小型化高精度微量程傳感器及流量計(jì)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種小型化高精度微量程傳感器及流量計(jì),該傳感器,它包括傳感器固定前板、傳感器固定后板、傳感器彈性片、應(yīng)變片基底、應(yīng)變片與傳感器連接板,在傳感器固定前板與傳感器固定后板之間固定有傳感器彈性片,在傳感器彈性片的前表面和后表面上均通過(guò)應(yīng)變片基底固定有應(yīng)變片,在傳感器彈性片的底端部連接有傳感器連接板,在傳感器連接板的底端部固定連接有傳感器連接桿,在傳感器連接桿的底端部固定有傳感板,該傳感板為圓形板體;且所述傳感器彈性片的左右兩側(cè)均開設(shè)有圓弧形缺口。本發(fā)明體積小,降低了產(chǎn)品制造成本;本發(fā)明靈敏度高;本發(fā)明使用方便,使用時(shí)可以不受位置、空間的限制。
【專利說(shuō)明】小型化高精度微量程傳感器及流量計(jì)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明公開了一種小型化高精度微量程傳感器,本發(fā)明還公開了一種小型化高精
度微量程流量計(jì)。
【背景技術(shù)】
[0002]1940年美國(guó)分別把電阻應(yīng)變計(jì)技術(shù)應(yīng)用于軍事工程的電子測(cè)力和稱重計(jì)量領(lǐng)域,研制出應(yīng)變式負(fù)荷傳感器。1942年在美國(guó)應(yīng)變式負(fù)荷傳感器已經(jīng)大量生產(chǎn),至今已有70多年歷史。
[0003]20世紀(jì)80年代中期,隨著數(shù)字技術(shù)和信息技術(shù)的發(fā)展,為滿足電子衡器數(shù)字化、智能化的要求和用數(shù)字稱重系統(tǒng)突破模擬稱重系統(tǒng)局限性的構(gòu)想,美國(guó)TOLEDO、STS和CARDINAL公司,德國(guó)HBM公司等先后研制出整體型和分離型數(shù)字式智能稱重傳感器,并以其輸出信號(hào)大,抗干擾能力強(qiáng),信號(hào)傳輸距離遠(yuǎn),易實(shí)現(xiàn)智能控制等特點(diǎn)成為數(shù)字式電子衡器和自動(dòng)稱重計(jì)量與控制系統(tǒng)的必選產(chǎn)品,并形成了一個(gè)開發(fā)熱點(diǎn)。在箔材軋制、熱處理和電阻應(yīng)變計(jì)設(shè)計(jì)技術(shù)與制造工藝研究上都取得了突破性進(jìn)展,這一時(shí)期是稱重傳感器技術(shù)發(fā)展動(dòng)向和今后一個(gè)時(shí)期的技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)。
[0004]90年代中期以來(lái),小量程的家用電子秤(人體秤、健康秤、脂肪秤、廚房秤、營(yíng)養(yǎng)秤、珍寶秤、口袋秤和手提秤等)用稱重傳感器及其電阻應(yīng)變計(jì),其研發(fā)與生產(chǎn)由世界各國(guó)逐漸移向中國(guó)。目前國(guó)內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)有三種類型:其一,設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、組裝各種家用電子秤;其二,為家用電子秤生產(chǎn)廠配套生產(chǎn)各種稱重傳感器(或自己生產(chǎn)電阻應(yīng)變計(jì),或外購(gòu)電阻應(yīng)變計(jì));其三,只生產(chǎn)家用電子秤稱重傳感器用電阻應(yīng)變計(jì)。
[0005]分析近年來(lái)對(duì)稱重傳感器的新要求,不難得出小型化,集成化,多功能化和智能化將是稱重傳感器的重要特點(diǎn)和發(fā)展趨勢(shì)。
