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動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡的制作方法
【專(zhuān)利摘要】一種動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡，包括有用于照射被測(cè)二維線紋樣板的照明光源，用于將被測(cè)二維線紋樣板實(shí)像引入測(cè)量系統(tǒng)的光電顯微鏡物鏡，設(shè)置在所述光電顯微鏡物鏡的輸出光路上，用于將該路光分為用于觀察和用于測(cè)量的兩路光的第一分光平片，設(shè)置在第一分光平片所分出的用于觀察的光路上的成像CCD相機(jī)，所述成像CCD相機(jī)接收該路光用于在測(cè)量時(shí)對(duì)被測(cè)二維線紋樣板進(jìn)行觀察與調(diào)整，設(shè)置在第一分光平片所分出的用于測(cè)量的光路上，并將該路光分成用于獲取光電瞄準(zhǔn)信號(hào)的測(cè)量方向?yàn)閄軸的兩路光和測(cè)量方向?yàn)閅軸的兩路光的測(cè)量單元。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易于操作，能夠?qū)崿F(xiàn)二維線紋瞄準(zhǔn)的測(cè)量功能，有較好的測(cè)量對(duì)象的適應(yīng)性及測(cè)量精度。
【專(zhuān)利說(shuō)明】動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種顯微鏡。特別是涉及一種能夠?qū)崿F(xiàn)二維線紋測(cè)量中的動(dòng)態(tài)光電瞄準(zhǔn)的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡。
【背景技術(shù)】
[0002]光電顯微鏡廣泛應(yīng)用于幾何尺寸的精確瞄準(zhǔn)、定位和測(cè)量之中。特別是在線紋的測(cè)量中，光電顯微鏡以其準(zhǔn)確度高，測(cè)量方法簡(jiǎn)單等特點(diǎn)被廣泛采用。動(dòng)態(tài)光電顯微鏡具有測(cè)量對(duì)象在運(yùn)動(dòng)中瞄準(zhǔn)測(cè)量的功能，因此在提高相應(yīng)的測(cè)量效率方面有顯著的效果，具有更廣泛的適用性。在二維線紋測(cè)量中，由于測(cè)量點(diǎn)呈現(xiàn)幾何級(jí)數(shù)增長(zhǎng)，因此光電瞄準(zhǔn)的效率更是具有十分重要的意義。目前二維線紋測(cè)量采用影像測(cè)量原理的光學(xué)顯微鏡來(lái)實(shí)現(xiàn)，由于光學(xué)顯微鏡的分辨能力限制、測(cè)量結(jié)果受測(cè)量材料影響、測(cè)量效率低及成本高等原因，制約了二維線紋測(cè)量與校準(zhǔn)的技術(shù)發(fā)展，無(wú)法滿(mǎn)足國(guó)家工業(yè)發(fā)展中對(duì)二維線紋測(cè)量與校準(zhǔn)的需求。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是，提供一種具有較高適應(yīng)性、動(dòng)態(tài)測(cè)量、成本低及高測(cè)量準(zhǔn)確度，能夠?qū)崿F(xiàn)二維線紋測(cè)量中的動(dòng)態(tài)光電瞄準(zhǔn)的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡。
