光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置及方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置及方法，在光學(xué)玻璃母材的表面、內(nèi)部的缺陷檢查中，不是由作業(yè)人員進(jìn)行抽樣感官檢查，而是全數(shù)檢查，并且使檢查時(shí)間迅速化，降低檢查結(jié)果的偏差，從而得到高品質(zhì)的光學(xué)玻璃母材。至少具有載置光學(xué)玻璃母材的檢查單元，檢查單元具有：光源部，其對(duì)光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部照射光；攝像部，其對(duì)被來自光源部的光照射的光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部和表面中的至少一方進(jìn)行拍攝；以及判斷控制部，其根據(jù)來自攝像部的圖像信號(hào)來判斷與光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部和表面中的至少一方的缺陷有關(guān)的信息。
【專利說明】光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置及方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及一種光學(xué)玻璃母材的自動(dòng)品質(zhì)檢查裝置以及光學(xué)玻璃母材的自動(dòng)品質(zhì)檢查方法。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，不僅光學(xué)設(shè)備、數(shù)字照相機(jī)，連便攜式電話機(jī)等中也搭載了照相機(jī)，從而對(duì)由光學(xué)玻璃等構(gòu)成的透鏡等的需要逐年增加。作為制造這種透鏡等的原料的光學(xué)玻璃母材需要使入射的像等不變形地透過。因此，要求光學(xué)玻璃母材具有高品質(zhì)、特別是無缺陷、均勻的折射率等光學(xué)特性。因此，在光學(xué)玻璃母材的制造、實(shí)際應(yīng)用中，需要對(duì)光學(xué)玻璃母材內(nèi)部和表面中的至少一方的缺陷進(jìn)行檢測、評(píng)價(jià)等。
[0003]此外，“缺陷”是指光學(xué)玻璃母材的表面和內(nèi)部中的至少一方的例如氣泡、異物(混入物等)、損傷、失透等。并且，“品質(zhì)檢查”是指檢測這種缺陷并根據(jù)其檢測結(jié)果來判斷品質(zhì)。
[0004]例如，已知例如專利文獻(xiàn)I所記載的方法，以檢查光學(xué)材料的內(nèi)部狀態(tài)。
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2011-117951號(hào)公報(bào)
【發(fā)明內(nèi)容】
_6] 發(fā)明要解決的問題
[0007]在該檢查方法中，每次檢查作為被檢體的光學(xué)材料都需要將該光學(xué)材料載置到檢查單元。
[0008]現(xiàn)狀是，在光學(xué)玻璃母材的品質(zhì)檢查中，強(qiáng)烈希望滿足以下(I)、(2)、(3)。
[0009](I) 24小時(shí)，進(jìn)行全數(shù)檢查；
[0010](2)不是由作業(yè)人員進(jìn)行的抽樣感官檢查，而是全數(shù)檢查；
[0011](3)使檢查時(shí)間迅速化，降低檢查結(jié)果的偏差，
[0012]由此，能夠?qū)崿F(xiàn)檢查結(jié)果的提前反饋、防止次品流出、基于準(zhǔn)確檢查結(jié)果提高品質(zhì)、降低人事費(fèi)。
_3] 用于解決問題的方案
[0014]本
【發(fā)明者】們?yōu)榱私鉀Q上述問題而反復(fù)深入研究的結(jié)果是，發(fā)現(xiàn)了能夠通過對(duì)光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部和表面中的至少一方照射光并從光學(xué)玻璃母材的外側(cè)進(jìn)行拍攝，來檢測光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部(包含表面和背面)是否存在缺陷，自動(dòng)地判斷(檢查)品質(zhì)，從而完成了本發(fā)明。更具體地說，本發(fā)明提供以下那樣的裝置和方法。
[0015]此外，以下，即使在關(guān)于光學(xué)玻璃母材僅稱為“內(nèi)部”的情況下，也適當(dāng)?shù)匾馕吨鈱W(xué)玻璃母材的表面、背面、內(nèi)部中的至少一個(gè)的情況。
[0016]另外，在光學(xué)玻璃母材中還特別適于檢查板狀母材的品質(zhì)。
[0017]具體地說，本發(fā)明提供以下技術(shù)。