[0006]在我國(guó),小量程電子秤在工商貿(mào)易、輕工食品、醫(yī)藥衛(wèi)生、家用等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。對(duì)于某些貴金屬、有毒有害物質(zhì)、藥品、及在狹小的空間、位置和惡劣條件下才能工作的稱重傳感器,其笨重的大尺寸測(cè)力傳感器已經(jīng)滿足不了客戶的需求。由于物質(zhì)價(jià)格昂貴,或使用空間有限及特殊性質(zhì),嚴(yán)格限制其重量和傳感器尺寸大小是非常重要,至今國(guó)內(nèi)外小尺寸小量程稱重傳感器在量程、體積、精度和使用范圍上已經(jīng)滿足不了客戶的需求,因此目前國(guó)內(nèi)外高精度小量程微量程微型傳感器的研究就成為解決這一問(wèn)題的關(guān)鍵。
[0007]當(dāng)前:
[0008]I)國(guó)內(nèi)外小量程微型稱重傳感器其量程均在IOg以上。2)國(guó)內(nèi)外小量程IOg微型稱重傳感器精度:(重復(fù)性、線性、滯后性均在0.1%F.S?0.02%F.S.以上)。3)國(guó)內(nèi)外小量程微型稱重傳感器體積一般在:3.15cm3以上,見圖1。4)由于材料、結(jié)構(gòu)、精度、價(jià)格的原因,一般只能適合在常溫條件下使用,使測(cè)量環(huán)境對(duì)人體的限制在傳感器間接的測(cè)量中得不到解決。在實(shí)際生產(chǎn)中得不到推廣。
[0009]小量程微型稱重傳感器由于存在以上缺陷,極大的影響了:1)小量程微型稱重傳感器的傳感器彈性元件不能適合在惡劣條件下使用。2)小量程微型稱重傳感器其量程還不能適應(yīng)對(duì)體積、重量、精度要求更高的物體進(jìn)行計(jì)量。3)對(duì)要求更高小量程微型稱重傳感器其制作成本高。4)小量程微型稱重傳感器由于受結(jié)構(gòu)、材料、體積、精度的限制,使用范圍在實(shí)際生產(chǎn)中難以得到廣泛的推廣,從而使得小型化、集成化、多功能化和智能化的方向發(fā)展受到制約。
[0010]對(duì)傳統(tǒng)靶式流量力傳感器性能分析。
[0011]由于傳統(tǒng)靶通過(guò)杠桿力平衡原理或矢量機(jī)構(gòu)平衡原理來(lái)進(jìn)行流量信號(hào)與輸出信號(hào)的轉(zhuǎn)換處理,因此在實(shí)際應(yīng)用中顯現(xiàn)出許多不盡人意的缺陷。如零位易漂移,測(cè)量精確度低,杠桿機(jī)構(gòu)可靠性差等。由于力平衡機(jī)構(gòu)性能不佳的拖累,靶式流量計(jì)本身的許多優(yōu)點(diǎn)亦未能得到有效的發(fā)揮,至今用戶對(duì)舊靶式流量計(jì)的不良印象仍未消除,具體為:1)由于構(gòu)成矢量機(jī)構(gòu)及轉(zhuǎn)換單元的原件(如封膜、檢測(cè)放大器)受溫度影響較大,因此不能耐較高的介質(zhì)溫度,使用溫度一般小于150°c。2)由于氣動(dòng)祀的氣動(dòng)變送器、換能器本身是振蕩的,因此需要裝阻尼裝置才能使用,而當(dāng)當(dāng)儀表感受介質(zhì)壓力波動(dòng)、沖擊時(shí)極易加劇振蕩,影響穩(wěn)定作用。3)電動(dòng)靶電磁反饋系統(tǒng)、信號(hào)檢測(cè)放大器易受外界磁場(chǎng)影響,一般要求外磁場(chǎng)強(qiáng)度小于400A/m。4)變送部分采用矢量機(jī)構(gòu),存在大量可動(dòng)元件,易磨損變形,不能長(zhǎng)期穩(wěn)定工作,精度低(一般為±1.5%以上),調(diào)校工作量大、且復(fù)雜、要求高。5)要求管道振動(dòng)頻率應(yīng)小于25Hz,全振幅應(yīng)小于0.1mm,對(duì)管道內(nèi)介質(zhì)的脈動(dòng)壓力沖擊、溫度沖擊敏感,投運(yùn)要求高,需旁路管道,安裝費(fèi)用高,維護(hù)量大。6) 口徑一般在200mm以下,不適宜大管徑測(cè)量,使用范圍受到限制。7)由于自身結(jié)構(gòu)的限制,流量計(jì)受力范圍一般在8?80N之間,即被測(cè)介質(zhì)對(duì)靶的沖擊力不應(yīng)超過(guò)80N,也不應(yīng)小于8N。又由于F ~ V2,因此量程比為3:1左右。8)正是由于以上缺陷的存在,極大的影響了靶式流量計(jì)在實(shí)際生產(chǎn)中的推廣;特別是近十年,由于在量新型儀表的出現(xiàn),靶式流量計(jì)的應(yīng)用更現(xiàn)日趨減少。