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外觀檢查裝置制造方法
【專利摘要】即使是印刷電路板發(fā)生翹曲的情況下，也能夠?qū)z查點(diǎn)對準(zhǔn)到不良部位進(jìn)行顯示。具備：支持安裝有電子零件的配線基板（5）的外側(cè)邊緣（5a）的支持部（6）；對作為檢查對象的電子零件進(jìn)行攝像的攝像裝置（7）；從斜上方照射向配線基板（5）的法線方向擴(kuò)散并通過對作為檢查對象的電子零件設(shè)定的要檢查部位的扇形的第1光線的第1照射裝置（8a）；以及從斜上方照射向配線基板（5）的法線方向擴(kuò)散并通過電子零件的要檢查部位的扇形的第2光線的第2照射裝置（8b），借助于第1光線與第2光線的交叉，表示出配線基板（5）的檢查點(diǎn)P。
【專利說明】外觀檢查裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對安裝著電子零件的印刷電路板的安裝狀態(tài)進(jìn)行檢查的外觀檢查裝置，特別是涉及適合使用于高密度安裝的電路板的外觀檢查的外觀檢查裝置。
[0002]本申請以2011年10月27日在日本國提出申請的、日本專利申請?zhí)柼卦?011 —236314為基礎(chǔ)主張優(yōu)先權(quán)，參考該申請，將其引用于本申請。
【背景技術(shù)】
[0003]以往，在印刷電路板上安裝1C、LS1、電阻器、電容器等電子零件時(shí)，由于近年來電子設(shè)備的小型化、高性能化、低成本化的要求，表面安裝技術(shù)得到廣泛應(yīng)用。
[0004]在印刷電路板上進(jìn)行電子零件等的表面安裝時(shí),首先,在玻璃鋼(glass epoxy,玻璃纖維增強(qiáng)環(huán)氧樹脂)等剛性的印刷電路板上，利用膏狀釬焊料印刷、銅箔蝕刻等形成配線圖案、安裝電子零件的焊盤(pad)。接著，利用網(wǎng)板印刷等在焊盤上印刷膏狀釬焊料后，利用自動零件搭載機(jī)等將表面安裝零件搭載在規(guī)定的位置上，進(jìn)行回流焊接。制造后，利用外觀檢查裝置進(jìn)行安裝狀況、焊接狀況等的外觀檢查，并進(jìn)行電路導(dǎo)通檢查、電氣動作的功能確認(rèn)。
[0005]在這里，在對表面安裝有電子零件等的印刷電路板進(jìn)行的外觀檢查中，利用自動檢查裝置進(jìn)行的檢查與目視檢查并用，對于利用自動檢查裝置進(jìn)行外觀檢查而被判定為不良的印刷電路板，利用目視進(jìn)行外觀檢查，對安裝不良的狀態(tài)進(jìn)行確認(rèn)。
[0006]作為利用自動檢查裝置進(jìn)行的外觀檢查，已知有利用從印刷電路板上部拍攝2維圖像得到的攝像數(shù)據(jù)和輝度數(shù)據(jù)的方法、或利用印刷電路板的3維表面形狀的測量數(shù)據(jù)的方法等。作為后者的例子，已知有將基于釬焊安裝的零件的3維形狀數(shù)據(jù)的主模式(masterpattern)與零件安裝后利用三維圖像傳感器測得的三維測量數(shù)據(jù)進(jìn)行對照的外觀檢查方法(參照例如專利文獻(xiàn)I)、以及預(yù)先設(shè)定包圍用于印刷膏狀釬焊料的焊盤的檢查框加以存儲并根據(jù)在零件安裝后利用三維測量而測量到的焊錫的延伸部與上述檢查框是否交叉來檢查焊錫橋的外觀檢查裝置(參照例如專利文獻(xiàn)2)。
