恒溫測(cè)試系統(tǒng)及溫度監(jiān)測(cè)方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種恒溫測(cè)試系統(tǒng)，包括具有反饋其溫度的電阻溫度探測(cè)器的恒溫測(cè)試儀和監(jiān)測(cè)電阻溫度探測(cè)器反饋溫度準(zhǔn)確性的校驗(yàn)單元。其中校驗(yàn)單元包括溫度感測(cè)模塊、比較模塊、檢查模塊和監(jiān)測(cè)模塊。溫度感測(cè)模塊在進(jìn)行恒溫測(cè)試時(shí)與待測(cè)樣品共同放入恒溫測(cè)試儀中烘烤以進(jìn)行溫度感測(cè)；比較模塊根據(jù)溫度感測(cè)模塊感測(cè)的溫度獲得恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度并比較該實(shí)際溫度與電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度；檢查模塊在該實(shí)際溫度與該反饋溫度的差值大于設(shè)定值時(shí)檢查該實(shí)際溫度的正確性；監(jiān)測(cè)模塊用于在該實(shí)際溫度為正確時(shí)發(fā)出提示信息。本發(fā)明能夠及時(shí)發(fā)現(xiàn)恒溫測(cè)試儀的顯示溫度異常情況，提高恒溫測(cè)試的準(zhǔn)確性。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體測(cè)試【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種恒溫測(cè)試系統(tǒng)及溫度監(jiān)測(cè)方法。 恒溫測(cè)試系統(tǒng)及溫度監(jiān)測(cè)方法
【背景技術(shù)】
[0002] 在利用恒溫測(cè)試儀進(jìn)行恒溫測(cè)試（例如：金屬電遷移、時(shí)間依賴(lài)介電擊穿、熱載流 子注入等相關(guān)測(cè)試）的過(guò)程中，通常會(huì)采用電阻溫度探測(cè)器（RTD)來(lái)反饋溫度，然而當(dāng)電阻 溫度探測(cè)器的性能發(fā)生變化時(shí)，電阻溫度探測(cè)器量測(cè)到的溫度就會(huì)與恒溫測(cè)試儀的實(shí)際爐 溫不符。以金屬電遷移測(cè)試為例。金屬電遷移測(cè)試的基本量測(cè)原理是：在恒溫測(cè)試儀的設(shè) 定溫度下，被測(cè)樣品上施加一個(gè)電流，同時(shí)量測(cè)被測(cè)樣品兩端的電壓，計(jì)算出被測(cè)樣品的電 阻（I/R)。一般情況下金屬電遷移測(cè)試需要測(cè)試高、中、低三個(gè)不同的溫度（T1、T2、T3)以 及高、中、低三個(gè)不同的電流（J1、J2、J3)，來(lái)評(píng)估金屬導(dǎo)線耐電遷移的性能。電阻溫度探測(cè) 器用于反饋恒溫測(cè)試儀內(nèi)的爐溫是否達(dá)到設(shè)定溫度（T1/T2/T3)。由于電阻溫度探測(cè)器工作 一段時(shí)間后性能會(huì)發(fā)生一定的變化，這種變化會(huì)使機(jī)臺(tái)的實(shí)際溫度與電阻溫度探測(cè)器反饋 的溫度（設(shè)定溫度/顯示溫度）有一定的偏差，如果這種偏差較大，例如測(cè)試需要設(shè)定的溫 度為300°C，實(shí)際爐溫為295°C，但電阻溫度探測(cè)器反饋溫度（顯示溫度）為300°C，那么明 顯將會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果產(chǎn)生巨大的影響，導(dǎo)致低估或高估金屬導(dǎo)線電遷移的性能，影響金屬電 遷移測(cè)試的準(zhǔn)確性。而類(lèi)似的問(wèn)題同樣會(huì)影響其他恒溫測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性。
[0003] 以高溫度（250-350°C )測(cè)試為例，一般來(lái)說(shuō)，當(dāng)電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度與機(jī) 臺(tái)實(shí)際溫度兩者之間的偏差超過(guò)±3°C時(shí)，就需要對(duì)電阻溫度探測(cè)器進(jìn)行溫度校驗(yàn)。通常每 年需要進(jìn)行一次電阻溫度探測(cè)器的溫度校驗(yàn)，但是在實(shí)際正常使用情況下，會(huì)出現(xiàn)未到校 驗(yàn)日期，電阻溫度探測(cè)器的性能變化就超過(guò)了允許范圍的情況出現(xiàn)。一旦未能及時(shí)發(fā)現(xiàn)溫 度偏差的問(wèn)題，將導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果異常，對(duì)于測(cè)試結(jié)果的異常產(chǎn)生的原因很可能會(huì)花費(fèi)非常 多的時(shí)間和精力，因此有必要對(duì)恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，及時(shí)發(fā)現(xiàn)恒溫測(cè)試 儀的實(shí)際爐溫的異常，避免導(dǎo)致測(cè)試結(jié)果不準(zhǔn)確及誤判。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004] 本發(fā)明的主要目的旨在提供一種可以及時(shí)發(fā)現(xiàn)溫控異常的恒溫測(cè)試系統(tǒng)及相應(yīng) 的溫度監(jiān)測(cè)方法。
