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電路布圖檢查裝置制造方法
【專利摘要】在電路布圖檢查裝置中，按照鄰接或接近于檢查部的供電電極的兩側(cè)的方式，排列有多個(gè)消弧電極，將相對(duì)于施加于檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖的檢查信號(hào)而發(fā)生相移的交流的消弧信號(hào)施加于各消弧電極，形成與檢查信號(hào)的電場(chǎng)方向相反方向的電場(chǎng)分布，切削檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布的底側(cè)部分，形成進(jìn)行了尖銳化的合成電場(chǎng)分布，有選擇地對(duì)檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖供電，根據(jù)已獲得的檢測(cè)信號(hào)，實(shí)施導(dǎo)電體布圖的良好缺陷的適當(dāng)?shù)呐袛唷?br> 【專利說明】電路布圖檢查裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及能夠以非接觸的方式檢查形成于基板上的導(dǎo)電體布圖的缺陷的電路布圖檢查裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]近年，在顯示器中，采用液晶的液晶顯示器或采用等離子體的等離子體顯示器成為主流。在這些顯示器的制造步驟中，對(duì)成為形成于玻璃基板上的電路布線的導(dǎo)電體布圖，進(jìn)行有無斷線和短路的缺陷檢查。
[0003]作為導(dǎo)電體布圖的檢查方法，比如在JP特開2004-191381號(hào)公報(bào)中，將至少2個(gè)檢查探頭接近導(dǎo)體布圖，在以非接觸的方式與導(dǎo)電體布圖進(jìn)行電容耦合的狀態(tài)下移動(dòng)，并且從一個(gè)檢查探頭施加交流檢查信號(hào)，通過另一檢查探頭檢測(cè)在導(dǎo)體布圖中傳遞的交流檢查信號(hào)。通過檢測(cè)信號(hào)的波形的變化，進(jìn)行有無導(dǎo)電體布圖的斷線和短路的檢查。
[0004]用于上述檢查方法的裝置采用以非接觸的方式與導(dǎo)體布圖進(jìn)行電容耦合的檢查電極。該檢查電極與導(dǎo)電體布圖對(duì)置，施加具有與正弦波相同的波形的交流的檢查信號(hào)。在成為檢查對(duì)象的顯示器中，與以前相比較，為了實(shí)現(xiàn)高畫質(zhì)圖像的顯示，強(qiáng)烈地要求顯示面板的像素的細(xì)微化，成為檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖的細(xì)線化和窄間距(Pitch)化正在發(fā)展。
[0005]在采用了過去的接觸型的傳感器端子的情況下，通過對(duì)前端進(jìn)行尖銳化，可應(yīng)對(duì)布圖的細(xì)線化，但是在將交流信號(hào)設(shè)為檢查信號(hào)的非接觸傳感器中，由于進(jìn)行以空氣為絕緣體的電容耦合、即電場(chǎng)的電位(電壓)的施加，故供電電極所形成的電場(chǎng)分布的形狀對(duì)檢測(cè)信號(hào)造成影響。
[0006]在導(dǎo)電體布圖的布圖寬度變窄時(shí)，為了利用電容耦合而獲得充分的檢測(cè)信號(hào)，檢查信號(hào)的電壓的更大的變化成為必須的條件。通常，具有下述的傾向:在因電壓變化模擬地變化的交流言號(hào)而產(chǎn)生的電場(chǎng)的分布特性中，峰值越高，整體上越上升，波形的底側(cè)越寬，峰值周圍的電位也越高。
[0007]在多個(gè)導(dǎo)電體布圖被窄間距化，布圖之間的距離與布圖寬度一起變窄的情況下，如果電場(chǎng)分布從供電電極到達(dá)在鄰接或接近于成為檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖的非檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖，則還對(duì)這些導(dǎo)電體布圖供電檢查信號(hào)。
