超聲波檢查裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種除去殘存在載置被檢測(cè)體的試樣臺(tái)的下表面的氣泡，能進(jìn)行效率好的檢查的透過(guò)式超聲波檢查裝置。超聲波檢查裝置(100)具有：收放水(5)的水槽(19)；配置在水槽(19)內(nèi)并載置被檢測(cè)體(1)的試樣臺(tái)(2)；以及第一超聲波探觸件(3)及第二超聲波探觸件(4)，其在上下方向?qū)χ玫嘏渲?，該第一超聲波探觸件(3)向被檢測(cè)體(1)照射超聲波，該第二超聲波探觸件(4)接收透過(guò)了被檢測(cè)體的超聲波，在試樣臺(tái)(2)的下表面(23)側(cè)形成親水性覆膜。
【專利說(shuō)明】超聲波檢查裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及超聲波檢查裝置，尤其涉及利用超聲波在作為超聲波傳送用介質(zhì)的水 中以非破壞測(cè)定被檢測(cè)體內(nèi)部，顯示有關(guān)該被檢測(cè)體的探查影像等、或判斷是否存在內(nèi)部 缺陷的超聲波檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 超聲波檢查裝置在反復(fù)向被檢測(cè)體照射超聲波，接收從被檢測(cè)體反射或透過(guò)的超 聲波的狀態(tài)下進(jìn)行掃描，將接收的超聲波的強(qiáng)弱圖像化。超聲波檢查裝置利用由于被檢測(cè) 體的各部的聲音阻抗而使從被檢測(cè)體反射或透過(guò)的超聲波的強(qiáng)弱不同的性質(zhì)，能以非破壞 檢查被檢測(cè)體內(nèi)部的狀態(tài)。
[0003] 超聲波具有難以在氣體中傳播的性質(zhì)，因此，在超聲波檢查裝置中，一般作為超聲 波傳輸用介質(zhì)使用水，將被檢測(cè)體及超聲波探觸件浸在水中進(jìn)行檢查。
[0004] 作為本【技術(shù)領(lǐng)域】的【背景技術(shù)】，具有日本特開2002-296247號(hào)公報(bào)（專利文獻(xiàn)1)。 在該公報(bào)中，記載了 "使金屬帶通過(guò)在水槽內(nèi)對(duì)置配置的超聲波發(fā)送件及超聲波接收件之 間，借助于該金屬帶，在超聲波發(fā)送件及超聲波接收件之間進(jìn)行超聲波束的收發(fā)，檢測(cè)金屬 帶的內(nèi)部缺陷…"（參照說(shuō)明書摘要）。
[0005] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0006] 專利文獻(xiàn)1 :日本特開2002-296247號(hào)公報(bào)
[0007] 由于超聲波具有難以在氣體中傳播的性質(zhì)，因此，當(dāng)氣泡附著在被檢測(cè)體上時(shí)，存 在無(wú)法檢查氣泡附著部的被檢測(cè)體內(nèi)部之類的問(wèn)題。另外，當(dāng)在超聲波檢查后在檢查結(jié)果 中確認(rèn)氣泡時(shí)，需要在除去氣泡后再次實(shí)施檢查，存在效率非常差之類的問(wèn)題。
[0008] 為了解決該問(wèn)題，專利文獻(xiàn)1所記載的技術(shù)在檢測(cè)金屬帶的內(nèi)部缺陷時(shí)，朝向金 屬帶與超聲波發(fā)送件之間的間隙、以及金屬帶與超聲波接收件的間隙的各個(gè)供給除去氣泡 了的。由此，由于排除了氣泡的影響，因此能正確地進(jìn)行利用超聲波探傷的內(nèi)部缺陷的檢 測(cè)。
[0009] 但是，在使超聲波透過(guò)被檢測(cè)體而進(jìn)行檢查的透過(guò)式超聲波檢查裝置中，在將載 置被檢測(cè)體的試樣臺(tái)配置在水槽內(nèi)的構(gòu)造的場(chǎng)合，產(chǎn)生以下問(wèn)題。S卩，在將被檢測(cè)體或試樣 臺(tái)浸漬在水中時(shí)卷入空氣，氣泡有可能殘留在試樣臺(tái)的下表面。在該場(chǎng)合，殘存在試樣臺(tái) 的下表面的氣泡即使由于水流而飛散，也有可能馬上再次附著在試樣臺(tái)的下表面的其他部 位，并且，在氣泡小的場(chǎng)合，難以隨水流飛走，因此難以除去。因此，存在由于殘存在試樣臺(tái) 的下表面的氣泡，無(wú)法接收透過(guò)被檢測(cè)體的超聲波之類的問(wèn)題。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0010] 本發(fā)明是鑒于這種情況而完成的，其目的在于提供除去殘存在載置被檢測(cè)體的試 樣臺(tái)的下表面的氣泡，能夠進(jìn)行效率好的檢查的透過(guò)式超聲波檢查裝置。
[0011] 為了解決上述課題，本發(fā)明的超聲波檢查裝置具有收放水的水槽、配置在上述水 槽內(nèi)并載置被檢測(cè)體的試樣臺(tái)、在上下方向?qū)χ玫嘏渲们蚁虮粰z測(cè)體照射超聲波的第一超 聲波探觸件及接收透過(guò)了被檢測(cè)體的超聲波的第二超聲波探觸件，在上述試樣臺(tái)的下表面 側(cè)形成親水性覆膜。
[0012] 本發(fā)明的效果如下。
[0013] 根據(jù)本發(fā)明，能夠提供能夠去除殘存在載置被檢測(cè)體的試樣臺(tái)的下表面的氣泡， 進(jìn)行效率好的檢查的透過(guò)式超聲波檢查裝置。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0014] 圖1是局部剖切本發(fā)明的第一實(shí)施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀 立體圖。
