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導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)方法及其檢測(cè)裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】一種導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)方法，用于氯硅烷生產(chǎn)工藝，包括以下步驟：提供一導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽，內(nèi)儲(chǔ)存有導(dǎo)熱油；提供一第一取樣瓶，與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽管道連接，所述第一取樣瓶中儲(chǔ)存有加酚酞的堿液，用于檢測(cè)所述導(dǎo)熱油的滲漏情況；提供一第二取樣瓶，與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽管道連接，所述第二取樣瓶中儲(chǔ)存有高純水，用于檢測(cè)所述導(dǎo)熱油的滲漏情況。另，本發(fā)明還提供一種導(dǎo)熱油滲漏的檢測(cè)裝置。本發(fā)明提供的導(dǎo)熱油滲漏的檢測(cè)方法，通過(guò)在導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽上連接第一取樣瓶及第二取樣瓶，在第一取樣瓶及第二取樣瓶?jī)?nèi)儲(chǔ)存液體，通過(guò)觀察液體情況可快速判斷導(dǎo)熱油與其他氣體的滲漏情況。方法簡(jiǎn)單且可直觀地觀察，便于及時(shí)發(fā)現(xiàn)滲漏情況，減少了生產(chǎn)不良狀況的發(fā)生率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)方法及其檢測(cè)裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及生產(chǎn)工藝滲漏檢測(cè)領(lǐng)域，尤其涉及一種導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)方法及其檢測(cè) |101|裝直。

【背景技術(shù)】
[0002]導(dǎo)熱油(則:導(dǎo)熱油是⑶/1 4016-1983《石油產(chǎn)品名詞術(shù)語(yǔ)》中“熱載體油”的曾用名，英文名稱(chēng)為抱社011，用于間接傳遞熱量的一類(lèi)熱穩(wěn)定性較好的專(zhuān)用油品。用于各種需要進(jìn)行熱量交換的場(chǎng)合。
[0003]因?qū)嵊头悬c(diǎn)高，熱效率高等優(yōu)點(diǎn)，近年已用在多晶硅生產(chǎn)企業(yè)中，多晶硅生產(chǎn)企業(yè)的氯硅烷生產(chǎn)、處理工藝，已從傳統(tǒng)的水換熱(包括蒸汽)工藝改進(jìn)為導(dǎo)熱油換熱工藝。其優(yōu)點(diǎn)是:油與氯硅烷不易發(fā)生強(qiáng)烈的化學(xué)反應(yīng)，從而避免了現(xiàn)有的采用水作為換熱，從而減少了水與氯硅烷的強(qiáng)烈反應(yīng)的危害性。
[0004]在工藝生產(chǎn)時(shí)，若導(dǎo)熱油中出現(xiàn)氯硅烷氣體滲漏，高壓的氯硅烷系統(tǒng)會(huì)造成導(dǎo)熱油系統(tǒng)嚴(yán)重超壓，不僅腐蝕設(shè)備并且會(huì)造成導(dǎo)熱油損壞變質(zhì)，從而增加生產(chǎn)成本。
[0005]而目前尚無(wú)一個(gè)檢測(cè)判斷的方法，可以快速檢測(cè)導(dǎo)熱油中是否滲漏氯硅烷氣體，通常是發(fā)現(xiàn)加工處理過(guò)程中出現(xiàn)工藝狀況不正常時(shí)，生產(chǎn)裝置才停車(chē)檢查，而并沒(méi)有在生產(chǎn)過(guò)程中檢測(cè)及控制。
[0006]因此，設(shè)計(jì)一款結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、能夠在生產(chǎn)過(guò)程中進(jìn)行檢測(cè)控制的導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)方法及其檢測(cè)裝置一直是人們致力研究的課題。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、能夠在生產(chǎn)過(guò)程中進(jìn)行檢測(cè)滲漏，從而防止因滲漏帶來(lái)的使得工藝狀況不佳的導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置及其回收方法。
[0008]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)方法，用于氯硅烷生產(chǎn)工藝中，其包括以下步驟
[0009]提供一導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽，內(nèi)儲(chǔ)存有導(dǎo)熱油；