[0008]即使進(jìn)行檢查信號(hào)的檢測(cè)的傳感器電極形成為與導(dǎo)電體布圖相同的寬度，仍從不對(duì)置而位于傾斜方向的非檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖向傳感器電極輸出信號(hào)。由此，包含在從檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖檢測(cè)到的信號(hào)中，對(duì)檢查的梢度造成影響。于是，如果相對(duì)于被細(xì)線化的導(dǎo)電體布圖，提高所獲得的傳感器信號(hào)值，增加施加于供電電極上的檢查信號(hào)的信號(hào)值，則對(duì)檢查精度的影響也變大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本發(fā)明提供一種電路布圖檢查裝置，其中，通過以檢查電極為中心而于兩側(cè)設(shè)置多個(gè)消弧電極的供電部，同時(shí)施力目對(duì)于交流的檢查信號(hào)的相位而發(fā)生相移的消弧信號(hào)，切削檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布的底側(cè)部分，形成進(jìn)行了尖銳化的電場(chǎng)分布，作為檢查信號(hào)而供電到檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖。
[0010]本發(fā)明的實(shí)施方式的電路布圖檢查裝置包括:供電部，在該供電部中，于同一基板上形成檢查電極和多個(gè)消弧電極，該檢查電極以多個(gè)導(dǎo)電體布圖呈列狀排列的基板為檢查對(duì)象，在上方對(duì)置而電容耦合于I個(gè)上述導(dǎo)電體布圖，施加預(yù)定的交流的檢查信號(hào)，該多個(gè)消弧電極在與上述排列的方向交叉的方向，于上述檢查電極的兩側(cè)，以同一間距間隔開而連續(xù)設(shè)置；檢查信號(hào)供給部，將交流的檢查信號(hào)供給到上述檢查電極；消弧信號(hào)供給部，同時(shí)供給相對(duì)于上述檢查信號(hào)而以相同相位和相反相位而移相的多個(gè)消弧信號(hào)；傳感器部，形成有在上述檢查電極對(duì)置的導(dǎo)電體布圖的上方對(duì)置設(shè)置并電容耦合，從而檢測(cè)從上述供電部施加的上述檢查信號(hào)的傳感器電極；移動(dòng)部，一體地保持上述供電部和上述傳感器部，以一定距離與上述導(dǎo)電體布圖的上方間隔開，向與該導(dǎo)電體布圖的排列方向交叉的方向移動(dòng)；以及缺陷判斷部，將下述第I判斷和第2判斷組合，或采用它們中的任意一者而進(jìn)行不良判斷，在該第I判斷中，將通過上述傳感器部而按照時(shí)間序列獲得的檢測(cè)信號(hào)與預(yù)定的判斷基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，從而判斷缺陷的有無，在該第2判斷中，在相對(duì)于按照上述時(shí)間序列而獲得的檢測(cè)信號(hào)，檢測(cè)信號(hào)值的時(shí)間序列的變化于設(shè)定期間內(nèi)超過預(yù)定的范圍時(shí)，針對(duì)送出超過該范圍的檢測(cè)信號(hào)的導(dǎo)電體布圖而進(jìn)行不良判斷，通過下述方式供電上述檢查信號(hào):從上述移動(dòng)部的移動(dòng)中的上述供電部，依次對(duì)導(dǎo)電體布圖同時(shí)施加上述檢查信號(hào)和上述多個(gè)消弧信號(hào)，形成相對(duì)于上述檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布而通過上述消弧信號(hào)反向地形成的電場(chǎng)分布，切削上述檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布的底側(cè)部分，將進(jìn)行了尖銳化的合成電場(chǎng)分布的峰值部分置于檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖上。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為表示本發(fā)明的實(shí)施方式的電路布圖檢查裝置的構(gòu)思結(jié)構(gòu)的圖；
[0012]圖2為表示供電部和與供電部有關(guān)的結(jié)構(gòu)的圖；
[0013]圖3為表示通過從檢查電極輸出的檢查信號(hào)產(chǎn)生的電場(chǎng)分布Chl的特性的圖；
[0014]圖4為表示通過從消弧電極輸出的消弧信號(hào)產(chǎn)生的電場(chǎng)分布Ch2的特性的圖；
[0015]圖5為表示通過從消弧電極輸出的消弧信號(hào)產(chǎn)生的電場(chǎng)分布Ch3的特性的圖；
[0016]圖6為表不通過從消弧電極輸出的消弧信號(hào)產(chǎn)生的電場(chǎng)分布合成的電場(chǎng)分布(Ch2+Ch3)的特性的圖；