[0015] 圖2是圖1所示的試樣臺(tái)的局部放大縱剖視圖。
[0016] 圖3是局部剖切本發(fā)明的第二實(shí)施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀 立體圖。
[0017] 圖4是圖3所示的噴嘴附近的放大立體圖。
[0018] 圖5是用于說(shuō)明噴嘴的移動(dòng)的外觀立體圖。
[0019] 圖6是示意地表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式的超聲波檢查裝置的縱剖視圖。
[0020] 圖7是用于說(shuō)明噴嘴的移動(dòng)的縱剖視圖。
[0021] 圖8是示意地表示吸引用的噴嘴與噴出用的噴嘴能連動(dòng)地移動(dòng)的超聲波檢查裝 置的縱剖視圖。
[0022] 圖9是用于說(shuō)明吸引用的噴嘴及噴出用的噴嘴的移動(dòng)的縱剖視圖。
[0023] 圖10是局部剖切本發(fā)明的第四實(shí)施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀 立體圖。
[0024] 圖11是圖10所示的噴嘴附近的放大立體圖。
[0025] 圖12是用于說(shuō)明噴嘴的移動(dòng)的外觀立體圖。
[0026] 圖13是示意地表示本發(fā)明的第五實(shí)施方式的超聲波檢查裝置的縱剖視圖。
[0027] 圖14是用于說(shuō)明刷子的移動(dòng)的外觀立體圖。
[0028] 圖15(a)?（f)是表示刮水器的例子的放大圖。
[0029] 圖16是局部剖切本發(fā)明的第六實(shí)施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀 立體圖。
[0030] 圖17是圖16所示的噴嘴附近的放大立體圖。
[0031] 圖18是局部剖切本發(fā)明的第六實(shí)施方式的變形例的超聲波檢查裝置而示意地表 示的外觀立體圖。
[0032] 圖19是局部剖切本發(fā)明的第七實(shí)施方式的變形例的超聲波檢查裝置而示意地表 示的外觀立體圖。
[0033] 圖20是局部剖切本發(fā)明的第七實(shí)施方式的變形例的超聲波檢查裝置而示意地表 示的外觀立體圖。
[0034] 圖中：1 一被檢測(cè)體，2-試樣臺(tái)，3-第一超聲波探觸件，4一第二超聲波探觸件， 5-水，6-噴出用的噴嘴（噴出部），10-吸引用的噴嘴（吸引部），13-刷子（刮水器）， 15-搔落部件（刮水器），17-噴出用的噴嘴（第二噴出部），19一水槽，22-親水性覆膜， 23-下表面，29-檢查區(qū)域，30、30a?30d-吸引用的噴嘴（吸引部），100-超聲波檢查裝 置。
【具體實(shí)施方式】
[0035] 適當(dāng)參照附圖詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施方式。
[0036] 另外，在以下所示的附圖中，對(duì)相同的部件或相當(dāng)?shù)牟考?biāo)注相同的參照符號(hào)，并 適當(dāng)省略重復(fù)的說(shuō)明。另外，部件的尺寸及形狀為了方便說(shuō)明，具有變形或夸張而示意地表 不的場(chǎng)合。
[0037] (第一實(shí)施方式）
[0038] 首先，參照?qǐng)D1及圖2說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施方式的超聲波檢查裝置100。
[0039] 圖1是局部剖切本發(fā)明的第一實(shí)施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀 立體圖。圖2是圖1所示的試樣臺(tái)的局部放大縱剖視圖。
[0040] 如圖1所示，本發(fā)明的第一實(shí)施方式的超聲波檢查裝置100是利用超聲波在作為 超聲波傳輸用介質(zhì)的水5中以非破壞測(cè)定被檢測(cè)體1內(nèi)部，顯示對(duì)該被檢測(cè)體1的探查影 像等或判斷是否存在內(nèi)部缺陷的超聲波檢查裝置。
[0041] 超聲波檢查裝置100具有收放水5的水槽19、配置在水槽19內(nèi)且載置被檢測(cè)體1 的試樣臺(tái)2、在上下方向（Z方向）對(duì)置地配置的第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件 4。第一超聲波探觸件3向被檢測(cè)體1照射超聲波，第二超聲波探觸件4接收透過(guò)了被檢測(cè) 體1的超聲波。被檢測(cè)體1、試樣臺(tái)2、第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4在超聲 波檢查時(shí)，浸漬在水槽19內(nèi)的水5中。
[0042] 試樣臺(tái)2呈平板形狀，在水槽19內(nèi)由未圖示的支撐部件支撐，并水平地配置。第一 超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4以將被檢測(cè)體1夾入中間的方式在上下分別配置， 利用未圖示的驅(qū)動(dòng)裝置，能成為一體地在水平方向上移動(dòng)。試樣臺(tái)2的形狀未限于矩形板 形狀，例如可以為圓板形狀。另外，水槽19的形狀未限定于矩形箱，例如可以為有底圓筒形 狀。
