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高精度的間隔測(cè)量裝置制造方法
【專利摘要】一種高精度的間隔測(cè)量裝置，其特點(diǎn)在于：由基座、固定支架、調(diào)節(jié)桿、測(cè)量桿、2個(gè)定位螺母和2個(gè)鎖緊螺母組成，本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，對(duì)環(huán)境的要求不高，可以實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量。
【專利說明】高精度的間隔測(cè)量裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及間隔測(cè)量，特別是一種高精度的間隔測(cè)量裝置，適用于精密裝配中的 兩個(gè)零部件之間的間隔測(cè)量，尤其是光刻機(jī)等光學(xué)精密儀器與設(shè)備的裝配集成。 技術(shù)背景
[0002] 精密儀器的裝配集成中，往往需要精確定位各個(gè)單元以及部件之間的距離。在線 測(cè)量時(shí)經(jīng)常會(huì)受到環(huán)境、成本等因素的約束，使得現(xiàn)有的一些常規(guī)測(cè)量工具不方便使用。如 測(cè)量位置距離零件邊緣較遠(yuǎn)，無法使用卡尺測(cè)量；而激光跟蹤儀、三坐標(biāo)測(cè)量臂等測(cè)量工具 價(jià)格昂貴。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明的目的在于克服在先技術(shù)的不足，提供一種高精度的間隔測(cè)量裝置。該裝 置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作方便，對(duì)環(huán)境的要求不高，可以實(shí)現(xiàn)高精度的測(cè)量。
[0004] 本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下：
[0005] -種高精度的間隔測(cè)量裝置，其特點(diǎn)在于：由基座、固定支架、調(diào)節(jié)桿、測(cè)量桿、2 個(gè)定位螺母和2個(gè)鎖緊螺母組成，所述的基座通過基準(zhǔn)面設(shè)有一個(gè)與底面平行的方形通孔 和一個(gè)與底面垂直的圓形通孔，兩者之間互相垂直，所述的調(diào)節(jié)桿一端為帶有45°斜面的 方桿，其余為螺桿，所述的測(cè)量桿下端帶有45°斜面，上端為球面；
[0006] 所述的固定支架為」形，固定在所述的基座的基準(zhǔn)面上，所述的固定支架的圓孔 與所述的基座的方形通孔同軸，所述的調(diào)節(jié)桿的方桿裝入基座的方形通孔中，所述的螺桿 穿過固定支架上的圓孔，所述的兩個(gè)定位螺母和一個(gè)鎖緊螺母套設(shè)在固定支架與基座之間 的調(diào)節(jié)桿的螺桿上，在所述的固定支架的圓孔的另一面的螺桿上套設(shè)另一鎖緊螺母，所述 的測(cè)量桿下端插入所述的圓形通孔中，所述的測(cè)量桿下端的45°斜面與所述的調(diào)節(jié)桿的 45°斜面相接觸。
[0007] 所述的測(cè)量桿由長(zhǎng)度可調(diào)的兩段套桿連接構(gòu)成。
[0008] 所述的2個(gè)定位螺母和2個(gè)鎖緊螺母具有外圓柱面滾花。
[0009] 本發(fā)明一種高精度的間隔測(cè)量裝置的工作過程如下：
[0010] 首先，所述的高精度的間隔測(cè)量裝置安裝好后，推動(dòng)調(diào)節(jié)桿的螺桿端部，使其沿著 基座方形通孔運(yùn)動(dòng)，斜面的作用帶動(dòng)測(cè)量桿向上頂住被測(cè)工件。鎖住2個(gè)鎖緊螺母固定調(diào) 節(jié)桿的位置，然后鎖緊2個(gè)定位螺母，使其與基座貼合。松開2個(gè)鎖緊螺母，拉出調(diào)節(jié)桿，使 測(cè)量桿高度下降，方便取出高精度的間隔測(cè)量裝置。