[0018](I) 一種光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，至少具有載置光學(xué)玻璃母材的檢查單元，
[0019]上述檢查單元具有:
[0020]光源部，其對(duì)上述光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部照射光；
[0021]攝像部，其對(duì)被來自上述光源部的光照射的上述光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部和表面中的至少一方進(jìn)行拍攝；以及
[0022]判斷控制部，其根據(jù)來自上述攝像部的圖像信號(hào)來判斷與上述光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部和表面中的至少一方的缺陷有關(guān)的信息。
[0023](2)根據(jù)(1)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，還具有輸送單元，該輸送單兀具有第一傳感器，并根據(jù)來自第一傳感器的第一輸出信號(hào)向規(guī)定的方向輸送上述光學(xué)玻璃母材，其中，該第一傳感器識(shí)別從玻璃母材制造單元的退火窯端部送出的光學(xué)玻璃母材的送出狀態(tài)。
[0024](3)根據(jù)(1)或者⑵所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，上述檢查單元還具有第二傳感器，該第二傳感器對(duì)上述光學(xué)玻璃母材在上述檢查單元上的位置進(jìn)行檢測，并輸出第二輸出信號(hào)。
[0025](4)根據(jù)⑵或者⑶所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，上述輸送單兀根據(jù)來自上述第一傳感器的上述第一輸出信號(hào)，通過玻璃給送部將上述光學(xué)玻璃母材輸送到上述檢查單元。
[0026](5)根據(jù)(3)或者(4)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，
[0027]上述檢查單元還具有光源驅(qū)動(dòng)部，
[0028]上述光源驅(qū)動(dòng)部根據(jù)上述第二傳感器的檢測結(jié)果，將上述光源部驅(qū)動(dòng)至上述檢查單元上的向上述光學(xué)玻璃母材照射光的照射位置和從上述光學(xué)玻璃母材的輸送通道退避的退避位置中的某一個(gè)位置。
[0029](6)根據(jù)(5)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，
[0030]上述第二傳感器在輸送過來的上述光學(xué)玻璃母材載置在上述檢查單元上的規(guī)定位置時(shí)輸出第二輸出信號(hào)，
[0031]上述光源驅(qū)動(dòng)部根據(jù)上述第二輸出信號(hào)將上述光源部驅(qū)動(dòng)至照射位置，向上述光學(xué)玻璃母材照射光。
[0032](7)根據(jù)(1)~(6)中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，
[0033]上述檢查單元還具有攝像用驅(qū)動(dòng)部，
[0034]上述攝像用驅(qū)動(dòng)部使上述攝像部與所載置的上述光學(xué)玻璃母材的相對(duì)距離發(fā)生變化，
[0035]從由上述光源部進(jìn)行照射的上述光學(xué)玻璃母材的表面至背面在規(guī)定的面積上進(jìn)行掃描及攝像。
[0036](8)根據(jù)(1)~(7)中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，在上述檢查單元的與拍攝上述光學(xué)玻璃母材一側(cè)相反的一側(cè)的面設(shè)置遮光構(gòu)件。
[0037](9)根據(jù)(1)~(8)中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，
[0038]上述檢查單元還具有標(biāo)記部，
[0039]對(duì)由上述判斷控制部基于拍攝到的圖像信息判斷為缺陷的部分的上述光學(xué)玻璃母材的表面進(jìn)行標(biāo)記。[0040](10)根據(jù)(I)?(9)中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，能夠向與上述光學(xué)玻璃母材的制造相關(guān)聯(lián)的裝置反饋與由上述判斷控制部判斷出的缺陷有關(guān)的彳目息。
[0041](11)根據(jù)(I)?(10)中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，上述光源部為電燈泡、突光燈、發(fā)光二極管、激光光源等，上述光源部射出的光的波長為紫外光、可見光、紅外光中的任一個(gè)。