[0005] 為達(dá)成上述目的，本發(fā)明提供一種恒溫測(cè)試系統(tǒng)，其包括恒溫測(cè)試儀，該恒溫測(cè)試 儀包括用于反饋其溫度的電阻溫度探測(cè)器。恒溫測(cè)試系統(tǒng)還包括電阻溫度探測(cè)器的校驗(yàn)單 元。其中，該校驗(yàn)單元用于校驗(yàn)該電阻溫度探測(cè)器所反饋的溫度的準(zhǔn)確性，其包括至少一個(gè) 溫度感測(cè)模塊、比較模塊、檢查模塊和監(jiān)測(cè)模塊。其中，至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊在進(jìn)行恒溫 測(cè)試時(shí)與待測(cè)樣品共同放入所述恒溫測(cè)試儀中烘烤以進(jìn)行溫度感測(cè)；比較模塊與所述至少 一個(gè)溫度感測(cè)模塊和所述電阻溫度探測(cè)器相連，其根據(jù)所述至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊所感測(cè) 的溫度獲得所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度并比較所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與所述電阻溫 度探測(cè)器的反饋溫度；檢查模塊與所述比較模塊相連，用于在所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度 與所述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度的差值大于設(shè)定值時(shí)檢查所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度 的正確性；監(jiān)測(cè)模塊與所述檢查模塊相連，用于在所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確時(shí)發(fā) 出提示信息。
[0006] 優(yōu)選地，當(dāng)所述溫度感測(cè)模塊為一個(gè)時(shí)，所述比較模塊選取該溫度感測(cè)模塊所感 測(cè)的溫度作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度；當(dāng)所述溫度感測(cè)模塊為多個(gè)時(shí)，所述比較模塊 根據(jù)預(yù)定規(guī)則選取多個(gè)所述溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度的其中一個(gè)作為所述恒溫測(cè)試儀 的實(shí)際溫度。
[0007] 優(yōu)選地，所述預(yù)定規(guī)則為：當(dāng)所述多個(gè)溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度相同，則選取該 溫度作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度；當(dāng)所述多個(gè)溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度不同且其中 感測(cè)的溫度為相同的部分溫度感測(cè)模塊的數(shù)量占到全部數(shù)量的M%，則選取該部分溫度感 測(cè)模塊所感測(cè)的溫度作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度，其中Μ為大于等于50的正整數(shù)。
[0008] 優(yōu)選地，所述檢查模塊通過(guò)替換所述至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊后再次獲取所述比較 模塊比較得出的該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與所述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度的差值以檢 查所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度的正確性；若所述至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊替換前后得到的所 述差值均相等且大于所述設(shè)定值，則所述檢查模塊檢查該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確。 [0009] 優(yōu)選地，所述檢查模塊通過(guò)增加所述溫度感測(cè)模塊的數(shù)量后再次獲取所述比較模 塊比較得出的該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與所述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度的差值以檢查 所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度的正確性；若所述溫度感測(cè)模塊增加前后得到的所述差值均相 等且大于所述設(shè)定值，則所述檢查模塊檢查該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確。
[0010] 優(yōu)選地，所述溫度感測(cè)模塊包括標(biāo)準(zhǔn)電阻及測(cè)量子模塊，所述測(cè)量子模塊通過(guò)四 端法測(cè)量所述標(biāo)準(zhǔn)電阻的阻值并通過(guò)查詢(xún)相應(yīng)的分度表上對(duì)應(yīng)的溫度值獲得該阻值對(duì)應(yīng) 的溫度作為其感測(cè)溫度。
[0011] 優(yōu)選地，所述恒溫測(cè)試儀用于金屬電遷移測(cè)試、時(shí)間依賴(lài)介電擊穿測(cè)試或熱載流 子注入測(cè)試。
[0012] 本發(fā)明還提出了一種應(yīng)用于恒溫測(cè)試儀的溫度監(jiān)測(cè)方法，其中恒溫測(cè)試儀包括用 于反饋其溫度的電阻溫度探測(cè)器，所述溫度監(jiān)測(cè)方法包括以下步驟：