[0004]本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是:一種動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡，包括有用于照射被測(cè)二維線紋樣板的照明光源，用于將被測(cè)二維線紋樣板實(shí)像引入測(cè)量系統(tǒng)的光電顯微鏡物鏡，設(shè)置在所述光電顯微鏡物鏡的輸出光路上，用于將該路光分為用于觀察和用于測(cè)量的兩路光的第一分光平片，設(shè)置在第一分光平片所分出的用于觀察的光路上的成像CCD相機(jī)，所述成像CCD相機(jī)接收該路光用于在測(cè)量時(shí)對(duì)被測(cè)二維線紋樣板進(jìn)行觀察與調(diào)整，設(shè)置在第一分光平片所分出的用于測(cè)量的光路上，并將該路光分成用于獲取光電瞄準(zhǔn)信號(hào)的測(cè)量方向?yàn)閄軸的兩路光和測(cè)量方向?yàn)閅軸的兩路光的測(cè)量單元。
[0005]所述的成像CXD相機(jī)的觀察區(qū)域大于被測(cè)二維線紋樣板的測(cè)量線寬的5倍。
[0006]所述的照明光源采用冷光源照明。
[0007]所述的測(cè)量單元包括有設(shè)置在第一分光平片所分出的用于測(cè)量的光路上的第二分光平片，設(shè)置在所述第二分光平片分出的垂直光路上的第三分光平片和設(shè)置在所述第二分光平片分出的水平光路上的第一可調(diào)諧工作狹縫，設(shè)置在所述第三分光平片分出的垂直光路上的分光棱鏡和設(shè)置在所述第三分光平片分出的水平光路上的第二可調(diào)諧工作狹縫，設(shè)置在所述分光棱鏡分出的垂直光路上的第四可調(diào)諧工作狹和設(shè)置在所述分光棱鏡分出的水平光路上的第三可調(diào)諧工作狹縫，其中，所述的第一可調(diào)諧工作狹縫的輸出連接第一光電接收器，所述的第二可調(diào)諧工作狹縫的輸出連接第二光電接收器，所述的第三可調(diào)諧工作狹縫的輸出連接第三光電接收器，所述的第四可調(diào)諧工作狹的輸出連接第四光電接收器。
[0008]所述的第一可調(diào)諧工作狹縫、第二可調(diào)諧工作狹縫、第三可調(diào)諧工作狹縫和第四可調(diào)諧工作狹結(jié)構(gòu)相同，包括有非透光板，分別形成在所述非透光板上的第一透光狹縫、第二透光狹縫、第三透光狹縫和第四透光狹縫，其中所述的第一透光狹縫和第三透光狹縫以所述非透光板的中心點(diǎn)為對(duì)稱(chēng)點(diǎn)對(duì)稱(chēng)的設(shè)置在非透光板的垂直軸線上，所述的第二透光狹縫和第四透光狹縫以所述非透光板的中心點(diǎn)為對(duì)稱(chēng)點(diǎn)對(duì)稱(chēng)的設(shè)置在非透光板的水平軸線上。
[0009]所述的第一透光狹縫、第二透光狹縫、第三透光狹縫和第四透光狹縫的寬度為I ~20 μ m0
[0010]第一可調(diào)諧工作狹縫與第三可調(diào)諧工作狹縫相互匹配用于獲取瞄準(zhǔn)測(cè)量所需要的鐘形波，第二可調(diào)諧工作狹縫與第四可調(diào)諧工作狹相互匹配用于獲取瞄準(zhǔn)測(cè)量所需要的鑒向信號(hào)，所述的第一可調(diào)諧工作狹縫、第二可調(diào)諧工作狹縫、第三可調(diào)諧工作狹縫和第四可調(diào)諧工作狹的空間位置的設(shè)置關(guān)系，要保證第一可調(diào)諧工作狹縫獲取的鐘形波與第三可調(diào)諧工作狹縫獲取的鐘形波相交的交點(diǎn)在兩個(gè)鐘形波的波峰值的50%~90%之間。
[0011]本發(fā)明的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡，具有如下益效果:
[0012]1、本發(fā)明采用的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易于操作，能夠?qū)崿F(xiàn)二維線紋瞄準(zhǔn)的測(cè)量功能，有較好的測(cè)量對(duì)象的適應(yīng)性及測(cè)量精度。采用光電鐘形波觸發(fā)及時(shí)域同步鑒向的方法實(shí)現(xiàn)了二維線紋的動(dòng)態(tài)光電瞄 準(zhǔn)，避免了現(xiàn)有采用影響法瞄準(zhǔn)測(cè)量效率低、精度差的問(wèn)題。解決二維線紋動(dòng)態(tài)測(cè)量的問(wèn)題，提高了當(dāng)前的二維線紋測(cè)量的適應(yīng)性。