[0042](12)根據(jù)(I)?(11)中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，還具有搬出單元，該搬出單元與上述檢查單元鄰接，搬出缺陷檢查結(jié)束的上述光學(xué)玻璃母材。
[0043](13) 一種光學(xué)玻璃母材缺陷檢查方法,其特征在于,至少包括對(duì)所輸送的光學(xué)玻璃母材進(jìn)行檢查的檢查工序，
[0044]上述檢查工序包括以下工序:
[0045]光照射工序，對(duì)上述光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部照射光；
[0046]攝像工序，對(duì)所照射的上述光學(xué)玻璃母材的表面與內(nèi)部中的至少一方進(jìn)行拍攝；以及
[0047]判斷控制工序，根據(jù)在上述攝像工序得到的圖像信號(hào)來判斷與上述光學(xué)玻璃母材的缺陷有關(guān)的信息。
[0048](14)根據(jù)(13)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查方法，其特征在于，
[0049]還包括輸送工序，在該輸送工序中根據(jù)作為母材的光學(xué)玻璃母材的輸送狀態(tài)向規(guī)定的方向輸送上述光學(xué)玻璃母材。
[0050](15) 一種光學(xué)玻璃母材的自動(dòng)品質(zhì)檢查裝置，至少具有載置光學(xué)玻璃母材的檢查單元，
[0051]上述檢查單元具有:
[0052]光源部，其對(duì)上述光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部照射光；
[0053]攝像部，其對(duì)被來自上述光源部的光照射的上述光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部與表面中的至少一方進(jìn)行拍攝；以及
[0054]判斷控制部，其根據(jù)來自上述攝像部的圖像信號(hào)來判斷與上述光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部與表面中的至少一方的缺陷有關(guān)的信息。
[0055](16) 一種光學(xué)玻璃母材的自動(dòng)品質(zhì)檢查方法,至少包括對(duì)所輸送的上述光學(xué)玻璃母材進(jìn)行檢查的檢查工序，
[0056]上述檢查工序包括以下工序:
[0057]光照射工序，對(duì)上述光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部照射光；
[0058]攝像工序，對(duì)所照射的上述光學(xué)玻璃母材的表面與內(nèi)部中的至少一方進(jìn)行拍攝；以及
[0059]判斷控制工序，根據(jù)在上述攝像工序得到的圖像信號(hào)來判斷與上述光學(xué)玻璃母材的缺陷有關(guān)的信息。
_0] 發(fā)明的效果
[0061 ] 根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種能夠準(zhǔn)確、迅速地全數(shù)檢查光學(xué)玻璃母材的表面與內(nèi)部中的至少一方的缺陷的光學(xué)玻璃母材的自動(dòng)品質(zhì)檢查裝置以及光學(xué)玻璃母材自動(dòng)品質(zhì) 缺陷檢查方法。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0062]圖1的(a)是從側(cè)面觀察第一實(shí)施方式所涉及的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置的圖。圖1的(b)是從側(cè)面觀察第一實(shí)施方式所涉及的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置的另一圖。
[0063]圖2是從側(cè)面觀察第一實(shí)施方式所涉及的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置的又一圖。
[0064]圖3是說明第二實(shí)施方式所涉及的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查方法的流程圖。
[0065]圖4的(a)是表示檢查光學(xué)玻璃母材時(shí)的光學(xué)玻璃的母材部分的圖。圖4的(b)是對(duì)在母材內(nèi)部產(chǎn)生的氣泡進(jìn)行了放大表示的變焦透鏡。
[0066]圖5的(a)、(b)、(c)是表示針對(duì)缺陷的不同聚焦的圖像的圖，圖5的(d)、(e)是表不各種缺陷映射圖的圖。
[0067]附圖標(biāo)記說明