[0013] S01 :在進(jìn)行恒溫測(cè)試時(shí)，將至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊與待測(cè)樣品共同放入所述恒溫 測(cè)試儀中烘烤以進(jìn)行溫度感測(cè)；
[0014] S02:根據(jù)所述至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度獲得所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際 溫度并比較所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與所述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度；
[0015] S03:當(dāng)所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與所述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度的差值大 于設(shè)定值時(shí)，檢查所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度的正確性；
[0016] S04 :當(dāng)所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確時(shí)發(fā)出提示信息。
[0017] 優(yōu)選地，當(dāng)所述溫度感測(cè)模塊為一個(gè)時(shí)，步驟S02中選取該溫度感測(cè)模塊所感測(cè) 的溫度作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度；當(dāng)所述溫度感測(cè)模塊為多個(gè)時(shí)，步驟S02中根據(jù) 預(yù)定規(guī)則選取多個(gè)所述溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度的其中一個(gè)作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí) 際溫度。
[0018] 優(yōu)選地，所述預(yù)定規(guī)則為：當(dāng)所述多個(gè)溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度相同，則選取該 溫度作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度；當(dāng)所述多個(gè)溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度不同且其中 感測(cè)的溫度為相同的部分溫度感測(cè)模塊的數(shù)量占到全部數(shù)量的M%，則選取該部分溫度感 測(cè)模塊所感測(cè)的溫度作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度，其中Μ為大于等于50的正整數(shù)。
[0019] 優(yōu)選地，步驟S03中通過(guò)替換所述至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊后再次獲取該恒溫測(cè)試 儀的實(shí)際溫度與所述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度的差值以檢查所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫 度的正確性；若所述至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊替換前后得到的所述差值均相等且大于所述設(shè) 定值，則檢查該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確。
[0020] 優(yōu)選地，步驟S03通過(guò)增加所述溫度感測(cè)模塊的數(shù)量后再次獲取該恒溫測(cè)試儀的 實(shí)際溫度與所述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度的差值以檢查所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度的 正確性；若所述溫度感測(cè)模塊增加前后得到的所述差值均相等且大于所述設(shè)定值，則檢查 該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確。
[0021] 優(yōu)選地，所述溫度感測(cè)模塊包括標(biāo)準(zhǔn)電阻，步驟S01中通過(guò)以四端法測(cè)量所述標(biāo) 準(zhǔn)電阻的阻值并通過(guò)查詢(xún)相應(yīng)的分度表上對(duì)應(yīng)的溫度值獲得該阻值對(duì)應(yīng)的溫度作為所述 溫度感測(cè)模塊感測(cè)的溫度。
[0022] 優(yōu)選地，所述恒溫測(cè)試儀用于金屬電遷移測(cè)試、時(shí)間依賴(lài)介電擊穿測(cè)試或熱載流 子注入測(cè)試。
[0023] 本發(fā)明所提出的恒溫測(cè)試系統(tǒng)及應(yīng)用于恒溫測(cè)試儀的溫度監(jiān)測(cè)方法，在進(jìn)行恒溫 測(cè)試時(shí)將溫度感測(cè)模塊與待測(cè)樣品共同放入恒溫測(cè)試儀中，以溫度感測(cè)模塊感測(cè)的溫度對(duì) 電阻溫度探測(cè)器的溫度進(jìn)行檢查同時(shí)對(duì)溫度感測(cè)模塊的溫度也進(jìn)行了檢查，從而能夠?qū)崟r(shí) 監(jiān)測(cè)恒溫測(cè)試儀中的實(shí)際爐溫，及時(shí)發(fā)現(xiàn)電阻溫度探測(cè)器反饋溫度的異常，提高恒溫測(cè)試 的準(zhǔn)確性。
