專利名稱:基于多縱模f-p激光器的新型光纖光柵解調(diào)方法及其系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及光纖光柵動態(tài)解調(diào)的方法和裝置,具體涉及一種基于多縱模F-P激光器的新型光纖光柵解調(diào)方法及其系統(tǒng)。
背景技術(shù):
光纖光柵傳感器是近年來研究較多的一種新型傳感器,它以極高的靈敏度、本征安全、抗電磁干擾、高絕緣強度、體積小而著稱。目前限制光纖光柵傳感器應(yīng)用的最主要障礙是傳感信號的解調(diào)成本過高。已有的解調(diào)方法總體可分為兩類:寬譜光源+窄帶濾波器和窄帶可調(diào)諧光源解調(diào)方法。由于窄帶可調(diào)諧光源解調(diào)方法在穩(wěn)定性、可調(diào)諧范圍、調(diào)制難度和價格方面都存在缺點;因此寬譜光源+窄帶濾波器的解調(diào)方法應(yīng)用更為普遍。寬譜光源解調(diào)方法主要有濾波法和干涉法兩種,其中濾波法主要有:線性濾波法、可調(diào)諧F-P濾波器解調(diào)法及匹配光柵解調(diào)法;干涉法主要有Sagnac干涉儀、非平衡Michelson干涉儀及非平衡M-Z干涉儀解調(diào)法。但是,上述解調(diào)方法均存在兩個主要問題:1、采用昂貴的寬譜光源和窄帶濾波器,很大程度上增加了解調(diào)成本;2、窄帶濾波器固有的機電調(diào)制結(jié)構(gòu),使得系統(tǒng)的響應(yīng)速度低,一般在200Hz以下,只適用于低頻信號的檢測。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的不足,提供一種基于多縱模F-P激光器的新型光纖光柵解調(diào)方法及其系統(tǒng),采用低成本的多縱模F-P激光器和DSP信號處理模塊,實現(xiàn)動態(tài)、高速解調(diào)和復(fù)用。本發(fā) 明為解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:基于多縱模F-P激光器的新型光纖光柵解調(diào)方法,包括以下步驟:(1)采用多縱模F-P激光器發(fā)出的激光經(jīng)光纖耦合器進入光纖光柵;(2)通過功率控制單元監(jiān)測多縱模F-P激光器的光功率的波動實時控制多縱模F-P激光器的供給電流的大小,確保多縱模F-P激光器輸出光功率的穩(wěn)定;(3)由光纖光柵輸出的信號,經(jīng)光纖耦合器或光纖傳輸后進入波長匹配的DWDM密集波分復(fù)用器,輸出的光信號經(jīng)過光電探測器接收,轉(zhuǎn)換成電壓信號;(4)步驟(3)獲得的電壓信號經(jīng)前置放大芯片放大后進入A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號,數(shù)字信號通過濾波器進行濾波處理濾除低頻噪聲后再通過DSP芯片進行運算和控制處理獲得解調(diào)信號;(5)步驟(4)獲得的解調(diào)信號通過串口發(fā)送到中央控制與顯示單元進行判斷、操作并提供外設(shè)顯示。 在上述方案中,所述步驟(2)中功率控制單元是一種光功率反饋控制電路,多縱模F-P激光器的輸出光功率,由內(nèi)置背光監(jiān)測用光電探測器或者外置功率監(jiān)測用光電探測器,首先進行光電轉(zhuǎn)換,得到對應(yīng)的電信號經(jīng)由A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器,送入單片機進行運算,并與原值進行比較、判斷;然后通過D/A數(shù)模轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為控制信號,功率控制單元根據(jù)控制信號的波動控制多縱模F-P激光器的供給電流的大小,確保多縱模F-P激光器輸出光功率的穩(wěn)定。