[0010]提供一第一取樣瓶，與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽管道連接，所述第一取樣瓶中儲(chǔ)存有加酚酞的堿液，用于檢測(cè)所述導(dǎo)熱油的滲漏情況；
[0011]提供一第二取樣瓶，與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽管道連接，所述第二取樣瓶中儲(chǔ)存有高純水，用于檢測(cè)所述導(dǎo)熱油的滲漏情況。
[0012]其中，所述第一取樣瓶及第二取樣瓶均通過(guò)氣相管道與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽連接，并且所述兩條氣相管道上均設(shè)有控制閥。
[0013]其中，所述加酚酞的堿液為加酚酞的氫氧化鈉溶液，并且所述氫氧化鈉溶液的濃度為1%?3%。
[0014]其中，在步驟提供一第一取樣瓶，與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽管道連接，所述第一取樣瓶中儲(chǔ)存有加酚酞的堿液，用于檢測(cè)所述導(dǎo)熱油的滲漏情況中，具體步驟為:
[0015]調(diào)節(jié)所述第一取樣瓶氣相管道上的控制閥，控制氣體的進(jìn)氣量；
[0016]觀察判斷所述堿液的顏色，若出現(xiàn)顏色變淡，則表示所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中有氯硅烷氣體滲漏；反之，若顏色不變，則表示所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中沒(méi)有氯硅烷氣體滲漏。
[0017]其中，在步驟提供一第二取樣瓶，與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽管道連接，所述第二取樣瓶中儲(chǔ)存有高純水，用于檢測(cè)所述導(dǎo)熱油的滲漏情況中，具體步驟為:
[0018]調(diào)節(jié)所述第二取樣瓶氣相管道上的控制閥，并控制氣體的進(jìn)氣量；
[0019]觀察判斷所述第二取樣瓶中的高純水情況，若所述第二取樣瓶的瓶底出現(xiàn)白色沉淀，則說(shuō)明所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽內(nèi)滲漏有氯硅烷氣體，反之，則說(shuō)明所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中沒(méi)有氯硅烷氣體滲漏。
[0020]相應(yīng)地，本發(fā)明還提供了一種用于實(shí)現(xiàn)上述導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)方法的導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置，用于氯硅烷生產(chǎn)工藝中，其包括導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽，所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽內(nèi)儲(chǔ)存有導(dǎo)熱油，所述導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置還包括第一取樣瓶和第二取樣瓶，所述第一取樣瓶及第二取樣瓶分別通過(guò)管道連接于所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽上，所述第一取樣瓶?jī)?nèi)儲(chǔ)存有加酚酞的堿液，所述第二取樣瓶?jī)?nèi)儲(chǔ)存有水。
[0021]其中，所述第一取樣瓶及第二取樣瓶均通過(guò)氣相管道與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽連接，并且所述兩條氣相管道上均設(shè)有控制閥。
[0022]其中，所述第一取樣瓶?jī)?nèi)儲(chǔ)存有加酚酞的氫氧化鈉溶液，并且所述氫氧化鈉溶液的濃度為1%?3%。
[0023]本發(fā)明提供的導(dǎo)熱油滲漏的檢測(cè)方法，通過(guò)在導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽上管道連接第一取樣瓶及第二取樣瓶，并在第一取樣瓶及第二取樣瓶?jī)?nèi)分別儲(chǔ)存加酚酞的堿液和高純水，通過(guò)觀察取樣瓶中的液體顏色情況即可快速判斷導(dǎo)熱油與其他氣體的相互滲漏情況。方法簡(jiǎn)單，并且可以直觀地觀察，從而便于及時(shí)發(fā)現(xiàn)滲漏情況，大大地減少了生產(chǎn)不良狀況的發(fā)生率。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0024]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施方式中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施方式，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0025]圖1是本發(fā)明實(shí)施方式提供的導(dǎo)熱油滲漏的檢測(cè)方法的流程圖；