【專(zhuān)利附圖】
【附圖說(shuō)明】
[0024] 圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的恒溫測(cè)試系統(tǒng)的方塊圖；
[0025] 圖2為本發(fā)明一實(shí)施例的校驗(yàn)單元中具有四端法引線結(jié)構(gòu)的標(biāo)準(zhǔn)電阻的示意圖；
[0026] 圖3為本發(fā)明一實(shí)施例的應(yīng)用于恒溫測(cè)試儀的溫度監(jiān)測(cè)方法的流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0027] 為使本發(fā)明的內(nèi)容更加清楚易懂，以下結(jié)合說(shuō)明書(shū)附圖，對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一 步說(shuō)明。當(dāng)然本發(fā)明并不局限于該具體實(shí)施例，本領(lǐng)域內(nèi)的技術(shù)人員所熟知的一般替換也 涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
[0028] 圖1為本發(fā)明一實(shí)施例的恒溫測(cè)試系統(tǒng)的方塊圖。本發(fā)明的恒溫測(cè)試系統(tǒng)包括恒 溫測(cè)試儀10。恒溫測(cè)試儀可用于進(jìn)行金屬電遷移測(cè)試、時(shí)間依賴(lài)介電擊穿測(cè)試或熱載流子 注入測(cè)試。恒溫測(cè)試儀10包括電阻溫度探測(cè)器11，該電阻溫度探測(cè)器11可反饋恒溫測(cè)試 儀10的溫度，其反饋溫度可通過(guò)顯示屏幕顯示。恒溫測(cè)試系統(tǒng)還包括電阻溫度探測(cè)器的校 驗(yàn)單元20,其用于實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)并校驗(yàn)電阻溫度探測(cè)器所反饋的溫度的準(zhǔn)確性，從而能夠及時(shí) 發(fā)現(xiàn)因電阻溫度探測(cè)器的性能變化而造成的顯示爐溫的偏差。如圖1所示，校驗(yàn)單元20包 括至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊21、比較模塊22、檢查模塊23和監(jiān)測(cè)模塊24。
[0029] 其中，至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊21在進(jìn)行恒溫測(cè)試時(shí)與待測(cè)樣品共同放入恒溫測(cè) 試儀10中烘烤，以進(jìn)行溫度感測(cè)，此外也可以和待測(cè)樣品一起測(cè)量電阻值。一般來(lái)說(shuō)，每個(gè) 待測(cè)樣品是放置在恒溫測(cè)試儀10內(nèi)的一個(gè)樣品座上，本實(shí)施例中將溫度感測(cè)模塊21也放 置在樣品座中，取代部分的待測(cè)樣品。較佳的，溫度感測(cè)模塊21包括標(biāo)準(zhǔn)電阻及測(cè)量子模 塊，其中測(cè)量子模塊通過(guò)四端法測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)電阻的阻值，并通過(guò)查詢(xún)相應(yīng)的分度表上對(duì)應(yīng)的 溫度值獲得該阻值對(duì)應(yīng)的溫度作為該溫度感測(cè)模塊的感測(cè)溫度。具體來(lái)說(shuō)，請(qǐng)參照?qǐng)D2,本 實(shí)施例中的標(biāo)準(zhǔn)電阻為標(biāo)準(zhǔn)鉬金電阻，特別的該標(biāo)準(zhǔn)鉬金電阻具有四端法引線結(jié)構(gòu)，恒流 電源通過(guò)兩個(gè)電流引線將電流I供給至標(biāo)準(zhǔn)電阻，而數(shù)字電壓則通過(guò)兩個(gè)電壓引線來(lái)測(cè)量 由恒流電源所供電流而在標(biāo)準(zhǔn)電阻上所形成的電位差U。由此測(cè)量子模塊測(cè)量到標(biāo)準(zhǔn)鉬金 電阻的阻值為R = U/I。由于標(biāo)準(zhǔn)電阻具有阻值不受環(huán)境溫度影響的特性，測(cè)量子模塊通過(guò) 查詢(xún)分度表就可以得到標(biāo)準(zhǔn)電阻的特定阻值所對(duì)應(yīng)的溫度值，而該溫度值也即是溫度感測(cè) 模塊21的感測(cè)溫度。
[0030] 比較模塊21與該至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊22相連，同時(shí)也與恒溫測(cè)試儀10中的電 阻溫度探測(cè)器11相連，其根據(jù)至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊21所感測(cè)的溫度獲得恒溫測(cè)試儀10 的實(shí)際溫度，并將該實(shí)際溫度與電阻溫度探測(cè)器11的反饋溫度進(jìn)行比較。因此，比較模塊 21執(zhí)行兩個(gè)操作，首先是根據(jù)感測(cè)溫度獲得恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度。具體來(lái)說(shuō)，當(dāng)溫度感測(cè) 模塊21僅為1個(gè)時(shí)，比較模塊22將該溫度感測(cè)模塊21的感測(cè)溫度作為恒溫測(cè)試儀的實(shí)際 溫度；而當(dāng)溫度感測(cè)模塊21的數(shù)量為多個(gè)時(shí)，則比較模塊22根據(jù)特定規(guī)則來(lái)獲得恒溫測(cè)試 儀10的實(shí)際溫度。