9)新一代智能靶式流量計(jì),雖然把微電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)應(yīng)用到信號(hào)轉(zhuǎn)換器和顯示部分,集流量,溫度,壓力檢測(cè)功能于一體,采用先進(jìn)的單片機(jī)技術(shù)和力傳感器,感測(cè)件為無(wú)可動(dòng)部件,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單牢固;抗振動(dòng)、雜質(zhì)、干擾能力強(qiáng),具有操作簡(jiǎn)便,容易安裝,免維護(hù),故障自檢,運(yùn)行費(fèi)用低等一系列特點(diǎn)。但對(duì)于口徑在15mm以下的靶式流量計(jì)仍處于結(jié)構(gòu)不夠簡(jiǎn)單,不能測(cè)試微小流量及成本聞的缺點(diǎn)。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0012]本發(fā)明的目的之一是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,提供一種適合在惡劣條件下使用的小型化高精度微量程傳感器。
[0013]本發(fā)明的另一目的是提供一種小型化高精度微量程流量計(jì)。
[0014]按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案,所述小型化高精度微量程傳感器,它包括傳感器固定前板、傳感器固定后板、傳感器彈性片、應(yīng)變片基底、應(yīng)變片與傳感器連接板,在傳感器固定前板與傳感器固定后板之間固定有傳感器彈性片,在傳感器彈性片的前表面和后表面上均通過(guò)應(yīng)變片基底固定有應(yīng)變片,在傳感器彈性片的底端部連接有傳感器連接板,在傳感器連接板的底端部固定連接有傳感器連接桿,在傳感器連接桿的底端部固定有傳感板,該傳感板為圓形板體;且所述傳感器彈性片的左右兩側(cè)均開設(shè)有圓弧形缺口。
[0015]所述傳感器彈性片呈左右對(duì)稱設(shè)置,且傳感器彈性片的厚度為0.05?0.5mm。
[0016]所述應(yīng)變片基底的一條邊線與圓弧形缺口呈相切設(shè)置。[0017]所述圓弧形缺口對(duì)應(yīng)的圓心角度數(shù)大于90°且小于180°。
[0018]所述傳感器連接桿的厚度為傳感器彈性片的厚度的5?10倍。
[0019]小型化高精度微量程流量計(jì),在測(cè)量直管上固定有測(cè)量管殼體,測(cè)量管殼體內(nèi)設(shè)有內(nèi)臺(tái)階,在測(cè)量管殼體上設(shè)有殼體密封罩,在測(cè)量管殼體的內(nèi)臺(tái)階上設(shè)有傳感器固定前板與傳感器固定后板,在傳感器固定前板與傳感器固定后板之間固定有傳感器彈性片,在傳感器彈性片的左右兩側(cè)均開設(shè)有圓弧形缺口,在傳感器彈性片的前表面和后表面上均通過(guò)應(yīng)變片基底固定有應(yīng)變片,在應(yīng)變片上連接有傳感器引線,在傳感器彈性片的底端部連接有傳感器連接板,在傳感器連接板的底端部固定連接有傳感器連接桿,在傳感器連接桿的底端部固定有傳感板,該傳感板為圓形板體,傳感板伸入測(cè)量直管內(nèi),傳感板的直徑與測(cè)量直管的內(nèi)徑配合,傳感板的板面與測(cè)量直管的軸線呈垂直設(shè)置,且測(cè)量直管的軸線穿過(guò)傳感板的圓心;
[0020]所述傳感器彈性片呈左右對(duì)稱設(shè)置,且傳感器彈性片的厚度為0.05?0.5mm。
[0021]所述應(yīng)變片基底的一條邊線與圓弧形缺口呈相切設(shè)置。
[0022]所述圓弧形缺口對(duì)應(yīng)的圓心角度數(shù)大于90°且小于180°。
[0023]所述傳感器連接桿的厚度為傳感器彈性片的厚度的5?10倍。
[0024]本發(fā)明體積小,降低了產(chǎn)品制造成本;本發(fā)明靈敏度高;本發(fā)明使用方便,使用時(shí)可以不受位置、空間的限制。
【專利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1是本發(fā)明中小型化高精度微量程傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0026]圖2是圖1的A-A剖視圖。