根據(jù)上述方法,本發(fā)明還提供了一種基于多縱模F-P激光器的光纖光柵解調(diào)系統(tǒng),包括多縱模F-P激光器、光纖耦合器、光纖光柵、DWDM密集波分復(fù)用器、光電探測器、DSP信號處理模塊、中央控制與顯示單元以及與多縱模F-P激光器相連的功率控制單元,所述多縱模F-P激光器的輸出端與光纖I禹合器的輸入端口 A連接,光纖I禹合器的輸出端口 C與光纖光柵連接,光纖耦合器的輸入端口 B與DWDM密集波分復(fù)用器的輸入端連接組成信號的光通道,DWDM密集波分復(fù)用器的輸出端依次連接光電探測器、DSP信號處理模塊和中央控制與顯示單元,所述功率控制單元置于多縱模F-P激光器的光源控制板上。在上述方案中,所述多縱模F-P激光器選用峰值波長為1545nm,線寬為0.3nm的蝶形F-P半導(dǎo)體激光器,蝶形F-P半導(dǎo)體激光器設(shè)有內(nèi)置光電探測器、熱敏電阻和溫度控制器,內(nèi)置光電探測器采用PN結(jié)型光電二極管,置于F-P激光器內(nèi)部,用于接收背向光信號并轉(zhuǎn)換為電信號,提供電輸出監(jiān)測引腳;熱敏電阻和溫度控制器分別提供溫度監(jiān)測輸出和溫控電流輸入引腳,以上所有引腳與功率控制單元對應(yīng)連接。在上述方案中,所述光纖耦合器采用3dB耦合器或環(huán)形器。在上述方案中,所述光電探測器選用同軸尾纖型PIN光電二極管。在上述方案中,所述DSP信號處理模塊包括前置放大芯片、A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器、濾波器和DSP芯片;所述前置放大芯片用 于將經(jīng)過光電探測器接收的電壓信號進行放大,選用對數(shù)放大器 AD0834 ;所述A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器用于將放大的電壓信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號;所述濾波器用于將上述數(shù)字信號進行濾波處理濾除低頻噪聲;所述DSP芯片是一種高速可編程中央處理器,用于實現(xiàn)對濾波后的數(shù)字信號進行運算和傳輸控制獲得解調(diào)信號。在上述方案中,所述中央控制與顯示單元用于對串口接收的DSP信號處理模塊獲得的解調(diào)信號進行判斷、操作并提供外設(shè)顯示。在上述方案中,所述功率控制單元是一種光功率反饋控制電路,用于根據(jù)監(jiān)測的多縱模F-P激光器的光功率的波動實時控制多縱模F-P激光器的供給電流的大小,確保多縱模F-P激光器輸出光功率的穩(wěn)定。本發(fā)明的工作原理是:多縱模F-P激光器發(fā)出的激光經(jīng)3dB耦合器進入光纖光柵;由光纖光柵反射或透射回3dB耦合器的信號,再經(jīng)光纖傳輸后進入波長匹配的DWDM密集波分復(fù)用器,輸出的光信號經(jīng)過光電探測器接收,轉(zhuǎn)換成電壓信號;電壓信號經(jīng)DSP信號處理模塊處理得到解調(diào)信號,具體細(xì)分為電壓信號先通過前置放大芯片的放大后進入A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器,為了濾除低頻噪聲,通過濾波器進行濾波處理濾除低頻噪聲,再通過DSP處理器進行運算和控制處理獲得解調(diào)信號;解調(diào)信號通過串口發(fā)送到中央控制與顯示單元進行顯示和控制。假設(shè)光纖光柵的反射譜(或透射譜)表示為S(X),線型為高斯分布,DWDM密集波分復(fù)用器的透射譜表示為T ( λ ),若F-P激光器為理想寬譜光源且強度為Itl,則光電探測器接收的光功率為:P= / a ItlSU )TU)cU,式中,α為DWDM密集波分復(fù)用器分束比、光路損耗等因素造成的總衰減,可近似認(rèn)為與波長λ無關(guān)。當(dāng)采用多縱模F-P激光器為光源時,多縱模F-P激光器相鄰的縱模間隔一般在I 3nm (約100 300GHz),縱模半值寬度約為0.5nm。