[0013]2、本發(fā)明選用4個(gè)空間分布狹縫，運(yùn)用了動(dòng)態(tài)光電鐘形波和鑒向信號(hào)復(fù)合的方式，有效地解決了同步動(dòng)態(tài)測(cè)量和測(cè)量空間鑒別的問(wèn)題，降低了測(cè)量成本，提高了測(cè)量效率。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0014]圖1是本發(fā)明的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0015]圖2是本發(fā)明中可調(diào)諧工作狹縫的結(jié)構(gòu)圖；
[0016]圖3是本發(fā)明中被測(cè)二維線紋樣板的二維線紋的刻線示意圖；
[0017]圖4是本發(fā)明中動(dòng)態(tài)光電鐘形波時(shí)序圖；
[0018]圖5是本發(fā)明中動(dòng)態(tài)測(cè)量鑒向信號(hào)圖。
[0019]圖中
[0020]1:照明光源2:被測(cè)二維線紋樣板
[0021]3:光電顯微鏡物鏡4:第一分光平片
[0022]5:成像CCD相機(jī)6:第二分光平片
[0023]7:第三分光平片8:分光棱鏡
[0024]9:第一可調(diào)諧工作狹縫10:第一光電接收器
[0025]11:第二可調(diào)諧工作狹縫12:第二光電接收器
[0026]13:第三可調(diào)諧工作狹縫14:第三光電接收器
[0027]15:第四可調(diào)諧工作狹縫16:第四光電接收器
[0028]17:鐘形波信號(hào)18:鐘形波信號(hào)
[0029]19:鑒向信號(hào)20:鑒向信號(hào)
[0030]21:非透光板211:第一透光狹縫[0031]212:第二透光狹縫213:第三透光狹縫
[0032]214:第四透光狹縫
【具體實(shí)施方式】
[0033]下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡做出詳細(xì)說(shuō)明。
[0034]如圖1所示，本發(fā)明的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡，包括有用于照射被測(cè)二維線紋樣板2的照明光源1，用于將被測(cè)二維線紋樣板2實(shí)像引入測(cè)量系統(tǒng)的光電顯微鏡物鏡3，設(shè)置在所述光電顯微鏡物鏡3的輸出光路上，用于將該路光分為用于觀察和用于測(cè)量的兩路光的第一分光平片4，設(shè)置在第一分光平片4所分出的用于觀察的光路上的成像CCD相機(jī)5，所述成像CCD相機(jī)5接收該路光用于在測(cè)量時(shí)對(duì)被測(cè)二維線紋樣板2進(jìn)行觀察與調(diào)整，設(shè)置在第一分光平片4所分出的用于測(cè)量的光路上，并將該路光分成用于獲取光電瞄準(zhǔn)信號(hào)的測(cè)量方向?yàn)閄軸的兩路光和測(cè)量方向?yàn)閅軸的兩路光的測(cè)量單元。
[0035]所述的照明光源I采用冷光源照明。該冷光源采用碘鎢燈匯聚后由光纖導(dǎo)入，光纖導(dǎo)出端口經(jīng)準(zhǔn)直擴(kuò)束后形成平行光投射到被測(cè)二維線紋樣板2之上。光電顯微鏡物鏡3用于將二維線紋刻線實(shí)像引入測(cè)量系統(tǒng)，該實(shí)像用于與測(cè)量系統(tǒng)中的可調(diào)諧狹縫進(jìn)行比較形成相應(yīng)的測(cè)量波形，顯微物鏡放大倍數(shù)和被測(cè)二維線紋樣板2的二維線紋的線寬相匹配，可選擇顯微物鏡放大倍 數(shù)為40倍。所述的成像CCD相機(jī)用于光電顯微鏡測(cè)量二維線紋樣板時(shí)觀察與調(diào)整等輔助工作，成像CCD相機(jī)5的觀察區(qū)域一般大于被測(cè)二維線紋樣板2的測(cè)量線寬的5倍，以方便二維線紋樣板的安裝調(diào)整及測(cè)量時(shí)的粗大誤差數(shù)據(jù)的診斷，本實(shí)施例選觀察區(qū)域?yàn)?00 μ mX 100 μ m。