[0007]但是，這些利用自動檢查裝置進(jìn)行的外觀檢查都是推定檢查，又由于從防止不良產(chǎn)品流出的觀點(diǎn)出發(fā)，嚴(yán)格設(shè)定評價(jià)為安裝不良的閾值，被評價(jià)為不良(NG)的印刷電路板實(shí)際上是否發(fā)生安裝不良、發(fā)生怎樣的安裝不良，通過目視進(jìn)行外觀檢查加以確認(rèn)。目視進(jìn)行的外觀檢查利用外觀目視檢查裝置進(jìn)行。
[0008]外觀目視檢查裝置具備:支持在自動檢查裝置中被判定為安裝不良的印刷電路板的支持部；對在自動檢查裝置中被判定為安裝不良的特定部位進(jìn)行攝像的攝像機(jī)；以及將攝像機(jī)移動到被判定為安裝不良的部位的移動裝置。攝像機(jī)所攝像的圖像被顯示于與外觀目視檢查裝置連接的監(jiān)視器。還有，攝像機(jī)具備從印刷電路板的法線方向攝像的正面攝像機(jī)和從印刷電路板的傾斜方向攝像的斜向攝像機(jī)，能夠詳細(xì)對安裝不良的部位進(jìn)行攝像、顯不O
[0009]外觀目視檢查裝置利用在自動檢查裝置中特定的不良部位的位置數(shù)據(jù)，特定預(yù)先利用攝像機(jī)攝像并顯示于監(jiān)視器的檢查點(diǎn)，對準(zhǔn)該檢查點(diǎn)移動攝像機(jī)。借助于此，檢查者能夠通過確認(rèn)監(jiān)視器上顯示的檢查點(diǎn)，容易地進(jìn)行外觀檢查。
[0010]在先技術(shù)文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1:日本特開平7 - 91932號公報(bào) 專利文獻(xiàn)2:日本特開2004 - 317291號公報(bào) 專利文獻(xiàn)3:日本特開2008 - 191106號公報(bào)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]發(fā)明要解決的問題
但是，近年來的印刷電路板從高密度安裝的觀點(diǎn)出發(fā)，往往在基板的兩個(gè)面上進(jìn)行表面安裝，因此外觀檢查裝置必須支持沒有安裝電子零件的印刷電路板的外側(cè)邊緣。但是，若支持印刷電路板的外側(cè)邊緣，則由于印刷電路板的自重，加上電子零件的重量，有時(shí)候會發(fā)生翹曲。
[0012]這樣當(dāng)支持于外觀檢查裝置的印刷電路板發(fā)生翹曲，則在自動檢查裝置中特定的不良部位與在外觀目視檢查裝置中用該不良部位的位置數(shù)據(jù)特定的檢查點(diǎn)之間產(chǎn)生偏離，恐怕會對不同于本來應(yīng)該確認(rèn)的不良部位的部位進(jìn)行攝像、顯示。
[0013]近年來的印刷電路板，由于是對小型化的電子零件高密度地進(jìn)行表面安裝，攝像機(jī)應(yīng)該攝像的不良部位也變得狹小，因此在不良部位與檢查點(diǎn)有偏離的情況下，要根據(jù)監(jiān)視器的顯示特定引起安裝不良的電子零件是困難的。
[0014]因此，本發(fā)明的目的在于，提供在印刷電路板發(fā)生翹曲的情況下也能夠使得檢查點(diǎn)對準(zhǔn)不良部位地進(jìn)行顯示并可靠地進(jìn)行外觀檢查的外觀檢查裝置。
[0015]用于解決問題的手段
為解決上述問題，本發(fā)明的外觀檢查裝置具備:支持安裝有電子零件的配線基板的外側(cè)邊緣的支持部；對作為檢查對象的上述電子零件進(jìn)行攝像的攝像裝置；從斜上方照射扇形的第I光線的第I照射裝置，其中，上述扇形的第I光線在上述配線基板的法線方向擴(kuò)散并通過對作為檢查對象的上述電子零件設(shè)定的要檢查部位；以及從斜上方照射扇形的第2光線的第2照射裝置，其中，上述扇形的第2光線在上述配線基板的法線方向擴(kuò)散并通過上述電子零件的上述要檢查部位，利用上述第I光線與第2光線的交叉，表示上述配線基板的檢查點(diǎn)。