[0017]圖7為表示通過檢查信號(hào)和消弧信號(hào)產(chǎn)生的電場(chǎng)分布Al的特性的圖；
[0018]圖8為用于對(duì)檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布Al和檢查電極的電場(chǎng)分布Chl的波形形狀進(jìn)行比較的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0019]下面參照附圖，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行具體說明。
[0020]本發(fā)明的電路布圖檢查裝置在顯示器的制造步驟中，檢測(cè)比如成為形成于玻璃制的基板上的多排的導(dǎo)電體布圖(布線圖)的不良原因的斷線、短路的缺陷。成為檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖比如是形成于液晶顯示面板、觸摸面板等上的布線，通常為按照多排而平行排列且電分離的導(dǎo)電體布圖，或全部的導(dǎo)電體布圖的一端通過短路桿連接的節(jié)齒狀的導(dǎo)電體布圖。另外，如果布圖的位置可確定，則即使在形成于基板上的各導(dǎo)電體布圖不是平行和等間距的配置的情況下，仍可檢查。
[0021]另外，如果是在施加檢查信號(hào)的供電部移動(dòng)時(shí)，在目同導(dǎo)電體布圖上檢查電極和傳感器電極可對(duì)置的布圖，則即使在導(dǎo)電體布圖的中途具有彎曲、寬度的變化的情況下，仍可同等地檢查。在下面的說明中，為了容易理解，將以按照一定間隔而呈直線的列狀的導(dǎo)電體布圖作為檢查對(duì)象而進(jìn)行說明。另外，在下述的說明中，“消弧”指削減交流信號(hào)的波形，消除或減少信號(hào)值，即從波形中部分地刪除信號(hào)值。
[0022]圖1為表示本發(fā)明的實(shí)施方式的電路布圖檢查裝置的構(gòu)思的一個(gè)結(jié)構(gòu)例子的圖。圖2為表示供電部和與供電部有關(guān)的結(jié)構(gòu)的圖。
[0023]本實(shí)施方式的電路布圖檢查裝置I為檢測(cè)形成于玻璃基板等具有絕緣性的基板100上的多排的導(dǎo)電體布圖101的斷線、短路等的裝置。
[0024]像圖1所示的那樣，包括:供電部2，離開規(guī)定距離而設(shè)置于導(dǎo)電體布圖101的上方，施加檢查信號(hào)；傳感器部3，同樣地離開而設(shè)置于導(dǎo)電體布圖101的上方，檢測(cè)施加于導(dǎo)電體布圖101上的檢查信號(hào)；移動(dòng)機(jī)構(gòu)4，維持供電部2和傳感器部3的間隔(非接觸)狀態(tài)，在交叉的排列方向m—體地在同一導(dǎo)電體布圖101的上方移動(dòng)；驅(qū)動(dòng)控制部5，驅(qū)動(dòng)控制移動(dòng)機(jī)構(gòu)4 ;檢查信號(hào)供給部22，將交流構(gòu)成的檢查信號(hào)chi供給到供電部2 ;消弧信號(hào)供給部25，將后述的交流的消弧信號(hào)ch2、ch3供給到供電部2 ;檢查信號(hào)處理部6，對(duì)從傳感器部3檢測(cè)到的檢測(cè)信號(hào)實(shí)施后述的信號(hào)處理；控制部9，控制裝置整體；顯示部10，顯示包括檢查結(jié)果的檢查信息；以及輸入部11，用于輸入動(dòng)作指示、各種數(shù)據(jù)等，由鍵盤、觸摸面板等構(gòu)成。
[0025]供電部2的后述的供電基板21、傳感器部3的傳感器基板26比如與水平關(guān)節(jié)型機(jī)械人(SCARArobot)—體地連接并同時(shí)移動(dòng)。在圖1中，示出設(shè)置于導(dǎo)電體布圖的兩端的例子。顯然，所設(shè)置的位置并不限定于兩端，也可以將任意一者或兩者設(shè)置于導(dǎo)電體布圖的中間側(cè)。即，如果是導(dǎo)電體布圖與供電電極、傳感器電極對(duì)置的位置，則也可以相離而設(shè)置于檢查對(duì)象的基板上(比如，導(dǎo)電體布圖的兩端)，反之還可設(shè)置于接近的位置。在該情況下，由于傳感器部3通過容量耦合檢測(cè)檢測(cè)信號(hào)，故如果因斷線導(dǎo)致導(dǎo)電體布圖的容量變化而不同于正常的布圖，則出現(xiàn)檢測(cè)信號(hào)的峰值的變化，所以可進(jìn)行不良判斷。
