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自適應(yīng)共光路光柵干涉儀及其實(shí)現(xiàn)方法
【專利摘要】一種自適應(yīng)共光路光柵干涉儀，包括：相對(duì)運(yùn)動(dòng)的光柵尺、角錐棱鏡、反射鏡、透反鏡、位敏探測(cè)器、偏振分束器、線偏振光源、用于驅(qū)動(dòng)上述鏡子的PZT微位移驅(qū)動(dòng)器、數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元、偏振相移干涉光電探測(cè)單元或雙頻外差干涉光電探測(cè)單元。本發(fā)明采用基于衍射光點(diǎn)位置反饋控制角錐棱鏡或反射鏡的自適應(yīng)方法，來保證動(dòng)態(tài)光柵干涉儀的完全共光路特性，從而消除光柵尺體相對(duì)運(yùn)動(dòng)誤差的光路影響，進(jìn)而獲得高精度和分辨率。
【專利說明】自適應(yīng)共光路光柵干涉儀及其實(shí)現(xiàn)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及光學(xué)測(cè)量?jī)x器，特別是一種自適應(yīng)共光路光柵干涉儀及其實(shí)現(xiàn)方法。

【背景技術(shù)】
[0002] 光柵干涉儀是高精度光柵尺測(cè)量系統(tǒng)（柵距一般小于10微米）的核心，決定了其 精度和分辨率。高精度光柵尺測(cè)量系統(tǒng)由光柵尺體、安裝夾具、基于光柵干涉儀的讀數(shù)頭及 信號(hào)控制器和顯示器組成，其功能是進(jìn)行高精度位移量的測(cè)量。廣泛應(yīng)用于機(jī)床加工控制、 晶片處理和切割、集成電路光刻設(shè)備、半導(dǎo)體檢測(cè)、機(jī)器人系統(tǒng)、航空航天、科學(xué)研究、軍事 等領(lǐng)域。
[0003] 高精度光柵尺測(cè)量系統(tǒng)不僅是現(xiàn)代最基礎(chǔ)的自動(dòng)化量?jī)x之一，而且是現(xiàn)代加工和 生產(chǎn)及科學(xué)研究中高精度、高品質(zhì)的重要保證手段之一。尤其是20nm/14nm集成電路光刻 設(shè)備、納米/亞納米科學(xué)研究、航空航天、科學(xué)研究、軍事等領(lǐng)域，對(duì)高精度光柵尺測(cè)量系統(tǒng) 提出了更高精度和分辨率的需求。
[0004] 相對(duì)于高精度激光干涉儀而言，盡管基于光柵干涉儀的光柵尺測(cè)量系統(tǒng)具有對(duì)環(huán) 境不敏感的優(yōu)點(diǎn)，但由于光柵尺測(cè)量系統(tǒng)的讀數(shù)頭與光柵尺體之間運(yùn)動(dòng)誤差的影響，尚難 以達(dá)到同樣高精度和分辨率。
[0005] 日本佳能提出US5038032、US5146085、US4912320等專利、美國(guó)IBM提出了專利 US5442172,都試圖解決上述運(yùn)動(dòng)誤差影響問題，美國(guó)ZYG0亦申請(qǐng)了不少新穎的光柵干涉 儀專利，如舊830023382，舊019482441，舊011406認(rèn)1，以獲得更高精度和分辨率。但是以 上述為代表的技術(shù)方案皆存在以下問題：未采用真正的完全共光路干涉儀設(shè)計(jì)。因此，無法 消除上述運(yùn)動(dòng)誤差的光路影響，只能對(duì)其影響有所緩解。進(jìn)一步，臺(tái)灣淡江大學(xué)的mi提出 一種準(zhǔn)共光路的光柵干涉儀【Sensors and Actuators A:Physical, 193:69-78, 2013】獲得 較好的性能。由此證明，采用共光路設(shè)計(jì)光柵干涉儀是消除上述運(yùn)動(dòng)誤差影響，獲得高精度 和分辨率的有效方式。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 本發(fā)明的目的，是在以往技術(shù)方案和研究成果之上，提出一種完全共光路光柵干 涉儀，進(jìn)一步采用自適應(yīng)方法來實(shí)現(xiàn)其動(dòng)態(tài)共光路，達(dá)到消除上述運(yùn)動(dòng)誤差的影響，從而獲 得更高精度和分辨率。
[0007] 本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下：