[0068]100:光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置；11:退火窯端部；20:輸送單元；22:第一傳感器；30:檢查單元；31:輸送部；32:第二傳感器；33a、33b:光源部；34:光源驅(qū)動(dòng)部；35:判斷控制部；36:攝像用驅(qū)動(dòng)部；37:攝像部；40:搬出單元；G1、G2、G3:板狀的光學(xué)玻璃母材。
【具體實(shí)施方式】
[0069]說明本實(shí)施方式的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置以及光學(xué)玻璃母材缺陷檢查方法。此外，本發(fā)明并不限定于本實(shí)施方式。即使對(duì)這些詳細(xì)內(nèi)容添加各種變形、變更，也不超出本發(fā)明的范圍。
[0070]圖1的(a)、(b)、圖2分別表示第一實(shí)施方式的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置100的外觀結(jié)構(gòu)的圖。按照?qǐng)D1的(a)、(b)、圖2的順序分別表示向紙面右方向發(fā)送光學(xué)玻璃母材Gl的狀態(tài)。
[0071]在圖1的(a)中，光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置100至少具有輸送單元20、檢查單元30以及搬出單元40。
[0072]輸送單元20具有第一傳感器22，該第一傳感器22對(duì)從玻璃母材制造單元10的退火窯端部11送出的光學(xué)玻璃母材Gl的送出狀態(tài)進(jìn)行識(shí)別。輸送單元20根據(jù)來自第一傳感器22的輸出信號(hào),通過輸送部31向規(guī)定的方向(紙面右方向)輸送光學(xué)玻璃母材G1。另外，檢查單元30使從輸送單元20輸送的光學(xué)玻璃母材Gl載置在規(guī)定的位置。
[0073]參照?qǐng)D1的(b)繼續(xù)進(jìn)行說明。光學(xué)玻璃母材Gl為板狀的光學(xué)玻璃母材。輸送單兀20根據(jù)來自第一傳感器22的第一輸出信號(hào)，通過玻璃給送部21、例如帶式輸送機(jī)向檢查單元30輸送光學(xué)玻璃母材Gl。
[0074]檢查單元30具有光源驅(qū)動(dòng)部34。光源驅(qū)動(dòng)部34根據(jù)第二傳感器的檢測結(jié)果，將光源部33a(33b)驅(qū)動(dòng)至檢查單元30上的向光學(xué)玻璃母材Gl照射光的照射位置(在圖1的(b)中用實(shí)線表示)以及從光學(xué)玻璃母材Gl的輸送通道退避的退避位置(在圖1的(b)中用虛線表示)中的某一個(gè)位置。
[0075]第二傳感器32在輸送過來的光學(xué)玻璃母材Gl載置在檢查單元30上的規(guī)定位置時(shí)輸出第二輸出信號(hào)。光源驅(qū)動(dòng)部34根據(jù)第二輸出信號(hào)將光源部33a驅(qū)動(dòng)至照射位置。而且，被驅(qū)動(dòng)的光源部33b向光學(xué)玻璃母材Gl照射光。[0076]檢查單元30具有攝像用驅(qū)動(dòng)部36。攝像用驅(qū)動(dòng)部36使攝像部37與所載置的光學(xué)玻璃母材Gl的相對(duì)距離變化。
[0077]而且，從由光源部33b進(jìn)行照射的光學(xué)玻璃母材Gl的表面至背面在規(guī)定的面積進(jìn)行掃描及攝像。
[0078]攝像用驅(qū)動(dòng)部36例如使作為攝像部37的照相機(jī)在用圖1的(b)的箭頭C表示的方向上進(jìn)行上下移動(dòng)、即從光學(xué)玻璃母材Gl的表背面向內(nèi)部方向移動(dòng)。在規(guī)定的區(qū)域內(nèi)反復(fù)掃描光學(xué)玻璃母材Gl的厚度量。
[0079]此時(shí)，還配合作為攝像部37的照相機(jī)的聚焦位置來調(diào)整光源部33a(33b)的高度。由此，聚焦位置與光源部的高度一致，缺陷的檢測精度進(jìn)一步提高。
[0080]判斷控制部35根據(jù)來自攝像部37的圖像信號(hào)來判斷與光學(xué)玻璃母材Gl的內(nèi)部的缺陷有關(guān)的信息。
[0081]圖5的(a)、(b)、(C)示出拍攝到的圖像的各種聚焦?fàn)顟B(tài)。將最聚焦的深度(例如，圖5的(C))的掃描數(shù)據(jù)設(shè)為檢測結(jié)果。其結(jié)果是，缺陷大小的測量精度提高。由此，能夠檢測光學(xué)玻璃母材Gl的表面、內(nèi)部的缺陷(氣泡、異物、失透等)。
[0082]另外，照相機(jī)并不限定于固定焦點(diǎn)透鏡，還能夠使用變焦透鏡。在此，攝像用的透鏡還能夠應(yīng)用單焦點(diǎn)或者變焦透鏡的自動(dòng)調(diào)焦。