[0016]發(fā)明效果
根據(jù)本發(fā)明，第I光線與第2光線的交線在配線基板上作為光線的交點(diǎn)顯示，該交點(diǎn)，即使是要檢查部位相應(yīng)于配線基板的翹曲而升降，映在配線基板上的光線的交點(diǎn)也沿著Z軸追隨，總是作為配線基板的檢查點(diǎn)P指出并表示。這樣，根據(jù)本發(fā)明，利用攝像裝置捕捉照射裝置照射的光線的交點(diǎn)，能夠可靠地進(jìn)行外觀檢查。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]圖1是表示外觀檢查裝置的立體圖。
[0018]圖2是表示外觀檢查裝置的正視圖。[0019]圖3是表示支持部的立體圖。
[0020]圖4是表示攝像裝置的裝置主體的結(jié)構(gòu)的圖。
[0021]圖5是利用激光照射裝置表示檢查點(diǎn)P的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0022]圖6是用于說明要檢查部位與檢查點(diǎn)P之間的關(guān)系的圖。
[0023]圖7是表示監(jiān)視器上顯示的檢查點(diǎn)P的圖。
[0024]圖8是表示進(jìn)行修正以使檢查點(diǎn)P位于監(jiān)視器的中心的狀態(tài)的圖。
[0025]符號說明
I外觀目視檢查裝置、2外筐體、3控制部、4監(jiān)視器、5印刷電路板、6支持部、7攝像裝置、8激光照射裝置、11地面、12支持框架、13臺架機(jī)構(gòu)、20正面用攝像機(jī)、21傾斜用攝像機(jī)、30自動檢查裝置。
【具體實(shí)施方式】
[0026]下面參照附圖對適用本發(fā)明的外觀檢查裝置進(jìn)行詳細(xì)說明。還有，本發(fā)明不僅僅限于以下的實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明的要旨的范圍內(nèi)當(dāng)然可以有各種變更。
[0027]下面，以將本發(fā)明適用于目視檢查裝置的情形為例進(jìn)行說明。該外觀檢查裝置I是用于對表面安裝有1C、LS1、電阻器、電容器等各種電子零件的印刷電路板的安裝狀態(tài)進(jìn)行目視檢查的裝置，如圖1、圖2所示，具備箱狀的外筐體2，由未圖示的PC等控制部3控制。又，外觀檢查裝置I與監(jiān)視器4連接，將所攝像的圖像顯示于監(jiān)視器4，能夠由檢查者進(jìn)行目視檢查。
[0028][外筐體]
外觀檢查裝置I在外筐體2內(nèi)具備支持印刷電路板5的支持部6、對支持部6支持的印刷電路板的檢查點(diǎn)進(jìn)行攝像的攝像裝置7、指示印刷電路板的檢查點(diǎn)的激光照射裝置8、以及控制體裝置整體的動作的控制部3。
[0029]外筐體2其正面?zhèn)乳_口，印刷電路板5能夠出入設(shè)置于地面(floor surface) 11上的支持部6。又，外筐體2在上側(cè)配設(shè)攝像裝置7，在側(cè)方配設(shè)激光照射裝置8。而且，夕卜筐體2設(shè)置對內(nèi)部照明的未圖示的照明裝置。
[0030][支持部]
支持部6具備支持印刷電路板5的外側(cè)邊緣5a的支持框架12、以及使支持框架12在地面11的面內(nèi)方向移動并使印刷電路板5與攝像裝置7的相對位置移動的臺架機(jī)構(gòu)(stagemechanism) 13。