[0011] 其次，將所述的高精度的間隔測(cè)量裝置放于測(cè)量平臺(tái)上，將調(diào)節(jié)桿重新推入基座， 使得2個(gè)定位螺母與基座再次貼合，然后鎖緊2個(gè)鎖緊螺母。此時(shí)，本發(fā)明高精度的間隔測(cè) 量裝置的位置恢復(fù)到在線測(cè)量時(shí)的位置，使用高度尺測(cè)量基座底面與測(cè)量桿球面端部之間 的間隔，得到間距值。
[0012] 與在先技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：
[0013] 本發(fā)明采用的是在線定位，線下測(cè)量的方法，可降低對(duì)環(huán)境的要求。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn) 單，體積小，操作方便。
[0014] 本發(fā)明高精度的間隔測(cè)量裝置在線定位后，通過降低測(cè)量桿高度的方式取出，可 以最大限度的保護(hù)被測(cè)工件。
[0015] 本發(fā)明采用機(jī)械靠面重復(fù)定位，精度高。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016] 圖1為本發(fā)明高精度的間隔測(cè)量裝置的軸測(cè)圖；
[0017] 圖2為本發(fā)明高精度的間隔測(cè)量裝置一個(gè)實(shí)施例的工作狀態(tài)下的剖視圖；
[0018] 圖3為本發(fā)明高精度的間隔測(cè)量裝置中調(diào)節(jié)桿的軸測(cè)圖。
[0019] 圖中：1_基座；11-底面；12-方形通孔；13-圓形通孔；14-基準(zhǔn)面；2-固定支架； 21-圓孔；3-調(diào)節(jié)桿；31-方桿；32-螺桿；4-測(cè)量桿；41-墊環(huán)；42-加長(zhǎng)桿；5-定位螺母； 6-定位螺母；7-鎖緊螺母；8-鎖緊螺母;A-被測(cè)工件；B-被測(cè)工件。

【具體實(shí)施方式】
[0020] 下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明作詳細(xì)闡述：
[0021] 請(qǐng)參見圖1?圖3。本發(fā)明高精度的間隔測(cè)量裝置，由基座1、固定支架2、調(diào)節(jié)桿 3、測(cè)量桿4、2個(gè)定位螺母5、6和2個(gè)鎖緊螺母7、8組成，
[0022] 所述的基座1通過基準(zhǔn)面14設(shè)有一個(gè)與底面平行的方形通孔12和一個(gè)與長(zhǎng)方體 的底面垂直的圓形通孔13,兩者之間互相垂直，所述的調(diào)節(jié)桿一端為帶有45°斜面的方桿 31，其余為螺桿32,所述的測(cè)量桿4下端帶有45°斜面，上端為球面；
[0023] 所述的固定支架2為」形，固定在所述的基座1的基準(zhǔn)面14上，所述的固定支架 2的圓孔21與所述的基座1的方形通孔12同軸，所述的調(diào)節(jié)桿3的方桿裝入基座的方形 通孔12中，所述的螺桿32穿過固定支架上的圓孔21，在所述的測(cè)量桿上安裝在所述基座 上的圓形通孔中，所述的兩個(gè)定位螺母（5、6)和一個(gè)鎖緊螺母7套設(shè)在固定支架與基座之 間的調(diào)節(jié)桿3的螺桿32上，在所述的圓形通孔21的另一面的螺桿32上套設(shè)另一鎖緊螺母 8,所述的測(cè)量桿4下端插入所述的圓形通孔13中，所述的測(cè)量桿4下端的45°斜面與所述 的調(diào)節(jié)桿的45°斜面相接觸。
[0024] 所述的測(cè)量桿4由長(zhǎng)度可調(diào)的兩段套桿連接構(gòu)成。
[0025] 所述的2個(gè)定位螺母5、6和2個(gè)鎖緊螺母7、8具有外圓柱面滾花。
[0026] 基座1是測(cè)量的基礎(chǔ)，設(shè)有一個(gè)與底面11平行的方形通孔12、一個(gè)與底面11垂直 的圓形通孔13,方形通孔12與圓形通孔13相互垂直。調(diào)節(jié)桿3-端為帶有45°斜面的方 桿31，另一端為螺桿32,螺桿32的螺紋為右旋螺紋。測(cè)量桿4下端帶有45°斜面，上端為 球面。所述的測(cè)量桿4可通過加裝墊環(huán)41與加長(zhǎng)桿42來滿足被測(cè)工件不同間隔的測(cè)量需 求。
