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檢測(cè)分析oled器件缺陷的方法及裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法，將OLED器件點(diǎn)亮，然后通過測(cè)試設(shè)備對(duì)點(diǎn)亮的OLED器件進(jìn)行測(cè)試；測(cè)試數(shù)據(jù)上報(bào)分析，確定缺陷現(xiàn)象及缺陷的具體位置；根據(jù)缺陷具體位置，對(duì)OLED器件進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)觀察；將微觀缺陷信息進(jìn)行上報(bào)和記錄。檢測(cè)分析OLED器件缺陷的裝置，至少一條傳送帶設(shè)置在平臺(tái)的上面，點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)設(shè)置在平臺(tái)的左側(cè)，觀察測(cè)試區(qū)設(shè)置在平臺(tái)的右側(cè)，成像測(cè)試儀設(shè)置在點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)的上方，顯微鏡設(shè)置在觀察測(cè)試區(qū)的上方，計(jì)算機(jī)安放在平臺(tái)外，同時(shí)與成像測(cè)試儀、顯微鏡、點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)和觀察測(cè)試區(qū)相連。本發(fā)明具有避免了肉眼觀察缺陷的主觀性，使缺陷檢測(cè)分析更加客觀全面；且可以自動(dòng)檢測(cè)缺陷，提高了缺陷檢測(cè)分析的效率的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法及裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及OLED生產(chǎn)工藝，特別是一種檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法及裝置。【背景技術(shù)】
[0002]對(duì)于OLED的一些缺陷檢測(cè)分析，如陽極-陽極短路(AA)，陽極-陰極短路(AC)，陽極開路(A0)，陰極-陰極短路(CC)等，對(duì)這些缺陷的檢測(cè)分析方法，通常是在OLED器件做好后，先將OLED器件進(jìn)行點(diǎn)亮，然后用人眼進(jìn)行現(xiàn)象觀察，發(fā)現(xiàn)AA、AC、AO、CC等缺陷的現(xiàn)象后，用顯微鏡對(duì)這些缺陷的微觀圖像進(jìn)行觀察，進(jìn)而才能分析缺陷發(fā)生的具體原因。上面描述的OLED器件的缺陷檢測(cè)分析方法有2個(gè)缺點(diǎn):一是人眼在觀察缺陷現(xiàn)象的時(shí)候，由于光強(qiáng)、色彩和空間會(huì)對(duì)人眼的視覺分辨造成影響，造成缺陷現(xiàn)象的漏檢，進(jìn)而使器件的缺陷檢測(cè)分析不全面；二是用顯微鏡對(duì)缺陷現(xiàn)象進(jìn)行觀察的時(shí)候，顯微鏡通常不能對(duì)缺陷的位置進(jìn)行自動(dòng)定位，人手移動(dòng)載物臺(tái)尋找缺陷通常會(huì)花費(fèi)很長(zhǎng)時(shí)間，造成缺陷檢測(cè)分析的效率低。本發(fā)明可以提高缺陷檢測(cè)分析的效率，并避免缺陷檢測(cè)分析的不全面問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明是解決上述問題，提供一種避免了肉眼觀察缺陷的主觀性，使缺陷檢測(cè)分析更加客觀全面；且可以自動(dòng)檢測(cè)缺陷，提高了缺陷檢測(cè)分析的效率的一種檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法及裝置。
[0004]本發(fā)明的檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法，包括如下步驟:
[0005]第一步、將OLED器件點(diǎn)亮，然后通過測(cè)試設(shè)備對(duì)點(diǎn)亮的OLED器件進(jìn)行測(cè)試；
[0006]第二步、將測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行上報(bào)，然后進(jìn)行分析，確定缺陷現(xiàn)象及缺陷的具體位置；
[0007]第三步、根據(jù)得出的缺陷具體位置，對(duì)OLED器件進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)觀察；
[0008]第四步、將微觀結(jié)構(gòu)觀察得到的微觀缺陷信息進(jìn)行上報(bào)和記錄。
[0009]所述第一步中的測(cè)試設(shè)備為成像測(cè)試儀。
[0010]所述第一步中進(jìn)行的測(cè)試為灰階掃描。
[0011]所述第二步中測(cè)試數(shù)據(jù)上報(bào)給計(jì)算機(jī)。
[0012]所述第三步中使用顯微鏡對(duì)OLED器件進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)觀察。
[0013]所述第四步中計(jì)算機(jī)對(duì)得到的微觀缺陷信息進(jìn)行上報(bào)和記錄。
