大型銑床機(jī)床的伺服驅(qū)豹采用電一液脈沖馬達(dá)。步進(jìn)電機(jī)和滾只：銑床伺服馬達(dá)裝在一起。銑床步進(jìn)電機(jī)通過(guò)一對(duì)減速齒輪傳動(dòng)付帶動(dòng)閥桿旋轉(zhuǎn)。銑床http://www.ycscf.cn隨動(dòng)閥控制液伺服它們與輸入脈沖同步。銑床步進(jìn)電饑輸出功率甚小，即使是大功率步進(jìn)電機(jī)，銑床目前還只能用于驅(qū)動(dòng)中小型機(jī)床。馬達(dá)使輸出力矩和輸出功率得到放大。銑床隨動(dòng)閥和液壓伺服只達(dá)合在一起銑床稱作液壓扭矩放大器。
銑床當(dāng)步進(jìn)電機(jī)接受一個(gè)脈沖并轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)步距角時(shí)，銑床經(jīng)減速齒輪使隨動(dòng)閥的閥桿也轉(zhuǎn)動(dòng)一定角度。此時(shí)銑床與閥桿另一端連接的液壓伺服馬達(dá)軸端部的螺母處于靜止?fàn)顟B(tài)，銑床閥桿轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)向前移動(dòng)。把來(lái)自供油口的高壓油送至配油盤(pán)右面。液壓伺服馬達(dá)為柱塞式，圓周上分布9個(gè)或i1個(gè)或13個(gè)柱塞式油缸。當(dāng)銑床配油盤(pán)右半周油缸接受高壓油時(shí)，銑床液壓伺服馬達(dá)向右旋轉(zhuǎn)。左半周油缸中的油經(jīng)由隨動(dòng)閥回油口流回油池。在銑床伺服馬達(dá)向右旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，銑床馬達(dá)軸端部的螺母亦向右轉(zhuǎn)動(dòng)銑床閥桿后移。銑床一個(gè)脈沖便步進(jìn)電機(jī)回轉(zhuǎn)而液壓伺服馬達(dá)只回轉(zhuǎn)便關(guān)閉了供油口，停止轉(zhuǎn)動(dòng)液壓伺服馬達(dá)的角度位移與步進(jìn)電機(jī)同步。電一液脈沖馬達(dá)的主要缺點(diǎn)是需要龐大的液壓系統(tǒng)私效率低。
此外銑床在閉環(huán)系統(tǒng)中，還常常采用小慣量直流電機(jī)，銑床電液伺服閥一液動(dòng)機(jī)等伺服驅(qū)動(dòng)。后者的工作原理是電氣信號(hào)經(jīng)由電一液伺服閥轉(zhuǎn)換為放大數(shù)千甚至數(shù)十萬(wàn)倍功率的液壓能，銑床并送入銑床馬達(dá)或油缸驅(qū)動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)。
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