[0036]所述的測(cè)量單元包括有設(shè)置在第一分光平片4所分出的用于測(cè)量的光路上的第二分光平片6，設(shè)置在所述第二分光平片6分出的垂直光路上的第三分光平片7和設(shè)置在所述第二分光平片6分出的水平光路上的第一可調(diào)諧工作狹縫9，設(shè)置在所述第三分光平片7分出的垂直光路上的分光棱鏡8和設(shè)置在所述第三分光平片7分出的水平光路上的第二可調(diào)諧工作狹縫11，設(shè)置在所述分光棱鏡8分出的垂直光路上的第四可調(diào)諧工作狹15和設(shè)置在所述分光棱鏡8分出的水平光路上的第三可調(diào)諧工作狹縫13，其中，所述的第一可調(diào)諧工作狹縫9的輸出連接第一光電接收器10，所述的第二可調(diào)諧工作狹縫11的輸出連接第二光電接收器12，所述的第三可調(diào)諧工作狹縫13的輸出連接第三光電接收器14，所述的第四可調(diào)諧工作狹15的輸出連接第四光電接收器16。
[0037]如圖2所示，所述的第一可調(diào)諧工作狹縫9、第二可調(diào)諧工作狹縫11、第三可調(diào)諧工作狹縫13和第四可調(diào)諧工作狹15結(jié)構(gòu)相同，包括有非透光板21，分別形成在所述非透光板21上的第一透光狹縫211、第二透光狹縫212、第三透光狹縫213和第四透光狹縫214，其中所述的第一透光狹縫211和第三透光狹縫213以所述非透光板21的中心點(diǎn)為對(duì)稱(chēng)點(diǎn)對(duì)稱(chēng)的設(shè)置在非透光板21的垂直軸線上，所述的第二透光狹縫212和第四透光狹縫214以所述非透光板21的中心點(diǎn)為對(duì)稱(chēng)點(diǎn)對(duì)稱(chēng)的設(shè)置在非透光板21的水平軸線上。
[0038]所述的第一透光狹縫211、第二透光狹縫212、第三透光狹縫213和第四透光狹縫214的寬度為I~20 μ m。該寬度與如圖3所示的被測(cè)二維線紋樣板2的二維線紋刻線的寬度相匹配。
[0039]第一可調(diào)諧工作狹縫9與第三可調(diào)諧工作狹縫13相互匹配用于獲取瞄準(zhǔn)測(cè)量所需要的鐘形波，第二可調(diào)諧工作狹縫11與第四可調(diào)諧工作狹15相互匹配用于獲取瞄準(zhǔn)測(cè)量所需要的鑒向信號(hào)，所述的第一可調(diào)諧工作狹縫9、第二可調(diào)諧工作狹縫11、第三可調(diào)諧工作狹縫13和第四可調(diào)諧工作狹15的空間位置的設(shè)置關(guān)系，要保證第一可調(diào)諧工作狹縫9獲取的鐘形波與第三可調(diào)諧工作狹縫13獲取的鐘形波相交的交點(diǎn)在兩個(gè)鐘形波的波峰值的50%?90%之間。
[0040]本發(fā)明的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡，采用光電鐘形波觸發(fā)及時(shí)域同步鑒別測(cè)量方向的方式，利用光學(xué)成像的方法將測(cè)量的線紋實(shí)像投射在光電接收器的可調(diào)諧工作狹縫上，被測(cè)二維線紋樣板2的二維線紋刻像經(jīng)過(guò)旋轉(zhuǎn)的可調(diào)諧工作狹縫的狹縫。當(dāng)二維線紋刻像與可調(diào)諧工作狹縫的狹縫重合時(shí)通過(guò)狹縫光強(qiáng)最小，這個(gè)過(guò)程形成了動(dòng)態(tài)光電瞄準(zhǔn)的光電鐘形波和鑒向信號(hào)。定義第一光電接收器10、第三光電接收器14測(cè)量方向?yàn)閄軸、第二光電接收器12、第四光電接收器16測(cè)量方向?yàn)閅軸，以此共同組成平面直角坐標(biāo)系，配合二維動(dòng)態(tài)光電顯微鏡，X、Y軸分別由激光干涉儀測(cè)量。