[0027]圖3是本發(fā)明中小型化高精度微量程流量計(jì)的主視圖。
[0028]圖4是本發(fā)明中小型化高精度微量程流量計(jì)的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0029]下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0030]該小型化高精度微量程傳感器,它包括傳感器固定前板1、傳感器固定后板2、傳感器彈性片3、應(yīng)變片基底4、應(yīng)變片5與傳感器連接板6.1,在傳感器固定前板I與傳感器固定后板2之間固定有傳感器彈性片3,在傳感器彈性片3的前表面和后表面上均通過(guò)應(yīng)變片基底4固定有應(yīng)變片5,在傳感器彈性片3的底端部連接有傳感器連接板6.1,在傳感器連接板6.1的底端部固定連接有傳感器連接桿6.2,在傳感器連接桿6.2的底端部固定有傳感板6.3,該傳感板6.3為圓形板體;且所述傳感器彈性片3的左右兩側(cè)均開設(shè)有圓弧形缺Π 7。
[0031]所述傳感器彈性片3呈左右對(duì)稱設(shè)置,且傳感器彈性片3的厚度為0.05?0.5mm。所述應(yīng)變片基底4的一條邊線與圓弧形缺口 7呈相切設(shè)置。
[0032]所述圓弧形缺口 7對(duì)應(yīng)的圓心角度數(shù)大于90°且小于180°。
[0033]所述傳感器連接桿6.2的厚度為傳感器彈性片3的厚度的5?10倍。
[0034]小型化高精度微量程流量計(jì),在測(cè)量直管9上固定有測(cè)量管殼體10,測(cè)量管殼體10內(nèi)設(shè)有內(nèi)臺(tái)階,在測(cè)量管殼體10上設(shè)有殼體密封罩12,在測(cè)量管殼體10的內(nèi)臺(tái)階上設(shè)有傳感器固定前板I與傳感器固定后板2,在傳感器固定前板I與傳感器固定后板2之間固定有傳感器彈性片3,在傳感器彈性片3的左右兩側(cè)均開設(shè)有圓弧形缺口 7,在傳感器彈性片3的前表面和后表面上均通過(guò)應(yīng)變片基底4固定有應(yīng)變片5,在應(yīng)變片5上連接有傳感器引線8,在傳感器彈性片3的底端部連接有傳感器連接板6.1,在傳感器連接板6.1的底端部固定連接有傳感器連接桿6.2,在傳感器連接桿6.2的底端部固定有傳感板6.3,該傳感板6.3為圓形板體,傳感板6.3伸入測(cè)量直管9內(nèi),傳感板6.3的直徑與測(cè)量直管9的內(nèi)徑配合,傳感板6.3的板面與測(cè)量直管9的軸線呈垂直設(shè)置,且測(cè)量直管9的軸線穿過(guò)傳感板
6.3的圓心;
[0035]所述傳感器彈性片3呈左右對(duì)稱設(shè)置,且傳感器彈性片的厚度為0.05?0.5mm。所述應(yīng)變片基底4的一條邊線與圓弧形缺口 7呈相切設(shè)置。
[0036]所述圓弧形缺口 7對(duì)應(yīng)的圓心角度數(shù)大于90°且小于180°。
[0037]所述傳感器連接桿6.2的厚度為傳感器彈性片3的厚度的5?10倍。
[0038]本發(fā)明的小型化高精度微量程傳感器在結(jié)構(gòu)上具有以下特點(diǎn):
[0039](I)體積小、使用制作材料少,降低了產(chǎn)品成本。
[0040]目前,國(guó)內(nèi)外最小的小量程微型稱重傳感器體積是一塊長(zhǎng)70mm、寬5mm、高9mm的長(zhǎng)方形塊,而本發(fā)明的小型化高精度微量程傳感器材料使用了金屬和非金屬?gòu)?fù)合箔材,其體積只有國(guó)內(nèi)外最小的小量程微型稱重傳感器體積的1/3?1/10。縮小了體積就減少了制作材料,這樣也就降低了產(chǎn)品成本。所以小型化高精度微量程傳感器的材料成本和目前國(guó)內(nèi)外最小的小量程微型稱重傳感器材料成本相當(dāng),但性能卻要好得多。
[0041](2)采用新材料及應(yīng)用有限元模型設(shè)計(jì),傳感器精度得到了提高。