[0026]圖2是本發(fā)明實(shí)施方式提供的導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置的示意圖；
[0027]圖3是本發(fā)明實(shí)施方式提供的導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置應(yīng)用于氯硅烷生產(chǎn)工藝的設(shè)備簡(jiǎn)圖。

【具體實(shí)施方式】
[0028]下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施方式中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。
[0029]請(qǐng)參閱圖1，本發(fā)明還提供了一種導(dǎo)熱油滲漏的檢測(cè)方法，應(yīng)用于氯硅烷生產(chǎn)工藝中，本實(shí)施例中以四氯化硅加氫氣催化生成三氯氫硅的冷氫化生產(chǎn)工藝為例，具體步驟如下:
[0030]31:提供一導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽，內(nèi)儲(chǔ)存有導(dǎo)熱油。本實(shí)施例中，為了方便后續(xù)操作的進(jìn)行，所述導(dǎo)熱油為冷態(tài)導(dǎo)熱油。
[0031]82:提供一第一取樣瓶，與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽管道連接，所述第一取樣瓶中儲(chǔ)存有加酚酞的堿液，用于檢測(cè)所述導(dǎo)熱油的滲漏情況。本實(shí)施例中，所述第一取樣瓶通過(guò)氣相管道與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽連接，并且為了便于控制，所述氣相管道上設(shè)置有控制閥。為了便于檢測(cè)滲漏情況，所述第一液體為加酚酞的堿液。具體的，所述第一液體為加酚酞的氫氧化鈉溶液，并且所述氫氧化鈉溶液的濃度為1%?3%。
[0032]判斷時(shí):所述第一取樣瓶中的加酚酞的堿液顏色為紅色。當(dāng)所述導(dǎo)熱油經(jīng)過(guò)上述冷氫化工藝后回到所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽時(shí)，此時(shí)可調(diào)節(jié)控制所述第一取樣瓶氣相管道上的控制閥，控制氣體的進(jìn)氣量。觀察并判斷所述第一取樣瓶中的液體的顏色。若所述第一液體出現(xiàn)顏色變淡或顏色變?yōu)闊o(wú)色，則表示所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中滲漏有所述四氯化硅氣體。反之，若所述第一液體顏色不變，則表示所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中沒(méi)有所述四氯化硅氣體滲漏。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，所述第一液體也可為其他溶液，如加酚酞的氫氧化鉀或其他加酚酞的堿液。
[0033]83:提供一第二取樣瓶，與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽管道連接，所述第二取樣瓶中儲(chǔ)存有高純水，用于檢測(cè)所述導(dǎo)熱油的滲漏情況。本實(shí)施例中，所述第二取樣瓶通過(guò)所述氣相管道與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽連接，并且為了便于控制，所述氣相管道上設(shè)有控制閥。為了便于進(jìn)一步直觀地觀察所述導(dǎo)熱油的滲漏情況，所述第二液體為高純水。
[0034]判斷時(shí):調(diào)節(jié)所述第二取樣瓶氣相管道上的控制閥，并控制氣體的進(jìn)氣量，從而便于測(cè)試結(jié)構(gòu)的準(zhǔn)確性。此時(shí)，通過(guò)肉眼觀察所述第二取樣瓶的瓶底部是否出現(xiàn)白色沉淀，若有沉淀出現(xiàn)，則說(shuō)明所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中滲漏有四氯化硅氣體，反之，若沒(méi)有沉淀出現(xiàn)，貝0表示所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中沒(méi)有四氯化硅氣體滲漏。
[0035]此外，采用試紙測(cè)試所述第二液體的酸堿值，也可快速判斷所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中的氣體滲漏情況。當(dāng)采用試紙測(cè)試的結(jié)果為酸性時(shí)，則表示所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中有所述四氯化硅氣體滲漏。反之，若結(jié)果為中性，則表示所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中沒(méi)有四氯化硅氣體滲漏。