[0031]支持框架12如圖3所示，具有支持印刷電路板5的長邊的一對長邊框架12a、12b ；以及設(shè)置于長邊框架12a、12b的各兩端側(cè)的角塊(corner blocks)14。支持框架12的2對角塊14分別用連接桿15連結(jié)。又，長邊框架12a、12b的背面配設(shè)著長邊板16a、16b。在外筐體2的前面?zhèn)仍O(shè)置的長邊板16a上，沿著長邊方向形成狹縫17，插通著實(shí)施印刷電路板5的定位的固定銷18。
[0032]長邊框架12a、12b伸出地形成相對向且支持印刷電路板5的下表面的支持面，以此支持印刷電路板5的外側(cè)邊緣5a。又，支持框架12的外筐體2的背面?zhèn)鹊拈L邊框架12b，由于兩側(cè)的角塊沿著連結(jié)桿15在前后方向上滑動，因此能夠靠近或遠(yuǎn)離外筐體2的前面?zhèn)鹊拈L邊框架12a，又，通過使固定銷18沿著狹縫17滑動，使印刷電路板5與左側(cè)的角塊14抵接，能夠支持所有尺寸的印刷電路板5。
[0033]支持框架12從下側(cè)支持印刷電路板5的沒有安裝電子零件的外側(cè)邊緣5a，因此即使是對于兩面安裝的印刷電路板5，也能夠加以支持而不會對下表面的安裝零件施加附加。
[0034]臺架機(jī)構(gòu)13具備:一體地對支持框架12加以支持的X軸臺13a ;以及可向Y方向移動地支持X軸臺的Y軸臺13b。X軸臺13a及Y軸臺13b具備根據(jù)控制信號進(jìn)行動作的馬達(dá)，通過驅(qū)動這些馬達(dá)，以X軸臺13a向X方向、Y軸臺13b向Y方向的方式使支持框架12 一體地移動。
[0035][攝像裝置] 對支持框架12支持的印刷電路板5的安裝不良部位進(jìn)行攝像的攝像裝置7由外筐體2的上側(cè)支持，由此從上側(cè)對安裝不良部位進(jìn)行攝像。攝像裝置7如圖4所示具備:使攝像機(jī)光軸向著支持框架12支持的印刷電路板5的法線方向的正面用攝像機(jī)(front facecamera)20 ;以及使攝像機(jī)光軸相對印刷電路板5傾斜的傾斜用攝像機(jī)(diagonal camera)21。正面用攝像機(jī)20及傾斜用攝像機(jī)21分別在透鏡鏡筒內(nèi)組裝有規(guī)定的攝像透鏡和攝像元件。
[0036]攝像裝置7中，傾斜用攝像機(jī)21隔著正面用攝像機(jī)20設(shè)置在相反側(cè)，這些正面用攝像機(jī)20及傾斜用攝像機(jī)21在裝置主體7a內(nèi)一體化，由此構(gòu)成攝像機(jī)單元。又，攝像裝置7能夠以正面用攝像機(jī)20的光軸α I為中心旋轉(zhuǎn)，利用傾斜用攝像機(jī)21從所有的角度對安裝不良部位進(jìn)行攝像。
[0037]還有，攝像裝置7可以是使正面用攝像機(jī)20、傾斜用攝像機(jī)21具備聚焦功能和變焦功能，或可以不具備這些功能，而具有實(shí)現(xiàn)大景深用的焦距和光圈，采用能夠進(jìn)行全焦點(diǎn)
才一力7)攝影的照射機(jī)(camera，攝像機(jī))進(jìn)行攝影，借助于控制部3的處理用合適的圖像尺寸進(jìn)行顯示。
[0038]攝像裝置7被設(shè)計(jì)為，預(yù)先使正面用攝像機(jī)20的光軸α I與激光照射裝置8形成的交線L的延長線上一致，同時(shí)傾斜用攝像機(jī)21的光軸α 2通過該交線L上，以使得能夠以后述的激光照射裝置8示出的激光的交點(diǎn)作為檢查點(diǎn)P進(jìn)行攝像。