[0043] 如圖2所示，試樣臺(tái)2具備基板21與親水性覆膜22。即，在試樣臺(tái)2的下表面23 側(cè)形成比基板21親水性高的親水性覆膜22?；?1的厚度設(shè)定為能夠確保在載置了被檢 測(cè)體1的場(chǎng)合穩(wěn)定地支撐的剛性的厚度、例如2?10mm左右的厚度。另一方面，親水性覆 膜22只要表面具有親水性即可，因此，其厚度未特別地限定。在此，親水性覆膜22優(yōu)選表 面的水接觸角為90度以下，更優(yōu)選60度以下。
[0044] 作為試樣臺(tái)2的基板21的材料，在此使用丙烯等樹脂，但未限定于此，例如可以使 用玻璃、金屬等。另外，作為親水性覆膜22,在此使用硅石類的玻璃制膜，但未限定于此，例 如，可以使用硝化纖維素、醋酸纖維素（CA)、聚酰胺（PA)等覆膜。作為親水性覆膜22的形 成方法，具有涂敷表面涂層劑的方法、粘貼膜的方法、利用真空蒸鍍涂敷氧化鈦的方法、利 用氧等離子體使表面氧化的方法等，但無(wú)論哪種方法，都能得到同樣的效果。
[0045] 接著，對(duì)如上述那樣構(gòu)成的超聲波檢查裝置100的作用進(jìn)行說(shuō)明。
[0046] 首先，成為檢查對(duì)象的被檢測(cè)體1利用手動(dòng)或自動(dòng)載置在配置于水槽19內(nèi)的水5 中的試樣臺(tái)2上。并且，為了被檢測(cè)體1內(nèi)部的檢查，第一超聲波探觸件3及第二超聲波探 觸件4相對(duì)于試樣臺(tái)2水平移動(dòng)，在被檢測(cè)體1上進(jìn)行掃描。
[0047] 超聲波檢查裝置100利用被檢測(cè)體1的各部的聲音阻抗，利用透過(guò)被檢測(cè)體1后 的超聲波的強(qiáng)弱不同的性質(zhì)，將接收的超聲波的強(qiáng)弱圖像化。由此，能夠以非破壞檢查被檢 測(cè)體1內(nèi)部的狀態(tài)。
[0048] 在本實(shí)施方式中，由于在試樣臺(tái)2的下表面23側(cè)形成親水性覆膜22,因此例如利 用用于被檢測(cè)體1內(nèi)部的檢查的第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4的移動(dòng)動(dòng)作， 攪拌水槽19內(nèi)的水5,即使氣泡殘存在試樣臺(tái)2的下表面23,也能容易地去除。這是因?yàn)椋?通過(guò)形成親水性覆膜22,試樣臺(tái)2的下表面23相對(duì)于水5的濕潤(rùn)性變好，氣泡難以殘存。 由此,能夠避免無(wú)法檢查氣泡附著部的被檢測(cè)體1內(nèi)部之類的事態(tài)。
[0049] 即，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠提供能去除殘存在載置被檢測(cè)體1的試樣臺(tái)2的下表面 23的氣泡，進(jìn)行效率好的檢查的超聲波檢查裝置100。
[0050] 另外，可以在試樣臺(tái)2的上表面24側(cè)也形成親水性覆膜。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，殘存在 試樣臺(tái)2的上表面24的氣泡也容易除去。
[0051] (第二實(shí)施方式）
[0052] 接著，參照?qǐng)D3及圖4,以與上述第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心說(shuō)明本發(fā)明的第二 實(shí)施方式的超聲波檢查裝置，適當(dāng)省略共同的方面的說(shuō)明。圖3是局部剖切本發(fā)明的第二 實(shí)施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀立體圖。圖4是圖3所示的噴嘴附近的放 大立體圖。
[0053] 如圖3所示，第二實(shí)施方式的超聲波檢查裝置具有向試樣臺(tái)2的下表面23側(cè)噴出 水5的作為噴出部的噴嘴6。另外，第二實(shí)施方式的超聲波檢查裝置具備用于使水槽19內(nèi) 的水5循環(huán)的泵8、調(diào)整輸送到噴嘴6的水5的壓力的壓力調(diào)整器9。水槽19內(nèi)與泵8通過(guò) 配管25連接，泵8與噴嘴6通過(guò)配管26連接。壓力調(diào)整器9例如設(shè)置在配管26的途中。
[0054] 如圖4所示，噴嘴6呈前端側(cè)被封閉的圓管形狀，具有圓筒面61。在圓筒面61上 形成在噴嘴6的軸向排列的多個(gè)噴出孔7。噴出孔7形成在能夠向試樣臺(tái)2的下表面23側(cè) 噴出水5的位置，具體地，形成在相對(duì)于圓筒面61的頂部62沿圓周方向以角度(噴出 角度Θ J向圖3中的X方向右側(cè)、即試樣臺(tái)2側(cè)傾斜的角度位置。
[0055] 在這種第二實(shí)施方式中，通過(guò)使泵8進(jìn)行動(dòng)作，從設(shè)在噴嘴6上的噴出孔7噴出水 5。通過(guò)將水5向試樣臺(tái)2的下表面23噴出，產(chǎn)生沿試樣臺(tái)2的下表面23的水流，能夠更 有效地吹飛殘存在下表面23上的氣泡并除去。并且，在試樣臺(tái)2的下表面23側(cè)與第一實(shí) 施方式相同地形成有親水性覆膜22,因此，吹飛的氣泡難以再次附著在試樣臺(tái)2上。并且， 在噴嘴6的動(dòng)作后，為了被檢測(cè)體1內(nèi)部的檢查，第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件 4相對(duì)于試樣臺(tái)2水平移動(dòng)，在被檢測(cè)體1上進(jìn)行掃描。