[0042]由于小型化高精度微量程傳感器使用了金屬和非金屬?gòu)?fù)合箔材,適合在惡劣條件下使用。應(yīng)用有限元模型的設(shè)計(jì)、單元選擇、網(wǎng)格劃分、邊界條件模擬、將傳感器彈性片3形狀、結(jié)構(gòu)設(shè)置為:左右兩側(cè)開設(shè)圓弧形缺口 7,應(yīng)變片5基底的一條邊線與圓弧形缺口 7呈相切的形狀,經(jīng)加載試驗(yàn)后,其理論分析與實(shí)測(cè)值比較,相對(duì)誤差為0.2%。其精度比目前國(guó)內(nèi)外最小的小量程微型稱重傳感器精度提高了幾倍。使體積、精度和使用范圍上滿足了客戶的需求。
[0043](3)采用傳感器彈性片3的底端部連接傳感器連接桿6.2,延長(zhǎng)了應(yīng)變計(jì)中心處到受力點(diǎn)距離,提高了傳感器的靈敏度,拓寬了小型化高精度微量程傳感器的使用范圍。
[0044]由于傳感器彈性片3的底端部連接傳感器連接桿6.2是金屬桿,占用體積小,使傳感器的力點(diǎn)測(cè)量能在狹小的空間使用,同時(shí)提高了傳感器的靈敏度。
[0045]而國(guó)內(nèi)外小量程微型稱重傳感器形狀為一長(zhǎng)方體,由于形狀和結(jié)構(gòu)的限制,滿足不了用戶的需求,制約了其使用范圍。所以對(duì)于物質(zhì)價(jià)格昂貴,或使用空間有限及特殊性質(zhì),嚴(yán)格限制其重量和傳感器尺寸大小及提高傳感器的精度是非常重要的。
[0046](4)小型化高精度微量程傳感器使用方便、不受位置、空間的限制。
[0047]在傳感器彈性片3的固定用傳感器固定前板I與傳感器固定后板2上配置框架,能根據(jù)被測(cè)物體的使用空間、位置來(lái)固定傳感器固定前板I與傳感器固定后板2的框架,即可在測(cè)量環(huán)境對(duì)人體的限制時(shí),在傳感器間接的測(cè)量中得以勝任。也可制作成便攜式測(cè)量?jī)x器在線測(cè)量。并能作用于工商貿(mào)易、輕工食品、醫(yī)藥衛(wèi)生、物質(zhì)分析、家用電器等廣泛領(lǐng)域的應(yīng)用。[0048]而國(guó)內(nèi)外小量程微型稱重傳感器由于是一長(zhǎng)方體,其支點(diǎn)是長(zhǎng)方體的一端,用螺絲固定,而另一端為測(cè)力位置,所以位置均為水平放置。顯然,對(duì)狹小的空間、位置和惡劣條件下才能工作的稱重傳感器,國(guó)內(nèi)外小量程微型稱重傳感器已經(jīng)滿足不了客戶的需求。
[0049]本發(fā)明小型化高精度微量程傳感器的工作原理:
[0050]使用時(shí),傳感器彈性體3在外力作用下產(chǎn)生彈性變形,使粘貼在其表面的電阻應(yīng)變片5 (轉(zhuǎn)換元件)同時(shí)產(chǎn)生變形。電阻應(yīng)變片5變形后,其阻值將發(fā)生變化(增大或減小),再經(jīng)相應(yīng)的測(cè)量電路把這一電阻變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào),從而完成了將外力變換為電信號(hào)的過(guò)程。但在完成了將外力變換為電信號(hào)的過(guò)程中小型化高精度微量程傳感器在結(jié)構(gòu)、材料上米取了:
[0051](I)在傳感器彈性片3的正反面各增加貼片數(shù)量組成全橋測(cè)量電路可以提高輸出電壓靈敏度,減小彈性體受力條件的變化而引起的測(cè)力誤差。
[0052](2)在傳感器彈性片3貼片部位的左右兩側(cè)均開設(shè)有圓弧形缺口 7,兩個(gè)傳感器彈性片3呈左右對(duì)稱設(shè)置。由于在應(yīng)變片5貼片部位附近對(duì)傳感器彈性片3進(jìn)行局部削弱,使應(yīng)變片5部位局部應(yīng)力(應(yīng)變)水平提高,而傳感器彈性片3其它部位的應(yīng)力(應(yīng)變)水平基本不變。通過(guò)局部削弱彈性體,造成局部的應(yīng)力集中,使得應(yīng)力集中部位的應(yīng)力(應(yīng)變)水平明顯高于彈性體其它部位的應(yīng)力水平,將電阻應(yīng)變片5粘貼于應(yīng)力集中部位,于是測(cè)得了較高的應(yīng)變水平,同時(shí)也整體減小了彈性體的尺寸。
[0053](3)小型化高精度微量程傳感器采用厚度只有0.05~0.5mm的箔材做傳感器彈性片3,應(yīng)變?yōu)?