[0039]還有，攝像裝置7也可以設(shè)置多個(gè)傾斜用攝像機(jī)21。例如攝像裝置7可以通過設(shè)置高倍率攝像機(jī)與低倍率攝像機(jī)構(gòu)成的I對傾斜用攝像機(jī)21，由此相應(yīng)于檢查部位分開使用。又，攝像裝置7也可以是將多個(gè)傾斜用攝像機(jī)21繞正面用攝像機(jī)20的光軸α I的光軸配置，可以等間隔配置，也可以不等間隔配置。
[0040][激光照射裝置]
下面對照射指示支持框架12支持的印刷電路板5的檢查點(diǎn)的激光的激光照射裝置8進(jìn)行說明。激光照射裝置8是照射可見光激光的裝置，在攝像裝置7的裝置主體7a內(nèi)具備從斜上方向印刷電路板5上照射相互交叉的扇形的激光的第1、第2激光照射裝置8a、8b。最好是第1、第2激光照射裝置8a、8b在裝置主體7a內(nèi)配置為照射的激光相互正交。
[0041]第I激光照射裝置8a照射通過由自動檢查裝置30預(yù)先在印刷電路板5上設(shè)定的要檢查部位的第I激光。同樣，第2激光照射裝置Sb照射通過預(yù)先在印刷電路板5上設(shè)定的要檢查部位的第2激光。第1、第2激光都是向支持框架12支持的印刷電路板5的法線方向擴(kuò)散的扇形光線，利用相互交叉，在印刷電路板5上將檢查點(diǎn)P作為交點(diǎn)指示。
[0042]檢查點(diǎn)P是指借助于先于利用外觀檢查裝置I進(jìn)行的目視檢查實(shí)施的、利用自動檢查裝置30進(jìn)行的檢查，確定被疑為安裝不良的要檢查部位，根據(jù)該要檢查部位的位置數(shù)據(jù)，在支持框架12支持的印刷電路板5上設(shè)定的有必要進(jìn)行目視檢查的部位。攝像裝置7被預(yù)先設(shè)置在使正面用攝像機(jī)20的光軸α I與第1、第2激光的交線L上一致的位置上，以能夠?qū)υ摍z查點(diǎn)P進(jìn)行攝像，支持框架12參照要檢查部位的位置數(shù)據(jù)，利用臺架機(jī)構(gòu)13移動以使得要檢查部位位于第1、第2激光的交線L上。
[0043]在這里，如圖6 Ca)所示，如果印刷電路板5不發(fā)生翹曲，則根據(jù)由自動檢查裝置30設(shè)定的要檢查部位的位置數(shù)據(jù)，設(shè)定印刷電路板5與攝像裝置7的相對位置，能夠利用傾斜用攝像機(jī)21捕捉到需要目視檢查的檢查點(diǎn)P。但是，如圖6 (b)所示，在支持框架12支持的印刷電路板5發(fā)生向下翹曲的情況下，或如圖6 (c)所示，在支持框架12支持的印刷電路板5發(fā)生向上翹曲的情況下，根據(jù)在自動檢查裝置30特定的要檢查部位與由自動檢查裝置30設(shè)定的要檢查部位的位置數(shù)據(jù)，在外觀檢查裝置I設(shè)定支持框架12支持的印刷電路板5與攝像裝置7之間的相對位置時(shí)，監(jiān)視器4上顯示的傾斜用攝像機(jī)21的圖像與實(shí)際的要檢查部位之間發(fā)生偏離。
[0044]在圖6(c)中，由于印刷電路板5向上翹曲，傾斜用攝像機(jī)21的光軸α 2捕捉到要檢查部位的跟前，在圖6 (b)中，由于印刷電路板5向下翹曲，傾斜用攝像機(jī)21的光軸α 2捕捉到要檢查部位的前方。這樣，根據(jù)自動檢查裝置30設(shè)定的要檢查部位的數(shù)據(jù)設(shè)定印刷電路板5與攝像裝置7的相對位置的情況下，不能夠捕捉到需要目視檢查的檢查點(diǎn)P，檢查者不能夠判斷要目視檢查哪一個(gè)表面安裝零件的哪一個(gè)位置。特別是在近年來，表面安裝零件采用0603芯片等其一邊不滿Imm的極小的芯片零件，由于這些極小的芯片采取高密度安裝，因此在監(jiān)視器上很難確認(rèn)檢查點(diǎn)P。
