(dòng)板、下移動(dòng)板和固定在上移動(dòng)板和下移動(dòng)板上的彈性梁，所述的上移動(dòng)板和下移動(dòng)板的兩個(gè)相對(duì)面上分別固定有上活動(dòng)極板和下活動(dòng)極板，所述的上移動(dòng)板和下移動(dòng)板之間還設(shè)置有固定極板，所述的固定極板為菱形。
[0006]更進(jìn)一步的技術(shù)方案是:
[0007]所述的上活動(dòng)極板包括左上活動(dòng)極板和右上活動(dòng)極板,所述的下活動(dòng)極板包括左下活動(dòng)極板和右下活動(dòng)極板。
[0008]所述的左上活動(dòng)極板和左下活動(dòng)極板位于同一垂直面上，所述的右上活動(dòng)極板和右下活動(dòng)極板位于同一垂直面上。
[0009]所述的固定極板位于左上活動(dòng)極板和右上活動(dòng)極板的中間。
[0010]所述的固定極板的一條對(duì)稱軸位于左上活動(dòng)極板和左下活動(dòng)極板的中線上。
[0011]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0012]1、本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，簡(jiǎn)化了制作工序，降低了成產(chǎn)成本。
[0013]2、本實(shí)用新型在對(duì)電容的差值變化進(jìn)行檢測(cè)時(shí)，其電容的變化按一定的斜率變化，使得后續(xù)的信號(hào)處理電路更簡(jiǎn)單。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0014]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0015]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖中的標(biāo)號(hào)為:11、下移動(dòng)板；12、上移動(dòng)板；21、右下活動(dòng)極板；22、左下活動(dòng)極板；31、右上活動(dòng)極板；32、左上活動(dòng)極板；4、固定極板；5、彈性梁?！揪唧w實(shí)施方式】
[0017]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。本實(shí)用新型的實(shí)施方式包括但不限于下列實(shí)施例。
[0018][實(shí)施例]
[0019]如圖1所示的差分電容式微加速度計(jì)，它包括上移動(dòng)板12、下移動(dòng)板11和固定在上移動(dòng)板12和下移動(dòng)板11上的彈性梁5，所述的上移動(dòng)板12和下移動(dòng)板11的兩個(gè)相對(duì)面上分別固定有上活動(dòng)極板和下活動(dòng)極板，所述的上移動(dòng)板12和下移動(dòng)板11之間還設(shè)置有固定極板4,所述的固定極板4為菱形。
[0020]所述的上活動(dòng)極板包括左上活動(dòng)極板32和右上活動(dòng)極板31,所述的下活動(dòng)極板包括左下活動(dòng)極板22和右下活動(dòng)極板21。
[0021]所述的左上活動(dòng)極板32和左下活動(dòng)極板22位于同一垂直面上，所述的右上活動(dòng)極板31和右下活動(dòng)極板21位于同一垂直面上。
[0022]所述的固定極板4位于左上活動(dòng)極板32和右上活動(dòng)極板31的中間。
[0023]所述的固定極板4的一條對(duì)稱軸位于左上活動(dòng)極板32和左下活動(dòng)極板22的中線上。
[0024]為了提高測(cè)量的精度，在固定極板4的兩側(cè)均設(shè)置有活動(dòng)極板。將固定極板4設(shè)置在上活動(dòng)極板和下活動(dòng)極板的中間，便于對(duì)電容變化的差值進(jìn)行測(cè)量，簡(jiǎn)化后續(xù)的信號(hào)處理電路。
[0025]本實(shí)施例的工作過程如下:
[0026]當(dāng)豎直方向的加速度作用于彈性梁5時(shí)，通過上移動(dòng)板12/下移動(dòng)板11可帶動(dòng)上活動(dòng)極板/下活動(dòng)極板向下/上移動(dòng)，由于固定極板4的位置不會(huì)發(fā)生變化，則固定極板4會(huì)與上活動(dòng)極板和下活動(dòng)極板產(chǎn)生一個(gè)差動(dòng)變化的電容值，上活動(dòng)極板上的電容值增大/減小，下活動(dòng)極板上的電容值減小/增大，通過對(duì)差動(dòng)變化的電容值的檢測(cè)即可測(cè)得加速度。
[0027]由于固定極板為菱形，上移動(dòng)板12/下移動(dòng)板11在移動(dòng)的過程中，其變化是按一定的斜率變化的，呈現(xiàn)一定的規(guī)律，使得后續(xù)的信號(hào)處理電路的結(jié)構(gòu)變得簡(jiǎn)單。
[0028]如上所述即為本實(shí)用新型的實(shí)施例。本實(shí)用新型不局限于上述實(shí)施方式，任何人應(yīng)該得知在本實(shí)用新型的啟示下做出的結(jié)構(gòu)變化，凡是與本實(shí)用新型具有相同或相近的技術(shù)方案，均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.差分電容式微加速度計(jì)，其特征在于:它包括上移動(dòng)板(12)、下移動(dòng)板(11)和固定在上移動(dòng)板(12)和下移動(dòng)板(11)上的彈性梁(5)，所述的上移動(dòng)板(12)和下移動(dòng)板(11)的兩個(gè)相對(duì)面上分別固定有上活動(dòng)極板和下活動(dòng)極板，所述的上移動(dòng)板(12)和下移動(dòng)板(11)之間還設(shè)置有固定極板(4 )，所述的固定極板(4 )為菱形。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的差分電容式微加速度計(jì)，其特征在于:所述的上活動(dòng)極板包括左上活動(dòng)極板(32)和右上活動(dòng)極板(31)，所述的下活動(dòng)極板包括左下活動(dòng)極板(22)和右下活動(dòng)極板(21)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的差分電容式微加速度計(jì)，其特征在于:所述的左上活動(dòng)極板(32)和左下活動(dòng)極板(22)位于同一垂直面上，所述的右上活動(dòng)極板(31)和右下活動(dòng)極板(21)位于同一垂直面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的差分電容式微加速度計(jì)，其特征在于:所述的固定極板(4)位于左上活動(dòng)極板(32)和右上活動(dòng)極板(31)的中間。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的差分電容式微加速度計(jì)，其特征在于:所述的固定極板(4)的一條對(duì)稱軸位于左上活動(dòng)極板(32)和左下活動(dòng)極板(22)的中線上。
【文檔編號(hào)】G01P15/125GK203519641SQ201320654608
【公開日】2014年4月2日 申請(qǐng)日期:2013年10月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月23日
【發(fā)明者】黃友華 申請(qǐng)人:成都市宏山科技有限公司
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