[0026]本實(shí)施方式的傳感器部3的傳感器電極27具有相當(dāng)于成為檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖的寬度的寬度，其長度為根據(jù)所檢測(cè)的檢測(cè)信號(hào)的大小而確定的設(shè)計(jì)事項(xiàng)從而適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。另外，由于打算檢測(cè)與傳感器電極27對(duì)置的部分的導(dǎo)電體布圖的短路缺陷，故按照位于同一導(dǎo)電體布圖的上方的方式單獨(dú)設(shè)置用于檢測(cè)該對(duì)置部分的第2傳感器電極。
[0027]檢測(cè)信號(hào)處理部6中未圖示但包括:放大部，將通過傳感器部3檢測(cè)到的微小的模擬檢測(cè)信號(hào)放大到規(guī)定的電壓電平(可判斷是否良好的電平)；帶通濾波部，去除已放大的檢測(cè)信號(hào)的噪音分量而使必要的頻段通過；整流部，對(duì)經(jīng)過濾波處理的檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行全波整流；以及平滑部，對(duì)經(jīng)過全波整流的檢測(cè)信號(hào)進(jìn)行平滑處理，等。
[0028]控制部9包括:缺陷判斷部7，根據(jù)經(jīng)過信號(hào)處理的檢測(cè)信號(hào)中包含的特征信號(hào)(信號(hào)電平或信號(hào)波形的變化)，判斷導(dǎo)電體布圖是否有缺陷；中央處理部(CPU)8，按照用戶的設(shè)定條件或檢查用程序而進(jìn)行運(yùn)算處理。該控制部9也可利用通用的個(gè)人計(jì)算機(jī)。
[0029]缺陷判斷部7的不良判斷單獨(dú)地采用多種判斷方法而進(jìn)行，或?qū)⑵浣M合而進(jìn)行。 如，作為采用閾值的缺陷判斷，首先，進(jìn)行取樣(預(yù)備檢查)而獲得良品的信號(hào)電平和不良品的信號(hào)電平，根據(jù)這些信號(hào)電平將超過不良品的信號(hào)電平的電平的閾值設(shè)定為良品的判斷基準(zhǔn)。采用該判斷基準(zhǔn)，對(duì)于按照時(shí)間序列而檢測(cè)的檢測(cè)信號(hào)，將送出超過判斷基準(zhǔn)的檢測(cè)信號(hào)的導(dǎo)電體布圖判定為不良。該判斷基準(zhǔn)還可在超過任意設(shè)定的檢查處理數(shù)量或檢查實(shí)施時(shí)間的情況下，再次進(jìn)行取樣并更新閾值。
[0030]另外，作為其它的判斷方法，對(duì)于通過傳感器部3按照時(shí)間序列獲得的檢測(cè)信號(hào)，在預(yù)定的期間(取樣時(shí)間)內(nèi)，對(duì)通過之前的導(dǎo)電體布圖(正常)而檢測(cè)的檢測(cè)結(jié)果和當(dāng)前已檢測(cè)的檢查信號(hào)進(jìn)行比較，在產(chǎn)生超過預(yù)定的差分(設(shè)定范圍)的電壓差時(shí)，對(duì)此時(shí)成為檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖進(jìn)行不良的判斷。
[0031]下面對(duì)供電部2進(jìn)行具體說明。
[0032]像圖1和圖2所示的那樣，供電部2由供電基板21、檢查信號(hào)供給部22與消弧信號(hào)供給部25構(gòu)成，在該供電基板21中，設(shè)置有I個(gè)檢查電極23和多個(gè)消弧電極24，該檢查信號(hào)供給部22將交流的檢查信號(hào)施加于檢查電極23上，該消弧信號(hào)供給部25將相同相位和相位偏移的交流的消弧信號(hào)施加于消弧電極24上；
[0033]供電基板21設(shè)置的檢查電極23覆蓋I個(gè)導(dǎo)電體布圖，并且具有不置于鄰接的導(dǎo)電體布圖上的寬度。在該檢查電極23的排列方向m的兩側(cè)，多個(gè)消弧電極24a、
[0034]24b和24c、24d分別以作為電極間距的離開距離而間隔開，以等間隔而設(shè)置。該電極間距L通過用于按照檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖設(shè)計(jì)樣式?jīng)]定的檢查信號(hào)的頻率而進(jìn)行適當(dāng)設(shè)計(jì)。如后述，為了均勻地對(duì)檢查信號(hào)的波形進(jìn)行尖銳化，需要在已排列的多個(gè)消弧電極的中間設(shè)置檢查電極23，在兩側(cè)均勻地沒置消弧電極。