[0036]可以理解的是，上述的采用四氯化硅加氫氣催化生成三氯氫硅的冷氫化生產(chǎn)僅僅只是氯硅烷生產(chǎn)中的一個(gè)工藝，上述導(dǎo)熱油的滲漏檢測(cè)方法還可應(yīng)用于其他氯硅烷生產(chǎn)工藝，如氣娃燒的精懼提純工藝及多晶娃的還原工藝等。
[0037]此外，上述導(dǎo)熱油滲漏的檢測(cè)方法還可應(yīng)用于其他采用酸性物質(zhì)制備或加工需要導(dǎo)熱油換熱的工藝，如硫酸的生產(chǎn)工藝或鹽酸生產(chǎn)工藝等。
[0038]本發(fā)明提供的導(dǎo)熱油滲漏的檢測(cè)方法，通過(guò)在導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽上管道連接第一取樣瓶及第二取樣瓶，并在第一取樣瓶及第二取樣瓶?jī)?nèi)儲(chǔ)存液體，通過(guò)觀察液體的情況即可快速判斷導(dǎo)熱油與其他氣體的相互滲漏情況。方法簡(jiǎn)單，并且可以直觀地觀察，從而便于及時(shí)發(fā)現(xiàn)滲漏情況，大大地減少了生產(chǎn)不良狀況的發(fā)生率。
[0039]請(qǐng)一并參閱圖2至圖3，為本發(fā)明實(shí)施方式提供的用于實(shí)現(xiàn)上述導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)方法的導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置100，用于氯硅烷生產(chǎn)中，其包括導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10、第一取樣瓶20及第二取樣瓶30，所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10內(nèi)儲(chǔ)存有導(dǎo)熱油，所述第一取樣瓶20及第二取樣瓶30分別通過(guò)管道連接于所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10上，所述第一取樣瓶20及第二取樣瓶30內(nèi)均儲(chǔ)存有液體，用以判斷所述導(dǎo)熱油在經(jīng)過(guò)氯硅烷生產(chǎn)工藝中的滲漏情況。
[0040]本實(shí)施例中，以四氯化硅加氫氣催化生成三氯氫硅的冷氫化生產(chǎn)工藝為例。該生產(chǎn)工藝設(shè)備包括依次管道連接的過(guò)熱器40、存渣罐50、混合器60及混合器預(yù)熱器70。所述過(guò)熱器40與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10管道連接，所述導(dǎo)熱油經(jīng)由管道通過(guò)所述過(guò)熱器40及所述存渣罐50進(jìn)行吸熱，以使所述導(dǎo)熱油的溫度升高。所述混合器60中儲(chǔ)存有氫氣(未圖示)及四氯化硅混合氣體(未圖示)，所述導(dǎo)熱油經(jīng)由管道通過(guò)所述混合器60，與其中的所述氫氣及四氯化硅混合氣體進(jìn)行熱量交換，以使所述氫氣及四氯化硅混合氣體的溫度升高。所述混合器預(yù)熱器70分別管道連接所述混合器60及所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10，所述導(dǎo)熱油經(jīng)由管道通過(guò)所述混合器預(yù)熱器70進(jìn)一步進(jìn)行熱量交換，以使所述氫氣及所述四氯化硅混合氣體的溫度進(jìn)一步升高，所述導(dǎo)熱油溫度降低后回到所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10中，再經(jīng)過(guò)所述過(guò)熱器40進(jìn)行吸熱，以此循環(huán)。
[0041]為了判斷所述導(dǎo)熱油在經(jīng)過(guò)上述生產(chǎn)工藝過(guò)程中是否存在與四氯化硅氣體的互相滲漏情況，當(dāng)所述導(dǎo)熱油通過(guò)上述生產(chǎn)工藝進(jìn)行換熱后回到所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10中時(shí)，可觀察所述第一取樣瓶20及第二取樣瓶30中的液體情況。具體的，所述第一取樣瓶20中的液體為加酚酞的堿液。本實(shí)施例中，為了進(jìn)一步節(jié)省成本及保證操作的安全性，所述第一取樣瓶20中的液體為加酚酞的氫氧化鈉溶液。初始狀態(tài)時(shí)，所述第一取樣瓶20中的液體為紅色。當(dāng)所述導(dǎo)熱油經(jīng)過(guò)上述生產(chǎn)工藝流程后回到所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10時(shí)，觀察所述第一取樣瓶20中的液體情況，若此時(shí)所述液體的顏色變淺或變成透明，則說(shuō)明所述導(dǎo)熱油中滲漏有四氯化硅氣體，由于四氯化硅氣體為酸性氣體，所述四氯化硅氣體與所述液體進(jìn)行中和反應(yīng)，生成二氧化硅和鹽，從而使得所述液體的酸堿值下降，進(jìn)而所述液體顏色變淺或變透明。反之，若所述第一取樣瓶20中的液體顏色不變，則表示所述導(dǎo)熱油與中沒(méi)有滲漏有四氯化硅氣體。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，所述第一取樣瓶20中的液體也可為其他，如加酚酞的氫氧化鉀溶液或其他加酚酞的堿性溶液。