假設(shè)多縱模F-P激光器的單個縱模譜線近似高斯分布,則光電探測器接收的光功率修正為:P= / a 10(A)S(A)T(A)dA ,此時,Ι( ( λ)是波長λ的函數(shù);設(shè)光纖光柵中心波長與多縱模F-P激光器某一縱模波長相匹配,且處于該縱模下降沿,則當(dāng)光纖光柵在外場作用下波長發(fā)生漂移時,輸出光功率將產(chǎn)生對應(yīng)的線性響應(yīng)。因此,只要測量輸出光功率的變化值,即可由公式反推得到光纖光柵中心波長的漂移量,從而得到被測外界參數(shù)的檢測結(jié)果。以被測外界參數(shù)是溫度為例:當(dāng)溫度變化時,光柵輸出波長發(fā)生相應(yīng)變化,引起輸出光功率的線性變化,則測量輸出光功率的變化量即可得到對應(yīng)的溫度變化值。與其他類型的光纖光柵解調(diào)方法相比,本發(fā)明具有以下有益效果:1、米用多縱模F-P激光器作為光源,配合DSP信號處理模塊實現(xiàn)光柵信號的高速動態(tài)解調(diào)和復(fù)用,由于采用線寬窄的多縱模F-P激光器,單位波長對應(yīng)的光功率大大提高,系統(tǒng)成本下降而靈敏度提高;2、適當(dāng)選擇F-P激光器多個縱模分別對應(yīng)的光纖光柵反射波長及線寬,可以方便的實現(xiàn)多光柵復(fù)用解調(diào),進一步降低解調(diào)成本,且不易受電磁干擾,解調(diào)靈敏度也能得到較大提聞;3、采用DSP信號處理模塊,同時無機電結(jié)構(gòu)設(shè)計,可實現(xiàn)幾十KHz的高速、實時測量,滿足大多數(shù)應(yīng)用需求。
圖1是本發(fā)明的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖;圖2是本發(fā)明所采用 的多縱模F-P激光器的輸出光譜示意圖;圖3是多縱模F-P激光器與寬譜光源對比實驗結(jié)果示意圖。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明的技術(shù)方案做進一步詳細(xì)的說明。參照圖1所示,本發(fā)明所述的基于多縱模F-P激光器的光纖光柵解調(diào)系統(tǒng),包括多縱模F-P激光器、光纖耦合器、光纖光柵、DffDM密集波分復(fù)用器、光電探測器、DSP信號處理模塊、中央控制與顯示單元以及與多縱模F-P激光器相連的功率控制單元,所述多縱模F-P激光器的輸出端與光纖I禹合器的輸入端口 A連接,光纖f禹合器的輸出端口 C與光纖光柵連接,光纖耦合器的輸入端口 B與DWDM密集波分復(fù)用器的輸入端連接組成信號的光通道,DWDM密集波分復(fù)用器的輸出端依次連接光電探測器、DSP信號處理模塊和中央控制與顯示單元,所述功率控制單元置于多縱模F-P激光器的光源控制板上。所述多縱模F-P激光器選用峰值波長為1545nm,線寬為0.3nm的蝶形F-P半導(dǎo)體激光器,蝶形F-P半導(dǎo)體激光器設(shè)有內(nèi)置光電探測器、熱敏電阻和溫度控制器,內(nèi)置光電探測器采用PN結(jié)型光電二極管,置于F-P激光器內(nèi)部,用于接收背向光信號并轉(zhuǎn)換為電信號,提供電輸出監(jiān)測引腳;熱敏電阻和溫度控制器分別提供溫度監(jiān)測輸出和溫控電流輸入引腳,以上所有引腳與功率控制單元對應(yīng)連接。
所述光纖耦合器采用3dB耦合器或環(huán)形器。所述光纖光柵米用光纖布拉格光柵FBG。所述光電探測器選用同軸尾纖型PIN光電二極管。所述DSP信號處理模塊包括前置放大芯片、A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器、濾波器和DSP芯片;所述前置放大芯片用于將經(jīng)過光電探測器接收的電壓信號進行放大,選用對數(shù)放大器 AD0834 ;所述A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器用于將放大的電壓信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號,是一種將模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號的通用器件,選用美國ADI公司的AD7708芯片;所述濾波器用于將上述數(shù)字信號進行濾波處理濾除低頻噪聲;所述DSP芯片是一種高速可編程中央處理器,用于實現(xiàn)對濾波后的數(shù)字信號進行運算和傳輸控制獲得解調(diào)信號,DSP芯片采用TI的TMS320F2812芯片,可并發(fā)同時采樣兩個通道,每個通道有6個12位A/D轉(zhuǎn)換模塊。