[0014]本發(fā)明的檢測(cè)分析OLED器件缺陷的裝置，包括平臺(tái)、傳送帶、成像測(cè)試儀、顯微鏡、計(jì)算機(jī)、點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)和觀察測(cè)試區(qū)；至少一條傳送帶設(shè)置在平臺(tái)的上面，點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)設(shè)置在平臺(tái)的左側(cè)，觀察測(cè)試區(qū)設(shè)置在平臺(tái)的右側(cè)，成像測(cè)試儀設(shè)置在點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)的上方，顯微鏡設(shè)置在觀察測(cè)試區(qū)的上方，計(jì)算機(jī)安放在平臺(tái)外，同時(shí)與成像測(cè)試儀、顯微鏡、點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)和觀察測(cè)試區(qū)相連。
[0015]所述點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)里設(shè)置有與計(jì)算機(jī)相連的點(diǎn)亮裝置。
[0016]所述觀察測(cè)試區(qū)里設(shè)置有與計(jì)算機(jī)相連的定位裝置。
[0017]綜上所述，本發(fā)明的檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法和裝置具有避免了肉眼觀察缺陷的主觀性，使缺陷檢測(cè)分析更加客觀全面；且可以自動(dòng)檢測(cè)缺陷，提高了缺陷檢測(cè)分析的效率的優(yōu)點(diǎn)。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0018]圖1為檢測(cè)分析OLED器件缺陷的裝置的結(jié)構(gòu)圖。
[0019]其中，1、傳送帶；2、成像測(cè)試儀；3、顯微鏡；4、計(jì)算機(jī)；5、點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)；6、觀察測(cè)試區(qū)。
【具體實(shí)施方式】
[0020]下面結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的闡述。
[0021]本發(fā)明的檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法，包括如下步驟:第一步、將OLED器件點(diǎn)亮，然后通過測(cè)試設(shè)備對(duì)點(diǎn)亮的OLED器件進(jìn)行測(cè)試；第二步、將測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行上報(bào)，然后進(jìn)行分析，確定缺陷現(xiàn)象及缺陷的具體位置；第三步、根據(jù)得出的缺陷具體位置，對(duì)OLED器件進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)觀察；第四步、將微觀結(jié)構(gòu)觀察得到的微觀缺陷信息進(jìn)行上報(bào)和記錄。所述第一步中的測(cè)試設(shè)備為成像測(cè)試儀。所述第一步中進(jìn)行的測(cè)試為灰階掃描。所述第二步中測(cè)試數(shù)據(jù)上報(bào)給計(jì)算機(jī)。所述第三步中使用顯微鏡對(duì)OLED器件進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)觀察。所述第四步中計(jì)算機(jī)對(duì)得到的微觀缺陷信息進(jìn)行上報(bào)和記錄。本發(fā)明的檢測(cè)分析OLED器件缺陷的裝置，包括平臺(tái)、傳送帶1、成像測(cè)試儀2、顯微鏡3、計(jì)算機(jī)4、點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)5和觀察測(cè)試區(qū)6 ;至少一條傳送帶I設(shè)置在平臺(tái)的上面，點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)5設(shè)置在平臺(tái)的左側(cè)，觀察測(cè)試區(qū)6設(shè)置在平臺(tái)的右側(cè)，成像測(cè)試儀2設(shè)置在點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)5的上方，顯微鏡3設(shè)置在觀察測(cè)試區(qū)6的上方，計(jì)算機(jī)4安放在平臺(tái)外，同時(shí)與成像測(cè)試儀2、顯微鏡3、點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)5和觀察測(cè)試區(qū)6相連。所述點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)5里設(shè)置有與計(jì)算機(jī)4相連的點(diǎn)亮裝置。所述觀察測(cè)試區(qū)6里設(shè)置有與計(jì)算機(jī)4相連的定位裝置。