[0056] 另外，水的噴出角度Θ i、噴出孔7的直徑D、間距P及個(gè)數(shù)N、試樣臺(tái)2的下表面23 與噴嘴6的上下方向（Z方向）的間隔d、噴嘴6的全長(zhǎng)L只要設(shè)定為實(shí)驗(yàn)上最適值即可，未 特別限定。另外，來(lái)自噴嘴6的水5的噴出速度也能利用噴出孔7的直徑D調(diào)整，但也能利 用壓力調(diào)整器9進(jìn)行調(diào)整。
[0057] 如圖3所示，噴嘴6在此相對(duì)于試樣臺(tái)2在進(jìn)深方向（Y方向）平行地配置，但未 限定于此，可以在橫向（X方向）平行地配置。
[0058] 另外，噴嘴6可以構(gòu)成為可相對(duì)于試樣臺(tái)2移動(dòng)。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠在試樣臺(tái)2 的下表面23的寬范圍可靠地噴出水5,能更有效地吹飛殘存在下表面23的氣泡并除去。
[0059] 圖5是用于說(shuō)明噴嘴的移動(dòng)的外觀立體圖。如圖5所不，在噴嘴6移動(dòng)時(shí)，第一超 聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4例如水平移動(dòng)到試樣臺(tái)2的端部的規(guī)定的退避位置。 由此，能夠避免噴嘴6與第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4的干涉。
[0060] 另外，在圖5中，噴嘴6構(gòu)成為在進(jìn)深方向（Y方向）平行地配置，能夠固定上下方 向（Z方向）位置地在橫向（X方向）滑動(dòng)移動(dòng)，但并未限定于此。例如，噴嘴6可以構(gòu)成為 在橫向（X方向）平行地配置，能固定上下方向位置地在進(jìn)深方向（Y方向）上滑動(dòng)移動(dòng)。另 夕卜，可以構(gòu)成為能使噴嘴6移動(dòng)到任意的位置。另外，可以在向試樣臺(tái)2的上表面24側(cè)噴 出水5的位置追加地設(shè)置噴嘴6。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，也能夠吹飛附著在試樣臺(tái)2的上表面24 或被檢測(cè)體1上的氣泡并除去。
[0061] (第三實(shí)施方式）
[0062] 接著，參照?qǐng)D6,以與上述的第二實(shí)施方式不同點(diǎn)為中心說(shuō)明本發(fā)明的第三實(shí)施方 式的超聲波檢查裝置，適當(dāng)省略共同點(diǎn)的說(shuō)明。圖6是示意地表示本發(fā)明的第三實(shí)施方式 的超聲波檢查裝置的縱剖視圖。
[0063] 如圖6所示，第三實(shí)施方式的超聲波檢查裝置在還具有作為吸引位于試樣臺(tái)2的 下表面23側(cè)的流體的吸引部的噴嘴10這點(diǎn)與圖3所示的第二實(shí)施方式的超聲波檢查裝置 不同，其他相同。
[0064] 根據(jù)這種第三實(shí)施方式，從噴嘴6噴出水5并產(chǎn)生水流11，通過(guò)與水5 -起從吸引 用噴嘴10吸引利用水流11吹飛的氣泡，能夠更可靠地從試樣臺(tái)2的下表面23除去氣泡。
[0065] 另外，噴嘴6構(gòu)成為可相對(duì)于試樣臺(tái)2移動(dòng)。在該場(chǎng)合，如圖7所示，在噴嘴6移 動(dòng)時(shí)，第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4水平移動(dòng)到能避免噴嘴6與第一超聲波 探觸件3及第二超聲波探觸件4干涉的退避位置。
[0066] 如圖6及圖7所示，吸引用的噴嘴10設(shè)置在試樣臺(tái)2的端部，在試樣臺(tái)2的端部 吸引被水流11吹飛的氣泡。但是，如圖8所示，可以以使噴出用的噴嘴6與吸引用的噴嘴 10對(duì)置的方式接近地配置，吸引用的噴嘴10能相對(duì)于試樣臺(tái)2與噴出用的噴嘴6連動(dòng)地移 動(dòng)。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠馬上吸引被水流11吹飛的氣泡，能更可靠地將氣泡從試樣臺(tái)2的 下表面23除去。
[0067] 在該場(chǎng)合，如圖9所示，在噴嘴6及噴嘴10移動(dòng)時(shí)，第一超聲波探觸件3及第二超 聲波探觸件4水平移動(dòng)到能避免噴嘴6及噴嘴10與第一超聲波探觸件3及第二超聲波探 觸件4干涉的退避位置。
[0068](第四實(shí)施方式）
[0069] 接著，參照?qǐng)D10及圖11，以與上述第一實(shí)施方式不同點(diǎn)為中心說(shuō)明本發(fā)明的第四 實(shí)施方式的超聲波檢查裝置，適當(dāng)省略共同點(diǎn)的說(shuō)明。圖10是局部剖切本發(fā)明的第四實(shí)施 方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀立體圖。圖11是圖10所示的噴嘴附近的放大 立體圖。
[0070] 如圖10所示，第四實(shí)施方式的超聲波檢查裝置具有作為吸引位于試樣臺(tái)2的下表 面?zhèn)鹊牧黧w的吸引部的噴嘴30。另外，第四實(shí)施方式的超聲波檢查裝置具備用于使水槽19 內(nèi)的水5循環(huán)的泵8、調(diào)整來(lái)自噴嘴30的水5的壓力的壓力調(diào)整器9。水槽19內(nèi)與泵8通 過(guò)配管25連接，泵8與噴嘴30通過(guò)配管26連接。壓力調(diào)整器9設(shè)置在例如配管26的途 中。