所述中央控制與顯示單元用于對串口接收的DSP信號處理模塊獲得的解調(diào)信號進行判斷、操作并提供外設(shè)顯示。所述功率控制單元是一種光功率反饋控制電路,用于根據(jù)監(jiān)測的多縱模F-P激光器的光功率的波動實時控制多縱模F-P激光器的供給電流的大小,確保多縱模F-P激光器輸出光功率的穩(wěn)定。本發(fā)明基于多縱模F-P激光器的新型光纖光柵解調(diào)系統(tǒng)進行解調(diào)的方法如下:
(I)多縱模F-P激光器發(fā)出的激光經(jīng)3dB耦合器進入光纖光柵;(2)通過功率控制單元監(jiān)測多縱模F-P激光器的光功率的波動實時控制多縱模F-P激光器的供給電流的大小,確保多縱模F-P激光器輸出光功率的穩(wěn)定,具體工作過程如下:多縱模F-P激光器的輸出光功率,由內(nèi)置背光監(jiān)測用光電探測器或者外置功率監(jiān)測用光電探測器,首先進行光電轉(zhuǎn)換,得到對應(yīng)的電信號經(jīng)由A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器,送入單片機進行運算,并與原值進行比較、判斷;然后通過D/A數(shù)模轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為控制信號,功率控制單元根據(jù)控制信號的波動控制多縱模F-P激光器的供給電流的大小,確保多縱模F-P激光器輸出光功率的穩(wěn)定;(3)由光纖光柵反射(或透射)的信號,經(jīng)3dB耦合器或經(jīng)光纖傳輸后進入波長匹配的DWDM密集波分復(fù)用器,輸出的光信號經(jīng)過光電探測器接收,轉(zhuǎn)換成電壓信號;(4)電壓信號經(jīng)DSP信號處理模塊處理得到解調(diào)信號,具體細(xì)分為電壓信號先通過前置放大芯片的放大后進入A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號,為了濾除低頻噪聲,數(shù)字信號通過濾波器進行濾波處理濾除低頻噪聲,再通過DSP芯片進行運算和控制處理獲得解調(diào)信號;(5)解調(diào)信號通過串口發(fā)送到中央控制與顯示單元進行判斷、操作并提供外設(shè)顯
/Jn ο假設(shè)光纖光柵的反射譜(或透射譜)表示為S(X),線型為高斯分布,DWDM密集波分復(fù)用器的透射譜表示為T ( λ ),若F-P激光器為理想寬譜光源且強度為Itl,則光電探測器接收的光功率為:P= / a ItlSU )TU)cU,式中,α為DWDM密集波分復(fù)用器分束比、光路損耗等因素造成的總衰減,可近似認(rèn)為與波長λ無關(guān)。當(dāng)采用多縱模F-P激光器為光源時,多縱模F-P激光器的輸出光譜如圖2所示,多縱模F-P激光器相鄰的縱模間隔一般在I 3nm (約100 300GHz),縱模半值寬度約為
0.5nm。假設(shè)多縱模F-P激光器的單個縱模譜線近似高斯分布,則光電探測器接收的光功率修正為:P=/ a Itl(A)SU )Τ( λ )cU,此時,Itl(A)是波長λ的函數(shù);設(shè)光纖光柵中心波長與多縱模F-P激光器某一縱模波長相匹配,且處于該縱模下降沿,則當(dāng)光纖光柵在外場作用下波長發(fā)生漂移時,輸出光功率將相應(yīng)產(chǎn)生線性響應(yīng)。因此,只要測量輸出光功率的變化值,即可由公式反推得到光纖光柵中心波長的漂移量,從而得到被測外界參數(shù)的檢測結(jié)果O溫度實驗時,每隔2°C測量一組數(shù)據(jù),為比較采用多縱模F-P光源和寬譜光源系統(tǒng)解調(diào)特性,分別使用多縱模F-P激光器和寬譜光源進行測量,對比的原始數(shù)據(jù)擬合曲線如圖3所示。