專利名稱：一種傳感型真空度測量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于精密測量技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種傳感型真空度測量裝置。
背景技術(shù)：
目前常規(guī)的真空測量裝置存在著很多缺陷，比如采用電阻規(guī)皮拉尼、熱偶，所一致產(chǎn)生的問題就是測量范圍小，一般都在ΙΟΟΟΡ Ρ或是ZOPlWOF1，而且在測量過程中容易受到污染，同時(shí)受到環(huán)境溫度影響也較大，溫度范圍大都限制在10°c 40°C，并且在1 (TC 40°C范圍內(nèi)溫度對測量精度的影響也是很大的。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種工藝簡單、靈敏度高、抗污性能好、真空測量范圍廣的傳感型真空度測量裝置。一種傳感型真空度測量裝置，包括殼體，所述殼體的兩軸向端面上分別設(shè)有真空連接口及儀表連接座；所述殼體內(nèi)設(shè)有真空室，該真空室中安裝有半導(dǎo)體敏感元件，所述半導(dǎo)體敏感元件與儀表連接座呈橋路電路連接。所述真空室外設(shè)有控恒溫裝置。本發(fā)明利用半導(dǎo)體敏感元件在不同的真空度條件下的散熱變化，得出相應(yīng)的橋路電阻變化，由此測量出精確的真空度，不僅電荷傳輸過程中有非常高的靈敏度，而且工藝簡單、抗污染性能好，并且控恒溫裝置的設(shè)置更加能夠保證其在測量時(shí)的精度不會受到影響。
圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式以下結(jié)合具體實(shí)施例，對本發(fā)明做進(jìn)一步說明。應(yīng)理解，以下實(shí)施例僅用于說明本發(fā)明而非用于限制本發(fā)明的范圍。實(shí)施例1
參見圖1，本發(fā)明提供的一種傳感型真空度測量裝置，包括殼體1，所述殼體I的兩軸向端面上分別設(shè)有真空連接口 2及儀表連接座3，所述殼體I內(nèi)設(shè)有真空室4，該真空室4中安裝有半導(dǎo)體敏感元件5,所述半導(dǎo)體敏感元件5的一端穿過高真空密封座6電連接電路板7上，所述電路板7與儀表連接座3電連接，所述半導(dǎo)體敏感元件5與儀表連接座3的電連接方式為橋路連接。實(shí)施例2
運(yùn)行原理:半導(dǎo)體敏感元件5橋路通電加熱后，升至10(Tl8(rC，在精確的電壓及恒定的溫度下，橋路會產(chǎn)生精度很高的電壓，在不同的真空度條件下，半導(dǎo)體敏感元件5的散熱發(fā)生了變化，相應(yīng)的橋路電阻發(fā)生了變化，其變化值就是真空度，由于半導(dǎo)體敏感元件5受溫面積極小，在0.2~1m/m間，所以在電荷傳輸過程中有非常高的靈敏度。
權(quán)利要求
1.一種傳感型真空度測量裝置，包括殼體，所述殼體的兩軸向端面上分別設(shè)有真空連接口及儀表連接座，其特征在于:所述殼體內(nèi)設(shè)有真空室，該真空室中安裝有半導(dǎo)體敏感元件，所述半導(dǎo)體敏感元件與儀表連接座呈橋路電路連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種傳感型真空度測量裝置，其特征在于:所述真空室外設(shè)有控恒溫裝 置。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種傳感型真空度測量裝置，包括殼體，所述殼體的兩軸向端面上分別設(shè)有真空連接口及儀表連接座；所述殼體內(nèi)設(shè)有真空室，該真空室中安裝有半導(dǎo)體敏感元件，所述半導(dǎo)體敏感元件與儀表連接座呈橋路電路連接。本發(fā)明利用半導(dǎo)體敏感元件在不同的真空度條件下的散熱變化，得出相應(yīng)的橋路電阻變化，由此測量出精確的真空度，不僅電荷傳輸過程中有非常高的靈敏度，而且工藝簡單、抗污染性能好。
文檔編號G01L21/12GK103234692SQ201310132288
公開日2013年8月7日 申請日期2013年4月17日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月17日
發(fā)明者姚琪旼 申請人:上海祖發(fā)實(shí)業(yè)有限公司
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