[0035]另外，在圖2中示出了在檢查電極23的兩側(cè)分別設(shè)置2個(gè)消弧電極的例子，如果均設(shè)置2個(gè)以上的消弧電極，則沒有特別的限定。其中，如果至少在檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖以外的布圖上大量地施加消弧信號(hào)，則由于不希望對(duì)傳感器電極的檢查信號(hào)造成影響，故在獲得后述的作用效果的范圍內(nèi)適當(dāng)?shù)卦O(shè)計(jì)。另外，在圖2中，
[0036]消弧電極24a?24d短于檢查電極23的長度，而施加的消孤信號(hào)的電壓值低于檢測(cè)信號(hào)，或?yàn)榱巳菀讌^(qū)別檢查電極23而較短，沒有特別的限定。
[0037]從檢查信號(hào)供給部22對(duì)在檢查電極23施加檢查信號(hào)Chl，該檢查信號(hào)Chl例如由以已設(shè)定的頻率而具有所需的峰峰值的正弦波的交流信號(hào)構(gòu)成。另外，檢查信號(hào)Chl不僅可應(yīng)用正弦波，還可應(yīng)用三角波。在下面的說明中，為了區(qū)別各信號(hào)所發(fā)生的電場(chǎng)分布，在電場(chǎng)分布之后，還標(biāo)己有信號(hào)的參考標(biāo)號(hào)(Chi, Ch2, ch3)。比如,像檢查信號(hào)Chl和電場(chǎng)分布(chi)(在附圖上，示出Chl)那樣，設(shè)為共用相同的參考標(biāo)號(hào)的Chl的標(biāo)記。
[0038]消弧信號(hào)供給部25構(gòu)成為，對(duì)于各消弧電極24a?24d分別設(shè)置電壓調(diào)整電路31a?31d與移相電路32a?32d。電壓調(diào)整電路31對(duì)從檢查信號(hào)供給部22輸出的檢查信號(hào)Chl，輸出按照1/2?1/3左右對(duì)信號(hào)值(電壓值)進(jìn)行降壓的消弧信號(hào)Ch2、Ch3。由于該電壓調(diào)整因檢測(cè)信號(hào)Chl而不同，故在檢查準(zhǔn)備時(shí)進(jìn)行調(diào)整。另外，該調(diào)整值作為檢查條件的設(shè)定值而存儲(chǔ)于控制部9的未圖示的存儲(chǔ)器中，根據(jù)檢查信號(hào)Chl的設(shè)定值，通過輸入部11而適當(dāng)選擇，由此還能夠快速地開始檢查。
[0039]另外，本實(shí)施方式的移相電路32假定采用普通的運(yùn)算放大器等的電路，以檢查信號(hào)為基準(zhǔn)(Orad)，形成消弧電極24a?24d的相位移動(dòng)Jirad(180。)的消弧信號(hào)。在本實(shí)施方式中，示出了在消弧電極24a~24d上分別設(shè)置電壓調(diào)整電路31和移相電路32的結(jié)構(gòu)例子，但由于將檢查信號(hào)Chl作為相位Orad，將消弧信號(hào)Ch2作為相位Orad，在消弧信號(hào)Ch3中使相位rad移動(dòng)，故也可針對(duì)每個(gè)消弧信號(hào)Ch采用共用的電壓調(diào)整電路31和移相電路32而簡化結(jié)構(gòu)。
[0040]在本實(shí)施方式中，由于供電電極為與導(dǎo)電體布圖的布線間隔開，通過電容耦合而供給交流的檢查信號(hào)的結(jié)構(gòu)，故檢查信號(hào)不作為直接的電流而供給，而作為電場(chǎng)的電位(電壓)而施加，所以供電電極所形成的電場(chǎng)分布不對(duì)檢測(cè)信號(hào)產(chǎn)生影響。
[0041]優(yōu)選像在課題中描述的那樣，對(duì)電場(chǎng)分布進(jìn)行尖銳化，將檢查信號(hào)施加于對(duì)置的檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖上。
[0042]圖3為表不通過從檢查電極23輸出的檢查信號(hào)Chl產(chǎn)生的電場(chǎng)分布(Chl)的特性的圖。圖4表不通過從消弧電極24b、24c輸出的檢查信號(hào)Ch2產(chǎn)生的電場(chǎng)分布(Ch2)的特性的圖。圖5表示通過從消弧電極24a、24d輸出的檢查信號(hào)Ch3產(chǎn)生的電場(chǎng)分布(Ch3)的特性的圖。圖6表示通過從消弧電極24a~24d輸出的消弧信號(hào)(Ch2)、(Ch3)合成的信號(hào)產(chǎn)生的電場(chǎng)分布(Ch2+Ch3)的特性的圖。圖7為表示檢查信號(hào)Chl和消弧信號(hào)Ch2、Ch3的合成電場(chǎng)分布(Al)的特性的圖。圖8為用于對(duì)電場(chǎng)分布(Chl)和合成電場(chǎng)分布(Al)的波形形狀進(jìn)行比較的圖。