例如，假設(shè)存在多個(gè)溫度感測(cè)模塊21，如5個(gè)，并且這些溫度感測(cè)模塊感 測(cè)的溫度值均相同，那么比較模塊22會(huì)將這個(gè)溫度值作為恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度，但如果 其中有部分（如四個(gè)）的感測(cè)溫度相同，剩余（如剩下的一個(gè)）的感測(cè)溫度不同，那么比較 模塊22會(huì)判斷感測(cè)溫度相同的這部分溫度感測(cè)模塊在全部溫度感測(cè)模塊中所占的數(shù)量比 例，如果超過(guò)了一定百分比，如大于等于50%，那么就說(shuō)明剩余的（另外一個(gè)）溫度感測(cè)模 塊可能在恒溫測(cè)試儀中安裝不正確或存在連線老化等缺陷，其感測(cè)溫度不具有參考性，從 而比較模塊22就將4個(gè)溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的相同的溫度值作為恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度。 在得到該實(shí)際溫度后，比較模塊22進(jìn)一步將該實(shí)際溫度與電阻溫度探測(cè)器11的反饋溫度 進(jìn)行比較，得到兩者的差值。如果差值超過(guò)設(shè)定值，以高溫度（250-350°C)測(cè)量為例，當(dāng)實(shí) 際溫度與反饋溫度兩者之間的偏差超過(guò)±3°C時(shí)，說(shuō)明比較模塊22得到的恒溫測(cè)試儀的實(shí) 際溫度與電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度至少一個(gè)不正確，比較模塊22會(huì)將該差值輸出至與 其相連的檢查模塊23進(jìn)行后一步動(dòng)作。但如果感測(cè)溫度相同的溫度感測(cè)模塊的數(shù)量比例 沒(méi)有超過(guò)一定的百分比如70 %，例如5個(gè)溫度感測(cè)模塊中有2個(gè)感測(cè)出一種溫度，另外3個(gè) 感測(cè)出另一溫度，那么比較模塊22將發(fā)出無(wú)法獲得恒溫測(cè)試儀實(shí)際溫度的信號(hào)。后續(xù)監(jiān)測(cè) 步驟無(wú)法繼續(xù)進(jìn)行，需重新替換溫度感測(cè)模塊或增加新的溫度感測(cè)模塊。
[0031] 檢查模塊23用于在恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與電阻溫度探測(cè)器20的反饋溫度的差 值大于設(shè)定值時(shí)檢查恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度的正確性，這是因?yàn)閷?shí)際溫度與反饋溫度兩者 之間的偏差可能是電阻溫度探測(cè)器存在性能變化造成，也可能是比較模塊22得到的恒溫 測(cè)試儀實(shí)際溫度不準(zhǔn)確造成的。具體來(lái)說(shuō)，恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度是基于溫度感測(cè)模塊21 的感測(cè)溫度而得到的，實(shí)際溫度與電阻溫度探測(cè)器反饋溫度的偏差也就可能因溫度感測(cè)模 塊感測(cè)溫度的不準(zhǔn)確而導(dǎo)致。例如本實(shí)施例中采用的標(biāo)準(zhǔn)鉬金電阻，如果連線老化或安裝 不當(dāng)，測(cè)量的電阻值會(huì)有偏差，進(jìn)而對(duì)應(yīng)的感測(cè)溫度也就存在了誤差，甚至最終比較模塊獲 得的實(shí)際溫度也不準(zhǔn)確。因此，有必要對(duì)溫度感測(cè)模塊21的感測(cè)溫度，也即是對(duì)恒溫測(cè)試 儀的實(shí)際溫度的正確性進(jìn)行校驗(yàn)檢查，只有確保了實(shí)際溫度的正確性，才能推定有需要對(duì) 電阻溫度探測(cè)器進(jìn)行校驗(yàn)。
[0032] 對(duì)恒溫測(cè)試儀實(shí)際溫度的正確性的檢查可通過(guò)以下兩種方法進(jìn)行，其一是替換恒 溫測(cè)試儀中的溫度感測(cè)模塊21?？梢詫⑷繙囟雀袦y(cè)模塊21均替換，或是僅替換其感測(cè)溫 度被比較模塊22選用來(lái)作為恒溫測(cè)試儀實(shí)際溫度的溫度感測(cè)模塊。替換后，比較模塊22以 與上述相同方法根據(jù)新的溫度感測(cè)模塊21的感測(cè)溫度再次獲取恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度并 與電阻溫度探測(cè)器20的反饋溫度進(jìn)行比較，而檢查模塊23則根據(jù)新的恒溫測(cè)試儀的實(shí)際 溫度與反饋溫度的差值檢查實(shí)際溫度的正確性，如果溫度感測(cè)模塊替換前后兩次得到的差 值是相同的，當(dāng)然差值也都是超出設(shè)定值的，那么說(shuō)明恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度正確，該差值 是由電阻溫度探測(cè)器11的原因造成。如果溫度感測(cè)模塊21替換前后兩次得到的差值不同， 那么說(shuō)明至少有一次溫度感測(cè)模塊21的感測(cè)溫度不正確，需要再次替換溫度感測(cè)模塊21 或增加新的溫度感測(cè)模塊21，重新進(jìn)行恒溫測(cè)試儀實(shí)際溫度的獲得以及實(shí)際溫度與反饋溫 度差值的比較，直至確認(rèn)了溫度感測(cè)模塊21測(cè)量溫度的正確為止（如有兩次得到的恒溫測(cè) 試儀的實(shí)際溫度均相同）。另一種方法是增加恒溫測(cè)試儀中溫度感測(cè)模塊21的數(shù)量。比較 模塊22根據(jù)新增的溫度感測(cè)模塊21的感測(cè)溫度和原先的感測(cè)溫度獲取恒溫測(cè)試儀的實(shí)際 溫度，此處實(shí)際溫度的獲得方法與上述描述相同，不再加以贅述。