[0008] -種自適應(yīng)共光路光柵干涉儀，其特征在于：包括：相對(duì)運(yùn)動(dòng)的光柵尺、角錐棱 鏡、反射鏡、透反鏡、位敏探測(cè)器、第一偏振分束器、線偏振光源、用于驅(qū)動(dòng)上述鏡子的PZT 微位移驅(qū)動(dòng)器、數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元、干涉光電探測(cè)單元，
[0009] ①線偏振光源所發(fā)出偏振光束經(jīng)第一偏振分束器分為透射的S光和反射的P光， 所述的P光經(jīng)所述的反射鏡反射后經(jīng)相對(duì)運(yùn)動(dòng)光柵尺衍射后的±m(xù)(m> = 1)級(jí)衍射光入射 角錐棱鏡，所述的S光經(jīng)所述的透反鏡反射后經(jīng)相對(duì)運(yùn)動(dòng)光柵尺衍射后的土m(m> = 1)級(jí) 衍射光入射角錐棱鏡，所述的P光、S光經(jīng)角錐棱鏡反射輸出分別進(jìn)入對(duì)方光路，并產(chǎn)生分 別為±2m倍多普勒頻移，最終兩束光路產(chǎn)生4m倍多普勒頻移差，并在所述的第一偏振分束 器處同方向正交偏振態(tài)出射，形成完全共光路，該完全共光路入射所述的干涉光電探測(cè)單 元，該干涉光電探測(cè)單元的輸出端接所述的數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元的輸入端，
[0010] ②所述的位敏探測(cè)器在所述的透反鏡的反向透射光方向設(shè)置，探測(cè)光柵尺衍射光 線的光點(diǎn)變化，該位敏探測(cè)器的輸出端接所述的數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元的輸入端，所 述的數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元的輸出端接所述的PZT微位移驅(qū)動(dòng)器的控制端，PZT微位 移驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)反射鏡或角錐棱鏡以改變?nèi)肷浜统錾涔饩€的方位。
[0011] 所述的干涉光電探測(cè)單元為偏振相移干涉光電探測(cè)單元或雙頻外差干涉光電探 測(cè)單元。
[0012] 所述的偏振相移干涉光電探測(cè)單兀由四分之一波片、非偏振分束器、第二偏振分 束器、第三偏振分束器及第一探測(cè)器、第二探測(cè)器、第三探測(cè)器、第四探測(cè)器組成。
[0013] 所述的雙頻外差干涉光電探測(cè)單元由第一偏振分束器、非偏振分束器、處正交偏 振45度放置的第一檢偏器及對(duì)應(yīng)的第五探測(cè)器、處正交偏振45度放置的第二檢偏器及對(duì) 應(yīng)的第六探測(cè)器組成。
[0014] 所述的線偏振光源是發(fā)光二極管、激光二極管、固體的光源或氣體光源；單頻的激 光器或雙頻正交偏振的激光器。
[0015] 所述的PZT微位移驅(qū)動(dòng)器亦可以由MEMS的或靜電的，或是平面微電機(jī)替代。
[0016] 所述的光柵尺是普通光柵尺或閃耀光柵尺，所述的光柵尺是反射型的光柵尺或是 透射型的光柵尺。
[0017] 所述的位敏探測(cè)器為PSD或是探測(cè)器陣列、或是CCD探測(cè)器、或是CMOS。
[0018] 所述的角錐棱鏡或?yàn)橹苯抢忡R、或是反射鏡拼裝角鏡。
[0019] 所述的數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元由數(shù)據(jù)采集卡和運(yùn)動(dòng)控制卡及工業(yè)計(jì)算機(jī)組 成。
[0020] 所述的自適應(yīng)共光路光柵干涉儀的自適應(yīng)實(shí)現(xiàn)方法，其特點(diǎn)在于該方法包括如下 步驟：
[0021] ①初始化：靜態(tài)調(diào)整好的光柵干涉儀至完全共光路狀態(tài)，光柵尺無運(yùn)動(dòng)，所述的數(shù) 據(jù)采集和處理及控制單元采集位敏探測(cè)器上光柵尺衍射光線的光點(diǎn)位置作為目標(biāo)參考位 置，并設(shè)定與目標(biāo)參考位置差的閾值；