[0043]另外，在各圖中，為了容易理解檢查信號(hào)和消弧信號(hào)的交流信號(hào)為時(shí)間序列上連續(xù)的波形的信號(hào)，表不為由某時(shí)間的I個(gè)波形而產(chǎn)生的電場(chǎng)強(qiáng)度(電位V)的電場(chǎng)分布。此外，距離O為檢查電極對(duì)置的基準(zhǔn)位置，實(shí)際上相當(dāng)于對(duì)置的檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖的位置，距離表示在檢查基板的面方向、即橫切布圖的水平方向離開的距離。
[0044]此外，由于本來圖5所示的消弧信號(hào)Ch3和圖6所示的消弧信號(hào)Ch2+Ch3為逆相位(π red),故電場(chǎng)的朝向與檢查信號(hào)Chl和消弧信號(hào)Ch2相反,在檢查信號(hào)Chl設(shè)為正向的情況下，成為在圖中的橫軸上反轉(zhuǎn)的負(fù)的朝向。
[0045]像圖3所示的那樣，以從檢查電極23向?qū)щ婓w布圖輸出的檢查信號(hào)Chl的電場(chǎng)分布(Chl)的波形為基準(zhǔn)。另外，圖4表不從施加相對(duì)于檢查信號(hào)Chl而施加相同相位的消弧信號(hào)Ch2的消弧電極(第I消弧電極)24b、24c而輸出的電場(chǎng)分布(Ch2)的波形。另外，圖5表不從施加目對(duì)于消弧信號(hào)Ch2施加口而有π red量(即使相對(duì)于檢查信號(hào)Chl仍為^ired量)的相移的消弧信號(hào)Ch3的消弧電極(第2消弧電極)24a、24d而輸出的電場(chǎng)分布(Ch3)的波形。此外，檢查信號(hào)Chl和消弧信號(hào)Ch2、Ch3的電壓值為根據(jù)交流的頻率等而適當(dāng)設(shè)定的設(shè)計(jì)事項(xiàng)。
[0046]在這里，參照?qǐng)D6，對(duì)消弧信號(hào)(第I消弧信號(hào))Ch2和消弧信號(hào)(第2消弧信號(hào))Ch3的合成信號(hào)進(jìn)描述。像前述的那樣,成為合成電場(chǎng)分布(Ch2+Ch3)的特性,其中，由于消弧信號(hào)Ch2和消弧信號(hào)Ch3具有π red的相位差、即相位相互相反，故形成反向的電場(chǎng)強(qiáng)度(電位)，抵消相互的電場(chǎng)分布，根據(jù)它們的差，以圖6所示那樣的距離O為中心，具有相似的2個(gè)峰值。
[0047]由于消弧信號(hào)Ch3的電場(chǎng)強(qiáng)度大于消弧信號(hào)Ch2的電場(chǎng)強(qiáng)度,故該合成電場(chǎng)分布(Ch2+Ch3)成為負(fù)的電場(chǎng)分布。另外,此時(shí),如果施加同時(shí)施加的檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布(Chl)，則像圖7所示的那樣，電場(chǎng)分布(Chl)的波形的底側(cè)部分通過電場(chǎng)分布(Ch2+Ch3)而被切削，形成峰值被尖銳化的合成電場(chǎng)分布(Al)。[0048]在圖8中不出檢查信號(hào)Chl的電場(chǎng)分布(Chl)和在同時(shí)施加檢查信號(hào)Chl和消弧信號(hào)Ch2+Ch3時(shí)產(chǎn)生的合成電場(chǎng)分布(Al)。通過比較這些電場(chǎng)分布的特性，已知波形的半值寬度縮小50%以上，從而根據(jù)波形本身，峰值不減少而被尖銳化為約1/3的寬度，電場(chǎng)強(qiáng)度的峰值與對(duì)置的檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖連接。
[0049]根據(jù)需要，從移動(dòng)部的移動(dòng)中的上述供電部依次對(duì)導(dǎo)電體布圖施加檢查信號(hào)。與該施加同時(shí)地對(duì)與檢查電極的兩個(gè)外側(cè)鄰接的第I消弧電極分別施加與檢查信號(hào)同相位的第I消弧信號(hào)，并且對(duì)與第I消弧電極的外側(cè)鄰接的第2消弧電極分別施加與檢查信號(hào)反相位的第2消弧信號(hào)。通過將該峰值部分置于檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖上而供電檢查信號(hào)。另外，第I消弧信號(hào)為電壓值低于檢查信號(hào)且相位相同的信號(hào)，第2消弧信號(hào)為電壓值氐于檢查信號(hào)且電壓值高于第I消弧信號(hào)的相位相反的信號(hào)。