[0042]本實(shí)施例中，為了方便進(jìn)一步檢測(cè)，所述第一取樣瓶20通過(guò)氣相管道21與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10連接，并且所述氣相管道21上設(shè)有控制閥211，用于控制所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10的進(jìn)氣量。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，所述第一取樣瓶20也可通過(guò)一般的管道與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10連接。
[0043]本實(shí)施例中，為了進(jìn)一步檢測(cè)所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10中的四氯化硅氣體的滲漏情況，所述第二取樣瓶30中的液體為水。當(dāng)所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10中有四氯化硅氣體滲漏時(shí)，所述四氯化硅氣體溶于水，生成二氧化硅和酸。此時(shí)，觀察所述第二取樣瓶30中的液體情況，若出現(xiàn)白色沉淀，則說(shuō)明所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10中有四氯化硅氣體滲漏；反之則表示沒(méi)有。
[0044]此外，為了進(jìn)一步判斷，提高判斷結(jié)果的準(zhǔn)確性，還可采用四試紙測(cè)試所述第二取樣瓶30中的液體的酸堿值，若四試紙顯示為酸值范圍，則表示所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10中有四氯化硅氣體滲漏。反之，若顯示為中性，則表示所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10內(nèi)沒(méi)有四氯化硅氣體的滲漏。
[0045]為了方便檢測(cè)，所述第二取樣瓶30通過(guò)氣相管道31與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10連接，并且為了便于控制調(diào)節(jié)，所述氣象管道31上設(shè)有控制閥311，用于控制所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10的進(jìn)氣量。當(dāng)然，在其他實(shí)施例中，所述第二取樣瓶30也可通過(guò)一般的管道與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽10連接。
[0046]可以理解的是，上述的采用四氯化硅加氫氣催化生成三氯氫硅的冷氫化生產(chǎn)僅僅只是氯硅烷生產(chǎn)中的一個(gè)工藝，所述導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置100還可應(yīng)用于其他氯硅烷生產(chǎn)工藝，如氣娃燒的精懼提純工藝及多晶娃的還原工藝等。
[0047]此外，所述導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置100還可應(yīng)用于其他采用酸性物質(zhì)制備或加工需要導(dǎo)熱油換熱的工藝，如硫酸的生產(chǎn)工藝或鹽酸生產(chǎn)工藝等。
[0048]本發(fā)明提供的導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置通過(guò)在所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽上設(shè)置第一取樣瓶及第二取樣瓶，并且第一取樣瓶及第二取樣瓶中分別儲(chǔ)存加酚酞的堿液及水，通過(guò)觀察取樣瓶中的液體顏色情況即可判斷導(dǎo)熱油在氯硅烷生產(chǎn)工藝中是否存在與氯硅烷的互相滲漏，操作便捷并且通過(guò)肉眼即可進(jìn)行直觀判斷，從而在生產(chǎn)過(guò)程中即可進(jìn)行檢測(cè)，避免因發(fā)生滲漏帶來(lái)的生產(chǎn)工藝的不正常進(jìn)行。該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作簡(jiǎn)便，并且操作流程短，從而大大地提高了生產(chǎn)效率的同時(shí)減少了生產(chǎn)不良狀況的發(fā)生率。