[0041]本發(fā)明的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡測(cè)量時(shí)，照明光投射到被測(cè)二維線紋樣板2通過(guò)光電顯微鏡物鏡3進(jìn)入光電顯微鏡,經(jīng)過(guò)第一分光平片(其分光比為1:9), 10%光強(qiáng)分光到成像CXD相機(jī)5成像用于測(cè)量觀察與調(diào)整，另一部分用于光電瞄準(zhǔn)信號(hào)的獲取。其中第二分光平片6 (其分光比為1:4)和第三分光平片7 (其分光比為1:3)及分光棱鏡8 (其分光比為1:1)將測(cè)量光均勻分成4路。二維線紋的測(cè)量光成像在第一可調(diào)諧工作狹縫9處，四個(gè)可調(diào)諧工作狹縫的空間位置關(guān)系與二維動(dòng)態(tài)光電顯微鏡的測(cè)量速度相關(guān)。第一可調(diào)諧工作狹縫和第三可調(diào)諧工作狹縫相互匹配，第二可調(diào)諧工作狹縫和第四可調(diào)諧工作狹縫相互匹配，用于獲取瞄準(zhǔn)測(cè)量所需要的鐘形波和鑒向信號(hào)。以X軸向測(cè)量為例，當(dāng)被測(cè)二維線紋樣板的線紋實(shí)像動(dòng)態(tài)通過(guò)第一可調(diào)諧工作狹縫時(shí)，如圖4所示，第一光電接收器10得到鐘形波17，通過(guò)第三可調(diào)諧工作狹縫時(shí)，第三光電接收器14得到鐘形波信號(hào)18，如圖5所示，第二光電接收器12得到鑒向信號(hào)19，第四光電接收器16得到鑒向信號(hào)20。從測(cè)量的鐘形波和鑒向信號(hào)的時(shí)序關(guān)系上看，當(dāng)通過(guò)第一組可調(diào)諧工作狹縫(第一可調(diào)諧工作狹縫、第三可調(diào)諧工作狹縫)光強(qiáng)被測(cè)量為鐘形波時(shí)，通過(guò)第二組可調(diào)諧工作狹縫(第二可調(diào)諧工作狹縫、第四可調(diào)諧工作狹縫)光強(qiáng)測(cè)量得到必然是鑒向信號(hào)，反之亦然。測(cè)量方向可以通過(guò)每組的測(cè)量波形信號(hào)的時(shí)序來(lái)判斷(是沿著X (或Y)軸正向(反向)運(yùn)動(dòng))或通過(guò)測(cè)量人自我的設(shè)定。
[0042]以上所述為本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，本發(fā)明不應(yīng)該局限于該實(shí)施例和附圖所公開(kāi)的內(nèi)容。凡是不脫離本發(fā)明所公開(kāi)的精神下完成的等效或修改，都落入本發(fā)明保護(hù)的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡，包括有用于照射被測(cè)二維線紋樣板(2)的照明光源(1)，其特征在于，還設(shè)置有:用于將被測(cè)二維線紋樣板(2)實(shí)像引入測(cè)量系統(tǒng)的光電顯微鏡物鏡(3)，設(shè)置在所述光電顯微鏡物鏡(3)的輸出光路上，用于將該路光分為用于觀察和用于測(cè)量的兩路光的第一分光平片(4)，設(shè)置在第一分光平片(4)所分出的用于觀察的光路上的成像CCD相機(jī)(5)，所述成像CCD相機(jī)(5)接收該路光用于在測(cè)量時(shí)對(duì)被測(cè)二維線紋樣板(2)進(jìn)行觀察與調(diào)整，設(shè)置在第一分光平片(4)所分出的用于測(cè)量的光路上，并將該路光分成用于獲取光電瞄準(zhǔn)信號(hào)的測(cè)量方向?yàn)閄軸的兩路光和測(cè)量方向?yàn)閅軸的兩路光的測(cè)量單J Li ο