[0022]測(cè)試時(shí)，將待測(cè)OLED器件放在傳送帶I上，傳送帶I將待測(cè)OLED器件運(yùn)送到點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)5，然后計(jì)算機(jī)4通過點(diǎn)亮裝置點(diǎn)亮待測(cè)OLED器件，然后計(jì)算機(jī)4控制成像測(cè)試儀2對(duì)待測(cè)OLED器件進(jìn)行灰階掃描，計(jì)算機(jī)將灰階掃描的測(cè)試數(shù)據(jù)上報(bào)，然后進(jìn)行分析，確定缺陷現(xiàn)象和缺陷的具體位置，然后傳送帶將待測(cè)OLED器件運(yùn)送到觀察測(cè)試區(qū)6，計(jì)算機(jī)4通過得到的缺陷的具體位置控制定位裝置將顯微鏡3對(duì)著待測(cè)OLED器件缺陷位置的行與列，使用顯微鏡3對(duì)待測(cè)OLED的缺陷位置進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)觀察，然后將微觀缺陷信息上報(bào)給計(jì)算機(jī)4，計(jì)算機(jī)4對(duì)上報(bào)的微觀缺陷信息進(jìn)行記錄。如果計(jì)算機(jī)4通過灰階掃描數(shù)據(jù)得出多個(gè)缺陷位置時(shí)，則計(jì)算機(jī)4會(huì)同時(shí)給出全部缺陷位置，在顯微鏡3觀察完一個(gè)缺陷后，計(jì)算機(jī)4控制定位裝置將待測(cè)OLED器件定位到下一個(gè)缺陷位置進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)觀察，知道全部缺陷都進(jìn)行過微觀結(jié)構(gòu)觀察。
[0023]本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將會(huì)意識(shí)到，這里所述的實(shí)施例是為了幫助讀者理解本發(fā)明的原理，應(yīng)被理解為本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于這樣的特別陳述和實(shí)施例。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以根據(jù)本發(fā)明公開的這些技術(shù)啟示做出各種不脫離本發(fā)明實(shí)質(zhì)的其它各種具體變形和組合，這些變形和組合仍然在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法，其特征在于，包括如下步驟: 第一步、將OLED器件點(diǎn)亮，然后通過測(cè)試設(shè)備對(duì)點(diǎn)亮的OLED器件進(jìn)行測(cè)試； 第二步、將測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行上報(bào)，然后進(jìn)行分析，確定缺陷現(xiàn)象及缺陷的具體位置； 第三步、根據(jù)得出的缺陷具體位置，對(duì)OLED器件進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)觀察； 第四步、將微觀結(jié)構(gòu)觀察得到的微觀缺陷信息進(jìn)行上報(bào)和記錄。
2.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法，其特征在于:所述第一步中的測(cè)試設(shè)備為成像測(cè)試儀。
3.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法，其特征在于:所述第一步中進(jìn)行的測(cè)試為灰階掃描。
4.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法，其特征在于:所述第二步中測(cè)試數(shù)據(jù)上報(bào)給計(jì)算機(jī)。
5.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法，其特征在于:所述第三步中使用顯微鏡對(duì)OLED器件進(jìn)行微觀結(jié)構(gòu)觀察。
6.如權(quán)利要求1所述的檢測(cè)分析OLED器件缺陷的方法，其特征在于:所述第四步中計(jì)算機(jī)對(duì)得到的微觀缺陷信息進(jìn)行上報(bào)和記錄。
7.—種檢測(cè)分析OLED器件缺陷的裝置，其特征在于:包括平臺(tái)、傳送帶(I)、成像測(cè)試儀(2)、顯微鏡(3)、計(jì)算機(jī)(4)、點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)(5)和觀察測(cè)試區(qū)(6);至少一條傳送帶(I)設(shè)置在平臺(tái)的上面，點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)(5)設(shè)置在平臺(tái)的左側(cè)，觀察測(cè)試區(qū)(6)設(shè)置在平臺(tái)的右側(cè)，成像測(cè)試儀(2)設(shè)置在點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)(5)的上方，顯微鏡(3)設(shè)置在觀察測(cè)試區(qū)(6)的上方，計(jì)算機(jī)(4)安放在平臺(tái)外，同時(shí)與成像測(cè)試儀(2)、顯微鏡(3)、點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)(5)和觀察測(cè)試區(qū)(6)相連。
8.如權(quán)利要求7所述的檢測(cè)分析OLED器件缺陷的裝置，其特征在于:所述點(diǎn)亮測(cè)試區(qū)(5)里設(shè)置有與計(jì)算機(jī)(4)相連的點(diǎn)亮裝置。
9.如權(quán)利要求7所述的檢測(cè)分析OLED器件缺陷的裝置，其特征在于:所述觀察測(cè)試區(qū)(6)里設(shè)置有與計(jì)算機(jī)(4)相連的定位裝置。
【文檔編號(hào)】G01N21/88GK103969567SQ201410160915
【公開日】2014年8月6日 申請(qǐng)日期:2014年4月22日 優(yōu)先權(quán)日:2014年4月22日
【發(fā)明者】楊培, 夏維高, 李建 申請(qǐng)人:四川虹視顯示技術(shù)有限公司