[0071] 如圖11所示，噴嘴30呈前端側(cè)封閉的圓管形狀，具有圓筒面31。在圓筒面31上 形成長(zhǎng)度方向與噴嘴30的軸向平行的大致長(zhǎng)方形的吸引孔32。吸引孔32形成在能夠吸引 位于試樣臺(tái)2的下表面23側(cè)的流體的位置、具體地，形成在相對(duì)于圓筒面31的頂部33沿 圓周方向以角度θ 2(吸引角度θ2)向圖10中的X方向右側(cè)、即試樣臺(tái)2側(cè)傾斜的角度位 置。
[0072] 在這種第四實(shí)施方式中，通過(guò)使泵8進(jìn)行動(dòng)作，從設(shè)在噴嘴30上的吸引孔32吸引 作為位于試樣臺(tái)2的下表面23側(cè)的流體的氣泡及水5。通過(guò)從吸引孔32吸引氣泡，能更 有效地除去殘留在下表面23上的氣泡。并且，由于在試樣臺(tái)2的下表面23側(cè)與第一實(shí)施 方式相同地形成親水性覆膜22,因此從下表面23離開的氣泡難以再次附著在試樣臺(tái)2上。 并且，在噴嘴30的動(dòng)作后，為了被檢測(cè)體1內(nèi)部的檢查，第一超聲波探觸件3及第二超聲波 探觸件4相對(duì)于試樣臺(tái)2水平移動(dòng)，在被檢測(cè)體1上進(jìn)行掃描。
[0073] 另外，吸引角度θ2、吸引孔32的寬度W及長(zhǎng)度L1、試樣臺(tái)2的下表面23與噴嘴 30的上下方向（Ζ方向）的間隔d、噴嘴30的全長(zhǎng)L只要設(shè)定為在試驗(yàn)上最適的值即可，未 特別限定。
[0074] 如圖10所示，噴嘴30在此相對(duì)于試樣臺(tái)2在進(jìn)深方向（Y方向）平行地配置，但 并未限定于此，也可以在橫向（X方向）平行地配置。
[0075] 另外，噴嘴30可以構(gòu)成為能相對(duì)于試樣臺(tái)2移動(dòng)。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠在試樣臺(tái) 2的下表面23的寬范圍可靠地吸引氣泡，能更有效地除去殘存在下表面23的氣泡。
[0076] 圖12是用于說(shuō)明噴嘴的移動(dòng)的外觀立體圖。如圖12所示，在噴嘴30移動(dòng)時(shí)，第 一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4水平移動(dòng)到例如試樣臺(tái)2的端部的規(guī)定的退避位 置。由此，能夠避免噴嘴30與第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4干涉。
[0077] 另外，第四實(shí)施方式將噴嘴30用作吸引用的噴嘴這方面與將噴嘴6作為噴出用的 噴嘴使用的第二實(shí)施方式不同，其他為相同的結(jié)構(gòu)。在此，代替第四實(shí)施方式的圖11的呈 大致長(zhǎng)方形的吸引孔32,可以形成第二實(shí)施方式的圖4所示的多個(gè)孔。另一方面，代替第 二實(shí)施方式的圖4的多個(gè)噴出孔7,可以形成第四實(shí)施方式的圖11所示的呈大致長(zhǎng)方形的 孔。
[0078](第五實(shí)施方式）
[0079] 接著，參照?qǐng)D13?圖15,以與上述第一實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心說(shuō)明本發(fā)明的第 五實(shí)施方式的超聲波檢查裝置，適當(dāng)省略共同點(diǎn)的說(shuō)明。圖13是示意地表示本發(fā)明的第五 實(shí)施方式的超聲波檢查裝置的縱剖視圖。圖14是用于說(shuō)明刷子的移動(dòng)的外觀立體圖。圖 15是表示刮水器的例子的放大圖。
[0080] 如圖13所示，第五實(shí)施方式的超聲波檢查裝置具有能與試樣臺(tái)2的下表面23接 觸地移動(dòng)的作為刮水器的刷子13。如圖13及圖15(a)所示，刷子13在呈圓柱形狀的桿部 件20的上部沿軸向排列地堅(jiān)立設(shè)置。作為刷子13的材料，在此使用尼龍等樹脂，但并未限 定于此，例如可以使用動(dòng)物的毛等。
[0081] 在這種第五實(shí)施方式中，通過(guò)使刷子13與試樣臺(tái)2的下表面23直接接觸，使桿部 件20相對(duì)于試樣臺(tái)2平行地水平移動(dòng)，能夠撣除氣泡而除去。并且，由于在試樣臺(tái)2的下 表面23側(cè)與第一實(shí)施方式相同地形成親水性覆膜22,因此，被撣除的氣泡難以再次附著在 試樣臺(tái)2上。并且，在帶刷子13的桿部件20的動(dòng)作后，為了被檢測(cè)體1內(nèi)部的檢查，第一 超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4相對(duì)于試樣臺(tái)2水平移動(dòng)，在被檢測(cè)體1上進(jìn)行掃 描。
[0082] 如圖13所示，帶刷子13的桿部件20在進(jìn)深方向（與圖13的紙面垂直的方向）平 行地配置，能固定上下方向（Z方向）位置地沿橫向（X方向）滑動(dòng)移動(dòng)，但并未限定于此。 例如，可以構(gòu)成為帶刷子13的桿部件20在橫向（X方向）平行地配置，能固定上下方向（Z 方向）位置地沿進(jìn)深方向滑動(dòng)移動(dòng)。
[0083] 如圖14所示，在帶刷子13的桿部件20移動(dòng)時(shí)，第一超聲波探觸件3及第二超聲 波探觸件4水平移動(dòng)到例如試樣臺(tái)2的端部的規(guī)定的退避位置。由此，能夠避免帶刷子13 的桿部件20與第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4干涉。