[0022] ②工作時(shí)，所述數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元采集位敏探測(cè)器上光柵尺衍射光線的 光點(diǎn)位置，并計(jì)算該光點(diǎn)位置與所述的目標(biāo)參考位置的差值；若該位置差值小于等于所設(shè) 定的閾值，則轉(zhuǎn)入步驟④；若該位置差值大于所設(shè)定的閾值，則轉(zhuǎn)入步驟③；
[0023] ③所述的數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元實(shí)時(shí)地將所述位置差值反饋至所述的PZT 微位移驅(qū)動(dòng)器，驅(qū)動(dòng)反射鏡或角錐棱鏡移動(dòng)，將光點(diǎn)調(diào)至無運(yùn)動(dòng)時(shí)完全共光路情形的目標(biāo) 參考位置，轉(zhuǎn)入步驟②；
[0024] ④所述的數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元同步采集所述的干涉光電探測(cè)單元的數(shù)據(jù)， 計(jì)算相應(yīng)光柵尺相對(duì)位移量，并在所述的數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元輸出端輸出。
[0025] 本發(fā)明的技術(shù)效果：
[0026] 本發(fā)明采用自適應(yīng)方法來實(shí)現(xiàn)光柵干涉儀動(dòng)態(tài)共光路，可以消除光柵尺運(yùn)動(dòng)誤差 的影響，從而獲得更高精度和分辨率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027] 圖1為采用單個(gè)三維PZT微位移器件驅(qū)動(dòng)反射鏡實(shí)現(xiàn)自適應(yīng)共光路光柵干涉儀的 實(shí)施例光路圖。
[0028] 圖2為采用兩個(gè)三維PZT微位移器件分別驅(qū)動(dòng)兩個(gè)透反鏡實(shí)現(xiàn)自適應(yīng)共光路光柵 干涉儀的實(shí)施例光路圖。
[0029] 圖3為采用單個(gè)三維PZT微位移器件驅(qū)動(dòng)角錐棱鏡實(shí)現(xiàn)自適應(yīng)共光路光柵干涉儀 的實(shí)施例光路圖。
[0030] 圖4為在圖3中采用雙頻外差干涉術(shù)的實(shí)施例光路圖。

【具體實(shí)施方式】
[0031] 下面結(jié)合實(shí)施例和附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明，但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護(hù)范 圍。
[0032] 1、實(shí)施例1。如圖1。
[0033] 激光器8發(fā)出線偏振光，經(jīng)第一偏振分束器7分成P光和S光，分別通過反射鏡 3和透反鏡4入射衍射光柵1，由衍射光柵1衍射后（設(shè)為±1級(jí)光）的兩路衍射光方向 與衍射光柵1垂直，且經(jīng)角錐棱鏡2反射后，P光和S光分別進(jìn)入各自對(duì)方光路（S光和P 光），形成完全共光路，再經(jīng)第一偏振分束器7出射為正交的線偏光，進(jìn)入虛線框內(nèi)的由非 偏振分束器10、四分之一波片9、第二偏振分束器12、第三偏振分束器15及第一探測(cè)器11、 第二探測(cè)器13、第三探測(cè)器14、第四探測(cè)器16組成的偏振相移干涉光電探測(cè)單元（以下簡(jiǎn) 稱A)，形成四路相移90°的探測(cè)信號(hào)，進(jìn)而通過數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元由相移干涉術(shù) (Optical Shop Testing[M]，John Wiley&Sons, 2007, Chapterl4, p547)計(jì)算出衍射光柵 1 的 位置對(duì)應(yīng)的相位信息，最后換算成相應(yīng)位移信息并予以輸出。
[0034] 上述方案具有光學(xué)4細(xì)分特征，且熱不靈敏。具有一定的抗轉(zhuǎn)動(dòng)（yaw)、滾動(dòng) (roll)、平移（stand off)、側(cè)移（offset)的能力，但對(duì)于追求更高精度和分辨率而言，仍將 有限。