由圖3的實驗結(jié)果顯示,采用多縱模F-P激光器作為光源的解調(diào)系統(tǒng),檢測強度的衰減比寬譜光源的測試結(jié)果要快得多,系統(tǒng)的靈敏度得到很大提高,與理論分析一致??紤]前置放大芯片(對數(shù)放大器)的最小分辨光功率為100pw,A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器的最小分辨電壓為80mV,可得到采用多縱模F-P激光器后,系統(tǒng)波長解調(diào)最小分辨率約為0.04pm,相比之下采用寬譜光源的最小分辨率約為0.16pm。另外,由于光源譜線窄,系統(tǒng)在靈敏度提高的同時伴隨著測量范圍變窄的問題,根據(jù)現(xiàn)有工藝水平,目前多縱模F-P激光器系統(tǒng)的動態(tài)測量范圍約為lnm,對應(yīng)的溫度測量范圍約為80°C,比采用寬譜光源的測量方法范圍窄,因此比較適合靈敏度要求高而動態(tài)范圍窄的場合使用。 以上所述的僅為本發(fā)明的較佳實施例而已,當(dāng)然不能以此來限定本發(fā)明之權(quán)利范圍,因此采用與本例相同或相近方法,或依本發(fā)明申請專利范圍所作的等效變化,仍屬本發(fā)明的保護范圍。
權(quán)利要求
1.基于多縱模F-P激光器的新型光纖光柵解調(diào)方法,其特征在于,包括以下步驟: (1)采用多縱模F-P激光器發(fā)出的激光經(jīng)光纖耦合器進入光纖光柵; (2)通過功率控制單元監(jiān)測多縱模F-P激光器的光功率的波動實時控制多縱模F-P激光器的供給電流的大小,確保多縱模F-P激光器輸出光功率的穩(wěn)定; (3)由光纖光柵反射或透射的信號,經(jīng)光纖耦合器或光纖傳輸后進入波長匹配的DWDM密集波分復(fù)用器,輸出的光信號經(jīng)過光電探測器接收,轉(zhuǎn)換成電壓信號; (4)步驟(3)獲得的電壓信號經(jīng)前置放大芯片放大后進入A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號,數(shù)字信號通過濾波器進行濾波處理濾除低頻噪聲后再通過DSP芯片進行運算和控制處理獲得解調(diào)信號; (5)步驟(4)獲得的解調(diào)信號通過串口發(fā)送到中央控制與顯示單元進行判斷、操作并提供外設(shè)顯示。
2.如權(quán)利要求1所述的基于多縱模F-P激光器的新型光纖光柵解調(diào)方法,其特征在于,所述步驟(2)中功率控制單元是一種光功率反饋控制電路,多縱模F-P激光器的輸出光功率,由內(nèi)置背光監(jiān)測用光電探測器或者外置功率監(jiān)測用光電探測器,首先進行光電轉(zhuǎn)換,得到對應(yīng)的電信號經(jīng)由A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器,送入單片機進行運算,并與原值進行比較、判斷;然后通過D/A數(shù)模轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為控制信號,功率控制單元根據(jù)控制信號的波動控制多縱模F-P激光器的供給電流的大小,確保多縱模F-P激光器輸出光功率的穩(wěn)定。
3.一種基于多縱模F-P激光器的光纖光柵解調(diào)系統(tǒng),其特征在于,包括多縱模F-P激光器、光纖耦合器、光纖光柵、DffDM密集波分復(fù)用器、光電探測器、DSP信號處理模塊、中央控制與顯示單元以及與多縱模F-P激光器相連的功率控制單元,所述多縱模F-P激光器的輸出端與光纖耦合器的輸入端口 A連接,光纖耦合器的輸出端口 C與光纖光柵連接,光纖耦合器的輸入端口 B與DWDM密集波分復(fù)用器的輸入端連接組成信號的光通道,DWDM密集波分復(fù)用器的輸出端依次連接光電探測器、DSP信號處理模塊和中央控制與顯示單元,所述功率控制單元置于多縱模F-P激光器的光源控制板上。