[0083]另外，攝像用的照相機(jī)也可以是區(qū)域照相機(jī)、線陣照相機(jī)中的任一個(gè)。
[0084]如圖4的(a)的立體圖所示，光學(xué)玻璃母材Gl具有與長度方向正交的垂直的截面Gib。
[0085]光源部33b從截面Glb的方向照明光學(xué)玻璃母材Gl。
[0086]由此，能夠減少反射光。
[0087]此外，并不限定于來自截面的照射，還能夠從與長度方向正交的方向(在圖4的(a)中具有曲率的方向)照明。
[0088]光源部33b為電燈泡、突光燈、發(fā)光二極管、激光光源等。射出的光的波長也可以是紫外光、可見光、紅外光中的任一個(gè)。
[0089]期望在檢查單元30的與拍攝光學(xué)玻璃母材Gl —側(cè)相反的一側(cè)的面Glc設(shè)置有遮光構(gòu)件39。
[0090]另外，并不限定于光學(xué)玻璃母材Gl的背面Glc，還能夠在進(jìn)行拍攝的表面Gla的攝像區(qū)域以外的區(qū)域設(shè)置遮光構(gòu)件。
[0091]由此，能夠通過光學(xué)玻璃母材Gl的表面波紋等來減少散射光，從而能夠進(jìn)行更準(zhǔn)確的缺陷檢測。
[0092]如圖1的(a)、(b)和圖2所示，檢查單元30還具有標(biāo)記部38。
[0093]而且，在判斷控制部35根據(jù)拍攝到的圖像信息判斷為缺陷的部分的光學(xué)玻璃母材Gl的表面進(jìn)行例如圓形的標(biāo)記(圖4的(a)的MK)。期望在標(biāo)記時(shí)使用噴墨方式。并且，作為進(jìn)行標(biāo)記的方法，除了噴墨方式以外，還能夠使用激光打標(biāo)、刻印、其它公知的轉(zhuǎn)印功能。
[0094]例如在檢測出大小為100 μ m以上的缺陷的情況下，在光學(xué)玻璃母材Gl的表面Gla(圖4的(a))的相應(yīng)部位進(jìn)行標(biāo)記。
[0095]圖4的(b)是放大表示氣泡BI的圖。[0096]構(gòu)成為能夠向與光學(xué)玻璃母材Gl的制造有關(guān)的裝置(未圖示)反饋與由判斷控制部35判斷出的缺陷有關(guān)的信息。
[0097]例如在檢測出大量的缺陷的情況下，還能夠作為產(chǎn)生工序異常而拉響警報(bào)，立即向相關(guān)部門進(jìn)行通知。
[0098]并且，判斷控制部35根據(jù)檢測出的缺陷的個(gè)數(shù)和大小進(jìn)行遵照預(yù)定的玻璃內(nèi)部品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)的合格與否判斷。而且，根據(jù)匯集了缺陷的大小和個(gè)數(shù)、合格與否判斷等的檢查結(jié)果表以及實(shí)際的掃描圖像來自動(dòng)地制作缺陷位置的映射圖作為品質(zhì)檢查結(jié)果。
[0099]如圖5的(d)、(e)所示，能夠進(jìn)行始終顯示檢查結(jié)果、還以圖表形式顯示時(shí)間序列數(shù)據(jù)、以及始終顯示檢測出的缺陷的映射數(shù)據(jù)等。
[0100]當(dāng)返回到圖2繼續(xù)進(jìn)行說明時(shí)，設(shè)置有與檢查單元30鄰接并搬出缺陷檢查結(jié)束的光學(xué)玻璃母材Gl的搬出單元40。
[0101]傳感器42檢測光學(xué)玻璃母材Gl的位置。搬出部41將光學(xué)玻璃母材Gl輸送到下
一工序。
[0102]這樣，從圖2可知，在光學(xué)玻璃母材Gl的缺陷檢查結(jié)束的狀態(tài)下，從玻璃母材制造單元10的退火窯端部11送出另一光學(xué)玻璃母材G3。而且，在檢查單元30中，進(jìn)行著又一光學(xué)玻璃母材G2的檢查。
[0103]如上所述，根據(jù)本實(shí)施方式，能夠24小時(shí)地進(jìn)行全數(shù)檢查。并且，能夠提前反饋至內(nèi)部品質(zhì)的制造工序。其結(jié)果是，能夠制造出品質(zhì)提高的光學(xué)玻璃母材。
[0104]在此，在本說明書中，反饋是指驗(yàn)證與玻璃母材的缺陷有關(guān)的監(jiān)視結(jié)果以及根據(jù)不同的情況對(duì)它們進(jìn)行統(tǒng)計(jì)得到的數(shù)據(jù)，并反映到玻璃母材的熔解階段的各種參數(shù)的調(diào)整中。
[0105]另外，與以往的抽樣感官檢查不同，能夠?qū)θ珨?shù)進(jìn)行可靠的檢查。其結(jié)果是，能夠防止由漏看缺陷導(dǎo)致流出品質(zhì)不良品。除此以外，能夠減少人事費(fèi)，不會(huì)由流出品質(zhì)不良品導(dǎo)致需要增加檢查者。
[0106]接著，說明第二實(shí)施方式所涉及的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查方法。圖3是說明本實(shí)施方式的過程的流程圖。