[0084] 接著，對(duì)刮水器的變形例進(jìn)行說(shuō)明。
[0085] 如圖15 (b)所示，作為刮水器，代替刷子13,可以在桿部件20的上部堅(jiān)立設(shè)置例如 橡膠制的搔落部件15。利用這種結(jié)構(gòu)也能得到相同的效果。
[0086] 另外，如圖15(c)所示，可以在吸引用的噴嘴30a的上部堅(jiān)立設(shè)置能與試樣臺(tái)2的 下表面23接觸的刷子13。圖15 (c)所示的吸引用的噴嘴30a呈前端側(cè)封閉的圓管形狀，具 有圓筒面31。在圓筒面31上沿噴嘴30a的軸向形成吸引孔14。吸引孔14可以是長(zhǎng)度方 向與噴嘴30a的軸向平行的大致長(zhǎng)方形的一個(gè)孔，也可以是在噴嘴30a的軸向上排列的多 個(gè)孔。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能夠馬上吸引被刷子13撣除的氣泡，能更可靠地從試樣臺(tái)2的下表 面23除去氣泡。
[0087] 另外，如圖15(d)所示，刷子13堅(jiān)立設(shè)置在吸引用的呈圓管形狀的噴嘴30b的上 部，在噴嘴30b的圓筒面31上的圓周方向的刷子13的兩側(cè)分別形成吸引孔14a。根據(jù)這 種結(jié)構(gòu)，由于在利用刷子13撣除氣泡的一側(cè)形成吸引孔14a，因此能更可靠地從吸引孔14a 吸引氣泡。
[0088] 另外，如圖15(e)所示，刷子13堅(jiān)立設(shè)置在吸引用的呈四角管形狀的噴嘴30c的 上表面34上，在噴嘴30c的上表面34上的圓周方向的刷子13的兩側(cè)分別形成吸引孔14b。 根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，由于吸引孔14b與試樣臺(tái)2的下表面23接近，因此能更可靠地從吸引孔14b 吸引氣泡。
[0089] 另外，如圖15(f)所示，刷子13堅(jiān)立設(shè)置在形成于吸引用的呈四角管形狀的噴嘴 30d的上表面34的凹部35內(nèi)，在噴嘴30d的上表面34上的圓周方向的刷子13的兩側(cè)分別 形成吸引孔14c。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，由于吸引孔14c更接近試樣臺(tái)2的下表面23,因此，能更 可靠地從吸引孔14c吸引氣泡。
[0090] (第六實(shí)施方式）
[0091] 接著，參照?qǐng)D16及圖17,以與上述第二實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心說(shuō)明本發(fā)明的第 六實(shí)施方式的超聲波檢查裝置，適當(dāng)省略共同點(diǎn)的說(shuō)明。圖16是局部剖切本發(fā)明的第六實(shí) 施方式的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀立體圖。圖17是圖16所示的噴嘴附近的放 大立體圖。
[0092] 如圖16所示，第六實(shí)施方式的超聲波檢查裝置具有進(jìn)行從試樣臺(tái)2的氣泡的去除 的氣泡除去區(qū)域28、在超聲波檢查時(shí)作為試樣臺(tái)2移動(dòng)的移動(dòng)目的地的檢查區(qū)域29。試樣 臺(tái)2例如支撐在導(dǎo)軌（未圖示）上，通過(guò)手動(dòng)或自動(dòng)，能沿C方向從氣泡除去區(qū)域28移動(dòng) 到檢查區(qū)域29。
[0093] 另外，第六實(shí)施方式的超聲波檢查裝置具有作為向試樣臺(tái)2的下表面23側(cè)噴出水 5的噴出部的噴嘴6,在第六實(shí)施方式中，噴嘴6配置在氣泡除去區(qū)域28的檢查區(qū)域29側(cè)。
[0094] 如圖17所示，形成在噴嘴6的圓筒面61上的噴出孔7相對(duì)于圓筒面61的頂部 62,沿圓周方向以角度θ 3(噴出角度θ3)向圖16中的X方向左側(cè)、即固定在氣泡除去區(qū)域 28的試樣臺(tái)2側(cè)傾斜的角度位置。
[0095] 在這種第六實(shí)施方式中，通過(guò)使泵8進(jìn)行動(dòng)作，從設(shè)在噴嘴6的噴出孔7噴出水5。 通過(guò)將水5向固定在氣泡除去區(qū)域28的試樣臺(tái)2的下表面23噴出，產(chǎn)生沿試樣臺(tái)2的下 表面23的水流，能更有效地吹飛殘存在下表面23的氣泡而除去。此時(shí)，由于將噴嘴6配置 在氣泡除去區(qū)域28的檢查區(qū)域29側(cè)，因此，能夠向與檢查區(qū)域29相反側(cè)吹飛氣泡，不會(huì)對(duì) 檢查區(qū)域29的超聲波檢查帶來(lái)不良影響。并且，由于在試樣臺(tái)2的下表面23側(cè)與第一實(shí) 施方式相同地形成親水性覆膜22,因此，吹飛的氣泡難以再次附著在試樣臺(tái)2上。
[0096] 并且，在噴嘴6的動(dòng)作后，載置了被檢測(cè)體1的試樣臺(tái)2沿C方向移動(dòng)到檢查區(qū)域 29。接著，第一超聲波探觸件3朝向移動(dòng)到檢查區(qū)域29的試樣臺(tái)2上的被檢測(cè)體1照射超 聲波，為了被檢測(cè)體1內(nèi)部的檢查，第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4相對(duì)于試樣 臺(tái)2水平移動(dòng)，在被檢測(cè)體1上進(jìn)行掃描。