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡，其特征在于，所述的成像CCD相機(jī)(5)的觀察區(qū)域大于被測(cè)二維線紋樣板(2)的測(cè)量線寬的5倍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡，其特征在于，所述的照明光源(I)采用冷光源照明。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡，其特征在于，所述的測(cè)量單元包括有設(shè)置在第一分光平片(4)所分出的用于測(cè)量的光路上的第二分光平片(6)，設(shè)置在所述第二分光平片(6)分出的垂直光路上的第三分光平片(7)和設(shè)置在所述第二分光平片(6)分出的水平光路上的第一可調(diào)諧工作狹縫(9)，設(shè)置在所述第三分光平片(7)分出的垂直光路上的分光棱鏡(8)和設(shè)置在所述第三分光平片(7)分出的水平光路上的第二可調(diào)諧工作狹縫(11)，設(shè)置在所述分光棱鏡(8)分出的垂直光路上的第四可調(diào)諧工作狹(15)和設(shè)置在所述分光棱鏡(8)分出的水平光路上的第三可調(diào)諧工作狹縫(13)，其中，所述的第一可調(diào)諧工作狹縫(9)的輸出連接第一光電接收器(10)，所述的第二可調(diào)諧工作狹縫(11)的輸出連接第二光電接收器(12)，所述的第三可調(diào)諧工作狹縫(13)的輸出連接第三光電接收器(14)，所述的第四可調(diào)諧工作狹(15)的輸出連接第四光電接收器(16)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡，其特征在于，所述的第一可調(diào)諧工作狹縫(9)、第二可調(diào)諧工作狹縫(11 )、第三可調(diào)諧工作狹縫(13)和第四可調(diào)諧工作狹(15)結(jié)構(gòu)相同，包括有非透光板(21)，分別形成在所述非透光板(21)上的第一透光狹縫(211)、第二透光狹縫(212)、第三透光狹縫(213)和第四透光狹縫(214)，其中所述的第一透光狹縫(211)和第三透光狹縫(213)以所述非透光板(21)的中心點(diǎn)為對(duì)稱(chēng)點(diǎn)對(duì)稱(chēng)的設(shè)置在非透光板(21)的垂直軸線上，所述的第二透光狹縫(212)和第四透光狹縫(214)以所述非透光板(21)的中心點(diǎn)為對(duì)稱(chēng)點(diǎn)對(duì)稱(chēng)的設(shè)置在非透光板(21)的水平軸線上。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡,其特征在于，所述的第一透光狹縫(211)、第二透光狹縫(212)、第三透光狹縫(213)和第四透光狹縫(214)的寬度為I?20 μ m0
7.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的動(dòng)態(tài)二維光電顯微鏡，其特征在于，第一可調(diào)諧工作狹縫(9)與第三可調(diào)諧工作狹縫(13)相互匹配用于獲取瞄準(zhǔn)測(cè)量所需要的鐘形波，第二可調(diào)諧工作狹縫(11)與第四可調(diào)諧工作狹(15)相互匹配用于獲取瞄準(zhǔn)測(cè)量所需要的鑒向信號(hào)，所述的第一可調(diào)諧工作狹縫(9)、第二可調(diào)諧工作狹縫(11)、第三可調(diào)諧工作狹縫(13)和第四可調(diào)諧工作狹(15)的空間位置的設(shè)置關(guān)系，要保證第一可調(diào)諧工作狹縫(9)獲取的鐘形波與第三可調(diào)諧工作狹縫(13)獲取的鐘形波相交的交點(diǎn)在兩個(gè)鐘形波的波峰值的50%?90%之間。
【文檔編號(hào)】G01B11/00GK103940334SQ201410145044
【公開(kāi)日】2014年7月23日 申請(qǐng)日期:2014年4月8日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月8日
【發(fā)明者】朱振宇, 王霽, 李華豐, 傅星, 李強(qiáng), 梁志國(guó) 申請(qǐng)人:天津大學(xué)