[0035] 為了更好地消除光柵尺所有運(yùn)動(dòng)誤差的影響，采用如下方法：在透反鏡4處泄露 一定量的S光，運(yùn)用位敏探測(cè)器6進(jìn)行光點(diǎn)位置實(shí)時(shí)探測(cè)；而在反射鏡3處，將反射鏡3由三 維PZT微位移器件5驅(qū)動(dòng)。當(dāng)衍射光柵尺1移動(dòng)時(shí)，若存在運(yùn)動(dòng)誤差，則將導(dǎo)致衍射光線移 動(dòng)，劣化共光路特征，引起位敏探測(cè)器6上的光點(diǎn)移動(dòng)。數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元17 (以 下圖中簡(jiǎn)稱B)將該移動(dòng)量反饋至反射鏡3處的三維PZT微位移器件，動(dòng)態(tài)驅(qū)動(dòng)之，使引起 位敏探測(cè)器6上的光點(diǎn)回到共光路光點(diǎn)處（實(shí)際處理為小于與目標(biāo)參考位置差值閾值，即 光點(diǎn)移動(dòng)量閾值即可）。數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元17同步采集上述的偏振相移干涉光電 探測(cè)單元的數(shù)據(jù)，計(jì)算相應(yīng)光柵尺相對(duì)位移量，并在數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元17輸出端 輸出。由此，可以保證獲得一個(gè)自適應(yīng)的動(dòng)態(tài)共光路光柵干涉儀，消除光柵尺所有運(yùn)動(dòng)誤 差的影響。因此可實(shí)現(xiàn)更高精度和分辨率。上述方案中，數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元17由 數(shù)據(jù)采集卡和運(yùn)動(dòng)控制卡及工業(yè)計(jì)算機(jī)組成。
[0036] 2、實(shí)施例2。如圖2。
[0037] 與圖1不同的是，分別采用兩個(gè)位敏探測(cè)器6-1(即原圖1中之6)和6-2,作為光 點(diǎn)移動(dòng)位敏探測(cè)反饋。而分別采用兩個(gè)三維PZT微位移器件驅(qū)動(dòng)透反鏡4和3(原圖1中 反射鏡3改為透反鏡）進(jìn)行自適應(yīng)光路共光路控制。圖中A為圖1中的虛線框內(nèi)的偏振相 移干涉光電探測(cè)單元，B則為圖1中數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元17。圖中，PZT微位移器件 控制線未標(biāo)出。
[0038] 3、實(shí)施例3。如圖3。
[0039] 分別采用兩個(gè)位敏探測(cè)器6-1 (即原圖1中之6)和6-2作為光點(diǎn)移動(dòng)位敏探測(cè)反 饋。透反鏡4和透反鏡3(原圖1中反射鏡3改為透反鏡）固定不動(dòng)。一個(gè)三維的PZT微 位移器件5驅(qū)動(dòng)角錐棱鏡2進(jìn)行自適應(yīng)光路共光路控制。圖中A為圖1中的虛線框內(nèi)的偏 振相移干涉光電探測(cè)單元，B則為數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元17。圖中，PZT微位移器件控 制線未標(biāo)出。
[0040] 4、實(shí)施例4。如圖4。
[0041] 若采用雙頻正交偏振的激光器做光源，則相應(yīng)的光電信號(hào)探測(cè)和處理采用雙頻外 差干涉術(shù)替代上述偏振相移干涉術(shù)。以圖3為例作修改，其他上述案例皆可以此作相應(yīng)改 變。
[0042] 雙頻正交偏振的激光器8發(fā)出線偏振光，由非偏振分束器18分成兩束光，一束作 為參考光通過處正交偏振45度放置的檢偏器19為探測(cè)器22接收；另一束經(jīng)第一偏振分束 器7分成P光和S光，分別通過透反鏡4和透反鏡3 (原圖1中反射鏡3改為透反鏡）入射 衍射光柵1，由衍射光柵尺1衍射后（設(shè)為±1級(jí)光）的兩路衍射光方向與1衍射光柵垂 直，且經(jīng)角錐棱鏡2反射后，P光和S光分別進(jìn)入各自對(duì)方光路（S光和P光），形成完全共 光路，再經(jīng)第一偏振分束器7出射為正交的線偏光，通過處正交偏振45度放置的檢偏器20 為探測(cè)器21接收。