[0097] 另外，水的噴出角度Θ 3、噴出孔7的直徑D、間距Ρ及個(gè)數(shù)Ν、試樣臺(tái)2的下表面23 與噴嘴6的上下方向（Ζ方向）的間隔d、噴嘴6的全長(zhǎng)L只要設(shè)定為試驗(yàn)上最適的值即可， 未特別地限定。
[0098] 根據(jù)該第六實(shí)施方式，在檢查區(qū)域29的超聲波檢查的實(shí)施中，能夠在氣泡除去區(qū) 域28實(shí)施下一個(gè)被檢測(cè)體1的氣泡除去作業(yè)。另外，載置在被除去了氣泡的試樣臺(tái)2上的 被檢測(cè)體1不會(huì)從作為超聲波傳輸用介質(zhì)的水5中向外露出地在水5中移動(dòng)到檢查區(qū)域 29,因此，能非常有效地實(shí)施超聲波檢查。
[0099] 如圖16所示，噴嘴6在此相對(duì)于試樣臺(tái)2在進(jìn)深方向（Y方向）平行地配置，但并 未限定于此，也可以在橫向（X方向）平行地配置。
[0100] 另外，噴嘴6可以構(gòu)成為能相對(duì)于試樣臺(tái)2移動(dòng)。例如在圖16的場(chǎng)合，噴嘴6在 進(jìn)深方向（Y方向）平行地配置，能固定上下方向（Z方向）位置地在橫向（X方向）上滑動(dòng) 移動(dòng)。并且，噴嘴6在從氣泡除去區(qū)域28的檢查區(qū)域29側(cè)（初期位置）移動(dòng)到圖16中的 X方向左側(cè)并除去了氣泡后，返回初期位置。根據(jù)這種結(jié)構(gòu)，能向固定在氣泡除去區(qū)域28的 試樣臺(tái)2的下表面23的寬范圍，可靠地噴出水5,能更有效地將殘存在下表面23的氣泡向 與檢查區(qū)域29相反側(cè)吹飛并除去。
[0101]另外，在第六實(shí)施方式的氣泡除去區(qū)域28中，作為從試樣臺(tái)2的下表面23除去氣 泡的結(jié)構(gòu)，可以應(yīng)用從上述第一實(shí)施方式到第五實(shí)施方式的任一結(jié)構(gòu)。
[0102] 圖18是局部剖切本發(fā)明的第六實(shí)施方式的變形例的超聲波檢查裝置而示意地表 示的外觀立體圖。
[0103] 在圖18所示的第六實(shí)施方式的變形例中，噴嘴6配置在氣泡除去區(qū)域28的與檢 查區(qū)域29側(cè)相反側(cè)。并且，形成在噴嘴6的圓筒面61上的噴出孔7與圖16所示的超聲波 檢查裝置相同，形成在相對(duì)于圓筒面61的頂部沿圓周方向以角度Θ 3(參照?qǐng)D17)向圖18 中的X方向左側(cè)（在圖18中，與試樣臺(tái)2相反側(cè)）傾斜的角度位置。
[0104] 在第六實(shí)施方式的變形例的場(chǎng)合，噴嘴6在進(jìn)深方向（Y方向）平行地配置，能夠 固定上下方向（Z方向）位置地在橫向（X方向）滑動(dòng)移動(dòng)。并且，噴嘴6在從氣泡除去區(qū) 域28的與檢查區(qū)域29相反側(cè)（初期位置）向圖16中的X方向右側(cè)移動(dòng)，并進(jìn)行氣泡的除 去后，返回初期位置。即使利用這種第六實(shí)施方式的變形例，也能向固定在氣泡除去區(qū)域28 的試樣臺(tái)2的下表面23的寬范圍可靠地噴出水5,能更有效地將殘存在下表面23的氣泡向 與檢查區(qū)域29相反側(cè)吹飛并除去。
[0105] (第七實(shí)施方式）
[0106] 接著，參照?qǐng)D19,以與上述第六實(shí)施方式的不同點(diǎn)為中心說(shuō)明本發(fā)明的第七實(shí)施 方式的超聲波檢查裝置，適當(dāng)省略共同點(diǎn)的說(shuō)明。圖19是局部剖切本發(fā)明的第七實(shí)施方式 的超聲波檢查裝置而示意地表示的外觀立體圖。
[0107] 如圖19所示，第七實(shí)施方式的超聲波檢查裝置還具有作為向載置在試樣臺(tái)2上之 前的被檢測(cè)體1噴出水的第二噴出部的噴嘴17這一點(diǎn)與圖16所示的第六實(shí)施方式的超聲 波檢查裝置不同。噴嘴17與向試樣臺(tái)2的下表面23側(cè)噴出水5的噴出用的噴嘴6單獨(dú)地 設(shè)置，但其結(jié)構(gòu)與噴嘴6相同。噴嘴17通過(guò)配管27與泵8連接，在配管27的途中設(shè)置壓 力調(diào)整器9。
[0108] 在第七實(shí)施方式中，由于使被檢測(cè)體從空氣中浸漬到水5中時(shí)卷入而附著在被檢 測(cè)體1上的氣泡通過(guò)從單獨(dú)設(shè)置的噴出用的噴嘴17噴出水產(chǎn)生水流而除去后，將被檢測(cè)體 1載置在試樣臺(tái)2上。
[0109] 根據(jù)這種第七實(shí)施方式，不僅能夠減少附著在被檢測(cè)體1的氣泡，還能減少附著 在試樣臺(tái)2上的氣泡。另外，通過(guò)事先單獨(dú)設(shè)置用于除去氣泡的噴嘴17,能夠減輕在上述第 一實(shí)施方式至第六實(shí)施方式中說(shuō)明的試樣臺(tái)2的氣泡除去作業(yè)自身。另外，通過(guò)與從第一 實(shí)施方式至第六實(shí)施方式的各結(jié)構(gòu)組合地使用噴嘴17,能更可靠地除去氣泡。
[0110] 圖20是局部剖切本發(fā)明的第七實(shí)施方式的變形例的超聲波檢查裝置而示意地表 示的外觀立體圖。