[0050]另外，將通過第I消弧信號(hào)產(chǎn)生的電場(chǎng)分布(Ch2)和通過第2消弧信號(hào)產(chǎn)生的電場(chǎng)分布(Ch3)合成,形成合成電場(chǎng)分布(圖6的Ch2+Ch3)。合成電場(chǎng)分布形成其朝向與檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布(Chl)相反的電場(chǎng)方向的電場(chǎng)分布。由于將各信號(hào)同時(shí)地施加于該檢查電極和第1、第2消弧電極上,故電場(chǎng)分布(Chl)和電場(chǎng)分布(ch2+Ch3)合成。在該合成時(shí)，生成檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布(chl)的底側(cè)部分被切削而峰值部分被尖銳比的檢查用的合成電場(chǎng)分布(Al)。
[0051]像上面描述的那樣，本實(shí)施方式的電路布圖檢查裝置具有下述的結(jié)構(gòu)，其中，在將檢查信號(hào)供電到檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖上的供電部2的供電基板21上，相對(duì)于I個(gè)檢查電極23，在橫切布圖排列方向的方向的兩側(cè)，等間隔地設(shè)置多個(gè)消弧電極24，將按照相位相同和相反相位而進(jìn)行移相的多個(gè)消弧信號(hào)同時(shí)地施加于供電的交流的檢查信號(hào)上。通過該同時(shí)施加，形成相對(duì)于由檢查信號(hào)生成的電場(chǎng)分布而由消弧信號(hào)反向地形成的電場(chǎng)分布，切削檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布的底側(cè)部分，形成進(jìn)行了尖銳化的合成電場(chǎng)分布，將該峰值部分與檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖連接，由此可集中地供電檢查信號(hào)，極力地抑制檢查信號(hào)供電到鄰接的非檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖的情況。
[0052]于是，按照本實(shí)施方式的電路布圖檢查裝置，即使在為檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖的細(xì)線化和窄間距化的檢查對(duì)象部位，仍能夠以非接觸的方式適當(dāng)?shù)貙?shí)施成為檢查對(duì)象的各個(gè)布圖是否良好的檢查。于是，適合于要求高分辨率的顯示用玻璃基板的布線布圖、電路基板上的布線布圖等的，要求細(xì)微化、集成化的布線是否良好的判斷。特別是，由于以非接觸方式實(shí)施檢查，故完全沒有導(dǎo)電體布圖的損傷，另外，由于在檢查時(shí)暴露于比平時(shí)強(qiáng)的電場(chǎng)中，故還進(jìn)行對(duì)包括在將來成為不良的要素(斷線、剝離等)的布線布圖的耐久試驗(yàn)。
[0053]根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式，可提供下述的電路布圖檢查裝置，其通過以檢查電極為中心，于兩側(cè)設(shè)置多個(gè)消弧電極的供電部，同時(shí)施加相對(duì)于交流的檢查信號(hào)的相位而發(fā)生相移的消弧信號(hào)，切削檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布的底側(cè)部分，形成進(jìn)行了尖銳化的電場(chǎng)分布，作為檢查信號(hào)而供電到檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖。
【權(quán)利要求】
1.一種電路布圖檢查裝置，其特征在于，包括: 供電部，于同一基板上形成檢查電極和多個(gè)消弧電極，該檢查電極以多個(gè)導(dǎo)電體布圖呈列狀排列的基板為檢查對(duì)象，在上方對(duì)置而電容耦合于1個(gè)上述導(dǎo)電體布圖，施加預(yù)定的交流的檢查信號(hào)，該多個(gè)消弧電極在與上述排列的方向交叉的方向，于上述檢查電極的兩側(cè)，以同一間距間隔開而連續(xù)設(shè)置； 檢查信號(hào)供給部，將交流的檢查信號(hào)供給到上述檢查電極； 消孤信號(hào)供給部，同時(shí)供給相對(duì)于上述檢查信號(hào)而以相同相位和相反相位而移相的多個(gè)消弧信號(hào)； 傳感器部，在該傳感器部中，形成有在與上述檢查電極對(duì)置的導(dǎo)電體布圖的上方對(duì)置配置并電容耦合，從而檢測(cè)從上述供電部施加的上述檢查信號(hào)的傳感器電極； 