【權(quán)利要求】
1.一種小型化高精度微量程傳感器,其特征是:它包括傳感器固定前板(I)、傳感器固定后板(2)、傳感器彈性片(3)、應(yīng)變片基底(4)、應(yīng)變片(5)與傳感器連接板(6.1),在傳感器固定前板(I)與傳感器固定后板(2)之間固定有傳感器彈性片(3),在傳感器彈性片(3)的前表面和后表面上均通過(guò)應(yīng)變片基底(4)固定有應(yīng)變片(5),在傳感器彈性片(3)的底端部連接有傳感器連接板(6.1),在傳感器連接板(6.1)的底端部固定連接有傳感器連接桿(6.2),在傳感器連接桿(6.2)的底端部固定有傳感板(6.3),該傳感板(6.3)為圓形板體;且所述傳感器彈性片(3)的左右兩側(cè)均開設(shè)有圓弧形缺口(7)。
2.如權(quán)利要求1所述的小型化高精度微量程傳感器,其特征是:所述傳感器彈性片(3)呈左右對(duì)稱設(shè)置,且傳感器彈性片(3)的厚度為0.05、.5mm。
3.如權(quán)利要求1所述的小型化高精度微量程傳感器,其特征是:所述應(yīng)變片基底(4)的一條邊線與圓弧形缺口(7)呈相切設(shè)置。
4.如權(quán)利要求1所述的小型化高精度微量程傳感器,其特征是:所述圓弧形缺口(7)對(duì)應(yīng)的圓心角度數(shù)大于90°且小于180°。
5.如權(quán)利要求1所述的小型化高精度微量程傳感器,其特征是:所述傳感器連接桿(6.2)的厚度為傳感器彈性片(3)的厚度的5?10倍。
6.一種小型化高精度微量程流量計(jì),其特征是:在測(cè)量直管(9)上固定有測(cè)量管殼體(10),測(cè)量管殼體(10)內(nèi)設(shè)有內(nèi)臺(tái)階,在測(cè)量管殼體(10)上設(shè)有殼體密封罩(12),在測(cè)量管殼體(10)的內(nèi)臺(tái)階上設(shè)有傳感器固定前板(I)與傳感器固定后板(2),在傳感器固定前板(I)與傳感器固定后板(2)之間固定有傳感器彈性片(3),在傳感器彈性片(3)的左右兩側(cè)均開設(shè)有圓弧形缺口(7),在傳感器彈性片(3)的前表面和后表面上均通過(guò)應(yīng)變片基底(4 )固定有應(yīng)變片(5 ),在應(yīng)變片(5 )上連接有傳感器引線(8 ),在傳感器彈性片(3 )的底端部連接有傳感器連接板(6.1),在傳感器連接板(6.1)的底端部固定連接有傳感器連接桿(6.2),在傳感器連接桿(6.2)的底端部固定有傳感板(6.3),該傳感板(6.3)為圓形板體,傳感板(6.3 )伸入測(cè)量直管(9 )內(nèi),傳感板(6.3)的直徑與測(cè)量直管(9 )的內(nèi)徑配合,傳感板(6.3)的板面與測(cè)量直管(9)的軸線呈垂直設(shè)置,且測(cè)量直管(9)的軸線穿過(guò)傳感板(6.3)的圓心。
7.如權(quán)利要求6所述的小型化高精度微量程流量計(jì),其特征是:所述傳感器彈性片(3)呈左右對(duì)稱設(shè)置,且傳感器彈性片(3)的厚度為0.05、.5mm。
8.如權(quán)利要求6所述的小型化高精度微量程流量計(jì),其特征是:所述應(yīng)變片基底(4)的一條邊線與圓弧形缺口(7)呈相切設(shè)置。
9.如權(quán)利要求6所述的小型化高精度微量程流量計(jì),其特征是:所述圓弧形缺口(7)對(duì)應(yīng)的圓心角度數(shù)大于90°且小于180°。
10.如權(quán)利要求6所述的小型化高精度微量程流量計(jì),其特征是:所述傳感器連接桿(6.2)的厚度為傳感器彈性片(3)的厚度的5?10倍。
【文檔編號(hào)】G01F1/56GK103954306SQ201410151669
【公開日】2014年7月30日 申請(qǐng)日期:2014年4月15日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月15日
【發(fā)明者】程星翼, 程成 申請(qǐng)人:無(wú)錫市星翼儀表科技有限公司