[0027] 請(qǐng)參見圖2,圖2為本發(fā)明高精度的間隔測(cè)量裝置在工作狀態(tài)下的剖視圖。固定支 架2固定在基座1上，調(diào)節(jié)桿3的方桿31裝入方形通孔12中，螺桿32穿過固定支架2上 的圓孔21，所述的圓形通孔13中安裝測(cè)量桿4。該測(cè)量桿4與圓形通孔13采用過渡配合， 用于提高測(cè)量精度。測(cè)量桿4下端45°斜面與調(diào)節(jié)桿3的45°斜面33接觸。定位螺母5、 定位螺母6、鎖緊螺母7安裝在固定支架2與基座1之間，鎖緊螺母8安裝在固定支架2的 另一側(cè)。定位螺母5、定位螺母6、鎖緊螺母7、鎖緊螺母8的外圓柱面滾花，方便鎖緊。
[0028] 本發(fā)明高精度的間隔測(cè)量裝置的工作過程如下：
[0029] 首先，將本發(fā)明高精度的間隔測(cè)量裝置放置于被測(cè)工件A的上表面，推動(dòng)調(diào)節(jié)桿3 的螺桿32,使其沿著基座方形通孔12運(yùn)動(dòng)，斜面的作用帶動(dòng)測(cè)量桿4向上頂住被測(cè)工件B 的下表面。依次轉(zhuǎn)動(dòng)鎖緊螺母7、鎖緊螺母8以固定調(diào)節(jié)桿3的位置。依次鎖緊定位螺母 5、定位螺母6,使其與基座11中的基準(zhǔn)面14貼合。松開鎖緊螺母7、鎖緊螺母8,拉出調(diào)節(jié) 桿3,使測(cè)量桿4間隔下降，取出本發(fā)明高精度的間隔測(cè)量裝置。
[0030] 其次，將本發(fā)明高精度的間隔測(cè)量裝置放于測(cè)量平臺(tái)上，將調(diào)節(jié)桿3重新推入基 座1，使得定位螺母5、定位螺母6與基準(zhǔn)面14再次貼合，鎖緊鎖緊螺母7、鎖緊螺母8。此 時(shí)，本發(fā)明高精度的間隔測(cè)量裝置的位置恢復(fù)到在線測(cè)量時(shí)的位置。使用高度尺測(cè)量基座 底面11與測(cè)量桿4球面端部之間的間隔，得到間距值。
【權(quán)利要求】
1. 一種高精度的間隔測(cè)量裝置，其特征在于：由基座（1)、固定支架（2)、調(diào)節(jié)桿（3)、測(cè) 量桿⑷、2個(gè)定位螺母（5、6)和2個(gè)鎖緊螺母（7、8)組成， 所述的基座（1)通過基準(zhǔn)面（14)設(shè)有一個(gè)與基座底面平行的方形通孔（12)和一個(gè)與 基座底面垂直的圓形通孔（13)，兩者之間互相垂直，所述的調(diào)節(jié)桿一端為帶有45°斜面的 方桿，其余為螺桿（32)，所述的測(cè)量桿（4)下端帶有45°斜面，上端為球面； 所述的固定支架（2)為」形，固定在所述的基座（1)的基準(zhǔn)面（14)上，所述的固定支 架⑵的圓孔（21)與所述的基座⑴的方形通孔（12)同軸，所述的調(diào)節(jié)桿⑶的方桿裝 入基座的方形通孔（12)中，所述的螺桿（32)穿過固定支架上的圓孔（21)，所述的兩個(gè)定位 螺母（5、6)和一個(gè)鎖緊螺母（7)套設(shè)在固定支架與基座之間的調(diào)節(jié)桿（3)的螺桿（32)上， 在所述的固定支架的圓孔（21)的另一面的螺桿（32)上套設(shè)另一鎖緊螺母（8)，所述的測(cè)量 桿（4)下端插入所述的圓形通孔（13)中，所述的測(cè)量桿（4)下端的45°斜面與所述的調(diào)節(jié) 桿的45°斜面相接觸。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的高精度的間隔測(cè)量裝置，其特征在于所述的測(cè)量桿⑷由長(zhǎng) 度可調(diào)的兩段套桿連接構(gòu)成。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的高精度的間隔測(cè)量裝置，其特征在于所述的2個(gè)定位螺 母（5、6)和2個(gè)鎖緊螺母（7、8)具有外圓柱面滾花。
【文檔編號(hào)】G01B5/14GK104111018SQ201410370880
【公開日】2014年10月22日 申請(qǐng)日期:2014年7月31日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月31日
【發(fā)明者】錢珍梅 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所