4.如權(quán)利要求3所述的基于多縱模F-P激光器的光纖光柵解調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述多縱模F-P激光器選用峰值波長為1545nm,線寬為0.3nm的蝶形F-P半導(dǎo)體激光器,蝶形F-P半導(dǎo)體激光器設(shè)有內(nèi)置光電探測器、熱敏電阻和溫度控制器,內(nèi)置光電探測器的引腳、熱敏電阻的引腳和溫度控制器的引腳與功率控制單元對應(yīng)連接。
5.如權(quán)利要求3所述的基于多縱模F-P激光器的光纖光柵解調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述光纖耦合器采用3dB耦合器或環(huán)形器。
6.如權(quán)利要求3所述的基于多縱模F-P激光器的光纖光柵解調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述光電探測器選用同軸尾纖型PIN光電二極管。
7.如權(quán)利要求3所述的基于多縱模F-P激光器的光纖光柵解調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述DSP信號處理模塊包括前置放大芯片、A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器、濾波器和DSP芯片; 所述前置放大芯片用于將經(jīng)過光電探測器接收的電壓信號進行放大,選用對數(shù)放大器AD0834 ; 所述A/D模數(shù)轉(zhuǎn)換器用于將放大的電壓信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號; 所述濾波器用于將上述數(shù)字信號進行濾波處理濾除低頻噪聲; 所述DSP芯片是一種高速可編程中央處理器,用于實現(xiàn)對濾波后的數(shù)字信號進行運算和傳輸控制獲得解調(diào)信號。
8.如權(quán)利要求3所述的基于多縱模F-P激光器的光纖光柵解調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述中央控制與顯示單元用于對串口接收的DSP信號處理模塊獲得的解調(diào)信號進行判斷、操作并提供外設(shè)顯示。
9.如權(quán)利要求3所述的基于多縱模F-P激光器的光纖光柵解調(diào)系統(tǒng),其特征在于,所述功率控制單元是一種光功率反饋控制電路,用于根據(jù)監(jiān)測的多縱模F-P激光器的光功率的波動實時控制多縱模F-P激光器的供給電流的大小,確保多縱模F-P激光器輸出光功率的 穩(wěn)定。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種基于多縱模F-P激光器的光纖光柵解調(diào)方法及其系統(tǒng),系統(tǒng)包括多縱模F-P激光器、光纖耦合器、光纖光柵、DWDM密集波分復(fù)用器、光電探測器、DSP信號處理模塊、中央控制與顯示單元以及與多縱模F-P激光器相連的功率控制單元,多縱模F-P激光器發(fā)出的激光經(jīng)光纖耦合器進入光纖光柵;光纖光柵輸出的信號,經(jīng)光纖傳輸后進入波長匹配的DWDM密集波分復(fù)用器,輸出的光信號經(jīng)過光電探測器接收,轉(zhuǎn)換成電壓信號;電壓信號經(jīng)DSP信號處理模塊運算和控制處理獲得解調(diào)信號;解調(diào)信號通過串口發(fā)送到中央控制與顯示單元進行判斷、操作并提供外設(shè)顯示。本發(fā)明的有益效果采用多縱模F-P激光器配合DSP信號處理模塊實現(xiàn)光柵信號的高速動態(tài)解調(diào)和復(fù)用,降低解調(diào)成本。
文檔編號G01D5/26GK103245369SQ20131009467
公開日2013年8月14日 申請日期2013年3月22日 優(yōu)先權(quán)日2013年3月22日
發(fā)明者黎敏, 舒卓, 郭晶晶, 鄭光輝, 李玉林 申請人:黎敏