[0045]因此，外觀檢查裝置I利用激光照射裝置8照射通過根據(jù)自動檢查裝置30設(shè)定的要檢查部位的數(shù)據(jù)設(shè)定的該要檢查部位的激光。該激光是向印刷電路板5的法線方向擴(kuò)散的扇形的光線，借助于相互交叉，相互之間的交線L形成通過印刷電路板5的要檢查部位的法線方向的Z軸(圖5)。
[0046]該交線L在印刷電路板5上作為激光的交點(diǎn)表示，該交點(diǎn)如圖7所示，即使是要檢查部位相應(yīng)于印刷電路板5的翹曲而升降，映在印刷電路板5上的激光的交點(diǎn)也沿著Z軸追隨，總是作為印刷電路板5的檢查點(diǎn)P進(jìn)行指示。這樣，如果采用外觀檢查裝置1，能夠利用攝像裝置7捕捉激光照射裝置8照射的激光的交點(diǎn)，由此能夠可靠地對檢查點(diǎn)P進(jìn)行攝像并將其顯示于監(jiān)視器。
[0047][控制部]
控制部3是根據(jù)檢查者的操作對外觀檢查裝置I的各部進(jìn)行控制以進(jìn)行目視檢查的構(gòu)件，可以用例如PC等信息處理終端構(gòu)成?？刂撇?從自動檢查裝置30接收作為目視檢查對象的印刷電路板5的要檢查部位的位置數(shù)據(jù)。然后，控制部3根據(jù)該位置數(shù)據(jù)驅(qū)動臺架機(jī)構(gòu)13調(diào)整支持框架12的位置，以使要檢查部位位于激光照射裝置8的第1、第2激光照射裝置8a、8b的各激光的交線上。
[0048]這樣，即使是在印刷電路板5發(fā)生翹曲，要檢查部位相應(yīng)于翹曲向上下方向移動的情況下，第1、第2激光照射裝置8a、8b的各激光的交點(diǎn)沿著各激光的交線L、即沿著印刷電路板5的法線方向移動，因此總能夠?qū)⒂∷㈦娐钒?的要檢查部位作為檢查點(diǎn)P指示。
[0049]接著,控制部3利用攝像裝置7的正面用攝像機(jī)20及傾斜用攝像機(jī)21對印刷電路板5的要檢查部位進(jìn)行攝像，在監(jiān)視器4顯示攝像裝置7攝像的圖像。在該圖像上，顯示第1、第2激光照射裝置8a、8b的各激光的交點(diǎn)作為檢查點(diǎn)P，因此檢查者能夠?qū)⒃摻稽c(diǎn)作為標(biāo)記容易地對要檢查部位進(jìn)行檢查。
[0050]又，控制部3也可以使檢查點(diǎn)P顯示于監(jiān)視器4的中心。也就是說，由于印刷電路板5撓曲造成要檢查部位向上下方向移動，因此在攝像裝置7的攝像圖像中，也如圖7所示，有表示要檢查部位的檢查點(diǎn)P在監(jiān)視器4上偏離中心的情況發(fā)生，在翹曲程度大等情況下，也可能在監(jiān)視器4不能夠顯示。
[0051]因此，控制部3如圖8所示進(jìn)行控制，使第1、第2激光照射裝置8a、8b的各激光的交點(diǎn)到達(dá)監(jiān)視器4的中心，這樣能夠提高目視檢查的方便性。這種控制可以利用例如下述的方法進(jìn)行，即以第1、第2激光照射裝置8a、8b的各激光的交點(diǎn)為中心設(shè)定利用例如攝像裝置7進(jìn)行全焦點(diǎn)才一力7 )攝影得到的原圖像的修整(trimming)范圍，以規(guī)定的圖像尺寸在監(jiān)視器4上顯示?；蛘?，這種控制也可以利用例如下述的方法進(jìn)行，即賦予攝像裝置7的傾斜用攝像機(jī)21以視角的調(diào)節(jié)功能和探索、檢測第1、第2激光照射裝置8a、8b的各激光的交點(diǎn)的功能，以該激光的交點(diǎn)為中心進(jìn)行攝像。