兩路光電信號(hào)輸入數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元B，進(jìn)而由雙頻外差干涉 術(shù)（Optical Shop Testing[M], John Wiley&Sons, 2007, Chapterl4，p640)計(jì)算出衍射光柵 尺1的位置對(duì)應(yīng)的相位信息，最后換算成相應(yīng)位移信息并輸出。相應(yīng)的自適應(yīng)光路共光路 控制同案例3。圖中，PZT微位移器件控制線未標(biāo)出。由非偏振分束器18、第一偏振分束器 7、處正交偏振45度放置的第一檢偏器19及對(duì)應(yīng)的第五探測(cè)器22、處正交偏振45度放置的 第二檢偏器20及對(duì)應(yīng)的第六探測(cè)器21構(gòu)成雙頻外差干涉光電探測(cè)單元。數(shù)據(jù)采集和處理 及控制單元B由數(shù)據(jù)采集卡和運(yùn)動(dòng)控制卡及工業(yè)計(jì)算機(jī)組成。
[〇〇43] 上述案例中，光柵尺亦可以是透射型的；透射型使用時(shí)，角錐棱鏡相對(duì)于反射型光 柵尺作鏡像放置，反射型光柵尺亦由透射型光柵尺替代。
【權(quán)利要求】
1. 一種自適應(yīng)共光路光柵干涉儀，包括：相對(duì)運(yùn)動(dòng)的光柵尺（1)、角錐棱鏡（2)、反射鏡 (3)、透反鏡（4)、位敏探測(cè)器（6)、第一偏振分束器（7)、線偏振光源（8)、用于驅(qū)動(dòng)上述鏡子 的PZT微位移驅(qū)動(dòng)器、數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元、干涉光電探測(cè)單元，其特征在于： ① 線偏振光源（8)所發(fā)出偏振光束經(jīng)第一偏振分束器（7)分為透射的S光和反射的P 光，所述的P光經(jīng)所述的反射鏡（3)反射后經(jīng)相對(duì)運(yùn)動(dòng)光柵尺（1)衍射后的土m(m> = 1) 級(jí)衍射光入射角錐棱鏡（2)，所述的S光經(jīng)所述的透反鏡（4)反射后經(jīng)相對(duì)運(yùn)動(dòng)光柵尺（1) 衍射后的±m(xù)(m> = 1)級(jí)衍射光入射角錐棱鏡（2)，所述的P光、S光經(jīng)角錐棱鏡（2)反射 輸出分別進(jìn)入對(duì)方光路，并產(chǎn)生分別為±2m倍多普勒頻移，最終兩束光路產(chǎn)生4m倍多普勒 頻移差，并在所述的第一偏振分束器（7)處同方向正交偏振態(tài)出射，形成完全共光路，該完 全共光路入射所述的干涉光電探測(cè)單元，該干涉光電探測(cè)單元的輸出端接所述的數(shù)據(jù)采集 和處理及控制單元的輸入端， ② 所述的位敏探測(cè)器（6)在所述的透反鏡（4)的反向透射光方向設(shè)置，探測(cè)光柵尺衍 射光線的光點(diǎn)變化，該位敏探測(cè)器￠)的輸出端接所述的數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元的輸 入端，所述的數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元的輸出端接所述的PZT微位移驅(qū)動(dòng)器的控制端， PZT微位移驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)反射鏡或角錐棱鏡以改變?nèi)肷浜统錾涔饩€的方位。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的自適應(yīng)共光路光柵干涉儀，其特征在于所述的干涉光電探測(cè) 單元為偏振相移干涉光電探測(cè)單元或雙頻外差干涉光電探測(cè)單元。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的自適應(yīng)共光路光柵干涉儀，其特征在于所述的偏振相移干涉 光電探測(cè)單元由四分之一波片（9)、非偏振分束器（10)、第二偏振分束器（12)、第三偏振分 束器（15)及第一探測(cè)器（11)、第二探測(cè)器（13)、第三探測(cè)器（14)、第四探測(cè)器（16)組成。