[0111] 圖20所示的第七實(shí)施方式的變形例相對(duì)于圖18所示的第六實(shí)施方式的變形例， 增加了向載置在試樣臺(tái)2之前的被檢測(cè)體1噴出水的作為第二噴出部的噴嘴17。即使在該 第七實(shí)施方式的變形例中，由于在使被檢測(cè)體1從空氣中浸漬到水5中時(shí)卷入而附著在被 檢測(cè)體1上的氣泡通過(guò)從單獨(dú)設(shè)置的噴出用噴嘴17噴出水產(chǎn)生水流而除去后，載置在試樣 臺(tái)2上。因此，能夠不僅減少附著在被檢測(cè)體1上的氣泡，還能減少附著在試樣臺(tái)2上的氣 泡。
[0112] 以上，根據(jù)實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并未限定于上述實(shí)施方式或 變形例，包括多種變形例。例如，上述實(shí)施方式為了使本發(fā)明容易明白而詳細(xì)地進(jìn)行了說(shuō) 明，但不限于必須包括全部的結(jié)構(gòu)。另外，能將一方的實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的一部分置換為另一 方的實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，并且，也能在一方的實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)上追加另一方的實(shí)施方式的結(jié) 構(gòu)。另外，能對(duì)各實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)的一部分進(jìn)行其他結(jié)構(gòu)的追加、刪除、置換。
[0113] 例如，第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4的設(shè)置位置可以上下顛倒。另 夕卜，也能以通過(guò)使試樣臺(tái)2相對(duì)于第一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4水平移動(dòng)，第 一超聲波探觸件3及第二超聲波探觸件4在被檢測(cè)體1上進(jìn)行掃描的方式構(gòu)成。
【權(quán)利要求】
1. 一種超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有： 收放水的水槽； 配置在上述水槽內(nèi)并載置被檢測(cè)體的試樣臺(tái)；以及 第一超聲波探觸件及第二超聲波探觸件，其在上下方向?qū)χ玫嘏渲?，該第一超聲波?觸件向被檢測(cè)體照射超聲波，該第二超聲波探觸件接收透過(guò)了被檢測(cè)體的超聲波， 在上述試樣臺(tái)的下表面?zhèn)刃纬捎H水性覆膜。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有向上述試樣臺(tái)的下表面噴出水的噴出部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 上述噴出部構(gòu)成為能相對(duì)于上述試樣臺(tái)移動(dòng)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有吸引位于上述試樣臺(tái)的下表面?zhèn)鹊牧黧w的吸引部。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有吸引位于上述試樣臺(tái)的下表面?zhèn)鹊牧黧w的吸引部。
6. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有吸引位于上述試樣臺(tái)的下表面?zhèn)鹊牧黧w的吸引部。
7. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 上述吸引部構(gòu)成為能相對(duì)于上述試樣臺(tái)移動(dòng)。
8. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 上述吸引部構(gòu)成為能相對(duì)于上述試樣臺(tái)與上述噴出部連動(dòng)。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有能與上述試樣臺(tái)的下表面接觸地移動(dòng)的刮水器。
10. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 能與上述試樣臺(tái)的下表面接觸的刮水器設(shè)置在上述吸引部。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有在檢查時(shí)上述試樣臺(tái)移動(dòng)到的檢查區(qū)域， 上述第一超聲波探觸件向移動(dòng)到上述檢查區(qū)域的上述試樣臺(tái)上的被檢測(cè)體照射超聲 波。
12. 根據(jù)權(quán)利要求11所述的超聲波檢查裝置，其特征在于， 具有向載置在上述試樣臺(tái)之前的被檢測(cè)體噴出水的第二噴出部。
【文檔編號(hào)】G01N29/06GK104122334SQ201410171225
【公開日】2014年10月29日 申請(qǐng)日期:2014年4月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月25日
【發(fā)明者】富田隆, 長(zhǎng)岡宏和, 北見薰, 高田雅文 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立電力解決方案
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