[0052]這時(shí)，外觀檢查裝置I如圖4所示，也可以使傾斜用攝像機(jī)21與第I或第2激光照射裝置8a、8b中的一方向著同一方向或相對配置,使傾斜用攝像機(jī)21的光軸α 2與印刷電路板5的法線形成的面SI與向印刷電路板5的法線方向擴(kuò)散的第I和第2激光照射裝置8a、8b的一方的激光形成的面S2位于同一平面上。
[0053]這樣，如圖8所示，該第I和第2激光照射裝置8a、8b的一方照射的激光在監(jiān)視器4上顯示的傾斜用攝像機(jī)21的圖像中向上下方向照射，構(gòu)成Y軸。又，第I和第2激光照射裝置8a、8b中的另一方照射的激光在監(jiān)視器4上顯示的傾斜用攝像機(jī)21的圖像中向左右方向照射，構(gòu)成X軸。從而，檢查點(diǎn)P也位于該Y軸上，使檢查點(diǎn)P位于監(jiān)視器4的中心時(shí)，能夠沿著Y軸調(diào)整傾斜用攝像機(jī)21的圖像剪裁范圍、或調(diào)整傾斜用攝像機(jī)21的視角，能夠容易地進(jìn)行調(diào)整。
[0054][其他構(gòu)造]
還有，上述外觀檢查裝置I中，在支持部6設(shè)置使支持框架12在XY方向上移動的臺架機(jī)構(gòu)13，但是本發(fā)明也可以在攝像裝置7上設(shè)置X、Y、Z方向的移動機(jī)構(gòu)，使印刷電路板5與攝像裝置7的相對位置移動。
[0055]又，上述外觀檢查裝置I中，以使得激光照射裝置8的第1、第2激光照射裝置8a、8b的各激光的交線與攝像裝置7的正面用攝像機(jī)20的光軸一致的方式預(yù)先固定兩者的位置，使支持部6向XY方向移動，使要檢查部位位于激光的交線上，但是本發(fā)明也可以在組裝有激光照射裝置8及攝像裝置7的裝置主體7a中設(shè)置X、Y、Z方向的移動機(jī)構(gòu)。
[0056]而且，上述外觀檢查裝置I，在裝置主體7a內(nèi)組裝有攝像裝置及激光照射裝置8并進(jìn)行單元化，但是本發(fā)明也可以是分別構(gòu)成攝像裝置7和激光照射裝置8，并裝入外筐體2中。
[0057]在這種情況下，作為激光照射裝置8，以使各激光正交的方式配置第I激光照射裝置8a及第2激光照射裝置Sb的情況下，也可以在一方設(shè)置X方向及Z方向的移動機(jī)構(gòu)，在另一方設(shè)置Y方向及Z方向的移動機(jī)構(gòu)。第I激光照射裝置8a及第2激光照射裝置Sb可以通過分別設(shè)置Z方向的移動機(jī)構(gòu)，調(diào)整激光的照射角度。從而，在與要檢查部位之間搭載具有高度的電子零件而由此遮住激光的情況下，也可以通過提高照射位置以將激光照射到要檢查部位。
[0058]又，在這種情況下，使傾斜用攝像機(jī)21的光軸α 2與第I和第2激光照射裝置8a、8b的一方的激光形成的面S2位于同一平面上的配置，可以通過使攝像裝置7以正面用攝像機(jī)20的光軸為中心旋轉(zhuǎn)而容易地構(gòu)成。
[0059]又，在上面的內(nèi)容中，以將本發(fā)明的外觀檢查裝置適用于目視檢查裝置的情況為例進(jìn)行說明，但是本發(fā)明也可以適用于自動檢查裝置。在這種情況下，也可以將要檢查部位表示為第1、第2激光照射裝置8a、8b的各激光的交點(diǎn)，進(jìn)行控制以檢測出該交點(diǎn)并利用傾斜用攝像機(jī)21進(jìn)行攝像，由此能夠靠地捕捉要檢查部位，將該攝像的圖像、位置數(shù)據(jù)提供給目視檢查。