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的自適應(yīng)共光路光柵干涉儀，其特征在于所述的雙頻外差干涉 光電探測(cè)單兀由第一偏振分束器（7)、非偏振分束器（18)、處正交偏振45度放置的第一檢 偏器（19)及對(duì)應(yīng)的第五探測(cè)器（22)、處正交偏振45度放置的第二檢偏器（20)及對(duì)應(yīng)的第 六探測(cè)器（21)組成。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的自適應(yīng)共光路光柵干涉儀，其特征在于所述的線偏振光源 是發(fā)光二極管、激光二極管、固體的光源或氣體光源；單頻的激光器或雙頻正交偏振的激光 器。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的自適應(yīng)共光路光柵干涉儀，其特征在于所述的PZT微位移驅(qū) 動(dòng)器亦可以由MEMS的或靜電的，或是平面微電機(jī)替代。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的自適應(yīng)共光路光柵干涉儀，其特征在于所述的光柵尺是普通 光柵尺或閃耀光柵尺，所述的光柵尺是反射型的光柵尺或是透射型的光柵尺。
8. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的自適應(yīng)共光路光柵干涉儀，其特征在于所述的位敏探測(cè)器為 PSD或是探測(cè)器陣列、或是(XD探測(cè)器、或是CMOS。
9. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的自適應(yīng)共光路光柵干涉儀，其特征在于所述的角錐棱鏡或?yàn)?直角棱鏡、或是反射鏡拼裝角鏡。
10. 根據(jù)權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的自適應(yīng)共光路光柵干涉儀，其特征在于所述的數(shù) 據(jù)采集和處理及控制單元由數(shù)據(jù)采集卡和運(yùn)動(dòng)控制卡及工業(yè)計(jì)算機(jī)組成。
11. 權(quán)利要求1所述的自適應(yīng)共光路光柵干涉儀的自適應(yīng)實(shí)現(xiàn)方法，其特征在于該方 法包括如下步驟： ① 初始化：靜態(tài)調(diào)整好的光柵干涉儀至完全共光路狀態(tài)，光柵尺（1)無運(yùn)動(dòng)，所述的數(shù) 據(jù)采集和處理及控制單元采集位敏探測(cè)器（6)上光柵尺（1)衍射光線的光點(diǎn)位置作為目標(biāo) 參考位置，并設(shè)定與目標(biāo)參考位置差的閾值； ② 工作時(shí)，所述數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元采集位敏探測(cè)器（6)上光柵尺衍射光線的 光點(diǎn)位置，并計(jì)算該光點(diǎn)位置與所述的目標(biāo)參考位置的差值；若該位置差值小于等于所設(shè) 定的閾值，則轉(zhuǎn)入步驟④；若該位置差值大于所設(shè)定的閾值，則轉(zhuǎn)入步驟③； ③ 所述的數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元實(shí)時(shí)地將所述位置差值反饋至所述的PZT微位 移驅(qū)動(dòng)器，驅(qū)動(dòng)反射鏡（3)或角錐棱鏡（2)移動(dòng)，將光點(diǎn)調(diào)至無運(yùn)動(dòng)時(shí)完全共光路情形的目 標(biāo)參考位置，轉(zhuǎn)入步驟②； ④ 所述的數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元同步采集所述的干涉光電探測(cè)單元的數(shù)據(jù)，計(jì)算 相應(yīng)光柵尺相對(duì)位移量，并在所述的數(shù)據(jù)采集和處理及控制單元輸出端輸出。
【文檔編號(hào)】G01B9/02GK104048597SQ201410261633
【公開日】2014年9月17日 申請(qǐng)日期:2014年6月13日 優(yōu)先權(quán)日:2014年6月13日
【發(fā)明者】韋春龍, 周常河, 向顯嵩, 盧炎聰 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所