[0107]在步驟SlOl中，退火窯端部11的作業(yè)人員對(duì)光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置100的計(jì)算機(jī)終端輸入光學(xué)玻璃母材的信息(厚度、制造編號(hào)等)。例如能夠?qū)⒂|摸面板使用于輸入。
[0108]在步驟S102中，作業(yè)人員在退火窯端部11中以Im為單位切斷光學(xué)玻璃母材Gl。而且，以橫跨退火窯端部11的搬出口的帶式輸送機(jī)(玻璃給送部21)與檢查單元30的輸送部31的方式載置光學(xué)玻璃母材Gl。
[0109]另外，切斷的單位不特別進(jìn)行限定。能夠按照每個(gè)規(guī)定單位的長度來進(jìn)行檢查。通常，優(yōu)選以0.5m?2m的范圍進(jìn)行切斷。
[0110]在步驟S103中，光源驅(qū)動(dòng)部34將光源部33b驅(qū)動(dòng)至退避位置。
[0111]在步驟S104中，將光學(xué)玻璃母材Gl進(jìn)行輸送并載置在檢查單元30上。
[0112]在步驟S105中，由第二傳感器32檢測光學(xué)玻璃母材Gl的位置。根據(jù)來自第二傳感器32的第二輸出信號(hào)來將光源部33a驅(qū)動(dòng)至照射位置。
[0113]在步驟S106中，當(dāng)被退火窯端部11的帶式輸送機(jī)推出的光學(xué)玻璃母材Gl到達(dá)檢查單元30的第二傳感器32的檢測區(qū)域時(shí)，如在第一實(shí)施方式中說明的那樣，在檢查單元30中對(duì)光學(xué)玻璃母材Gl的表面、內(nèi)部中的至少一方的缺陷進(jìn)行檢測。
[0114]在此，進(jìn)行與Im長度的玻璃母材的厚度匹配的次數(shù)的掃描(例如Imm間距)。
[0115]在步驟S107中，判斷控制部35根據(jù)檢查數(shù)據(jù)來判斷是否存在缺陷。
[0116]在步驟S108中，根據(jù)需要進(jìn)行標(biāo)記。
[0117]在步驟S109中，作業(yè)人員在監(jiān)視器上確認(rèn)檢查結(jié)果。而且，將輸送到搬出單元40的玻璃移動(dòng)到托盤上。
[0118]在步驟SllO中，判斷控制部35根據(jù)規(guī)定的判斷基準(zhǔn)反饋與缺陷有關(guān)的信息。
[0119]這樣，在檢查工序中，以在線方式從自動(dòng)檢查結(jié)果確認(rèn)檢查者必須檢查的部分。另外，在檢查工序中，也可以檢查員僅對(duì)難度高的檢查內(nèi)容的部分以目視的方式進(jìn)行判斷。
[0120]根據(jù)本實(shí)施方式，能夠24小時(shí)地進(jìn)行全數(shù)檢查。并且，能夠提前反饋至內(nèi)部品質(zhì)的制造工序。其結(jié)果是，能夠制造出品質(zhì)提高的光學(xué)玻璃母材。
[0121]另外，與以往的抽樣感官檢查不同，能夠?qū)θ珨?shù)進(jìn)行可靠的檢查。其結(jié)果是，能夠防止由漏看缺陷導(dǎo)致流出品質(zhì)不良品。除此以外，能夠減少人事費(fèi)，不會(huì)由流出品質(zhì)不良品導(dǎo)致需要增加檢查者。
[0122]產(chǎn)業(yè)h的可利用件
[0123]如上所述，本發(fā)明所涉及的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置以及光學(xué)玻璃母材缺陷檢查方法不需要感官檢查而有用于準(zhǔn)確且迅速地檢查全數(shù)的情況。
【權(quán)利要求】
1.一種光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于，至少具有載置光學(xué)玻璃母材的檢查單元， 上述檢查單元具有: 光源部，其對(duì)上述光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部照射光； 攝像部，其對(duì)被來自上述光源部的光照射的上述光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部和表面中的至少一方進(jìn)行拍攝；以及 判斷控制部，其根據(jù)來自上述攝像部的圖像信號(hào)來判斷與上述光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部和表面中的至少一方的缺陷有關(guān)的信息。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 還具有輸送單兀，該輸送單兀具有第一傳感器，并根據(jù)來自第一傳感器的第一輸出信號(hào)向規(guī)定的方向輸送上述光學(xué)玻璃母材，其中，該第一傳感器識(shí)別從玻璃母材制造單兀的退火窯端部送出的光學(xué)玻璃母材的送出狀態(tài)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的 光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述輸送單兀根據(jù)來自上述第一傳感器的上述第一輸出信號(hào)，通過玻璃給送部將上述光學(xué)玻璃母材輸送到上述檢查單兀。