【權(quán)利要求】
1.一種外觀檢查裝置，其特征在于，具備 支持部，支持安裝有電子零件的配線基板的外側(cè)邊緣； 攝像裝置，對作為檢查對象的所述電子零件進(jìn)行攝像； 第I照射裝置，從斜上方照射扇形的第I光線，其中，所述扇形的第I光線向所述配線基板的法線方向擴(kuò)散，通過對作為檢查對象的所述電子零件設(shè)定的要檢查部位；以及 第2照射裝置，從斜上方照射扇形的第2光線，其中，所述扇形的第2光線向所述配線基板的法線方向擴(kuò)散，通過所述電子零件的所述要檢查部位， 利用所述第I光線與第2光線的交叉，表示所述配線基板的檢查點(diǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 所述攝像裝置具備從所述配線基板的法線方向進(jìn)行攝像的第I攝像機(jī)以及對所述配線基板從斜上方進(jìn)行攝像的第2攝像機(jī)， 配置所述第1、第2照射裝置與所述攝像裝置以使得所述第I攝像機(jī)的光軸與所述第I光線和第2光線的交線一致。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 具備使所述支持部向所述配線基板的面內(nèi)方向移動的移動構(gòu)件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所 述的外觀檢查裝置，其特征在于，具備 監(jiān)視器，放映所述攝像裝置所拍攝的圖像；以及 控制裝置，控制所述監(jiān)視圖像，以使所述第I光線與所述第2光線的交點(diǎn)對準(zhǔn)所述監(jiān)視器的中心地進(jìn)行顯示。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 所述攝像裝置具備從所述配線基板的法線方向進(jìn)行攝像的第I攝像機(jī)和對所述配線基板從斜向進(jìn)行攝像的第2攝像機(jī)， 所述第2攝像機(jī)的光軸與所述配線基板的法線形成的面與所述第I照射裝置或所述第2照射裝置中的任意一個(gè)的光線形成的面位于同一平面上。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 具備使所述第I照射裝置及所述第2照射裝置向所述配線基板的法線方向移動的移動>j-U ρ?α裝直。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 具備使所述第I照射裝置及所述第2照射裝置向所述配線基板的面內(nèi)方向移動的移動>j-U ρ?α裝直。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 所述第I照射裝置及所述第2照射裝置配置為所述第I光線與所述第2光線正交。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外觀檢查裝置，其特征在于， 具備使所述攝像裝置向所述配線基板的面內(nèi)方向及所述配線基板的法線方向的全部或一部分移動的移動裝置。
【文檔編號】G01N21/956GK103718027SQ201280038252
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2012年10月22日 優(yōu)先權(quán)日:2011年10月27日
【發(fā)明者】內(nèi)海正人, 長谷部精二 申請人:Wit 株式會社