比較模塊22將新的恒溫 測(cè)試儀的實(shí)際溫度與電阻溫度探測(cè)器20的反饋溫度進(jìn)行比較，而檢查模塊23則根據(jù)新的 實(shí)際溫度與反饋溫度的差值檢查實(shí)際溫度的正確性，如果溫度感測(cè)模塊21增加前后兩次 得到的大于設(shè)定值的差值是相同的，那么說(shuō)明恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度正確，該差值是由電 阻溫度探測(cè)器的原因造成。如果溫度感測(cè)模塊增加前后兩次得到的差值不同，需要再次增 加新的溫度感測(cè)模塊21或替換溫度感測(cè)模塊21，重新進(jìn)行恒溫測(cè)試儀實(shí)際溫度的獲得以 及實(shí)際溫度與反饋溫度差值的比較，直至確認(rèn)了溫度感測(cè)模塊21測(cè)量溫度的正確為止（如 有兩次得到的恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度均相同）。
[0033] 監(jiān)測(cè)模塊24與檢查模塊23相連，其用于在恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度確保為正確時(shí)， 也即是懷疑電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度存在偏差時(shí)，發(fā)出提示信息。監(jiān)測(cè)模塊24可通過(guò)一 顯示屏幕或提示聲音來(lái)發(fā)出該提示信息。根據(jù)該提示信息，可對(duì)恒溫測(cè)試儀的電阻溫度探 測(cè)器11進(jìn)行進(jìn)一步的確認(rèn)甚至提前進(jìn)行電阻溫度探測(cè)器11的溫度校驗(yàn)（如圖中虛線箭頭 所示）。
[0034] 接下來(lái)，結(jié)合圖3對(duì)本【具體實(shí)施方式】提供的應(yīng)用于恒溫測(cè)試儀的溫度監(jiān)測(cè)方法作 進(jìn)一步說(shuō)明。如圖所示，溫度監(jiān)測(cè)方法包括以下步驟：
[0035] 首先，在進(jìn)行恒溫測(cè)試時(shí)，將至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊與待測(cè)樣品共同放入恒溫測(cè) 試儀中烘烤以進(jìn)行溫度感測(cè)。
[0036] 接著，根據(jù)至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度獲得恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度并比 較恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度。
[0037] 之后，判斷比較結(jié)果是否大于設(shè)定值，如果小于等于設(shè)定值那么說(shuō)明不需要對(duì)電 阻溫度探測(cè)器進(jìn)行校驗(yàn)，監(jiān)測(cè)結(jié)束。如果大于設(shè)定值，那么檢查恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度的正 確性。
[0038] 確保恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確時(shí)，發(fā)出提示信息。
[0039] 綜上所述，本發(fā)明所提供的恒溫測(cè)試系統(tǒng)及溫度監(jiān)測(cè)方法，通過(guò)在進(jìn)行恒溫測(cè)試 時(shí)將溫度感測(cè)模塊與待測(cè)樣品共同放入恒溫測(cè)試儀中，在確保溫度感測(cè)模塊感測(cè)的溫度本 身正確的情況下以該感測(cè)的溫度對(duì)電阻溫度探測(cè)器的溫度進(jìn)行檢查，從而能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)恒 溫測(cè)試儀中的實(shí)際爐溫，及時(shí)發(fā)現(xiàn)顯示溫度的異常，提高恒溫測(cè)試的準(zhǔn)確性。
[0040] 雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然所述諸多實(shí)施例僅為了便于說(shuō)明而舉例 而已，并非用以限定本發(fā)明，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下可作 若干的更動(dòng)與潤(rùn)飾，本發(fā)明所主張的保護(hù)范圍應(yīng)以權(quán)利要求書(shū)所述為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1. 一種恒溫測(cè)試系統(tǒng)，包括恒溫測(cè)試儀，所述恒溫測(cè)試儀包括用于反饋其溫度的電阻 溫度探測(cè)器，其特征在于，所述恒溫測(cè)試系統(tǒng)還包括該電阻溫度探測(cè)器的校驗(yàn)單元，用于校 驗(yàn)該電阻溫度探測(cè)器所反饋的溫度的準(zhǔn)確性，該校驗(yàn)單元包括： 至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊，其在進(jìn)行恒溫測(cè)試時(shí)與待測(cè)樣品共同放入所述恒溫測(cè)試儀中 烘烤以進(jìn)行溫度感測(cè)； 比較模塊，與所述至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊和所述電阻溫度探測(cè)器相連，其根據(jù)所述至 少一個(gè)溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度獲得所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度并比較所述恒溫測(cè)試 