移動(dòng)部，一體地保持上述供電部和上述傳感器部，以一定距離與上述導(dǎo)電體布圖的上方間隔開，向與該導(dǎo)電體布圖的排列方向交叉的方向移動(dòng)以及 缺陷判斷部，將下述第1判斷和第2判斷組合，或采用它們中的任意一者而進(jìn)行不良判斷，在該第1判斷中，將通過上述傳感器部而按照時(shí)間序列獲得的檢測(cè)信號(hào)與預(yù)定的判斷基準(zhǔn)值進(jìn)行比較，從而判斷缺陷的有無，在該第2判斷中，在相對(duì)于按照上述時(shí)間序列而獲得的檢測(cè)信號(hào)，檢測(cè)信號(hào)值的時(shí)間序列的變化于設(shè)定期間內(nèi)超過預(yù)定的范圍時(shí)，針對(duì)送出超過該范圍的檢測(cè)信號(hào)的導(dǎo)電體布圖而進(jìn)行不良判斷， 通過下述方式供電上述檢查信號(hào):從上述移動(dòng)部的移動(dòng)中的上述供電部，依次對(duì)導(dǎo)電體布圖同時(shí)施加上述檢查信號(hào)和上述多個(gè)消弧信號(hào)，形成相對(duì)于上述檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布而通過上述消弧信號(hào)反向地形成的電場(chǎng)分布，切削上述檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布的底側(cè)部分，將進(jìn)行了尖銳化的合成電場(chǎng)分布的峰值部分置于檢查對(duì)象的導(dǎo)電體布圖上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路布圖檢查裝置，其特征在于， 對(duì)于上述供電部的上述檢查電極和上述多個(gè)消弧電極，以位于上述多個(gè)消弧電極的排列的中間而向兩側(cè)擴(kuò)大的方式間隔均勻間隔的間距地設(shè)置至少2個(gè)的第1、第2消弧電極。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的電路布圖檢查裝置，其特征在于， 對(duì)與上述檢查電極鄰接的上述第1消弧電極施加電壓值低于上述檢查信號(hào)的相同相位的第1消弧信號(hào)，并且， 對(duì)與上述第1消弧電極鄰接的上述第2消弧電極施加電壓值低于上述檢查信號(hào)且高于上述第1消弧信號(hào)的相反相位的第2消弧信號(hào)； 在形成上述檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布時(shí)，通過上述第1消孤信號(hào)和上述第2消弧信號(hào)，形成與上述檢查信號(hào)的電場(chǎng)方向相反方向的電場(chǎng)方向的電場(chǎng)分布，切削上述檢查信號(hào)的電場(chǎng)分布的底側(cè)部分，形成進(jìn)行了尖銳化的合成電場(chǎng)分布。
4.一種電路布圖檢查裝置，其特征在于，由下述部分構(gòu)成: 供電部，具有1個(gè)檢查電極，以該檢查電極為中心而在兩側(cè)配置多個(gè)的消弧電極檢查信號(hào)供給部，將交流的檢查信號(hào)供給到上述檢查電極，形成上述檢查信號(hào)的第1電場(chǎng)分布； 消孤信號(hào)供給部，同時(shí)供給相對(duì)于上述檢查信號(hào)而以相同相位和相反相位而移相的多個(gè)消弧信號(hào)；以及 傳感器部，形成有以非接觸方式檢測(cè)從上述供電部施加的上述檢查信號(hào)的傳感器電極， 所述電路布圖檢查裝置具有檢查部， 所述檢查部在施加上述檢查信號(hào)的同時(shí)， 對(duì)與上述檢查電極鄰接的第I消弧電極施加與上述檢查信號(hào)同相位的第I消弧信號(hào)，對(duì)與上述第I消弧電極鄰接的上述第2消弧電極施加與上述檢查信號(hào)反相位的第2消弧信號(hào)，形成其電場(chǎng)的朝向與上述第I電場(chǎng)分布相反的上述第I消弧信號(hào)和上述第2消弧信號(hào)合成的第2電場(chǎng)分布， 切削上述檢查信號(hào)的上述第I電場(chǎng)分布的底側(cè)部分，將已進(jìn)行尖銳化的合成電場(chǎng)分布的檢查信號(hào)以非接觸的 方式供電到與上述供電部相離的任意的檢查對(duì)象的電路布圖。
【文檔編號(hào)】G01R31/02GK103913667SQ201410056938
【公開日】2014年7月9日 申請(qǐng)日期:2014年1月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年1月8日
【發(fā)明者】羽森寬 申請(qǐng)人:Oht株式會(huì)社