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述檢查單元還具有第二傳感器，該第二傳感器對(duì)上述光學(xué)玻璃母材在上述檢查單元上的位置進(jìn)行檢測，并輸出第二輸出信號(hào)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述檢查單元還具有光源驅(qū)動(dòng)部， 上述光源驅(qū)動(dòng)部根據(jù)上述第二傳感器的檢測結(jié)果，將上述光源部驅(qū)動(dòng)至上述檢查單元上的向上述光學(xué)玻璃母材照射光的照射位置和從上述光學(xué)玻璃母材的輸送通道退避的退避位置中的某一個(gè)位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述第二傳感器在輸送過來的上述光學(xué)玻璃母材載置在上述檢查單元上的規(guī)定位置時(shí)輸出第二輸出信號(hào)， 上述光源驅(qū)動(dòng)部根據(jù)上述第二輸出信號(hào)將上述光源部驅(qū)動(dòng)至照射位置，向上述光學(xué)玻璃母材照射光。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述檢查單元還具有攝像用驅(qū)動(dòng)部， 上述攝像用驅(qū)動(dòng)部使上述攝像部與所載置的上述光學(xué)玻璃母材的相對(duì)距離發(fā)生變化，從由上述光源部進(jìn)行照射的上述光學(xué)玻璃母材的表面至背面在規(guī)定的面積上進(jìn)行掃描及攝像。
8.根據(jù)權(quán)利要求1~7中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 在上述檢查單元的與拍攝上述光學(xué)玻璃母材的一側(cè)相反的一側(cè)的面設(shè)置遮光構(gòu)件。
9.根據(jù)權(quán)利要求1~8中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述檢查單元還具有標(biāo)記部， 上述標(biāo)記部對(duì)由上述判斷控制部基于拍攝到的圖像信息判斷為缺陷的部分的上述光學(xué)玻璃母材的表面進(jìn)行標(biāo)記。
10.根據(jù)權(quán)利要求1~9中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 能夠向與上述光學(xué)玻璃母材的制造相關(guān)聯(lián)的裝置反饋與由上述判斷控制部判斷出的缺陷有關(guān)的信息。
11.根據(jù)權(quán)利要求1~10中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 上述光源部為電燈泡、突光燈、發(fā)光二極管或激光光源，上述光源部射出的光的波長為紫外光、可見光、紅外光中的任一個(gè)。
12.根據(jù)權(quán)利要求1~11中的任一項(xiàng)所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查裝置，其特征在于， 還具有搬出單元，該搬出單元與上述檢查單元鄰接，搬出缺陷檢查結(jié)束的上述光學(xué)玻璃母材。
13.—種光學(xué)玻璃母材缺陷檢查方法,其特征在于，至少包括對(duì)所輸送的光學(xué)玻璃母材進(jìn)行檢查的檢查工序， 上述檢查工序包括以下工序: 光照射工序，對(duì)上述光學(xué)玻璃母材的內(nèi)部照射光； 攝像工序，對(duì)所照射的上述光學(xué)玻璃母材的表面與內(nèi)部中的至少一方進(jìn)行拍攝；以及判斷控制工序，根據(jù)在上述攝像工序得到的圖像信號(hào)來判斷與上述光學(xué)玻璃母材的缺陷有關(guān)的信息。
14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的光學(xué)玻璃母材缺陷檢查方法，其特征在于， 還包括輸送工序，在該輸送`工序中根據(jù)作為母材的光學(xué)玻璃母材的輸送狀態(tài)向規(guī)定的方向輸送上述光學(xué)玻璃母材。
【文檔編號(hào)】G01N21/958GK103792242SQ201310533665
【公開日】2014年5月14日 申請(qǐng)日期:2013年10月31日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月31日
【發(fā)明者】金光康中, 杉方稔 申請(qǐng)人:株式會(huì)社小原
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