儀的實(shí)際溫度與所述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度； 檢查模塊，與所述比較模塊相連，用于在所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與所述電阻溫度 探測(cè)器的反饋溫度的差值大于設(shè)定值時(shí)檢查所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度的正確性；以及 監(jiān)測(cè)模塊，與所述檢查模塊相連，用于在所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確時(shí)發(fā)出提 不?目息。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的恒溫測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，當(dāng)所述溫度感測(cè)模塊為一個(gè)時(shí)， 所述比較模塊選取該溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度；當(dāng)所述 溫度感測(cè)模塊為多個(gè)時(shí)，所述比較模塊根據(jù)預(yù)定規(guī)則選取多個(gè)所述溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的 溫度的其中一個(gè)作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的恒溫測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述預(yù)定規(guī)則為：當(dāng)所述多個(gè)溫 度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度相同，則選取該溫度作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度；當(dāng)所述多 個(gè)溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度不同且其中感測(cè)的溫度為相同的部分溫度感測(cè)模塊的數(shù)量 占到全部數(shù)量的Μ%，則選取該部分溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí) 際溫度，其中Μ為大于等于50的正整數(shù)。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的恒溫測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述檢查模塊通過(guò)替換所述至 少一個(gè)溫度感測(cè)模塊后再次獲取所述比較模塊比較得出的該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與所 述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度的差值以檢查所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度的正確性；若所述 至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊替換前后得到的所述差值均相等且大于所述設(shè)定值，則所述檢查模 塊檢查該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的恒溫測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述檢查模塊通過(guò)增加所述溫 度感測(cè)模塊的數(shù)量后再次獲取所述比較模塊比較得出的該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與所述 電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度的差值以檢查所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度的正確性；若所述溫 度感測(cè)模塊增加前后得到的所述差值均相等且大于所述設(shè)定值，則所述檢查模塊檢查該恒 溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的恒溫測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述溫度感測(cè)模塊包括標(biāo)準(zhǔn)電 阻及測(cè)量子模塊，所述測(cè)量子模塊通過(guò)四端法測(cè)量所述標(biāo)準(zhǔn)電阻的阻值并通過(guò)查詢(xún)相應(yīng)的 分度表上對(duì)應(yīng)的溫度值獲得該阻值對(duì)應(yīng)的溫度作為其感測(cè)溫度。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的恒溫測(cè)試系統(tǒng)，其特征在于，所述恒溫測(cè)試儀用于金屬電遷 移測(cè)試、時(shí)間依賴(lài)介電擊穿測(cè)試或熱載流子注入測(cè)試。