[0049]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本【技術(shù)領(lǐng)域】的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種導(dǎo)熱油滲漏的檢測(cè)方法，應(yīng)用于氯硅烷生產(chǎn)工藝中，其特征在于，其包括以下步驟 提供一導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽，內(nèi)儲(chǔ)存有導(dǎo)熱油； 提供一第一取樣瓶，與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽管道連接，所述第一取樣瓶中儲(chǔ)存有加酚酞的堿液，用于檢測(cè)所述導(dǎo)熱油的滲漏情況； 提供一第二取樣瓶，與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽管道連接，所述第二取樣瓶中儲(chǔ)存有高純水，用于檢測(cè)所述導(dǎo)熱油的滲漏情況。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的導(dǎo)熱油滲漏的檢測(cè)方法，其特征在于，所述第一取樣瓶及第二取樣瓶均通過(guò)氣相管道與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽連接，并且所述兩條氣相管道上均設(shè)有控制閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)熱油滲漏的檢測(cè)方法，其特征在于，所述加酚酞的堿液為加酚酞的氫氧化鈉溶液，并且所述氫氧化鈉溶液的濃度為1%?3%。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的導(dǎo)熱油滲漏的檢測(cè)方法，其特征在于，在步驟提供一第一取樣瓶，與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽管道連接，所述第一取樣瓶中儲(chǔ)存有加酚酞的堿液，用于檢測(cè)所述導(dǎo)熱油的滲漏情況中，具體步驟為: 調(diào)節(jié)所述第一取樣瓶氣相管道上的控制閥，控制氣體的進(jìn)氣量； 觀察判斷所述堿液的顏色，若出現(xiàn)顏色變淡，則表示所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中有氯硅烷氣體滲漏；反之，若顏色不變，則表示所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中沒(méi)有氯硅烷氣體滲漏。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的導(dǎo)熱油滲漏的檢測(cè)方法，其特征在于，在步驟提供一第二取樣瓶，與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽管道連接，所述第二取樣瓶中儲(chǔ)存有高純水，用于檢測(cè)所述導(dǎo)熱油的滲漏情況中，具體步驟為: 調(diào)節(jié)所述第二取樣瓶氣相管道上的控制閥，并控制氣體的進(jìn)氣量； 觀察判斷所述第二取樣瓶中的高純水情況，若所述第二取樣瓶的瓶底出現(xiàn)白色沉淀，則說(shuō)明所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽內(nèi)滲漏有氯硅烷氣體，反之，則說(shuō)明所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽中沒(méi)有氯娃燒氣體滲漏。
6.一種用于實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求1?5的導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)方法的導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置，用于氯硅烷生產(chǎn)工藝中，其包括導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽，所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽內(nèi)儲(chǔ)存有導(dǎo)熱油，其特征在于，所述導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置還包括第一取樣瓶和第二取樣瓶，所述第一取樣瓶及第二取樣瓶分別通過(guò)管道連接于所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽上，所述第一取樣瓶?jī)?nèi)儲(chǔ)存有加酚酞的堿液，所述第二取樣瓶?jī)?nèi)儲(chǔ)存有水。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第一取樣瓶及第二取樣瓶均通過(guò)氣相管道與所述導(dǎo)熱油儲(chǔ)油槽連接，并且所述兩條氣相管道上均設(shè)有控制閥。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的導(dǎo)熱油滲漏檢測(cè)裝置，其特征在于，所述第一取樣瓶?jī)?nèi)儲(chǔ)存有加酚酞的氫氧化鈉溶液，并且所述氫氧化鈉溶液的濃度為1%?3%。
【文檔編號(hào)】G01N21/82GK104280391SQ201410534493
【公開(kāi)日】2015年1月14日 申請(qǐng)日期:2014年10月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月11日
【發(fā)明者】沈海峰, 劉松 申請(qǐng)人:江西賽維Ldk太陽(yáng)能多晶硅有限公司