8. -種應(yīng)用于恒溫測(cè)試儀的溫度監(jiān)測(cè)方法，所述恒溫測(cè)試儀包括用于反饋其溫度的電 阻溫度探測(cè)器，其特征在于，所述溫度監(jiān)測(cè)方法包括以下步驟： S01 :在進(jìn)行恒溫測(cè)試時(shí)，將至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊與待測(cè)樣品共同放入所述恒溫測(cè)試 儀中烘烤以進(jìn)行溫度感測(cè)； 502 :根據(jù)所述至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度獲得所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度 并比較所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與所述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度； 503 :當(dāng)所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與所述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度的差值大于設(shè) 定值時(shí)，檢查所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度的正確性； 504 :當(dāng)所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確時(shí)發(fā)出提示信息。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，當(dāng)所述溫度感測(cè)模塊為一個(gè)時(shí)， 步驟S02中選取該溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度；當(dāng)所述溫 度感測(cè)模塊為多個(gè)時(shí)，步驟S02中根據(jù)預(yù)定規(guī)則選取多個(gè)所述溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度 的其中一個(gè)作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的溫度監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述預(yù)定規(guī)則為：當(dāng)所述多個(gè) 溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度相同，則選取該溫度作為所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度；當(dāng)所述 多個(gè)溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度不同且其中感測(cè)的溫度為相同的部分溫度感測(cè)模塊的數(shù) 量占到全部數(shù)量的M%，則選取該部分溫度感測(cè)模塊所感測(cè)的溫度作為所述恒溫測(cè)試儀的 實(shí)際溫度，其中Μ為大于等于50的正整數(shù)。
11. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，步驟S03中通過(guò)替換所述至少 一個(gè)溫度感測(cè)模塊后再次獲取該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與所述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫 度的差值以檢查所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度的正確性；若所述至少一個(gè)溫度感測(cè)模塊替換 前后得到的所述差值均相等且大于所述設(shè)定值，則檢查該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確。
12. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，步驟S03通過(guò)增加所述溫度感 測(cè)模塊的數(shù)量后再次獲取該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度與所述電阻溫度探測(cè)器的反饋溫度的 差值以檢查所述恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度的正確性；若所述溫度感測(cè)模塊增加前后得到的所 述差值均相等且大于所述設(shè)定值，則檢查該恒溫測(cè)試儀的實(shí)際溫度為正確。
13. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述溫度感測(cè)模塊包括標(biāo)準(zhǔn)電 阻，步驟S01中通過(guò)以四端法測(cè)量所述標(biāo)準(zhǔn)電阻的阻值并通過(guò)查詢(xún)相應(yīng)的分度表上對(duì)應(yīng)的 溫度值獲得該阻值對(duì)應(yīng)的溫度作為所述溫度感測(cè)模塊感測(cè)的溫度。
14. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的溫度監(jiān)測(cè)方法，其特征在于，所述恒溫測(cè)試儀用于金屬電遷 移測(cè)試、時(shí)間依賴(lài)介電擊穿測(cè)試或熱載流子注入測(cè)試。
【文檔編號(hào)】G01K15/00GK104089718SQ201410357245
【公開(kāi)日】2014年10月8日 申請(qǐng)日期:2014年7月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年7月25日
【發(fā)明者】于赫薇, 尹彬鋒, 姚政 申請(qǐng)人:上海華力微電子有限公司
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